id	sid	tid	token	lemma	pos
ijassa-319	1	1	microsoft	microsoft	PROPN
ijassa-319	1	2	word	word	NOUN
ijassa-319	1	3	9	9	NUM
ijassa-319	1	4	gang	gang	NOUN
ijassa-319	1	5	xu	xu	PROPN
ijassa-319	1	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	1	7	yutang	yutang	PROPN
ijassa-319	1	8	dai	dai	PROPN
ijassa-319	1	9	,	,	PUNCT
ijassa-319	1	10	jianlei	jianlei	PROPN
ijassa-319	1	11	cui	cui	PROPN
ijassa-319	1	12	--	--	PUNCT
ijassa-319	1	13	micro	micro	ADJ
ijassa-319	1	14	-	-	ADJ
ijassa-319	1	15	manufacturing	manufacturing	ADJ
ijassa-319	1	16	technology	technology	NOUN
ijassa-319	1	17	using	use	VERB
ijassa-319	1	18	duv	duv	PROPN
ijassa-319	1	19	laser	laser	NOUN
ijassa-319	1	20	and	and	CCONJ
ijassa-319	1	21	nc.doc	nc.doc	PROPN
ijassa-319	1	22	270	270	NUM
ijassa-319	1	23	-	-	SYM
ijassa-319	1	24	279	279	NUM
ijassa-319	1	25	advances	advance	NOUN
ijassa-319	1	26	in	in	ADP
ijassa-319	1	27	systems	system	NOUN
ijassa-319	1	28	science	science	NOUN
ijassa-319	1	29	and	and	CCONJ
ijassa-319	1	30	applications	application	NOUN
ijassa-319	1	31	(	(	PUNCT
ijassa-319	1	32	2011	2011	NUM
ijassa-319	1	33	)	)	PUNCT
ijassa-319	1	34	,	,	PUNCT
ijassa-319	1	35	vol.11	vol.11	PROPN
ijassa-319	1	36	,	,	PUNCT
ijassa-319	1	37	no.3	no.3	NOUN
ijassa-319	1	38	-	-	SYM
ijassa-319	1	39	4	4	NUM
ijassa-319	1	40	issn	issn	PROPN
ijassa-319	1	41	1078	1078	NUM
ijassa-319	1	42	-	-	SYM
ijassa-319	1	43	6236	6236	NUM
ijassa-319	1	44	international	international	PROPN
ijassa-319	1	45	institute	institute	NOUN
ijassa-319	1	46	for	for	ADP
ijassa-319	1	47	general	general	ADJ
ijassa-319	1	48	systems	system	NOUN
ijassa-319	1	49	studies	study	NOUN
ijassa-319	1	50	,	,	PUNCT
ijassa-319	1	51	inc	inc	PROPN
ijassa-319	1	52	micro	micro	PROPN
ijassa-319	1	53	-	-	ADJ
ijassa-319	1	54	manufacturing	manufacturing	ADJ
ijassa-319	1	55	technology	technology	NOUN
ijassa-319	1	56	using	use	VERB
ijassa-319	1	57	duv	duv	PROPN
ijassa-319	1	58	laser	laser	NOUN
ijassa-319	1	59	and	and	CCONJ
ijassa-319	1	60	nc	nc	PROPN
ijassa-319	1	61	*	*	PROPN
ijassa-319	1	62	gang	gang	PROPN
ijassa-319	1	63	xu	xu	PROPN
ijassa-319	1	64	,	,	PUNCT
ijassa-319	1	65	yutang	yutang	PROPN
ijassa-319	1	66	dai	dai	PROPN
ijassa-319	1	67	and	and	CCONJ
ijassa-319	1	68	jianlei	jianlei	PROPN
ijassa-319	1	69	cui	cui	VERB
ijassa-319	1	70	key	key	ADJ
ijassa-319	1	71	laboratory	laboratory	NOUN
ijassa-319	1	72	of	of	ADP
ijassa-319	1	73	fiber	fiber	NOUN
ijassa-319	1	74	optic	optic	NOUN
ijassa-319	1	75	sensing	sense	VERB
ijassa-319	1	76	technology	technology	NOUN
ijassa-319	1	77	,	,	PUNCT
ijassa-319	1	78	wuhan	wuhan	PROPN
ijassa-319	1	79	university	university	PROPN
ijassa-319	1	80	of	of	ADP
ijassa-319	1	81	technology	technology	PROPN
ijassa-319	1	82	,	,	PUNCT
ijassa-319	1	83	wuhan	wuhan	PROPN
ijassa-319	1	84	430070	430070	NUM
ijassa-319	1	85	,	,	PUNCT
ijassa-319	1	86	china	china	PROPN
ijassa-319	1	87	abstract	abstract	PROPN
ijassa-319	1	88	combining	combine	VERB
ijassa-319	1	89	deep	deep	ADJ
ijassa-319	1	90	uv	uv	NOUN
ijassa-319	1	91	laser	laser	NOUN
ijassa-319	1	92	with	with	ADP
ijassa-319	1	93	nc	nc	PROPN
ijassa-319	1	94	technology	technology	PROPN
ijassa-319	1	95	,	,	PUNCT
ijassa-319	1	96	complex	complex	ADJ
ijassa-319	1	97	3d	3d	NUM
ijassa-319	1	98	structures	structure	NOUN
ijassa-319	1	99	can	can	AUX
ijassa-319	1	100	be	be	AUX
ijassa-319	1	101	generated	generate	VERB
ijassa-319	1	102	.	.	PUNCT
ijassa-319	2	1	for	for	ADP
ijassa-319	2	2	fused	fuse	VERB
ijassa-319	2	3	silica	silica	NOUN
ijassa-319	2	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	2	5	the	the	DET
ijassa-319	2	6	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	2	7	depth	depth	NOUN
ijassa-319	2	8	and	and	CCONJ
ijassa-319	2	9	surface	surface	NOUN
ijassa-319	2	10	roughness	roughness	NOUN
ijassa-319	2	11	are	be	AUX
ijassa-319	2	12	investigated	investigate	VERB
ijassa-319	2	13	after	after	ADP
ijassa-319	2	14	157	157	NUM
ijassa-319	2	15	nm	nm	PRON
ijassa-319	2	16	laser	laser	NOUN
ijassa-319	2	17	processing	processing	NOUN
ijassa-319	2	18	.	.	PUNCT
ijassa-319	3	1	under	under	ADP
ijassa-319	3	2	laser	laser	NOUN
ijassa-319	3	3	fluence	fluence	NOUN
ijassa-319	3	4	of	of	ADP
ijassa-319	3	5	~4j	~4j	PROPN
ijassa-319	3	6	/	/	SYM
ijassa-319	3	7	cm2	cm2	PROPN
ijassa-319	3	8	and	and	CCONJ
ijassa-319	3	9	spot	spot	NOUN
ijassa-319	3	10	size	size	NOUN
ijassa-319	3	11	of	of	ADP
ijassa-319	3	12	~35μm	~35μm	NOUN
ijassa-319	3	13	,	,	PUNCT
ijassa-319	3	14	the	the	DET
ijassa-319	3	15	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	3	16	rate	rate	NOUN
ijassa-319	3	17	of	of	ADP
ijassa-319	3	18	fused	fuse	VERB
ijassa-319	3	19	silica	silica	NOUN
ijassa-319	3	20	is	be	AUX
ijassa-319	3	21	about	about	ADV
ijassa-319	3	22	75nm	75nm	NOUN
ijassa-319	3	23	/	/	SYM
ijassa-319	3	24	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	3	25	for	for	ADP
ijassa-319	3	26	157	157	NUM
ijassa-319	3	27	nm	nm	ADJ
ijassa-319	3	28	laser	laser	NOUN
ijassa-319	3	29	.	.	PUNCT
ijassa-319	4	1	a	a	DET
ijassa-319	4	2	better	well	ADJ
ijassa-319	4	3	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	4	4	quality	quality	NOUN
ijassa-319	4	5	could	could	AUX
ijassa-319	4	6	be	be	AUX
ijassa-319	4	7	achieved	achieve	VERB
ijassa-319	4	8	under	under	ADP
ijassa-319	4	9	the	the	DET
ijassa-319	4	10	repetition	repetition	NOUN
ijassa-319	4	11	rate	rate	NOUN
ijassa-319	4	12	of	of	ADP
ijassa-319	4	13	~10hz	~10hz	NOUN
ijassa-319	4	14	.	.	PUNCT
ijassa-319	5	1	assisted	assist	VERB
ijassa-319	5	2	by	by	ADP
ijassa-319	5	3	numerical	numerical	ADJ
ijassa-319	5	4	control	control	PROPN
ijassa-319	5	5	,	,	PUNCT
ijassa-319	5	6	three	three	NUM
ijassa-319	5	7	-	-	PUNCT
ijassa-319	5	8	dimensional	dimensional	ADJ
ijassa-319	5	9	micro	micro	NOUN
ijassa-319	5	10	-	-	NOUN
ijassa-319	5	11	structures	structure	NOUN
ijassa-319	5	12	are	be	AUX
ijassa-319	5	13	fabricated	fabricate	VERB
ijassa-319	5	14	using	use	VERB
ijassa-319	5	15	157	157	NUM
ijassa-319	5	16	nm	nm	ADJ
ijassa-319	5	17	laser	laser	NOUN
ijassa-319	5	18	technique	technique	NOUN
ijassa-319	5	19	.	.	PUNCT
ijassa-319	6	1	keywords	keyword	VERB
ijassa-319	6	2	duv	duv	PROPN
ijassa-319	6	3	laser	laser	PROPN
ijassa-319	6	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	6	5	micro	micro	NOUN
ijassa-319	6	6	-	-	NOUN
ijassa-319	6	7	manufacturing	manufacturing	ADJ
ijassa-319	6	8	,	,	PUNCT
ijassa-319	6	9	numerical	numerical	PROPN
ijassa-319	6	10	control	control	PROPN
ijassa-319	6	11	,	,	PUNCT
ijassa-319	6	12	fused	fuse	VERB
ijassa-319	6	13	silica	silica	NOUN
ijassa-319	6	14	1.introduction	1.introduction	NUM
ijassa-319	6	15	moems	moem	NOUN
ijassa-319	6	16	(	(	PUNCT
ijassa-319	6	17	micro	micro	ADJ
ijassa-319	6	18	-	-	ADJ
ijassa-319	6	19	optical	optical	ADJ
ijassa-319	6	20	-	-	PUNCT
ijassa-319	6	21	electro	electro	ADJ
ijassa-319	6	22	-	-	PUNCT
ijassa-319	6	23	mechanical	mechanical	ADJ
ijassa-319	6	24	system	system	NOUN
ijassa-319	6	25	)	)	PUNCT
ijassa-319	6	26	is	be	AUX
ijassa-319	6	27	a	a	DET
ijassa-319	6	28	very	very	ADV
ijassa-319	6	29	dynamic	dynamic	ADJ
ijassa-319	6	30	research	research	NOUN
ijassa-319	6	31	direction	direction	NOUN
ijassa-319	6	32	developed	develop	VERB
ijassa-319	6	33	from	from	ADP
ijassa-319	6	34	mems	mem	NOUN
ijassa-319	6	35	technology	technology	NOUN
ijassa-319	6	36	in	in	ADP
ijassa-319	6	37	recent	recent	ADJ
ijassa-319	6	38	years	year	NOUN
ijassa-319	6	39	,	,	PUNCT
ijassa-319	6	40	which	which	PRON
ijassa-319	6	41	is	be	AUX
ijassa-319	6	42	a	a	DET
ijassa-319	6	43	new	new	ADJ
ijassa-319	6	44	type	type	NOUN
ijassa-319	6	45	of	of	ADP
ijassa-319	6	46	micro	micro	ADJ
ijassa-319	6	47	-	-	ADJ
ijassa-319	6	48	optical	optical	ADJ
ijassa-319	6	49	system	system	NOUN
ijassa-319	6	50	resulting	result	VERB
ijassa-319	6	51	from	from	ADP
ijassa-319	6	52	the	the	DET
ijassa-319	6	53	combination	combination	NOUN
ijassa-319	6	54	of	of	ADP
ijassa-319	6	55	micro	micro	NOUN
ijassa-319	6	56	-	-	NOUN
ijassa-319	6	57	mechanical	mechanical	ADJ
ijassa-319	6	58	,	,	PUNCT
ijassa-319	6	59	micro	micro	NOUN
ijassa-319	6	60	-	-	NOUN
ijassa-319	6	61	electronics	electronic	NOUN
ijassa-319	6	62	and	and	CCONJ
ijassa-319	6	63	micro	micro	NOUN
ijassa-319	6	64	-	-	NOUN
ijassa-319	6	65	optics	optic	NOUN
ijassa-319	6	66	.	.	PUNCT
ijassa-319	7	1	moems	moem	NOUN
ijassa-319	7	2	device	device	NOUN
ijassa-319	7	3	has	have	VERB
ijassa-319	7	4	smaller	small	ADJ
ijassa-319	7	5	size	size	NOUN
ijassa-319	7	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	7	7	lighter	light	ADJ
ijassa-319	7	8	weight	weight	NOUN
ijassa-319	7	9	,	,	PUNCT
ijassa-319	7	10	so	so	ADV
ijassa-319	7	11	has	have	VERB
ijassa-319	7	12	lower	low	ADJ
ijassa-319	7	13	power	power	NOUN
ijassa-319	7	14	consumption	consumption	NOUN
ijassa-319	7	15	,	,	PUNCT
ijassa-319	7	16	smaller	small	ADJ
ijassa-319	7	17	inertia	inertia	NOUN
ijassa-319	7	18	,	,	PUNCT
ijassa-319	7	19	shorter	short	ADJ
ijassa-319	7	20	response	response	NOUN
ijassa-319	7	21	times	time	NOUN
ijassa-319	7	22	,	,	PUNCT
ijassa-319	7	23	etc[1,2,3,4	etc[1,2,3,4	PROPN
ijassa-319	7	24	]	]	PUNCT
ijassa-319	7	25	.	.	PUNCT
ijassa-319	8	1	but	but	CCONJ
ijassa-319	8	2	the	the	DET
ijassa-319	8	3	forecast	forecast	NOUN
ijassa-319	8	4	advantages	advantage	NOUN
ijassa-319	8	5	are	be	AUX
ijassa-319	8	6	not	not	PART
ijassa-319	8	7	fully	fully	ADV
ijassa-319	8	8	reflected	reflect	VERB
ijassa-319	8	9	,	,	PUNCT
ijassa-319	8	10	in	in	ADP
ijassa-319	8	11	large	large	ADJ
ijassa-319	8	12	part	part	NOUN
ijassa-319	8	13	due	due	ADP
ijassa-319	8	14	to	to	ADP
ijassa-319	8	15	the	the	DET
ijassa-319	8	16	poor	poor	ADJ
ijassa-319	8	17	level	level	NOUN
ijassa-319	8	18	of	of	ADP
ijassa-319	8	19	micro	micro	ADJ
ijassa-319	8	20	-	-	ADJ
ijassa-319	8	21	mechanical	mechanical	ADJ
ijassa-319	8	22	processing[5	processing[5	NOUN
ijassa-319	8	23	]	]	X
ijassa-319	8	24	.	.	PUNCT
ijassa-319	9	1	currently	currently	ADV
ijassa-319	9	2	,	,	PUNCT
ijassa-319	9	3	the	the	DET
ijassa-319	9	4	majority	majority	NOUN
ijassa-319	9	5	of	of	ADP
ijassa-319	9	6	such	such	ADJ
