id	sid	eid	entity	type
ijassa-319	1	1	microsoft	ORG
ijassa-319	1	2	9	CARDINAL
ijassa-319	1	3	xu	PERSON
ijassa-319	1	4	yutang dai	PERSON
ijassa-319	1	5	jianlei cui	PERSON
ijassa-319	1	6	2011	DATE
ijassa-319	1	7	no.3-4	CARDINAL
ijassa-319	1	8	1078-6236	CARDINAL
ijassa-319	1	9	international institute for general systems	ORG
ijassa-319	1	10	inc micro	ORG
ijassa-319	1	11	nc*	GPE
ijassa-319	1	12	xu	PERSON
ijassa-319	1	13	yutang dai	PERSON
ijassa-319	1	14	jianlei cui	PERSON
ijassa-319	1	15	wuhan university of technology	ORG
ijassa-319	1	16	wuhan 430070	ORG
ijassa-319	1	17	china	GPE
ijassa-319	1	18	nc	GPE
ijassa-319	1	19	3d	CARDINAL
ijassa-319	2	1	157	CARDINAL
ijassa-319	3	1	~4j/cm2	ORG
ijassa-319	3	2	about 75nm	CARDINAL
ijassa-319	3	3	157	CARDINAL
ijassa-319	4	1	~10hz	GPE
ijassa-319	5	1	three	CARDINAL
ijassa-319	5	2	157	CARDINAL
ijassa-319	6	1	1.introduction	CARDINAL
ijassa-319	6	2	recent years	DATE
ijassa-319	10	1	three	CARDINAL
ijassa-319	10	2	liga process[6	ORG
ijassa-319	13	1	one	CARDINAL
ijassa-319	15	1	sio2	ORG
ijassa-319	16	1	7,8,9	CARDINAL
ijassa-319	18	1	three	CARDINAL
ijassa-319	18	2	157	CARDINAL
ijassa-319	19	1	157	CARDINAL
ijassa-319	20	1	10	CARDINAL
ijassa-319	20	2	sio2	ORG
ijassa-319	21	1	157	CARDINAL
ijassa-319	23	1	1	CARDINAL
ijassa-319	23	2	china	GPE
ijassa-319	23	3	no.60537050	ORG
ijassa-319	23	4	2011	DATE
ijassa-319	23	5	no.3	CARDINAL
ijassa-319	23	6	4	CARDINAL
ijassa-319	24	1	157	CARDINAL
ijassa-319	24	2	157	CARDINAL
ijassa-319	25	1	157	CARDINAL
ijassa-319	26	1	3d	CARDINAL
ijassa-319	26	2	nc	GPE
ijassa-319	27	1	exitech ltd of england	ORG
ijassa-319	29	1	two	CARDINAL
ijassa-319	30	1	one	CARDINAL
ijassa-319	30	2	355	CARDINAL
ijassa-319	32	1	157	CARDINAL
ijassa-319	34	1	fig	ORG
ijassa-319	35	1	2	CARDINAL
ijassa-319	36	1	157	CARDINAL
ijassa-319	36	2	germany	GPE
ijassa-319	37	1	100hz	ORG
ijassa-319	38	1	157	CARDINAL
ijassa-319	38	2	1.5w	DATE
ijassa-319	38	3	25mj	DATE
ijassa-319	39	1	157	CARDINAL
ijassa-319	41	1	157	CARDINAL
ijassa-319	42	1	272 xu	QUANTITY
ijassa-319	42	2	nc	GPE
ijassa-319	42	3	4	CARDINAL
ijassa-319	42	4	nc	GPE
ijassa-319	43	1	aerotech	ORG
ijassa-319	43	2	500	CARDINAL
ijassa-319	44	1	up to four	CARDINAL
ijassa-319	44	2	four	CARDINAL
ijassa-319	44	3	500	CARDINAL
ijassa-319	44	4	today	DATE
ijassa-319	45	1	1	CARDINAL
ijassa-319	46	1	3	CARDINAL
ijassa-319	49	1	1	CARDINAL
ijassa-319	49	2	aerotech	ORG
ijassa-319	49	3	300mm ac linear	QUANTITY
ijassa-319	49	4	0.5um 60000mm	PERSON
ijassa-319	49	5	300mm ac linear	QUANTITY
ijassa-319	49	6	0.5um 60000mm	PERSON
ijassa-319	49	7	10mm	QUANTITY
ijassa-319	49	8	°	CARDINAL
ijassa-319	49	9	ac brushless	ORG
ijassa-319	50	1	0	CARDINAL
ijassa-319	50	2	0.01 1	CARDINAL
ijassa-319	50	3	sec	ORG