ijassa-319	9	7	photonics	photonic	NOUN
ijassa-319	9	8	chips	chip	NOUN
ijassa-319	9	9	or	or	CCONJ
ijassa-319	9	10	mems	mem	NOUN
ijassa-319	9	11	parts	part	NOUN
ijassa-319	9	12	are	be	AUX
ijassa-319	9	13	planar	planar	ADJ
ijassa-319	9	14	devices	device	NOUN
ijassa-319	9	15	based	base	VERB
ijassa-319	9	16	on	on	ADP
ijassa-319	9	17	silicon	silicon	NOUN
ijassa-319	9	18	or	or	CCONJ
ijassa-319	9	19	silica	silica	NOUN
ijassa-319	9	20	-	-	PUNCT
ijassa-319	9	21	on	on	ADP
ijassa-319	9	22	-	-	PUNCT
ijassa-319	9	23	silicon	silicon	NOUN
ijassa-319	9	24	substrates	substrate	NOUN
ijassa-319	9	25	but	but	CCONJ
ijassa-319	9	26	the	the	DET
ijassa-319	9	27	manufacturing	manufacturing	NOUN
ijassa-319	9	28	procedures	procedure	NOUN
ijassa-319	9	29	are	be	AUX
ijassa-319	9	30	still	still	ADV
ijassa-319	9	31	largely	largely	ADV
ijassa-319	9	32	reliant	reliant	ADJ
ijassa-319	9	33	on	on	ADP
ijassa-319	9	34	combinations	combination	NOUN
ijassa-319	9	35	of	of	ADP
ijassa-319	9	36	conventional	conventional	ADJ
ijassa-319	9	37	exposure	exposure	NOUN
ijassa-319	9	38	and	and	CCONJ
ijassa-319	9	39	etching	etch	VERB
ijassa-319	9	40	steps	step	NOUN
ijassa-319	9	41	.	.	PUNCT
ijassa-319	10	1	in	in	ADP
ijassa-319	10	2	particular	particular	ADJ
ijassa-319	10	3	,	,	PUNCT
ijassa-319	10	4	three	three	NUM
ijassa-319	10	5	-	-	PUNCT
ijassa-319	10	6	dimensional	dimensional	ADJ
ijassa-319	10	7	structuring	structuring	NOUN
ijassa-319	10	8	of	of	ADP
ijassa-319	10	9	most	most	ADJ
ijassa-319	10	10	mems	mem	NOUN
ijassa-319	10	11	parts	part	NOUN
ijassa-319	10	12	is	be	AUX
ijassa-319	10	13	usually	usually	ADV
ijassa-319	10	14	reliant	reliant	ADJ
ijassa-319	10	15	on	on	ADP
ijassa-319	10	16	liga	liga	PROPN
ijassa-319	10	17	process[6	process[6	NOUN
ijassa-319	10	18	]	]	PUNCT
ijassa-319	10	19	.	.	PUNCT
ijassa-319	11	1	there	there	PRON
ijassa-319	11	2	are	be	VERB
ijassa-319	11	3	so	so	ADV
ijassa-319	11	4	many	many	ADJ
ijassa-319	11	5	constraints	constraint	NOUN
ijassa-319	11	6	using	use	VERB
ijassa-319	11	7	abovementioned	abovementioned	ADJ
ijassa-319	11	8	process	process	NOUN
ijassa-319	11	9	that	that	SCONJ
ijassa-319	11	10	developments	development	NOUN
ijassa-319	11	11	of	of	ADP
ijassa-319	11	12	more	more	ADJ
ijassa-319	11	13	cost	cost	NOUN
ijassa-319	11	14	-	-	PUNCT
ijassa-319	11	15	effective	effective	ADJ
ijassa-319	11	16	process	process	NOUN
ijassa-319	11	17	is	be	AUX
ijassa-319	11	18	needed	need	VERB
ijassa-319	11	19	.	.	PUNCT
ijassa-319	12	1	among	among	ADP
ijassa-319	12	2	various	various	ADJ
ijassa-319	12	3	new	new	ADJ
ijassa-319	12	4	manufacturing	manufacturing	NOUN
ijassa-319	12	5	methods	method	NOUN
ijassa-319	12	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	12	7	laser	laser	NOUN
ijassa-319	12	8	micro	micro	NOUN
ijassa-319	12	9	-	-	NOUN
ijassa-319	12	10	processing	processing	NOUN
ijassa-319	12	11	is	be	AUX
ijassa-319	12	12	a	a	DET
ijassa-319	12	13	promising	promising	ADJ
ijassa-319	12	14	choice	choice	NOUN
ijassa-319	12	15	.	.	PUNCT
ijassa-319	13	1	one	one	NUM
ijassa-319	13	2	of	of	ADP
ijassa-319	13	3	the	the	DET
ijassa-319	13	4	main	main	ADJ
ijassa-319	13	5	attractions	attraction	NOUN
ijassa-319	13	6	of	of	ADP
ijassa-319	13	7	laser	laser	NOUN
ijassa-319	13	8	micro	micro	NOUN
ijassa-319	13	9	-	-	NOUN
ijassa-319	13	10	processing	processing	NOUN
ijassa-319	13	11	is	be	AUX
ijassa-319	13	12	that	that	SCONJ
ijassa-319	13	13	lasers	laser	NOUN
ijassa-319	13	14	offer	offer	VERB
ijassa-319	13	15	great	great	ADJ
ijassa-319	13	16	flexibility	flexibility	NOUN
ijassa-319	13	17	in	in	ADP
ijassa-319	13	18	the	the	DET
ijassa-319	13	19	rapid	rapid	ADJ
ijassa-319	13	20	prototyping	prototyping	NOUN
ijassa-319	13	21	and	and	CCONJ
ijassa-319	13	22	evaluation	evaluation	NOUN
ijassa-319	13	23	of	of	ADP
ijassa-319	13	24	different	different	ADJ
ijassa-319	13	25	designs	design	NOUN
ijassa-319	13	26	.	.	PUNCT
ijassa-319	14	1	many	many	ADJ
ijassa-319	14	2	different	different	ADJ
ijassa-319	14	3	process	process	NOUN
ijassa-319	14	4	routes	route	NOUN
ijassa-319	14	5	can	can	AUX
ijassa-319	14	6	also	also	ADV
ijassa-319	14	7	be	be	AUX
ijassa-319	14	8	tried	try	VERB
ijassa-319	14	9	out	out	ADP
ijassa-319	14	10	with	with	ADP
ijassa-319	14	11	the	the	DET
ijassa-319	14	12	same	same	ADJ
ijassa-319	14	13	laser	laser	NOUN
ijassa-319	14	14	tool	tool	NOUN
ijassa-319	14	15	in	in	ADP
ijassa-319	14	16	a	a	DET
ijassa-319	14	17	relatively	relatively	ADV
ijassa-319	14	18	short	short	ADJ
ijassa-319	14	19	time	time	NOUN
ijassa-319	14	20	so	so	SCONJ
ijassa-319	14	21	the	the	DET
ijassa-319	14	22	developmental	developmental	ADJ
ijassa-319	14	23	cycle	cycle	NOUN
ijassa-319	14	24	is	be	AUX
ijassa-319	14	25	also	also	ADV
ijassa-319	14	26	much	much	ADV
ijassa-319	14	27	faster	fast	ADJ
ijassa-319	14	28	than	than	ADP
ijassa-319	14	29	with	with	ADP
ijassa-319	14	30	many	many	ADJ
ijassa-319	14	31	conventional	conventional	ADJ
ijassa-319	14	32	techniques	technique	NOUN
ijassa-319	14	33	.	.	PUNCT
ijassa-319	15	1	sio2	sio2	PROPN
ijassa-319	15	2	has	have	VERB
ijassa-319	15	3	low	low	ADJ
ijassa-319	15	4	thermal	thermal	ADJ
ijassa-319	15	5	expansion	expansion	NOUN
ijassa-319	15	6	coefficient	coefficient	NOUN
ijassa-319	15	7	,	,	PUNCT
ijassa-319	15	8	permeability	permeability	NOUN
ijassa-319	15	9	to	to	ADP
ijassa-319	15	10	gases	gas	NOUN
ijassa-319	15	11	and	and	CCONJ
ijassa-319	15	12	to	to	ADP
ijassa-319	15	13	ionic	ionic	ADJ
ijassa-319	15	14	contaminants	contaminant	NOUN
ijassa-319	15	15	,	,	PUNCT
ijassa-319	15	16	excellent	excellent	ADJ
ijassa-319	15	17	chemical	chemical	NOUN
ijassa-319	15	18	inertness	inertness	NOUN
ijassa-319	15	19	,	,	PUNCT
ijassa-319	15	20	good	good	PROPN
ijassa-319	15	21	electric	electric	PROPN
ijassa-319	15	22	insulation	insulation	NOUN
ijassa-319	15	23	,	,	PUNCT
ijassa-319	15	24	and	and	CCONJ
ijassa-319	15	25	has	have	VERB
ijassa-319	15	26	more	more	ADV
ijassa-319	15	27	attractive	attractive	ADJ
ijassa-319	15	28	mechanical	mechanical	ADJ
ijassa-319	15	29	properties	property	NOUN
ijassa-319	15	30	than	than	ADP
ijassa-319	15	31	ordinary	ordinary	ADJ
ijassa-319	15	32	glass	glass	NOUN
ijassa-319	16	1	[	[	X
ijassa-319	16	2	7,8,9	7,8,9	NOUN
ijassa-319	16	3	]	]	PUNCT
ijassa-319	16	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	16	5	it	it	PRON
ijassa-319	16	6	has	have	AUX
ijassa-319	16	7	become	become	VERB
ijassa-319	16	8	one	one	NUM
ijassa-319	16	9	of	of	ADP
ijassa-319	16	10	the	the	DET
ijassa-319	16	11	most	most	ADV
ijassa-319	16	12	important	important	ADJ
ijassa-319	16	13	materials	material	NOUN
ijassa-319	16	14	for	for	ADP
ijassa-319	16	15	fabricating	fabricate	VERB
ijassa-319	16	16	optical	optical	ADJ
ijassa-319	16	17	lens	len	NOUN
ijassa-319	16	18	and	and	CCONJ
ijassa-319	16	19	moems	moem	NOUN
ijassa-319	16	20	devices	device	NOUN
ijassa-319	16	21	,	,	PUNCT
ijassa-319	16	22	such	such	ADJ
ijassa-319	16	23	as	as	ADP
ijassa-319	16	24	micro	micro	PROPN
ijassa-319	16	25	fluidic	fluidic	ADJ
ijassa-319	16	26	chip	chip	NOUN
ijassa-319	16	27	,	,	PUNCT
ijassa-319	16	28	soc	soc	NOUN
ijassa-319	16	29	(	(	PUNCT
ijassa-319	16	30	system	system	NOUN
ijassa-319	16	31	on	on	ADP
ijassa-319	16	32	chip	chip	NOUN
ijassa-319	16	33	)	)	PUNCT
ijassa-319	16	34	and	and	CCONJ
ijassa-319	16	35	mcm(multi	mcm(multi	NOUN
ijassa-319	16	36	-	-	NOUN
ijassa-319	16	37	chip	chip	NOUN
ijassa-319	16	38	module	module	NOUN
ijassa-319	16	39	)	)	PUNCT
ijassa-319	16	40	.	.	PUNCT
ijassa-319	17	1	however	however	ADV
ijassa-319	17	2	,	,	PUNCT
ijassa-319	17	3	fused	fuse	VERB
ijassa-319	17	4	silica	silica	NOUN
ijassa-319	17	5	is	be	AUX
ijassa-319	17	6	relatively	relatively	ADV
ijassa-319	17	7	transparent	transparent	ADJ
ijassa-319	17	8	for	for	ADP
ijassa-319	17	9	visible	visible	ADJ
ijassa-319	17	10	light	light	NOUN
ijassa-319	17	11	and	and	CCONJ
ijassa-319	17	12	ultraviolet	ultraviolet	ADJ
ijassa-319	17	13	radiation	radiation	NOUN
ijassa-319	17	14	,	,	PUNCT
ijassa-319	17	15	which	which	PRON
ijassa-319	17	16	can	can	AUX
ijassa-319	17	17	not	not	PART
ijassa-319	17	18	be	be	AUX
ijassa-319	17	19	effectively	effectively	ADV
ijassa-319	17	20	absorbed	absorb	VERB
ijassa-319	17	21	,	,	PUNCT
ijassa-319	17	22	so	so	CCONJ
ijassa-319	17	23	the	the	DET
ijassa-319	17	24	issue	issue	NOUN
ijassa-319	17	25	of	of	ADP
ijassa-319	17	26	how	how	SCONJ
ijassa-319	17	27	to	to	PART
ijassa-319	17	28	process	process	VERB
ijassa-319	17	29	it	it	PRON
ijassa-319	17	30	efficiently	efficiently	ADV
ijassa-319	17	31	is	be	AUX
ijassa-319	17	32	of	of	ADP
ijassa-319	17	33	crucial	crucial	ADJ
ijassa-319	17	34	importance	importance	NOUN
ijassa-319	17	35	.	.	PUNCT
ijassa-319	18	1	due	due	ADP
ijassa-319	18	2	to	to	ADP
ijassa-319	18	3	development	development	NOUN
ijassa-319	18	4	of	of	ADP
ijassa-319	18	5	special	special	ADJ
ijassa-319	18	6	optical	optical	ADJ
ijassa-319	18	7	component	component	NOUN
ijassa-319	18	8	,	,	PUNCT
ijassa-319	18	9	three	three	NUM
ijassa-319	18	10	dimension	dimension	NOUN
ijassa-319	18	11	micromachining	micromachine	VERB
ijassa-319	18	12	with	with	ADP
ijassa-319	18	13	deep	deep	ADJ
ijassa-319	18	14	-	-	PUNCT
ijassa-319	18	15	ultraviolet	ultraviolet	NOUN
ijassa-319	18	16	laser	laser	NOUN
ijassa-319	18	17	(	(	PUNCT
ijassa-319	18	18	duv	duv	PROPN
ijassa-319	18	19	,	,	PUNCT
ijassa-319	18	20	mainly	mainly	ADV
ijassa-319	18	21	157	157	NUM
ijassa-319	18	22	nm	nm	ADJ
ijassa-319	18	23	laser	laser	NOUN
ijassa-319	18	24	)	)	PUNCT
ijassa-319	18	25	has	have	AUX
ijassa-319	18	26	become	become	VERB
ijassa-319	18	27	feasible	feasible	ADJ
ijassa-319	18	28	technically	technically	ADV
ijassa-319	18	29	.	.	PUNCT
ijassa-319	19	1	the	the	DET
ijassa-319	19	2	photon	photon	NOUN
ijassa-319	19	3	energy	energy	NOUN
ijassa-319	19	4	of	of	ADP
ijassa-319	19	5	157	157	NUM
ijassa-319	19	6	nm	nm	NOUN
ijassa-319	19	7	laser	laser	NOUN
ijassa-319	19	8	is	be	AUX
ijassa-319	19	9	up	up	ADP
ijassa-319	19	10	to	to	ADP
ijassa-319	19	11	7.9	7.9	NUM
ijassa-319	19	12	-	-	PUNCT
ijassa-319	19	13	ev	ev	NOUN
ijassa-319	20	1	[	[	X
ijassa-319	20	2	10	10	NUM
ijassa-319	20	3	]	]	PUNCT
ijassa-319	20	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	20	5	can	can	AUX
ijassa-319	20	6	directly	directly	ADV
ijassa-319	20	7	hit	hit	VERB
ijassa-319	20	8	the	the	DET
ijassa-319	20	9	ionic	ionic	ADJ
ijassa-319	20	10	bond	bond	NOUN
ijassa-319	20	11	of	of	ADP
ijassa-319	20	12	sio2	sio2	PROPN
ijassa-319	20	13	by	by	ADP
ijassa-319	20	14	photo	photo	NOUN
ijassa-319	20	15	-	-	PUNCT
ijassa-319	20	16	chemical	chemical	ADJ
ijassa-319	20	17	effect	effect	NOUN
ijassa-319	20	18	.	.	PUNCT
ijassa-319	21	1	besides	besides	SCONJ
ijassa-319	21	2	,	,	PUNCT
ijassa-319	21	3	157	157	NUM
ijassa-319	21	4	nm	nm	NOUN
ijassa-319	21	5	laser	laser	NOUN
ijassa-319	21	6	have	have	VERB
ijassa-319	21	7	the	the	DET
ijassa-319	21	8	benefit	benefit	NOUN
ijassa-319	21	9	of	of	ADP
ijassa-319	21	10	being	be	AUX
ijassa-319	21	11	compatible	compatible	ADJ
ijassa-319	21	12	with	with	ADP
ijassa-319	21	13	mask	mask	NOUN
ijassa-319	21	14	projection	projection	NOUN
ijassa-319	21	15	systems	system	NOUN
ijassa-319	21	16	,	,	PUNCT
ijassa-319	21	17	so	so	SCONJ
ijassa-319	21	18	that	that	SCONJ
ijassa-319	21	19	a	a	DET
ijassa-319	21	20	precision	precision	NOUN
ijassa-319	21	21	laser	laser	NOUN
ijassa-319	21	22	-	-	PUNCT
ijassa-319	21	23	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	21	24	processing	processing	NOUN
ijassa-319	21	25	can	can	AUX
ijassa-319	21	26	be	be	AUX
ijassa-319	21	27	performed	perform	VERB
ijassa-319	21	28	on	on	ADP
ijassa-319	21	29	glass	glass	NOUN
ijassa-319	21	30	surfaces	surface	NOUN
ijassa-319	21	31	.	.	PUNCT
ijassa-319	22	1	the	the	DET
ijassa-319	22	2	main	main	ADJ
ijassa-319	22	3	process	process	NOUN
ijassa-319	22	4	steps	step	NOUN
ijassa-319	22	5	of	of	ADP
ijassa-319	22	6	laser	laser	NOUN
ijassa-319	22	7	direct	direct	ADJ
ijassa-319	22	8	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	22	9	with	with	ADP
ijassa-319	22	10	the	the	DET
ijassa-319	22	11	sample	sample	NOUN
ijassa-319	22	12	are	be	AUX
ijassa-319	22	13	shown	show	VERB
ijassa-319	22	14	in	in	ADP
ijassa-319	22	15	fig	fig	NOUN
ijassa-319	22	16	.	.	PUNCT
ijassa-319	23	1	1	1	X
ijassa-319	23	2	.	.	X
ijassa-319	23	3	*	*	PUNCT
ijassa-319	23	4	national	national	ADJ
ijassa-319	23	5	natural	natural	ADJ
ijassa-319	23	6	science	science	PROPN
ijassa-319	23	7	foundation	foundation	PROPN
ijassa-319	23	8	of	of	ADP
ijassa-319	23	9	china	china	PROPN
ijassa-319	23	10	(	(	PUNCT
ijassa-319	23	11	grant	grant	PROPN
ijassa-319	23	12	no.50775169	no.50775169	PROPN
ijassa-319	23	13	and	and	CCONJ
ijassa-319	23	14	no.60537050	no.60537050	PROPN
ijassa-319	23	15	)	)	PUNCT
ijassa-319	23	16	advances	advance	NOUN
ijassa-319	23	17	in	in	ADP
ijassa-319	23	18	systems	system	NOUN
ijassa-319	23	19	science	science	NOUN
ijassa-319	23	20	and	and	CCONJ
ijassa-319	23	21	applications	application	NOUN
ijassa-319	23	22	(	(	PUNCT
ijassa-319	23	23	2011	2011	NUM
ijassa-319	23	24	)	)	PUNCT
ijassa-319	23	25	,	,	PUNCT
ijassa-319	23	26	vol.11	vol.11	PROPN
ijassa-319	23	27	,	,	PUNCT
ijassa-319	23	28	no.3	no.3	NOUN
ijassa-319	23	29	-	-	SYM
ijassa-319	23	30	4	4	NUM
ijassa-319	23	31	271	271	NUM
ijassa-319	23	32	1	1	NUM
ijassa-319	23	33	2	2	NUM
ijassa-319	23	34	3	3	NUM
ijassa-319	23	35	4	4	NUM
ijassa-319	23	36	laser	laser	NOUN
ijassa-319	23	37	beam	beam	NOUN
ijassa-319	23	38	is	be	AUX
ijassa-319	23	39	irradiated	irradiate	VERB
ijassa-319	23	40	on	on	ADP
ijassa-319	23	41	substrate	substrate	NOUN
ijassa-319	23	42	through	through	ADP
ijassa-319	23	43	a	a	DET
ijassa-319	23	44	mask	mask	NOUN
ijassa-319	23	45	photonic	photonic	ADJ
ijassa-319	23	46	energy	energy	NOUN
ijassa-319	23	47	is	be	AUX
ijassa-319	23	48	absorbed	absorb	VERB
ijassa-319	23	49	and	and	CCONJ
ijassa-319	23	50	ionic	ionic	ADJ
ijassa-319	23	51	bonding	bonding	NOUN
ijassa-319	23	52	is	be	AUX
ijassa-319	23	53	destroyed	destroy	VERB
ijassa-319	23	54	material	material	NOUN
ijassa-319	23	55	particles	particle	NOUN
ijassa-319	23	56	spray	spray	VERB
ijassa-319	23	57	out	out	ADP
ijassa-319	23	58	and	and	CCONJ
ijassa-319	23	59	redeposit	redeposit	NOUN
ijassa-319	23	60	around	around	ADP
ijassa-319	23	61	micro	micro	ADJ
ijassa-319	23	62	structure	structure	NOUN
ijassa-319	23	63	is	be	AUX
ijassa-319	23	64	shaped	shape	VERB
ijassa-319	23	65	fig.1	fig.1	PROPN
ijassa-319	23	66	.	.	PUNCT
ijassa-319	24	1	the	the	DET
ijassa-319	24	2	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	24	3	steps	step	NOUN
ijassa-319	24	4	of	of	ADP
ijassa-319	24	5	157	157	NUM
ijassa-319	24	6	nm	nm	ADJ
ijassa-319	24	7	laser	laser	NOUN
ijassa-319	24	8	process	process	NOUN
ijassa-319	24	9	in	in	ADP
ijassa-319	24	10	this	this	DET
ijassa-319	24	11	study	study	NOUN
ijassa-319	24	12	,	,	PUNCT
ijassa-319	24	13	preliminary	preliminary	ADJ
ijassa-319	24	14	research	research	NOUN
ijassa-319	24	15	on	on	ADP
ijassa-319	24	16	micro	micro	NOUN
ijassa-319	24	17	-	-	NOUN
ijassa-319	24	18	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	24	19	of	of	ADP
ijassa-319	24	20	157	157	NUM
ijassa-319	24	21	nm	nm	ADJ
ijassa-319	24	22	duv	duv	PROPN
ijassa-319	24	23	laser	laser	NOUN
ijassa-319	24	24	was	be	AUX
ijassa-319	24	25	performed	perform	VERB
ijassa-319	24	26	.	.	PUNCT
ijassa-319	25	1	the	the	DET
ijassa-319	25	2	main	main	ADJ
ijassa-319	25	3	aim	aim	NOUN
ijassa-319	25	4	of	of	ADP
ijassa-319	25	5	those	those	DET
ijassa-319	25	6	researches	research	NOUN
ijassa-319	25	7	is	be	AUX
ijassa-319	25	8	to	to	PART
ijassa-319	25	9	investigate	investigate	VERB
ijassa-319	25	10	the	the	DET
ijassa-319	25	11	micro	micro	ADJ
ijassa-319	25	12	-	-	ADJ
ijassa-319	25	13	processing	processing	ADJ
ijassa-319	25	14	performance	performance	NOUN
ijassa-319	25	15	of	of	ADP
ijassa-319	25	16	157	157	NUM
ijassa-319	25	17	nm	nm	PRON
ijassa-319	25	18	laser.influence	laser.influence	NOUN
ijassa-319	25	19	of	of	ADP
ijassa-319	25	20	laser	laser	NOUN
ijassa-319	25	21	process	process	NOUN
ijassa-319	25	22	parameters	parameter	NOUN
ijassa-319	25	23	on	on	ADP
ijassa-319	25	24	surface	surface	NOUN
ijassa-319	25	25	qulity	qulity	NOUN
ijassa-319	25	26	was	be	AUX
ijassa-319	25	27	investigated	investigate	VERB
ijassa-319	25	28	.	.	PUNCT
ijassa-319	26	1	3d	3d	PROPN
ijassa-319	26	2	micro	micro	PROPN
ijassa-319	26	3	structures	structure	NOUN
ijassa-319	26	4	produced	produce	VERB
ijassa-319	26	5	by	by	ADP
ijassa-319	26	6	duv	duv	PROPN
ijassa-319	26	7	laser	laser	PROPN
ijassa-319	26	8	and	and	CCONJ
ijassa-319	26	9	nc	nc	PROPN
ijassa-319	26	10	process	process	NOUN
ijassa-319	26	11	,	,	PUNCT
ijassa-319	26	12	are	be	AUX
ijassa-319	26	13	demonstrated	demonstrate	VERB
ijassa-319	26	14	.	.	PUNCT
ijassa-319	27	1	2.duv	2.duv	ADJ
ijassa-319	27	2	laser	laser	NOUN
ijassa-319	27	3	micromachining	micromachine	VERB
ijassa-319	27	4	system	system	NOUN
ijassa-319	27	5	a	a	DET
ijassa-319	27	6	dual	dual	ADJ
ijassa-319	27	7	-	-	PUNCT
ijassa-319	27	8	laser	laser	NOUN
ijassa-319	27	9	system	system	NOUN
ijassa-319	27	10	(	(	PUNCT
ijassa-319	27	11	m2000	m2000	NOUN
ijassa-319	27	12	:	:	PUNCT
ijassa-319	27	13	dual	dual	ADJ
ijassa-319	27	14	laser	laser	NOUN
ijassa-319	27	15	processing	processing	NOUN
ijassa-319	27	16	tool	tool	NOUN
ijassa-319	27	17	)	)	PUNCT
ijassa-319	27	18	manufactured	manufacture	VERB
ijassa-319	27	19	by	by	ADP
ijassa-319	27	20	exitech	exitech	PROPN
ijassa-319	27	21	ltd	ltd	PROPN
ijassa-319	27	22	of	of	ADP
ijassa-319	27	23	england	england	PROPN
ijassa-319	27	24	was	be	AUX
ijassa-319	27	25	used	use	VERB
ijassa-319	27	26	.	.	PUNCT
ijassa-319	28	1	the	the	DET
ijassa-319	28	2	system	system	NOUN
ijassa-319	28	3	is	be	AUX
ijassa-319	28	4	adaptive	adaptive	ADJ
ijassa-319	28	5	to	to	ADP
ijassa-319	28	6	wide	wide	ADJ
ijassa-319	28	7	variety	variety	NOUN
ijassa-319	28	8	of	of	ADP
ijassa-319	28	9	laser	laser	NOUN
ijassa-319	28	10	processing	processing	NOUN
ijassa-319	28	11	requirements	requirement	NOUN
ijassa-319	28	12	,	,	PUNCT
ijassa-319	28	13	based	base	VERB
ijassa-319	28	14	around	around	ADP
ijassa-319	28	15	uv	uv	NOUN
ijassa-319	28	16	laser	laser	NOUN
ijassa-319	28	17	materials	material	NOUN
ijassa-319	28	18	processing	processing	NOUN
ijassa-319	28	19	.	.	PUNCT
ijassa-319	29	1	two	two	NUM
ijassa-319	29	2	laser	laser	NOUN
ijassa-319	29	3	sources	source	NOUN
ijassa-319	29	4	are	be	AUX
ijassa-319	29	5	fitted	fit	VERB
ijassa-319	29	6	to	to	ADP
ijassa-319	29	7	the	the	DET
ijassa-319	29	8	m2000	m2000	NOUN
ijassa-319	29	9	.	.	PUNCT
ijassa-319	30	1	in	in	ADP
ijassa-319	30	2	one	one	NUM
ijassa-319	30	3	case	case	NOUN
ijassa-319	30	4	the	the	DET
ijassa-319	30	5	beam	beam	NOUN
ijassa-319	30	6	from	from	ADP
ijassa-319	30	7	a	a	DET
ijassa-319	30	8	high	high	ADJ
ijassa-319	30	9	repetition	repetition	NOUN
ijassa-319	30	10	rate	rate	NOUN
ijassa-319	30	11	uv	uv	PROPN
ijassa-319	30	12	dpss	dpss	PROPN
ijassa-319	30	13	laser	laser	NOUN
ijassa-319	30	14	operating	operate	VERB
ijassa-319	30	15	at	at	ADP
ijassa-319	30	16	355	355	NUM
ijassa-319	30	17	nm	nm	NOUN
ijassa-319	30	18	illuminates	illuminate	VERB
ijassa-319	30	19	an	an	DET
ijassa-319	30	20	aperture	aperture	NOUN
ijassa-319	30	21	.	.	PUNCT
ijassa-319	31	1	this	this	PRON
ijassa-319	31	2	is	be	AUX
ijassa-319	31	3	then	then	ADV
ijassa-319	31	4	imaged	image	VERB
ijassa-319	31	5	onto	onto	ADP
ijassa-319	31	6	the	the	DET
ijassa-319	31	7	workpiece	workpiece	NOUN
ijassa-319	31	8	using	use	VERB
ijassa-319	31	9	a	a	DET
ijassa-319	31	10	high	high	ADJ
ijassa-319	31	11	resolution	resolution	NOUN
ijassa-319	31	12	projection	projection	NOUN
ijassa-319	31	13	lens	len	NOUN
ijassa-319	31	14	.	.	PUNCT
ijassa-319	32	1	in	in	ADP
ijassa-319	32	2	the	the	DET
ijassa-319	32	3	other	other	ADJ
ijassa-319	32	4	case	case	NOUN
ijassa-319	32	5	an	an	DET
ijassa-319	32	6	f2	f2	PROPN
ijassa-319	32	7	laser	laser	NOUN
ijassa-319	32	8	is	be	AUX
ijassa-319	32	9	fitted	fit	VERB
ijassa-319	32	10	which	which	PRON
ijassa-319	32	11	operates	operate	VERB
ijassa-319	32	12	at	at	ADP
ijassa-319	32	13	a	a	DET
ijassa-319	32	14	wavelength	wavelength	NOUN