ijassa-319	50	4	0.25	CARDINAL
ijassa-319	50	5	sec	ORG
ijassa-319	50	6	2011	DATE
ijassa-319	50	7	no.3	CARDINAL
ijassa-319	50	8	273	CARDINAL
ijassa-319	50	9	3.1	CARDINAL
ijassa-319	51	1	4	CARDINAL
ijassa-319	51	2	vuv	ORG
ijassa-319	52	1	larger than 180	CARDINAL
ijassa-319	53	1	175	CARDINAL
ijassa-319	54	1	157	CARDINAL
ijassa-319	55	1	157	CARDINAL
ijassa-319	56	1	157	CARDINAL
ijassa-319	57	1	wavelength（nm）	ORG
ijassa-319	59	1	100	CARDINAL
ijassa-319	59	2	140	CARDINAL
ijassa-319	60	1	⎥	PERSON
ijassa-319	61	1	⎢	GPE
ijassa-319	61	2	ln1 α	PERSON
ijassa-319	61	3	1	CARDINAL
ijassa-319	61	4	1 1	CARDINAL
ijassa-319	61	5	2	CARDINAL
ijassa-319	61	6	1	CARDINAL
ijassa-319	62	1	1	CARDINAL
ijassa-319	62	2	2	CARDINAL
ijassa-319	63	1	157	CARDINAL
ijassa-319	63	2	about 59	CARDINAL
ijassa-319	63	3	about 81	CARDINAL
ijassa-319	63	4	157	CARDINAL
ijassa-319	63	5	4j	CARDINAL
ijassa-319	63	6	fig.	DATE
ijassa-319	64	1	5	CARDINAL
ijassa-319	65	1	157	CARDINAL
ijassa-319	65	2	about 35μm×35μm	CARDINAL
ijassa-319	66	1	smaller than 100	CARDINAL
ijassa-319	66	2	73-77	CARDINAL
ijassa-319	67	1	about 50	CARDINAL
ijassa-319	67	2	600[11	CARDINAL
ijassa-319	69	1	274 xu	QUANTITY
ijassa-319	69	2	nc	GPE
ijassa-319	69	3	3.2	CARDINAL
ijassa-319	69	4	157	CARDINAL
ijassa-319	69	5	α=170,000	CARDINAL
ijassa-319	69	6	3d	CARDINAL
ijassa-319	71	1	6	CARDINAL
ijassa-319	71	2	20μm×20μm	CARDINAL
ijassa-319	73	1	8hz	ORDINAL
ijassa-319	73	2	12hz	ORDINAL
ijassa-319	73	3	16hz	ORDINAL
ijassa-319	73	4	three	CARDINAL
ijassa-319	75	1	6(a	CARDINAL
ijassa-319	77	1	157	CARDINAL
ijassa-319	77	2	2011	DATE
ijassa-319	77	3	no.3	CARDINAL
ijassa-319	77	4	4 275	CARDINAL
ijassa-319	79	1	10%	PERCENT
ijassa-319	81	1	5 minutes	TIME
ijassa-319	81	2	5%	PERCENT
ijassa-319	82	1	157	CARDINAL
ijassa-319	85	1	7	CARDINAL
ijassa-319	87	1	l f t nh v	ORG
ijassa-319	87	2	⋅ ⋅ ⋅	ORG
ijassa-319	87	3	3	CARDINAL
ijassa-319	89	1	276	CARDINAL
ijassa-319	90	1	nc	GPE
ijassa-319	92	1	6	CARDINAL
ijassa-319	92	2	4×4	CARDINAL
ijassa-319	93	1	0.05mm/min to 0.30mm/min	PRODUCT
ijassa-319	93	2	fig	PERSON
ijassa-319	94	1	8	CARDINAL
ijassa-319	98	1	mm/min	FAC
ijassa-319	98	2	0.30mm/min	TIME
ijassa-319	99	1	10hz	ORDINAL
ijassa-319	103	1	6	CARDINAL
ijassa-319	104	1	3.3	CARDINAL
ijassa-319	104	2	nc	GPE
ijassa-319	105	1	nc	GPE
ijassa-319	105	2	licom system ltd of england	ORG
ijassa-319	107	1	nc	GPE
ijassa-319	108	1	fig.	DATE
ijassa-319	109	1	9	CARDINAL
ijassa-319	111	1	nc	GPE
ijassa-319	111	2	3d	CARDINAL
ijassa-319	112	1	2011	DATE
ijassa-319	112	2	no.3-4 277	TIME
ijassa-319	112	3	nc	GPE
ijassa-319	112	4	fig	ORG
ijassa-319	113	1	10	CARDINAL
ijassa-319	113	2	two	CARDINAL
ijassa-319	113	3	157	CARDINAL
ijassa-319	115	1	chinese	NORP
ijassa-319	116	1	1	CARDINAL