ijassa-319	32	15	of	of	ADP
ijassa-319	32	16	157	157	NUM
ijassa-319	32	17	nm	nm	NOUN
ijassa-319	32	18	.	.	PUNCT
ijassa-319	33	1	the	the	DET
ijassa-319	33	2	beam	beam	NOUN
ijassa-319	33	3	from	from	ADP
ijassa-319	33	4	this	this	PRON
ijassa-319	33	5	is	be	AUX
ijassa-319	33	6	imaged	image	VERB
ijassa-319	33	7	onto	onto	ADP
ijassa-319	33	8	the	the	DET
ijassa-319	33	9	workpiece	workpiece	NOUN
ijassa-319	33	10	using	use	VERB
ijassa-319	33	11	a	a	DET
ijassa-319	33	12	high	high	ADJ
ijassa-319	33	13	resolution	resolution	NOUN
ijassa-319	33	14	reflective	reflective	ADJ
ijassa-319	33	15	lens	len	NOUN
ijassa-319	33	16	.	.	PUNCT
ijassa-319	34	1	fig	fig	NOUN
ijassa-319	34	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	35	1	2	2	NUM
ijassa-319	35	2	illustrates	illustrate	VERB
ijassa-319	35	3	schematic	schematic	ADJ
ijassa-319	35	4	of	of	ADP
ijassa-319	35	5	dual	dual	ADJ
ijassa-319	35	6	-	-	PUNCT
ijassa-319	35	7	laser	laser	NOUN
ijassa-319	35	8	precision	precision	NOUN
ijassa-319	35	9	micro	micro	NOUN
ijassa-319	35	10	-	-	NOUN
ijassa-319	35	11	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	35	12	system	system	NOUN
ijassa-319	35	13	..	..	PUNCT
ijassa-319	36	1	the	the	DET
ijassa-319	36	2	157	157	NUM
ijassa-319	36	3	nm	nm	NOUN
ijassa-319	36	4	laser	laser	NOUN
ijassa-319	36	5	source	source	NOUN
ijassa-319	36	6	is	be	AUX
ijassa-319	36	7	the	the	DET
ijassa-319	36	8	model	model	NOUN
ijassa-319	36	9	m-100	m-100	PUNCT
ijassa-319	36	10	manufactured	manufacture	VERB
ijassa-319	36	11	by	by	ADP
ijassa-319	36	12	tui	tui	PROPN
ijassa-319	36	13	laser	laser	PROPN
ijassa-319	36	14	of	of	ADP
ijassa-319	36	15	germany	germany	PROPN
ijassa-319	36	16	.	.	PUNCT
ijassa-319	37	1	the	the	DET
ijassa-319	37	2	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	37	3	duration	duration	NOUN
ijassa-319	37	4	is	be	AUX
ijassa-319	37	5	20ns	20ns	ADJ
ijassa-319	37	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	37	7	and	and	CCONJ
ijassa-319	37	8	the	the	DET
ijassa-319	37	9	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	37	10	repetition	repetition	NOUN
ijassa-319	37	11	rate	rate	NOUN
ijassa-319	37	12	is	be	AUX
ijassa-319	37	13	100hz	100hz	ADJ
ijassa-319	37	14	.	.	PUNCT
ijassa-319	38	1	the	the	DET
ijassa-319	38	2	output	output	NOUN
ijassa-319	38	3	of	of	ADP
ijassa-319	38	4	the	the	DET
ijassa-319	38	5	157	157	NUM
ijassa-319	38	6	nm	nm	NOUN
ijassa-319	38	7	laser	laser	NOUN
ijassa-319	38	8	source	source	NOUN
ijassa-319	38	9	is	be	AUX
ijassa-319	38	10	1.5w	1.5w	NUM
ijassa-319	38	11	,	,	PUNCT
ijassa-319	38	12	and	and	CCONJ
ijassa-319	38	13	the	the	DET
ijassa-319	38	14	laser	laser	NOUN
ijassa-319	38	15	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	38	16	energy	energy	NOUN
ijassa-319	38	17	is	be	AUX
ijassa-319	38	18	25mj	25mj	NOUN
ijassa-319	38	19	.	.	PUNCT
ijassa-319	39	1	due	due	ADP
ijassa-319	39	2	to	to	ADP
ijassa-319	39	3	the	the	DET
ijassa-319	39	4	high	high	ADJ
ijassa-319	39	5	absorption	absorption	NOUN
ijassa-319	39	6	of	of	ADP
ijassa-319	39	7	157	157	NUM
ijassa-319	39	8	nm	nm	ADJ
ijassa-319	39	9	radiation	radiation	NOUN
ijassa-319	39	10	in	in	ADP
ijassa-319	39	11	the	the	DET
ijassa-319	39	12	atmosphere	atmosphere	NOUN
ijassa-319	39	13	,	,	PUNCT
ijassa-319	39	14	at	at	ADP
ijassa-319	39	15	atmospheric	atmospheric	ADJ
ijassa-319	39	16	pressure	pressure	NOUN
ijassa-319	39	17	the	the	DET
ijassa-319	39	18	photon	photon	NOUN
ijassa-319	39	19	penetration	penetration	NOUN
ijassa-319	39	20	of	of	ADP
ijassa-319	39	21	o2	o2	PROPN
ijassa-319	39	22	is	be	AUX
ijassa-319	39	23	only	only	ADV
ijassa-319	39	24	~50μm	~50μm	VERB
ijassa-319	39	25	,	,	PUNCT
ijassa-319	39	26	the	the	DET
ijassa-319	39	27	entire	entire	ADJ
ijassa-319	39	28	beam	beam	NOUN
ijassa-319	39	29	path	path	NOUN
ijassa-319	39	30	from	from	ADP
ijassa-319	39	31	the	the	DET
ijassa-319	39	32	laser	laser	NOUN
ijassa-319	39	33	output	output	NOUN
ijassa-319	39	34	coupler	coupler	NOUN
ijassa-319	39	35	to	to	ADP
ijassa-319	39	36	the	the	DET
ijassa-319	39	37	sample	sample	NOUN
ijassa-319	39	38	was	be	AUX
ijassa-319	39	39	purged	purge	VERB
ijassa-319	39	40	with	with	ADP
ijassa-319	39	41	high	high	ADJ
ijassa-319	39	42	purity	purity	NOUN
ijassa-319	39	43	nitrogen	nitrogen	NOUN
ijassa-319	39	44	.	.	PUNCT
ijassa-319	40	1	the	the	DET
ijassa-319	40	2	purge	purge	NOUN
ijassa-319	40	3	gas	gas	NOUN
ijassa-319	40	4	escaped	escape	VERB
ijassa-319	40	5	from	from	ADP
ijassa-319	40	6	the	the	DET
ijassa-319	40	7	bottom	bottom	NOUN
ijassa-319	40	8	of	of	ADP
ijassa-319	40	9	the	the	DET
ijassa-319	40	10	schwarzschild	schwarzschild	NOUN
ijassa-319	40	11	lens	lens	NOUN
ijassa-319	40	12	onto	onto	ADP
ijassa-319	40	13	the	the	DET
ijassa-319	40	14	sample	sample	NOUN
ijassa-319	40	15	.	.	PUNCT
ijassa-319	41	1	the	the	DET
ijassa-319	41	2	purging	purging	NOUN
ijassa-319	41	3	also	also	ADV
ijassa-319	41	4	helps	help	VERB
ijassa-319	41	5	prevent	prevent	VERB
ijassa-319	41	6	contamination	contamination	NOUN
ijassa-319	41	7	of	of	ADP
ijassa-319	41	8	the	the	DET
ijassa-319	41	9	optics	optic	NOUN
ijassa-319	41	10	by	by	ADP
ijassa-319	41	11	deposited	deposit	VERB
ijassa-319	41	12	films	film	NOUN
ijassa-319	41	13	from	from	ADP
ijassa-319	41	14	airborne	airborne	ADJ
ijassa-319	41	15	organic	organic	ADJ
ijassa-319	41	16	contaminants	contaminant	NOUN
ijassa-319	41	17	that	that	PRON
ijassa-319	41	18	are	be	AUX
ijassa-319	41	19	photo	photo	NOUN
ijassa-319	41	20	-	-	PUNCT
ijassa-319	41	21	dissociated	dissociate	VERB
ijassa-319	41	22	by	by	ADP
ijassa-319	41	23	157	157	NUM
ijassa-319	41	24	nm	nm	ADJ
ijassa-319	41	25	radiation	radiation	NOUN
ijassa-319	41	26	.	.	PUNCT
ijassa-319	42	1	272	272	NUM
ijassa-319	42	2	xu	xu	NOUN
ijassa-319	42	3	:	:	PUNCT
ijassa-319	42	4	micro	micro	ADJ
ijassa-319	42	5	-	-	ADJ
ijassa-319	42	6	manufacturing	manufacturing	ADJ
ijassa-319	42	7	technology	technology	NOUN
ijassa-319	42	8	using	use	VERB
ijassa-319	42	9	duv	duv	PROPN
ijassa-319	42	10	laser	laser	NOUN
ijassa-319	42	11	and	and	CCONJ
ijassa-319	42	12	nc	nc	PROPN
ijassa-319	42	13	the	the	DET
ijassa-319	42	14	workpiece	workpiece	NOUN
ijassa-319	42	15	mounted	mount	VERB
ijassa-319	42	16	on	on	ADP
ijassa-319	42	17	the	the	DET
ijassa-319	42	18	worktable	worktable	NOUN
ijassa-319	42	19	can	can	AUX
ijassa-319	42	20	be	be	AUX
ijassa-319	42	21	moved	move	VERB
ijassa-319	42	22	by	by	ADP
ijassa-319	42	23	4	4	NUM
ijassa-319	42	24	-	-	PUNCT
ijassa-319	42	25	axis	axis	NOUN
ijassa-319	42	26	(	(	PUNCT
ijassa-319	42	27	x	x	NOUN
ijassa-319	42	28	,	,	PUNCT
ijassa-319	42	29	y	y	PROPN
ijassa-319	42	30	,	,	PUNCT
ijassa-319	42	31	z	z	NOUN
ijassa-319	42	32	and	and	CCONJ
ijassa-319	42	33	r	r	NOUN
ijassa-319	42	34	)	)	PUNCT
ijassa-319	42	35	nc	nc	PROPN
ijassa-319	42	36	stages	stage	NOUN
ijassa-319	42	37	.	.	PUNCT
ijassa-319	43	1	motions	motion	NOUN
ijassa-319	43	2	of	of	ADP
ijassa-319	43	3	the	the	DET
ijassa-319	43	4	stages	stage	NOUN
ijassa-319	43	5	and	and	CCONJ
ijassa-319	43	6	the	the	DET
ijassa-319	43	7	firing	firing	NOUN
ijassa-319	43	8	of	of	ADP
ijassa-319	43	9	the	the	DET
ijassa-319	43	10	laser	laser	NOUN
ijassa-319	43	11	are	be	AUX
ijassa-319	43	12	coordinated	coordinate	VERB
ijassa-319	43	13	by	by	ADP
ijassa-319	43	14	the	the	DET
ijassa-319	43	15	aerotech	aerotech	PROPN
ijassa-319	43	16	unidex	unidex	NOUN
ijassa-319	43	17	500	500	NUM
ijassa-319	43	18	motion	motion	NOUN
ijassa-319	43	19	controller	controller	NOUN
ijassa-319	43	20	.	.	PUNCT
ijassa-319	44	1	providing	provide	VERB
ijassa-319	44	2	up	up	ADP
ijassa-319	44	3	to	to	PART
ijassa-319	44	4	four	four	NUM
ijassa-319	44	5	axes	axis	NOUN
ijassa-319	44	6	of	of	ADP
ijassa-319	44	7	synchronized	synchronize	VERB
ijassa-319	44	8	servo	servo	NOUN
ijassa-319	44	9	control	control	NOUN
ijassa-319	44	10	and	and	CCONJ
ijassa-319	44	11	four	four	NUM
ijassa-319	44	12	axes	axis	NOUN
ijassa-319	44	13	of	of	ADP
ijassa-319	44	14	stepper	stepper	NOUN
ijassa-319	44	15	control	control	NOUN
ijassa-319	44	16	,	,	PUNCT
ijassa-319	44	17	the	the	DET
ijassa-319	44	18	unidex	unidex	NOUN
ijassa-319	44	19	500	500	NUM
ijassa-319	44	20	supports	support	VERB
ijassa-319	44	21	the	the	DET
ijassa-319	44	22	motion	motion	NOUN
ijassa-319	44	23	requirements	requirement	NOUN
ijassa-319	44	24	of	of	ADP
ijassa-319	44	25	today	today	NOUN
ijassa-319	44	26	’s	’s	PART
ijassa-319	44	27	most	most	ADV
ijassa-319	44	28	demanding	demanding	ADJ
ijassa-319	44	29	machines	machine	NOUN
ijassa-319	44	30	.	.	PUNCT
ijassa-319	45	1	the	the	DET
ijassa-319	45	2	parameters	parameter	NOUN
ijassa-319	45	3	of	of	ADP
ijassa-319	45	4	the	the	DET
ijassa-319	45	5	motion	motion	NOUN
ijassa-319	45	6	control	control	NOUN
ijassa-319	45	7	stages	stage	NOUN
ijassa-319	45	8	are	be	AUX
ijassa-319	45	9	shown	show	VERB
ijassa-319	45	10	in	in	ADP
ijassa-319	45	11	table	table	NOUN
ijassa-319	45	12	1	1	NUM
ijassa-319	45	13	,	,	PUNCT
ijassa-319	45	14	and	and	CCONJ
ijassa-319	45	15	fig	fig	NOUN
ijassa-319	45	16	.	.	PUNCT
ijassa-319	46	1	3	3	NUM
ijassa-319	46	2	shows	show	VERB
ijassa-319	46	3	the	the	DET
ijassa-319	46	4	schematic	schematic	ADJ
ijassa-319	46	5	of	of	ADP
ijassa-319	46	6	the	the	DET
ijassa-319	46	7	motion	motion	NOUN
ijassa-319	46	8	system	system	NOUN
ijassa-319	46	9	.	.	PUNCT
ijassa-319	47	1	fig.2	fig.2	PROPN
ijassa-319	47	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	48	1	schematic	schematic	ADJ
ijassa-319	48	2	of	of	ADP
ijassa-319	48	3	optical	optical	ADJ
ijassa-319	48	4	system	system	NOUN
ijassa-319	48	5	of	of	ADP
ijassa-319	48	6	duel	duel	NOUN
ijassa-319	48	7	laser	laser	NOUN
ijassa-319	48	8	process	process	NOUN
ijassa-319	48	9	tool	tool	NOUN
ijassa-319	48	10	fig.3	fig.3	PROPN
ijassa-319	48	11	.	.	PUNCT
ijassa-319	49	1	schematic	schematic	ADJ
ijassa-319	49	2	of	of	ADP
ijassa-319	49	3	the	the	DET
ijassa-319	49	4	motion	motion	NOUN
ijassa-319	49	5	control	control	NOUN
ijassa-319	49	6	stages	stage	NOUN
ijassa-319	49	7	table	table	NOUN
ijassa-319	49	8	1	1	NUM
ijassa-319	49	9	the	the	DET
ijassa-319	49	10	parameters	parameter	NOUN
ijassa-319	49	11	of	of	ADP
ijassa-319	49	12	the	the	DET
ijassa-319	49	13	aerotech	aerotech	NOUN
ijassa-319	49	14	motion	motion	NOUN
ijassa-319	49	15	control	control	NOUN
ijassa-319	49	16	stages	stage	VERB
ijassa-319	49	17	axis	axis	ADJ
ijassa-319	49	18	description	description	NOUN
ijassa-319	49	19	travel	travel	NOUN
ijassa-319	49	20	drive	drive	NOUN
ijassa-319	49	21	resolution	resolution	NOUN
ijassa-319	49	22	maximum	maximum	ADJ
ijassa-319	49	23	feedrate	feedrate	NOUN
ijassa-319	49	24	typical	typical	ADJ
ijassa-319	49	25	feedrate	feedrate	NOUN
ijassa-319	49	26	x	x	SYM
ijassa-319	49	27	x	x	SYM
ijassa-319	49	28	workpiece	workpiece	NOUN
ijassa-319	49	29	300	300	NUM
ijassa-319	49	30	mm	mm	NOUN
ijassa-319	49	31	ac	ac	PROPN
ijassa-319	49	32	linear	linear	PROPN
ijassa-319	49	33	motor	motor	PROPN
ijassa-319	49	34	0.5um	0.5um	PROPN
ijassa-319	49	35	60000mm	60000mm	NOUN
ijassa-319	49	36	/	/	SYM
ijassa-319	49	37	min	min	PROPN
ijassa-319	49	38	10000mm	10000mm	PROPN
ijassa-319	49	39	/	/	SYM
ijassa-319	49	40	min	min	PROPN
ijassa-319	49	41	y	y	PROPN
ijassa-319	49	42	y	y	PROPN
ijassa-319	49	43	workpiece	workpiece	NOUN
ijassa-319	49	44	300	300	NUM
ijassa-319	49	45	mm	mm	NOUN
ijassa-319	49	46	ac	ac	PROPN
ijassa-319	49	47	linear	linear	PROPN
ijassa-319	49	48	motor	motor	PROPN
ijassa-319	49	49	0.5um	0.5um	PROPN
ijassa-319	49	50	60000mm	60000mm	NOUN
ijassa-319	49	51	/	/	SYM
ijassa-319	49	52	min	min	PROPN
ijassa-319	49	53	10000mm	10000mm	PROPN
ijassa-319	49	54	/	/	SYM
ijassa-319	49	55	min	min	PROPN
ijassa-319	49	56	z	z	NOUN
ijassa-319	49	57	focus	focus	VERB
ijassa-319	49	58	10	10	NUM
ijassa-319	49	59	mm	mm	PROPN
ijassa-319	49	60	ac	ac	PROPN
ijassa-319	49	61	brushless	brushless	PROPN
ijassa-319	49	62	motor	motor	PROPN
ijassa-319	49	63	0.1um	0.1um	PROPN
ijassa-319	49	64	500mm	500mm	PROPN
ijassa-319	49	65	/	/	SYM
ijassa-319	49	66	min	min	PROPN
ijassa-319	49	67	250mm	250mm	PROPN
ijassa-319	49	68	/	/	SYM
ijassa-319	49	69	min	min	NOUN
ijassa-319	49	70	r	r	NOUN
ijassa-319	49	71	workpiece	workpiece	NOUN
ijassa-319	49	72	rotation	rotation	NOUN
ijassa-319	49	73	±45	±45	NOUN
ijassa-319	49	74	°	°	NUM
ijassa-319	49	75	ac	ac	PROPN
ijassa-319	49	76	brushless	brushless	PROPN
ijassa-319	49	77	motor	motor	NOUN
ijassa-319	49	78	0.8mdeg	0.8mdeg	NUM
ijassa-319	50	1	5rpm	5rpm	NUM
ijassa-319	50	2	1rpm	1rpm	NUM
ijassa-319	50	3	a	a	DET
ijassa-319	50	4	attenuator	attenuator	NOUN
ijassa-319	50	5	0	0	NUM
ijassa-319	50	6	-	-	SYM
ijassa-319	50	7	1	1	NUM
ijassa-319	50	8	stepper	stepper	NOUN
ijassa-319	50	9	motor	motor	NOUN
ijassa-319	50	10	0.01	0.01	NUM
ijassa-319	50	11	1	1	NUM
ijassa-319	50	12	/	/	SYM
ijassa-319	50	13	sec	sec	PROPN
ijassa-319	50	14	0.25	0.25	NUM
ijassa-319	50	15	/	/	SYM
ijassa-319	50	16	sec	sec	PROPN
ijassa-319	50	17	advances	advance	NOUN
ijassa-319	50	18	in	in	ADP
ijassa-319	50	19	systems	system	NOUN
ijassa-319	50	20	science	science	NOUN
ijassa-319	50	21	and	and	CCONJ
ijassa-319	50	22	applications	application	NOUN
ijassa-319	50	23	(	(	PUNCT
ijassa-319	50	24	2011	2011	NUM
ijassa-319	50	25	)	)	PUNCT
ijassa-319	50	26	,	,	PUNCT
ijassa-319	50	27	vol.11	vol.11	PROPN
ijassa-319	50	28	,	,	PUNCT
ijassa-319	50	29	no.3	no.3	NOUN
ijassa-319	50	30	-	-	SYM
ijassa-319	50	31	4	4	NUM
ijassa-319	50	32	273	273	NUM
ijassa-319	50	33	3.laser	3.laser	NUM
ijassa-319	50	34	micro	micro	NOUN
ijassa-319	50	35	-	-	NOUN
ijassa-319	50	36	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	50	37	experiments	experiment	NOUN
ijassa-319	50	38	3.1	3.1	NUM
ijassa-319	50	39	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	50	40	rates	rate	NOUN
ijassa-319	50	41	fig	fig	NOUN
ijassa-319	50	42	.	.	PUNCT
ijassa-319	51	1	4	4	NUM
ijassa-319	51	2	shows	show	VERB
ijassa-319	51	3	vuv	vuv	PROPN
ijassa-319	51	4	–	–	PUNCT
ijassa-319	51	5	uv	uv	NOUN
ijassa-319	51	6	transmission	transmission	NOUN
ijassa-319	51	7	spectra	spectra	NOUN
ijassa-319	51	8	of	of	ADP
ijassa-319	51	9	fused	fuse	VERB
ijassa-319	51	10	silica	silica	NOUN
ijassa-319	51	11	at	at	ADP
ijassa-319	51	12	room	room	NOUN
ijassa-319	51	13	temperature	temperature	NOUN
ijassa-319	51	14	.	.	PUNCT
ijassa-319	52	1	fused	fuse	VERB
ijassa-319	52	2	silica	silica	NOUN
ijassa-319	52	3	is	be	AUX
ijassa-319	52	4	relatively	relatively	ADV
ijassa-319	52	5	transparent	transparent	ADJ
ijassa-319	52	6	when	when	SCONJ
ijassa-319	52	7	laser	laser	NOUN
ijassa-319	52	8	wavelength	wavelength	NOUN
ijassa-319	52	9	is	be	AUX
ijassa-319	52	10	larger	large	ADJ
ijassa-319	52	11	than	than	ADP
ijassa-319	52	12	180	180	NUM
ijassa-319	52	13	nm	nm	NOUN
ijassa-319	52	14	.	.	PUNCT
ijassa-319	53	1	but	but	CCONJ
ijassa-319	53	2	the	the	DET
ijassa-319	53	3	transparency	transparency	NOUN
ijassa-319	53	4	decrease	decrease	NOUN
ijassa-319	53	5	dramatically	dramatically	ADV
ijassa-319	53	6	as	as	SCONJ
ijassa-319	53	7	the	the	DET
ijassa-319	53	8	wavelength	wavelength	NOUN
ijassa-319	53	9	is	be	AUX
ijassa-319	53	10	lower	low	ADJ
ijassa-319	53	11	than	than	ADP
ijassa-319	53	12	175	175	NUM
ijassa-319	53	13	nm	nm	NOUN
ijassa-319	53	14	.	.	PUNCT
ijassa-319	54	1	this	this	PRON
ijassa-319	54	2	means	mean	VERB
ijassa-319	54	3	that	that	SCONJ
ijassa-319	54	4	157	157	NUM
ijassa-319	54	5	nm	nm	ADJ
ijassa-319	54	6	laser	laser	NOUN
ijassa-319	54	7	beam	beam	NOUN
ijassa-319	54	8	can	can	AUX
ijassa-319	54	9	be	be	AUX
ijassa-319	54	10	better	well	ADV
ijassa-319	54	11	absorbed	absorb	VERB
ijassa-319	54	12	by	by	ADP
ijassa-319	54	13	fused	fuse	VERB
ijassa-319	54	14	silica	silica	NOUN
ijassa-319	54	15	.	.	PUNCT
ijassa-319	55	1	not	not	PART
ijassa-319	55	2	only	only	ADV
ijassa-319	55	3	is	be	AUX
ijassa-319	55	4	the	the	DET
ijassa-319	55	5	range	range	NOUN
ijassa-319	55	6	of	of	ADP
ijassa-319	55	7	materials	material	NOUN
ijassa-319	55	8	which	which	PRON
ijassa-319	55	9	can	can	AUX
ijassa-319	55	10	be	be	AUX
ijassa-319	55	11	machined	machine	VERB
ijassa-319	55	12	enlarged	enlarge	VERB
ijassa-319	55	13	by	by	ADP
ijassa-319	55	14	using	use	VERB
ijassa-319	55	15	157	157	NUM
ijassa-319	55	16	nm	nm	ADJ
ijassa-319	55	17	radiation	radiation	NOUN
ijassa-319	55	18	,	,	PUNCT
ijassa-319	55	19	but	but	CCONJ
ijassa-319	55	20	the	the	DET
ijassa-319	55	21	higher	high	ADJ
ijassa-319	55	22	machining	machining	NOUN
ijassa-319	55	23	quality	quality	NOUN
ijassa-319	55	24	can	can	AUX
ijassa-319	55	25	be	be	AUX
ijassa-319	55	26	achieved	achieve	VERB
ijassa-319	55	27	.	.	PUNCT
ijassa-319	56	1	in	in	ADP
ijassa-319	56	2	general	general	ADJ
ijassa-319	56	3	,	,	PUNCT
ijassa-319	56	4	the	the	DET
ijassa-319	56	5	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	56	6	rate	rate	NOUN
ijassa-319	56	7	is	be	AUX
ijassa-319	56	8	largely	largely	ADV
ijassa-319	56	9	affected	affect	VERB
ijassa-319	56	10	by	by	ADP
ijassa-319	56	11	absorption	absorption	NOUN
ijassa-319	56	12	coefficients	coefficient	NOUN
ijassa-319	56	13	α	α	PROPN
ijassa-319	56	14	of	of	ADP
ijassa-319	56	15	materials	material	NOUN
ijassa-319	56	16	and	and	CCONJ
ijassa-319	56	17	laser	laser	NOUN
ijassa-319	56	18	fluences	fluence	NOUN
ijassa-319	56	19	f.	f.	NOUN
ijassa-319	56	20	in	in	ADP
ijassa-319	56	21	the	the	DET
ijassa-319	56	22	157	157	NUM
ijassa-319	56	23	nm	nm	ADJ
ijassa-319	56	24	laser	laser	NOUN
ijassa-319	56	25	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	56	26	,	,	PUNCT
ijassa-319	56	27	the	the	DET
ijassa-319	56	28	material	material	NOUN
ijassa-319	56	29	removal	removal	NOUN
ijassa-319	56	30	is	be	AUX
ijassa-319	56	31	predominantly	predominantly	ADV
ijassa-319	56	32	photon	photon	NOUN
ijassa-319	56	33	-	-	PUNCT
ijassa-319	56	34	chemical	chemical	NOUN
ijassa-319	56	35	process	process	NOUN
ijassa-319	56	36	.	.	PUNCT
ijassa-319	57	1	wavelength（nm	wavelength（nm	PROPN
ijassa-319	57	2	）	）	PROPN
ijassa-319	57	3	tr	tr	VERB
ijassa-319	57	4	a	a	DET
ijassa-319	57	5	n	n	NOUN
ijassa-319	57	6	sm	sm	NOUN
ijassa-319	57	7	is	be	AUX
ijassa-319	57	8	si	si	X
ijassa-319	57	9	o	o	NOUN
ijassa-319	57	10	n	n	CCONJ
ijassa-319	57	11	（	（	NUM
ijassa-319	58	1	%	%	NOUN
ijassa-319	58	2	）	）	PUNCT
ijassa-319	59	1	100	100	NUM
ijassa-319	59	2	80	80	NUM
ijassa-319	59	3	40	40	NUM
ijassa-319	59	4	60	60	NUM
ijassa-319	59	5	20	20	NUM
ijassa-319	59	6	0	0	NUM
ijassa-319	59	7	140	140	NUM
ijassa-319	59	8	150	150	NUM
ijassa-319	59	9	170160	170160	NUM
ijassa-319	59	10	200190180	200190180	NUM
ijassa-319	59	11	fig.4	fig.4	PROPN
ijassa-319	59	12	.	.	PUNCT
ijassa-319	60	1	uv	uv	NOUN
ijassa-319	60	2	transmission	transmission	NOUN
ijassa-319	60	3	of	of	ADP
ijassa-319	60	4	fused	fuse	VERB
ijassa-319	60	5	silica	silica	NOUN
ijassa-319	60	6	for	for	ADP
ijassa-319	60	7	incident	incident	NOUN
ijassa-319	60	8	laser	laser	NOUN
ijassa-319	60	9	fluences	fluence	NOUN
ijassa-319	60	10	just	just	ADV
ijassa-319	60	11	above	above	ADP
ijassa-319	60	12	an	an	DET
ijassa-319	60	13	ablative	ablative	ADJ
ijassa-319	60	14	threshold	threshold	NOUN
ijassa-319	60	15	value	value	NOUN
ijassa-319	60	16	ft	ft	NOUN
ijassa-319	60	17	,	,	PUNCT
ijassa-319	60	18	the	the	DET
ijassa-319	60	19	etch	etch	NOUN
ijassa-319	60	20	depth	depth	NOUN
ijassa-319	60	21	per	per	ADP
ijassa-319	60	22	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	60	23	t	t	PROPN
ijassa-319	60	24	is	be	AUX
ijassa-319	60	25	approximately	approximately	ADV
ijassa-319	60	26	:	:	PUNCT
ijassa-319	60	27	⎥	⎥	PROPN
ijassa-319	61	1	⎦	⎦	NOUN
ijassa-319	61	2	⎤	⎤	ADJ
ijassa-319	61	3	⎢	⎢	NOUN
ijassa-319	61	4	⎣	⎣	ADJ
ijassa-319	61	5	⎡	⎡	NOUN
ijassa-319	61	6	=	=	PUNCT
ijassa-319	61	7	tf	tf	INTJ
ijassa-319	61	8	ft	ft	PUNCT
ijassa-319	61	9	ln1	ln1	PROPN
ijassa-319	61	10	α	α	PROPN
ijassa-319	61	11	(	(	PUNCT
ijassa-319	61	12	1	1	NUM
ijassa-319	61	13	)	)	PUNCT
ijassa-319	61	14	for	for	ADP
ijassa-319	61	15	a	a	DET
ijassa-319	61	16	laser	laser	NOUN
ijassa-319	61	17	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	61	18	duration	duration	NOUN
ijassa-319	61	19	τ	τ	X
ijassa-319	61	20	giving	give	VERB
ijassa-319	61	21	a	a	DET
ijassa-319	61	22	temperature	temperature	NOUN