ijassa-319	116	2	6	CARDINAL
ijassa-319	117	1	0.15mm/min	QUANTITY
ijassa-319	117	2	12hz	ORDINAL
ijassa-319	118	1	fig	ORG
ijassa-319	121	1	line1	ORG
ijassa-319	121	2	2	CARDINAL
ijassa-319	122	1	about 10μm×10μm	CARDINAL
ijassa-319	123	1	fig.10	CARDINAL
ijassa-319	124	1	nc	GPE
ijassa-319	124	2	157	CARDINAL
ijassa-319	124	3	4	CARDINAL
ijassa-319	124	4	133	CARDINAL
ijassa-319	125	1	9.3ev	CARDINAL
ijassa-319	126	1	157	CARDINAL
ijassa-319	126	2	10,11,13,14,15	CARDINAL
ijassa-319	126	3	157	CARDINAL
ijassa-319	127	1	170,000cm-1	CARDINAL
ijassa-319	127	2	17,000-fold	QUANTITY
ijassa-319	127	3	278 xu	QUANTITY
ijassa-319	127	4	nc	GPE
ijassa-319	128	1	157	CARDINAL
ijassa-319	128	2	one	CARDINAL
ijassa-319	130	1	4.5ev	CARDINAL
ijassa-319	130	2	10	CARDINAL
ijassa-319	132	1	157	CARDINAL
ijassa-319	134	1	o si si o si e nbohc ≡	PERSON
ijassa-319	135	1	•	CARDINAL
ijassa-319	136	1	2	CARDINAL
ijassa-319	136	2	o si si si	PERSON
ijassa-319	136	3	si si si ≡	ORG
ijassa-319	137	1	• ′	TIME
ijassa-319	138	1	ⅱ	ORG
ijassa-319	138	2	o	DATE
ijassa-319	140	1	70%	PERCENT
ijassa-319	141	1	7.9	CARDINAL
ijassa-319	141	2	157	CARDINAL
ijassa-319	141	3	one	CARDINAL
ijassa-319	142	1	157	CARDINAL
ijassa-319	142	2	16	CARDINAL
ijassa-319	144	1	193	CARDINAL
ijassa-319	144	2	248	CARDINAL
ijassa-319	145	1	17	CARDINAL
ijassa-319	145	2	157	CARDINAL
ijassa-319	145	3	18,19	CARDINAL
ijassa-319	146	1	157	CARDINAL
ijassa-319	148	1	6	CARDINAL
ijassa-319	149	1	10	CARDINAL
ijassa-319	150	1	157	CARDINAL
ijassa-319	150	2	one	CARDINAL
ijassa-319	151	1	5	CARDINAL
ijassa-319	152	1	157	CARDINAL
ijassa-319	152	2	one	CARDINAL
ijassa-319	153	1	1	CARDINAL
ijassa-319	153	2	about 75nm	CARDINAL
ijassa-319	153	3	~4j/cm2	ORG
ijassa-319	155	1	2	CARDINAL
ijassa-319	155	2	~10hz	GPE
ijassa-319	156	1	3	CARDINAL
ijassa-319	156	2	157	CARDINAL
ijassa-319	157	1	the national natural science foundation of china	ORG
ijassa-319	157	2	no.60537050	ORG
ijassa-319	158	1	1	CARDINAL
ijassa-319	158	2	m. edward motamedi	PERSON
ijassa-319	158	3	ming c.wu	PERSON
ijassa-319	158	4	kristorfer s.j.pister	PERSON
ijassa-319	159	1	micro-opto-electro	ORG
ijassa-319	161	1	eng	PERSON
ijassa-319	162	1	2011	DATE
ijassa-319	162	2	no.3	CARDINAL
ijassa-319	162	3	36 (1997	DATE
ijassa-319	162	4	1282-1297	DATE
ijassa-319	163	1	2	CARDINAL
ijassa-319	163	2	w. zhang	PERSON
ijassa-319	163	3	j. xiong	PERSON
ijassa-319	165	1	china	GPE
ijassa-319	165	2	2006	DATE
ijassa-319	166	1	3	CARDINAL
ijassa-319	166	2	ming c. wu	PERSON
ijassa-319	167	1	18333-1856	DATE
ijassa-319	168	1	chen	PERSON
ijassa-319	168	2	ling yin and yun-long li	PERSON
ijassa-319	170	1	1	CARDINAL
ijassa-319	171	1	5	CARDINAL
ijassa-319	171	2	hiroaki misawa	PERSON
ijassa-319	172	1	3d	CARDINAL