ijassa-319	61	23	rise	rise	NOUN
ijassa-319	61	24	δt	δt	NOUN
ijassa-319	61	25	to	to	ADP
ijassa-319	61	26	the	the	DET
ijassa-319	61	27	vaporization	vaporization	NOUN
ijassa-319	61	28	point	point	NOUN
ijassa-319	61	29	of	of	ADP
ijassa-319	61	30	a	a	DET
ijassa-319	61	31	material	material	NOUN
ijassa-319	61	32	with	with	ADP
ijassa-319	61	33	density	density	NOUN
ijassa-319	61	34	ρ	ρ	PROPN
ijassa-319	61	35	,	,	PUNCT
ijassa-319	61	36	specific	specific	ADJ
ijassa-319	61	37	heat	heat	NOUN
ijassa-319	61	38	cp	cp	NOUN
ijassa-319	61	39	and	and	CCONJ
ijassa-319	61	40	reflectivity	reflectivity	NOUN
ijassa-319	61	41	r	r	NOUN
ijassa-319	61	42	of	of	ADP
ijassa-319	61	43	the	the	DET
ijassa-319	61	44	surface	surface	NOUN
ijassa-319	61	45	at	at	ADP
ijassa-319	61	46	the	the	DET
ijassa-319	61	47	laser	laser	NOUN
ijassa-319	61	48	wavelength	wavelength	NOUN
ijassa-319	61	49	,	,	PUNCT
ijassa-319	61	50	the	the	DET
ijassa-319	61	51	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	61	52	threshold	threshold	NOUN
ijassa-319	61	53	is	be	AUX
ijassa-319	61	54	given	give	VERB
ijassa-319	61	55	by	by	ADP
ijassa-319	61	56	:	:	PUNCT
ijassa-319	61	57	(	(	PUNCT
ijassa-319	61	58	)	)	PUNCT
ijassa-319	61	59	r	r	NOUN
ijassa-319	61	60	ct	ct	NOUN
ijassa-319	61	61	f	f	PROPN
ijassa-319	61	62	p	p	PROPN
ijassa-319	61	63	t	t	PROPN
ijassa-319	61	64	−	−	PROPN
ijassa-319	61	65	δ	δ	NOUN
ijassa-319	61	66	=	=	SYM
ijassa-319	61	67	1	1	NUM
ijassa-319	61	68	1	1	NUM
ijassa-319	61	69	ρ	ρ	NUM
ijassa-319	61	70	α	α	PROPN
ijassa-319	61	71	(	(	PUNCT
ijassa-319	61	72	2	2	NUM
ijassa-319	61	73	)	)	PUNCT
ijassa-319	61	74	for	for	ADP
ijassa-319	61	75	photon	photon	NOUN
ijassa-319	61	76	absorption	absorption	NOUN
ijassa-319	61	77	,	,	PUNCT
ijassa-319	61	78	the	the	DET
ijassa-319	61	79	penetration	penetration	NOUN
ijassa-319	61	80	depth	depth	NOUN
ijassa-319	61	81	of	of	ADP
ijassa-319	61	82	1	1	NUM
ijassa-319	61	83	/	/	SYM
ijassa-319	61	84	α	α	NOUN
ijassa-319	61	85	is	be	AUX
ijassa-319	61	86	dependent	dependent	ADJ
ijassa-319	61	87	on	on	ADP
ijassa-319	61	88	laser	laser	NOUN
ijassa-319	61	89	wavelength	wavelength	NOUN
ijassa-319	61	90	,	,	PUNCT
ijassa-319	61	91	bandgap	bandgap	VERB
ijassa-319	61	92	energy	energy	NOUN
ijassa-319	61	93	of	of	ADP
ijassa-319	61	94	materials	material	NOUN
ijassa-319	61	95	and	and	CCONJ
ijassa-319	61	96	so	so	ADV
ijassa-319	61	97	on	on	ADV
ijassa-319	61	98	.	.	PUNCT
ijassa-319	62	1	the	the	PRON
ijassa-319	62	2	higher	high	ADJ
ijassa-319	62	3	the	the	DET
ijassa-319	62	4	photon	photon	NOUN
ijassa-319	62	5	absorption	absorption	NOUN
ijassa-319	62	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	62	7	the	the	PRON
ijassa-319	62	8	smaller	small	ADJ
ijassa-319	62	9	the	the	DET
ijassa-319	62	10	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	62	11	threshold	threshold	NOUN
ijassa-319	62	12	and	and	CCONJ
ijassa-319	62	13	etch	etch	VERB
ijassa-319	62	14	depth	depth	NOUN
ijassa-319	62	15	per	per	ADP
ijassa-319	62	16	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	62	17	(	(	PUNCT
ijassa-319	62	18	eqs	eqs	X
ijassa-319	62	19	.	.	PROPN
ijassa-319	62	20	1	1	NUM
ijassa-319	62	21	and	and	CCONJ
ijassa-319	62	22	2	2	NUM
ijassa-319	62	23	)	)	PUNCT
ijassa-319	62	24	.	.	PUNCT
ijassa-319	63	1	as	as	ADP
ijassa-319	63	2	for	for	ADP
ijassa-319	63	3	fused	fused	ADJ
ijassa-319	63	4	silica	silica	NOUN
ijassa-319	63	5	ablated	ablate	VERB
ijassa-319	63	6	by	by	ADP
ijassa-319	63	7	157	157	NUM
ijassa-319	63	8	nm	nm	ADJ
ijassa-319	63	9	laser	laser	NOUN
ijassa-319	63	10	,	,	PUNCT
ijassa-319	63	11	the	the	DET
ijassa-319	63	12	penetration	penetration	NOUN
ijassa-319	63	13	depth	depth	NOUN
ijassa-319	63	14	is	be	AUX
ijassa-319	63	15	about	about	ADV
ijassa-319	63	16	59	59	NUM
ijassa-319	63	17	nm	nm	NOUN
ijassa-319	63	18	,	,	PUNCT
ijassa-319	63	19	and	and	CCONJ
ijassa-319	63	20	the	the	DET
ijassa-319	63	21	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	63	22	threshold	threshold	NOUN
ijassa-319	63	23	of	of	ADP
ijassa-319	63	24	ft	ft	NOUN
ijassa-319	63	25	is	be	AUX
ijassa-319	63	26	about	about	ADV
ijassa-319	63	27	1.0j	1.0j	NUM
ijassa-319	63	28	/	/	SYM
ijassa-319	63	29	cm2	cm2	NOUN
ijassa-319	63	30	.	.	NOUN
ijassa-319	63	31	through	through	ADP
ijassa-319	63	32	calculation	calculation	NOUN
ijassa-319	63	33	,	,	PUNCT
ijassa-319	63	34	the	the	DET
ijassa-319	63	35	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	63	36	depth	depth	NOUN
ijassa-319	63	37	is	be	AUX
ijassa-319	63	38	about	about	ADV
ijassa-319	63	39	81	81	NUM
ijassa-319	63	40	nm	nm	NOUN
ijassa-319	63	41	per	per	ADP
ijassa-319	63	42	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	63	43	as	as	ADP
ijassa-319	63	44	fluence	fluence	NOUN
ijassa-319	63	45	of	of	ADP
ijassa-319	63	46	157	157	NUM
ijassa-319	63	47	nm	nm	NOUN
ijassa-319	63	48	laser	laser	NOUN
ijassa-319	63	49	was	be	AUX
ijassa-319	63	50	4j	4j	NOUN
ijassa-319	63	51	/	/	SYM
ijassa-319	63	52	cm2	cm2	NOUN
ijassa-319	63	53	.	.	PROPN
ijassa-319	63	54	in	in	ADP
ijassa-319	63	55	this	this	DET
ijassa-319	63	56	study	study	NOUN
ijassa-319	63	57	,	,	PUNCT
ijassa-319	63	58	we	we	PRON
ijassa-319	63	59	also	also	ADV
ijassa-319	63	60	measured	measure	VERB
ijassa-319	63	61	laser	laser	NOUN
ijassa-319	63	62	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	63	63	depth	depth	NOUN
ijassa-319	63	64	under	under	ADP
ijassa-319	63	65	conditions	condition	NOUN
ijassa-319	63	66	with	with	ADP
ijassa-319	63	67	different	different	ADJ
ijassa-319	63	68	laser	laser	NOUN
ijassa-319	63	69	pulses	pulse	NOUN
ijassa-319	63	70	and	and	CCONJ
ijassa-319	63	71	constant	constant	ADJ
ijassa-319	63	72	energy	energy	NOUN
ijassa-319	63	73	(	(	PUNCT
ijassa-319	63	74	f=4j	f=4j	PROPN
ijassa-319	63	75	/	/	SYM
ijassa-319	63	76	cm2	cm2	NOUN
ijassa-319	63	77	)	)	PUNCT
ijassa-319	63	78	,	,	PUNCT
ijassa-319	63	79	as	as	SCONJ
ijassa-319	63	80	shown	show	VERB
ijassa-319	63	81	in	in	ADP
ijassa-319	63	82	fig	fig	NOUN
ijassa-319	63	83	.	.	PUNCT
ijassa-319	64	1	5	5	X
ijassa-319	64	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	65	1	the	the	DET
ijassa-319	65	2	157	157	NUM
ijassa-319	65	3	nm	nm	ADJ
ijassa-319	65	4	laser	laser	NOUN
ijassa-319	65	5	spot	spot	NOUN
ijassa-319	65	6	size	size	NOUN
ijassa-319	65	7	was	be	AUX
ijassa-319	65	8	about	about	ADP
ijassa-319	65	9	35μm×35μm	35μm×35μm	NUM
ijassa-319	65	10	.	.	PUNCT
ijassa-319	66	1	as	as	SCONJ
ijassa-319	66	2	the	the	DET
ijassa-319	66	3	number	number	NOUN
ijassa-319	66	4	of	of	ADP
ijassa-319	66	5	pulses	pulse	NOUN
ijassa-319	66	6	is	be	AUX
ijassa-319	66	7	smaller	small	ADJ
ijassa-319	66	8	than	than	ADP
ijassa-319	66	9	100	100	NUM
ijassa-319	66	10	,	,	PUNCT
ijassa-319	66	11	the	the	DET
ijassa-319	66	12	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	66	13	rates	rate	NOUN
ijassa-319	66	14	is	be	AUX
ijassa-319	66	15	73	73	NUM
ijassa-319	66	16	-	-	SYM
ijassa-319	66	17	77	77	NUM
ijassa-319	66	18	nm	nm	NOUN
ijassa-319	66	19	per	per	ADP
ijassa-319	66	20	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	66	21	,	,	PUNCT
ijassa-319	66	22	generally	generally	ADV
ijassa-319	66	23	close	close	ADJ
ijassa-319	66	24	to	to	ADP
ijassa-319	66	25	the	the	DET
ijassa-319	66	26	calculation	calculation	NOUN
ijassa-319	66	27	result	result	NOUN
ijassa-319	66	28	.	.	PUNCT
ijassa-319	67	1	but	but	CCONJ
ijassa-319	67	2	the	the	DET
ijassa-319	67	3	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	67	4	rate	rate	NOUN
ijassa-319	67	5	reduces	reduce	VERB
ijassa-319	67	6	gradually	gradually	ADV
ijassa-319	67	7	to	to	ADP
ijassa-319	67	8	about	about	ADP
ijassa-319	67	9	50	50	NUM
ijassa-319	67	10	nm	nm	NOUN
ijassa-319	67	11	per	per	ADP
ijassa-319	67	12	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	67	13	as	as	SCONJ
ijassa-319	67	14	the	the	DET
ijassa-319	67	15	number	number	NOUN
ijassa-319	67	16	of	of	ADP
ijassa-319	67	17	pulses	pulse	NOUN
ijassa-319	67	18	increase	increase	VERB
ijassa-319	67	19	to	to	ADP
ijassa-319	67	20	600[11	600[11	NUM
ijassa-319	67	21	]	]	PUNCT
ijassa-319	67	22	.	.	PUNCT
ijassa-319	68	1	that	that	PRON
ijassa-319	68	2	is	be	AUX
ijassa-319	68	3	result	result	NOUN
ijassa-319	68	4	from	from	ADP
ijassa-319	68	5	energy	energy	NOUN
ijassa-319	68	6	reduction	reduction	NOUN
ijassa-319	68	7	when	when	SCONJ
ijassa-319	68	8	the	the	DET
ijassa-319	68	9	ablated	ablated	ADJ
ijassa-319	68	10	material	material	NOUN
ijassa-319	68	11	far	far	ADV
ijassa-319	68	12	from	from	ADP
ijassa-319	68	13	the	the	DET
ijassa-319	68	14	focusing	focus	VERB
ijassa-319	68	15	plane	plane	NOUN
ijassa-319	68	16	,	,	PUNCT
ijassa-319	68	17	even	even	ADV
ijassa-319	68	18	though	though	SCONJ
ijassa-319	68	19	the	the	DET
ijassa-319	68	20	energy	energy	NOUN
ijassa-319	68	21	is	be	AUX
ijassa-319	68	22	still	still	ADV
ijassa-319	68	23	constant	constant	ADJ
ijassa-319	68	24	on	on	ADP
ijassa-319	68	25	the	the	DET
ijassa-319	68	26	focusing	focus	VERB
ijassa-319	68	27	plane	plane	NOUN
ijassa-319	68	28	.	.	PUNCT
ijassa-319	69	1	274	274	NUM
ijassa-319	69	2	xu	xu	NUM
ijassa-319	69	3	:	:	PUNCT
ijassa-319	69	4	micro	micro	ADJ
ijassa-319	69	5	-	-	ADJ
ijassa-319	69	6	manufacturing	manufacturing	ADJ
ijassa-319	69	7	technology	technology	NOUN
ijassa-319	69	8	using	use	VERB
ijassa-319	69	9	duv	duv	PROPN
ijassa-319	69	10	laser	laser	NOUN
ijassa-319	69	11	and	and	CCONJ
ijassa-319	69	12	nc	nc	PROPN
ijassa-319	69	13	fig.5	fig.5	PROPN
ijassa-319	69	14	.	.	PUNCT
ijassa-319	69	15	relationship	relationship	NOUN
ijassa-319	69	16	between	between	ADP
ijassa-319	69	17	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	69	18	depth	depth	NOUN
ijassa-319	69	19	and	and	CCONJ
ijassa-319	69	20	number	number	NOUN
ijassa-319	69	21	of	of	ADP
ijassa-319	69	22	laser	laser	NOUN
ijassa-319	69	23	pulses	pulse	NOUN
ijassa-319	69	24	(	(	PUNCT
ijassa-319	69	25	f=4j	f=4j	ADJ
ijassa-319	69	26	/	/	SYM
ijassa-319	69	27	cm	cm	NOUN
ijassa-319	69	28	2	2	NUM
ijassa-319	69	29	)	)	PUNCT
ijassa-319	69	30	3.2	3.2	NUM
ijassa-319	69	31	micromachining	micromachining	NOUN