ijassa-319	173	1	wiley-vch verlag	PERSON
ijassa-319	173	2	2006	DATE
ijassa-319	174	1	6	CARDINAL
ijassa-319	174	2	li	PERSON
ijassa-319	174	3	inorganic materials	ORG
ijassa-319	174	4	17(4	CARDINAL
ijassa-319	174	5	2003	DATE
ijassa-319	174	6	657	CARDINAL
ijassa-319	175	1	7	CARDINAL
ijassa-319	175	2	ivan fanderilik	PERSON
ijassa-319	176	1	amsterdam	GPE
ijassa-319	177	1	8	CARDINAL
ijassa-319	178	1	gleason k.k	PERSON
ijassa-319	179	1	1667	CARDINAL
ijassa-319	180	1	9	CARDINAL
ijassa-319	180	2	l. liu	PERSON
ijassa-319	180	3	silica glass	PERSON
ijassa-319	181	1	2006	DATE
ijassa-319	182	1	10	CARDINAL
ijassa-319	182	2	r.s. marjoribanks	PERSON
ijassa-319	183	1	154	CARDINAL
ijassa-319	184	1	11	CARDINAL
ijassa-319	184	2	y. dai	PERSON
ijassa-319	184	3	d. jiang	PERSON
ijassa-319	184	4	g. xu	PERSON
ijassa-319	186	1	spie	ORG
ijassa-319	186	2	7284(2009)72840p1	CARDINAL
ijassa-319	187	1	12	CARDINAL
ijassa-319	187	2	ryoichi kuwano	ORG
ijassa-319	187	3	tsuyoshi tokunaga	ORG
ijassa-319	187	4	yukitoshi otani	PERSON
ijassa-319	187	5	umeda	ORG
ijassa-319	190	1	12	CARDINAL
ijassa-319	190	2	6 (2005	DATE
ijassa-319	191	1	476–479	CARDINAL
ijassa-319	192	1	13	CARDINAL
ijassa-319	192	2	h. deng	PERSON
ijassa-319	192	3	y. rao	PERSON
ijassa-319	192	4	z. ran	PERSON
ijassa-319	192	5	x. liao	PERSON
ijassa-319	192	6	w. liu	PERSON
ijassa-319	193	1	fabry-perot	ORG
ijassa-319	193	2	157	CARDINAL
ijassa-319	194	1	acta optica sinica	ORG
ijassa-319	195	1	28(2)(2008)255	CARDINAL
ijassa-319	196	1	14	CARDINAL
ijassa-319	196	2	y. dai	PERSON
ijassa-319	196	3	w. li	PERSON
ijassa-319	196	4	d. jiang	PERSON
ijassa-319	201	1	commer.	ORG
ijassa-319	201	2	sanya china	GPE
ijassa-319	202	1	2007)1353-1356	CARDINAL
ijassa-319	203	1	15	CARDINAL
ijassa-319	203	2	j. greuters	PERSON
ijassa-319	203	3	n.h. rizvi	GPE
ijassa-319	204	1	157	CARDINAL
ijassa-319	205	1	spie	PERSON
ijassa-319	205	2	belgium	GPE
ijassa-319	205	3	4941(2003	CARDINAL
ijassa-319	205	4	77	CARDINAL
ijassa-319	206	1	16	CARDINAL
ijassa-319	206	2	j.a.	GPE
ijassa-319	206	3	leraas	NORP
ijassa-319	206	4	s.c.	GPE
ijassa-319	206	5	langford	PERSON
ijassa-319	206	6	j.t. dickinson	PERSON
ijassa-319	209	1	253(2007	CARDINAL
ijassa-319	209	2	6283–6288	CARDINAL
ijassa-319	210	1	17	CARDINAL
ijassa-319	210	2	y. chen	PERSON
ijassa-319	210	3	c. chao	PERSON
ijassa-319	210	4	y. liu	PERSON
ijassa-319	210	5	193	CARDINAL
ijassa-319	211	1	spie	ORG
ijassa-319	211	2	5717(2005)110-117	CARDINAL
ijassa-319	212	1	18	CARDINAL
ijassa-319	212	2	p. hess	PERSON
ijassa-319	212	3	157	CARDINAL
ijassa-319	213	1	74(11)(1999)433-435	CARDINAL
ijassa-319	214	1	19	CARDINAL
ijassa-319	214	2	one	CARDINAL
ijassa-319	215	1	j. physics review	ORG
ijassa-319	215	2	20b(5)(1979)3526–3527	DATE