ijassa-319	69	32	of	of	ADP
ijassa-319	69	33	silica	silica	NOUN
ijassa-319	69	34	glasses	glass	NOUN
ijassa-319	69	35	157	157	NUM
ijassa-319	69	36	nm	nm	PRON
ijassa-319	69	37	laser	laser	NOUN
ijassa-319	69	38	beam	beam	NOUN
ijassa-319	69	39	can	can	AUX
ijassa-319	69	40	be	be	AUX
ijassa-319	69	41	largely	largely	ADV
ijassa-319	69	42	absorbed	absorb	VERB
ijassa-319	69	43	(	(	PUNCT
ijassa-319	69	44	α=170,000	α=170,000	PROPN
ijassa-319	69	45	cm-1	cm-1	NOUN
ijassa-319	69	46	)	)	PUNCT
ijassa-319	69	47	by	by	ADP
ijassa-319	69	48	fused	fuse	VERB
ijassa-319	69	49	silica	silica	NOUN
ijassa-319	69	50	,	,	PUNCT
ijassa-319	69	51	it	it	PRON
ijassa-319	69	52	can	can	AUX
ijassa-319	69	53	thus	thus	ADV
ijassa-319	69	54	be	be	AUX
ijassa-319	69	55	used	use	VERB
ijassa-319	69	56	for	for	ADP
ijassa-319	69	57	3d	3d	PROPN
ijassa-319	69	58	micro	micro	ADJ
ijassa-319	69	59	-	-	ADJ
ijassa-319	69	60	structuring	structuring	ADJ
ijassa-319	69	61	tool	tool	NOUN
ijassa-319	69	62	for	for	ADP
ijassa-319	69	63	silica	silica	NOUN
ijassa-319	69	64	materials	material	NOUN
ijassa-319	69	65	.	.	PUNCT
ijassa-319	70	1	fig	fig	NOUN
ijassa-319	70	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	71	1	6	6	NUM
ijassa-319	71	2	shows	show	VERB
ijassa-319	71	3	channels	channel	NOUN
ijassa-319	71	4	formed	form	VERB
ijassa-319	71	5	by	by	ADP
ijassa-319	71	6	a	a	DET
ijassa-319	71	7	20μm×20μm	20μm×20μm	NUM
ijassa-319	71	8	f2	f2	PROPN
ijassa-319	71	9	laser	laser	NOUN
ijassa-319	71	10	beam	beam	NOUN
ijassa-319	71	11	scanning	scanning	NOUN
ijassa-319	71	12	along	along	ADP
ijassa-319	71	13	the	the	DET
ijassa-319	71	14	horizontal	horizontal	ADJ
ijassa-319	71	15	direction	direction	NOUN
ijassa-319	71	16	in	in	ADP
ijassa-319	71	17	fused	fuse	VERB
ijassa-319	71	18	silica	silica	NOUN
ijassa-319	71	19	.	.	PUNCT
ijassa-319	72	1	the	the	DET
ijassa-319	72	2	size	size	NOUN
ijassa-319	72	3	of	of	ADP
ijassa-319	72	4	each	each	DET
ijassa-319	72	5	channel	channel	NOUN
ijassa-319	72	6	is	be	AUX
ijassa-319	72	7	~120μm×20μm	~120μm×20μm	NUM
ijassa-319	72	8	.	.	PUNCT
ijassa-319	73	1	the	the	DET
ijassa-319	73	2	ablating	ablating	NOUN
ijassa-319	73	3	conditions	condition	NOUN
ijassa-319	73	4	are	be	AUX
ijassa-319	73	5	:	:	PUNCT
ijassa-319	73	6	repetition	repetition	NOUN
ijassa-319	73	7	rate	rate	NOUN
ijassa-319	73	8	for	for	ADP
ijassa-319	73	9	each	each	DET
ijassa-319	73	10	column	column	NOUN
ijassa-319	73	11	is	be	AUX
ijassa-319	73	12	8hz	8hz	ADJ
ijassa-319	73	13	,	,	PUNCT
ijassa-319	73	14	12hz	12hz	NOUN
ijassa-319	73	15	and	and	CCONJ
ijassa-319	73	16	16hz	16hz	ADJ
ijassa-319	73	17	,	,	PUNCT
ijassa-319	73	18	respectively	respectively	ADV
ijassa-319	73	19	;	;	PUNCT
ijassa-319	73	20	scanning	scan	VERB
ijassa-319	73	21	velocity	velocity	NOUN
ijassa-319	73	22	for	for	ADP
ijassa-319	73	23	each	each	DET
ijassa-319	73	24	row	row	NOUN
ijassa-319	73	25	is	be	AUX
ijassa-319	73	26	0.18mm	0.18mm	NUM
ijassa-319	73	27	/	/	SYM
ijassa-319	73	28	min	min	NOUN
ijassa-319	73	29	,	,	PUNCT
ijassa-319	73	30	0.23mm	0.23mm	NOUN
ijassa-319	73	31	/	/	SYM
ijassa-319	73	32	min	min	PROPN
ijassa-319	73	33	and	and	CCONJ
ijassa-319	73	34	0.28mm	0.28mm	PROPN
ijassa-319	73	35	/	/	SYM
ijassa-319	73	36	min	min	PROPN
ijassa-319	73	37	,	,	PUNCT
ijassa-319	73	38	respectively	respectively	ADV
ijassa-319	73	39	;	;	PUNCT
ijassa-319	73	40	laser	laser	NOUN
ijassa-319	73	41	fluence	fluence	NOUN
ijassa-319	73	42	is	be	AUX
ijassa-319	73	43	~4j	~4j	PROPN
ijassa-319	73	44	/	/	SYM
ijassa-319	73	45	cm2	cm2	NOUN
ijassa-319	73	46	,	,	PUNCT
ijassa-319	73	47	the	the	DET
ijassa-319	73	48	scanning	scanning	NOUN
ijassa-319	73	49	cycles	cycle	NOUN
ijassa-319	73	50	are	be	AUX
ijassa-319	73	51	three	three	NUM
ijassa-319	73	52	loops	loop	NOUN
ijassa-319	73	53	.	.	PUNCT
ijassa-319	74	1	the	the	DET
ijassa-319	74	2	plume	plume	NOUN
ijassa-319	74	3	dynamics	dynamic	NOUN
ijassa-319	74	4	in	in	ADP
ijassa-319	74	5	laser	laser	NOUN
ijassa-319	74	6	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	74	7	of	of	ADP
ijassa-319	74	8	silica	silica	NOUN
ijassa-319	74	9	glasses	glass	NOUN
ijassa-319	74	10	generates	generate	VERB
ijassa-319	74	11	non	non	ADJ
ijassa-319	74	12	-	-	ADJ
ijassa-319	74	13	volatile	volatile	ADJ
ijassa-319	74	14	products	product	NOUN
ijassa-319	74	15	,	,	PUNCT
ijassa-319	74	16	so	so	SCONJ
ijassa-319	74	17	after	after	ADP
ijassa-319	74	18	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	74	19	,	,	PUNCT
ijassa-319	74	20	some	some	PRON
ijassa-319	74	21	of	of	ADP
ijassa-319	74	22	re	re	ADJ
ijassa-319	74	23	-	-	ADJ
ijassa-319	74	24	deposited	deposit	VERB
ijassa-319	74	25	particles	particle	NOUN
ijassa-319	74	26	scattered	scatter	VERB
ijassa-319	74	27	onto	onto	ADP
ijassa-319	74	28	and	and	CCONJ
ijassa-319	74	29	over	over	ADP
ijassa-319	74	30	nearby	nearby	ADJ
ijassa-319	74	31	the	the	DET
ijassa-319	74	32	ablated	ablated	ADJ
ijassa-319	74	33	surface	surface	NOUN
ijassa-319	74	34	,	,	PUNCT
ijassa-319	74	35	as	as	SCONJ
ijassa-319	74	36	shown	show	VERB
ijassa-319	74	37	in	in	ADP
ijassa-319	74	38	fig	fig	NOUN
ijassa-319	74	39	.	.	PUNCT
ijassa-319	75	1	6(a	6(a	NUM
ijassa-319	75	2	)	)	PUNCT
ijassa-319	75	3	.	.	PUNCT
ijassa-319	76	1	(	(	PUNCT
ijassa-319	76	2	a	a	X
ijassa-319	76	3	)	)	PUNCT
ijassa-319	76	4	(	(	PUNCT
ijassa-319	76	5	b	b	X
ijassa-319	76	6	)	)	PUNCT
ijassa-319	76	7	fig.6	fig.6	PROPN
ijassa-319	76	8	.	.	PUNCT
ijassa-319	77	1	the	the	DET
ijassa-319	77	2	images	image	NOUN
ijassa-319	77	3	of	of	ADP
ijassa-319	77	4	the	the	DET
ijassa-319	77	5	channels	channel	NOUN
ijassa-319	77	6	ablated	ablate	VERB
ijassa-319	77	7	on	on	ADP
ijassa-319	77	8	silica	silica	NOUN
ijassa-319	77	9	glasses	glass	NOUN
ijassa-319	77	10	using	use	VERB
ijassa-319	77	11	157	157	NUM
ijassa-319	77	12	nm	nm	ADJ
ijassa-319	77	13	laser	laser	NOUN
ijassa-319	77	14	(	(	PUNCT
ijassa-319	77	15	a	a	NOUN
ijassa-319	77	16	)	)	PUNCT
ijassa-319	77	17	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	77	18	debris	debris	NOUN
ijassa-319	77	19	deposited	deposit	VERB
ijassa-319	77	20	around	around	ADP
ijassa-319	77	21	the	the	DET
ijassa-319	77	22	channels	channel	NOUN
ijassa-319	77	23	,	,	PUNCT
ijassa-319	77	24	immediately	immediately	ADV
ijassa-319	77	25	after	after	ADP
ijassa-319	77	26	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	77	27	(	(	PUNCT
ijassa-319	77	28	b	b	X
ijassa-319	77	29	)	)	PUNCT
ijassa-319	77	30	the	the	DET
ijassa-319	77	31	sem	sem	NOUN
ijassa-319	77	32	image	image	NOUN
ijassa-319	77	33	after	after	ADP
ijassa-319	77	34	ultrasonic	ultrasonic	ADJ
ijassa-319	77	35	cleaning	cleaning	NOUN
ijassa-319	77	36	in	in	ADP
ijassa-319	77	37	hf	hf	NOUN
ijassa-319	77	38	solution	solution	NOUN
ijassa-319	77	39	advances	advance	NOUN
ijassa-319	77	40	in	in	ADP
ijassa-319	77	41	systems	system	NOUN
ijassa-319	77	42	science	science	NOUN
ijassa-319	77	43	and	and	CCONJ
ijassa-319	77	44	applications	application	NOUN
ijassa-319	77	45	(	(	PUNCT
ijassa-319	77	46	2011	2011	NUM
ijassa-319	77	47	)	)	PUNCT
ijassa-319	77	48	,	,	PUNCT
ijassa-319	77	49	vol.11	vol.11	PROPN
ijassa-319	77	50	,	,	PUNCT
ijassa-319	77	51	no.3	no.3	NOUN
ijassa-319	77	52	-	-	PUNCT
ijassa-319	77	53	4	4	NUM
ijassa-319	77	54	275	275	NUM
ijassa-319	77	55	submicron	submicron	NOUN
ijassa-319	77	56	order	order	NOUN
ijassa-319	77	57	glass	glass	NOUN
ijassa-319	77	58	particulates	particulate	NOUN
ijassa-319	77	59	will	will	AUX
ijassa-319	77	60	collect	collect	VERB
ijassa-319	77	61	and	and	CCONJ
ijassa-319	77	62	partially	partially	ADV
ijassa-319	77	63	sinter	sinter	NOUN
ijassa-319	77	64	on	on	ADP
ijassa-319	77	65	surfaces	surface	NOUN
ijassa-319	77	66	to	to	PART
ijassa-319	77	67	form	form	VERB
ijassa-319	77	68	coatings	coating	NOUN
ijassa-319	77	69	around	around	ADP
ijassa-319	77	70	small	small	ADJ
ijassa-319	77	71	structures	structure	NOUN
ijassa-319	77	72	,	,	PUNCT
ijassa-319	77	73	and	and	CCONJ
ijassa-319	77	74	growing	grow	VERB
ijassa-319	77	75	thicker	thick	ADJ
ijassa-319	77	76	and	and	CCONJ
ijassa-319	77	77	broader	broad	ADJ
ijassa-319	77	78	with	with	ADP
ijassa-319	77	79	the	the	DET
ijassa-319	77	80	volume	volume	NOUN
ijassa-319	77	81	of	of	ADP
ijassa-319	77	82	material	material	NOUN
ijassa-319	77	83	removed	remove	VERB
ijassa-319	77	84	by	by	ADP
ijassa-319	77	85	the	the	DET
ijassa-319	77	86	laser	laser	NOUN
ijassa-319	77	87	.	.	PUNCT
ijassa-319	78	1	since	since	SCONJ
ijassa-319	78	2	there	there	PRON
ijassa-319	78	3	is	be	VERB
ijassa-319	78	4	no	no	DET
ijassa-319	78	5	strong	strong	ADJ
ijassa-319	78	6	bonding	bonding	NOUN
ijassa-319	78	7	between	between	ADP
ijassa-319	78	8	the	the	DET
ijassa-319	78	9	re	re	VERB
ijassa-319	78	10	-	-	ADJ
ijassa-319	78	11	deposited	deposit	VERB
ijassa-319	78	12	particles	particle	NOUN
ijassa-319	78	13	,	,	PUNCT
ijassa-319	78	14	the	the	DET
ijassa-319	78	15	debris	debris	NOUN
ijassa-319	78	16	tends	tend	VERB
ijassa-319	78	17	to	to	PART
ijassa-319	78	18	be	be	AUX
ijassa-319	78	19	rather	rather	ADV
ijassa-319	78	20	weak	weak	ADJ
ijassa-319	78	21	in	in	ADP
ijassa-319	78	22	structure	structure	NOUN
ijassa-319	78	23	and	and	CCONJ
ijassa-319	78	24	can	can	AUX
ijassa-319	78	25	be	be	AUX
ijassa-319	78	26	easily	easily	ADV
ijassa-319	78	27	removed	remove	VERB
ijassa-319	78	28	by	by	ADP
ijassa-319	78	29	etching	etch	VERB
ijassa-319	78	30	process	process	NOUN
ijassa-319	78	31	using	use	VERB
ijassa-319	78	32	vol	vol	NOUN
ijassa-319	78	33	.	.	PUNCT
ijassa-319	79	1	<	<	X
ijassa-319	79	2	10	10	NUM
ijassa-319	79	3	%	%	NOUN
ijassa-319	79	4	hf	hf	NOUN
ijassa-319	79	5	acid	acid	NOUN
ijassa-319	79	6	.	.	PUNCT
ijassa-319	80	1	the	the	DET
ijassa-319	80	2	sem	sem	PROPN
ijassa-319	80	3	image	image	NOUN
ijassa-319	80	4	shown	show	VERB
ijassa-319	80	5	in	in	ADP
ijassa-319	80	6	fig	fig	NOUN
ijassa-319	80	7	.	.	PUNCT
ijassa-319	81	1	6(b	6(b	NUM
ijassa-319	81	2	)	)	PUNCT
ijassa-319	81	3	is	be	AUX
ijassa-319	81	4	the	the	DET
ijassa-319	81	5	result	result	NOUN
ijassa-319	81	6	after	after	ADP
ijassa-319	81	7	5	5	NUM
ijassa-319	81	8	minutes	minute	NOUN
ijassa-319	81	9	ultrasonic	ultrasonic	ADJ
ijassa-319	81	10	cleaning	cleaning	NOUN
ijassa-319	81	11	in	in	ADP
ijassa-319	81	12	5	5	NUM
ijassa-319	81	13	%	%	NOUN
ijassa-319	81	14	hf	hf	NOUN
ijassa-319	81	15	solution	solution	NOUN
ijassa-319	81	16	.	.	PUNCT
ijassa-319	82	1	it	it	PRON
ijassa-319	82	2	is	be	AUX
ijassa-319	82	3	seen	see	VERB
ijassa-319	82	4	that	that	SCONJ
ijassa-319	82	5	,	,	PUNCT
ijassa-319	82	6	the	the	DET
ijassa-319	82	7	channels	channel	NOUN
ijassa-319	82	8	produced	produce	VERB
ijassa-319	82	9	by	by	ADP
ijassa-319	82	10	157	157	NUM
ijassa-319	82	11	nm	nm	PROPN
ijassa-319	82	12	laser	laser	NOUN
ijassa-319	82	13	is	be	AUX
ijassa-319	82	14	relatively	relatively	ADV
ijassa-319	82	15	regular	regular	ADJ
ijassa-319	82	16	and	and	CCONJ
ijassa-319	82	17	precise	precise	ADJ
ijassa-319	82	18	.	.	PUNCT
ijassa-319	83	1	using	use	VERB
ijassa-319	83	2	a	a	DET
ijassa-319	83	3	profiler	profiler	NOUN
ijassa-319	83	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	83	5	the	the	DET
ijassa-319	83	6	depth	depth	NOUN
ijassa-319	83	7	of	of	ADP
ijassa-319	83	8	each	each	DET
ijassa-319	83	9	channels	channel	NOUN
ijassa-319	83	10	were	be	AUX
ijassa-319	83	11	measured	measure	VERB
ijassa-319	83	12	.	.	PUNCT
ijassa-319	84	1	fig	fig	NOUN
ijassa-319	84	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	85	1	7	7	NUM
ijassa-319	85	2	shows	show	VERB
ijassa-319	85	3	the	the	DET
ijassa-319	85	4	depth	depth	NOUN
ijassa-319	85	5	of	of	ADP
ijassa-319	85	6	the	the	DET
ijassa-319	85	7	channels	channel	NOUN
ijassa-319	85	8	under	under	ADP
ijassa-319	85	9	different	different	ADJ
ijassa-319	85	10	ablating	ablating	NOUN
ijassa-319	85	11	conditions	condition	NOUN
ijassa-319	85	12	.	.	PUNCT
ijassa-319	86	1	the	the	DET
ijassa-319	86	2	measured	measure	VERB
ijassa-319	86	3	results	result	NOUN
ijassa-319	86	4	is	be	AUX
ijassa-319	86	5	very	very	ADV
ijassa-319	86	6	close	close	ADJ
ijassa-319	86	7	to	to	ADP
ijassa-319	86	8	the	the	DET
ijassa-319	86	9	theoretical	theoretical	ADJ
ijassa-319	86	10	value	value	NOUN
ijassa-319	86	11	.	.	PUNCT
ijassa-319	87	1	the	the	DET
ijassa-319	87	2	depth	depth	NOUN
ijassa-319	87	3	of	of	ADP
ijassa-319	87	4	the	the	DET
ijassa-319	87	5	channel	channel	NOUN
ijassa-319	87	6	can	can	AUX
ijassa-319	87	7	be	be	AUX
ijassa-319	87	8	calculated	calculate	VERB
ijassa-319	87	9	by	by	ADP
ijassa-319	87	10	:	:	PUNCT
ijassa-319	87	11	l	l	PROPN
ijassa-319	87	12	f	f	PROPN
ijassa-319	87	13	t	t	PROPN
ijassa-319	87	14	nh	nh	PROPN
ijassa-319	87	15	v	v	ADP
ijassa-319	87	16	⋅	⋅	PROPN
ijassa-319	87	17	⋅	⋅	PROPN
ijassa-319	87	18	⋅	⋅	PROPN
ijassa-319	87	19	=	=	SYM
ijassa-319	87	20	(	(	PUNCT
ijassa-319	87	21	3	3	NUM
ijassa-319	87	22	)	)	PUNCT
ijassa-319	87	23	l	l	NOUN
ijassa-319	87	24	:	:	PUNCT
ijassa-319	87	25	length	length	NOUN
ijassa-319	87	26	of	of	ADP
ijassa-319	87	27	laser	laser	NOUN
ijassa-319	87	28	spot	spot	NOUN
ijassa-319	87	29	along	along	ADP
ijassa-319	87	30	scanning	scan	VERB
ijassa-319	87	31	direction	direction	NOUN
ijassa-319	87	32	v	v	NOUN
ijassa-319	87	33	:	:	PUNCT
ijassa-319	87	34	shift	shift	VERB
ijassa-319	87	35	velocity	velocity	NOUN
ijassa-319	87	36	of	of	ADP
ijassa-319	87	37	the	the	DET
ijassa-319	87	38	workpiece	workpiece	NOUN
ijassa-319	87	39	f	f	NOUN
ijassa-319	87	40	:	:	PUNCT
ijassa-319	87	41	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	87	42	repetition	repetition	PROPN
ijassa-319	87	43	frequency	frequency	PROPN
ijassa-319	87	44	t	t	PROPN
ijassa-319	87	45	:	:	PUNCT
ijassa-319	87	46	etch	etch	VERB
ijassa-319	87	47	depth	depth	NOUN
ijassa-319	87	48	per	per	ADP
ijassa-319	87	49	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	87	50	n	n	CCONJ
ijassa-319	87	51	:	:	PUNCT
ijassa-319	87	52	scanning	scanning	NOUN
ijassa-319	87	53	loops	loop	NOUN
ijassa-319	87	54	fig.7	fig.7	ADV
ijassa-319	87	55	.	.	PUNCT
ijassa-319	88	1	the	the	DET
ijassa-319	88	2	depth	depth	NOUN
ijassa-319	88	3	of	of	ADP
ijassa-319	88	4	the	the	DET
ijassa-319	88	5	channels	channel	NOUN
ijassa-319	88	6	under	under	ADP
ijassa-319	88	7	different	different	ADJ
ijassa-319	88	8	frequency	frequency	NOUN
ijassa-319	88	9	and	and	CCONJ
ijassa-319	88	10	velocity	velocity	NOUN
ijassa-319	88	11	fig.8	fig.8	PROPN
ijassa-319	88	12	.	.	PUNCT
ijassa-319	89	1	the	the	DET
ijassa-319	89	2	relationship	relationship	NOUN
ijassa-319	89	3	between	between	ADP
ijassa-319	89	4	roughness	roughness	NOUN
ijassa-319	89	5	and	and	CCONJ
ijassa-319	89	6	laser	laser	NOUN
ijassa-319	89	7	parameters	parameter	NOUN
ijassa-319	89	8	(	(	PUNCT
ijassa-319	89	9	frequency	frequency	NOUN
ijassa-319	89	10	,	,	PUNCT
ijassa-319	89	11	velocity	velocity	NOUN
ijassa-319	89	12	)	)	PUNCT
ijassa-319	89	13	276	276	NUM
ijassa-319	90	1	xu	xu	NUM
ijassa-319	90	2	:	:	PUNCT
ijassa-319	90	3	micro	micro	ADJ
ijassa-319	90	4	-	-	ADJ
ijassa-319	90	5	manufacturing	manufacturing	ADJ
ijassa-319	90	6	technology	technology	NOUN
ijassa-319	90	7	using	use	VERB
ijassa-319	90	8	duv	duv	PROPN
ijassa-319	90	9	laser	laser	NOUN
ijassa-319	90	10	and	and	CCONJ
ijassa-319	90	11	nc	nc	PROPN
ijassa-319	90	12	we	we	PRON
ijassa-319	90	13	also	also	ADV
ijassa-319	90	14	investigated	investigate	VERB
ijassa-319	90	15	ablated	ablate	VERB
ijassa-319	90	16	surface	surface	NOUN
ijassa-319	90	17	roughness	roughness	NOUN
ijassa-319	90	18	of	of	ADP
ijassa-319	90	19	fused	fuse	VERB
ijassa-319	90	20	silica	silica	NOUN
ijassa-319	90	21	under	under	ADP
ijassa-319	90	22	different	different	ADJ
ijassa-319	90	23	process	process	NOUN
ijassa-319	90	24	parameters	parameter	NOUN
ijassa-319	90	25	.	.	PUNCT
ijassa-319	91	1	like	like	ADP
ijassa-319	91	2	shown	show	VERB
ijassa-319	91	3	in	in	ADP
ijassa-319	91	4	fig	fig	NOUN
ijassa-319	91	5	.	.	PUNCT
ijassa-319	92	1	6	6	NUM
ijassa-319	92	2	,	,	PUNCT
ijassa-319	92	3	the	the	DET
ijassa-319	92	4	short	short	ADJ
ijassa-319	92	5	channels	channel	NOUN
ijassa-319	92	6	(	(	PUNCT
ijassa-319	92	7	4×4	4×4	NUM
ijassa-319	92	8	array	array	NOUN
ijassa-319	92	9	)	)	PUNCT
ijassa-319	92	10	were	be	AUX
ijassa-319	92	11	produced	produce	VERB
ijassa-319	92	12	using	use	VERB
ijassa-319	92	13	a	a	DET
ijassa-319	92	14	quadrate	quadrate	ADJ
ijassa-319	92	15	beam	beam	NOUN
ijassa-319	92	16	,	,	PUNCT
ijassa-319	92	17	the	the	DET
ijassa-319	92	18	spot	spot	NOUN
ijassa-319	92	19	size	size	NOUN
ijassa-319	92	20	~35μm×25μm	~35μm×25μm	PROPN
ijassa-319	92	21	,	,	PUNCT
ijassa-319	92	22	the	the	DET
ijassa-319	92	23	laser	laser	NOUN
ijassa-319	92	24	fluence	fluence	NOUN
ijassa-319	92	25	~4j	~4j	PROPN
ijassa-319	92	26	/	/	SYM
ijassa-319	92	27	cm2	cm2	NOUN
ijassa-319	92	28	.	.	PUNCT
ijassa-319	93	1	we	we	PRON
ijassa-319	93	2	changed	change	VERB
ijassa-319	93	3	laser	laser	NOUN
ijassa-319	93	4	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	93	5	repetition	repetition	NOUN
ijassa-319	93	6	rate	rate	NOUN
ijassa-319	93	7	from	from	ADP
ijassa-319	93	8	5hz	5hz	NUM
ijassa-319	93	9	to	to	ADP
ijassa-319	93	10	30hz	30hz	ADJ
ijassa-319	93	11	,	,	PUNCT
ijassa-319	93	12	and	and	CCONJ
ijassa-319	93	13	the	the	DET
ijassa-319	93	14	shift	shift	NOUN
ijassa-319	93	15	velocity	velocity	NOUN
ijassa-319	93	16	of	of	ADP
ijassa-319	93	17	worktable	worktable	ADJ
ijassa-319	93	18	from	from	ADP
ijassa-319	93	19	0.05mm	0.05mm	NUM
ijassa-319	93	20	/	/	SYM
ijassa-319	93	21	min	min	NOUN
ijassa-319	93	22	to	to	PART
ijassa-319	93	23	0.30mm	0.30mm	NUM
ijassa-319	93	24	/	/	SYM
ijassa-319	93	25	min	min	PROPN
ijassa-319	93	26	.	.	PROPN
ijassa-319	93	27	fig	fig	NOUN
ijassa-319	93	28	.	.	PUNCT
ijassa-319	94	1	8	8	NUM
ijassa-319	94	2	shows	show	VERB
ijassa-319	94	3	the	the	DET
ijassa-319	94	4	ablated	ablated	ADJ
ijassa-319	94	5	bottom	bottom	NOUN
ijassa-319	94	6	roughness	roughness	NOUN
ijassa-319	94	7	ra	ra	PROPN
ijassa-319	94	8	of	of	ADP
ijassa-319	94	9	channels	channel	NOUN
ijassa-319	94	10	for	for	ADP
ijassa-319	94	11	the	the	DET
ijassa-319	94	12	different	different	ADJ
ijassa-319	94	13	scanning	scanning	NOUN
ijassa-319	94	14	velocity	velocity	NOUN
ijassa-319	94	15	and	and	CCONJ
ijassa-319	94	16	repletion	repletion	NOUN
ijassa-319	94	17	rate	rate	NOUN
ijassa-319	94	18	.	.	PUNCT
ijassa-319	95	1	it	it	PRON
ijassa-319	95	2	is	be	AUX
ijassa-319	95	3	obvious	obvious	ADJ
ijassa-319	95	4	that	that	SCONJ
ijassa-319	95	5	,	,	PUNCT
ijassa-319	95	6	there	there	PRON
ijassa-319	95	7	exists	exist	VERB
ijassa-319	95	8	a	a	DET
ijassa-319	95	9	strong	strong	ADJ
ijassa-319	95	10	dependence	dependence	NOUN
ijassa-319	95	11	of	of	ADP
ijassa-319	95	12	the	the	DET
ijassa-319	95	13	surface	surface	NOUN
ijassa-319	95	14	quality	quality	NOUN
ijassa-319	95	15	on	on	ADP
ijassa-319	95	16	the	the	DET
ijassa-319	95	17	laser	laser	NOUN
ijassa-319	95	18	process	process	NOUN
ijassa-319	95	19	parameters	parameter	NOUN
ijassa-319	95	20	.	.	PUNCT
ijassa-319	96	1	on	on	ADP
ijassa-319	96	2	the	the	DET
ijassa-319	96	3	whole	whole	NOUN
ijassa-319	96	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	96	5	when	when	SCONJ
ijassa-319	96	6	laser	laser	NOUN
ijassa-319	96	7	repletion	repletion	NOUN
ijassa-319	96	8	rate	rate	NOUN
ijassa-319	96	9	increases	increase	NOUN
ijassa-319	96	10	,	,	PUNCT
ijassa-319	96	11	the	the	DET
ijassa-319	96	12	averaged	average	VERB
ijassa-319	96	13	roughness	roughness	NOUN
ijassa-319	96	14	of	of	ADP
ijassa-319	96	15	the	the	DET
ijassa-319	96	16	channel	channel	NOUN
ijassa-319	96	17	bottom	bottom	NOUN
ijassa-319	96	18	would	would	AUX
ijassa-319	96	19	become	become	VERB
ijassa-319	96	20	larger	large	ADJ
ijassa-319	96	21	,	,	PUNCT
ijassa-319	96	22	i.e.	i.e.	X
ijassa-319	96	23	the	the	DET
ijassa-319	96	24	surface	surface	NOUN
ijassa-319	96	25	quality	quality	NOUN
ijassa-319	96	26	become	become	VERB
ijassa-319	96	27	worse	bad	ADJ
ijassa-319	96	28	.	.	PUNCT
ijassa-319	97	1	and	and	CCONJ
ijassa-319	97	2	,	,	PUNCT
ijassa-319	97	3	slower	slow	ADJ
ijassa-319	97	4	laser	laser	NOUN
ijassa-319	97	5	scanning	scan	VERB
ijassa-319	97	6	velocity	velocity	NOUN
ijassa-319	97	7	such	such	ADJ
ijassa-319	97	8	as	as	ADP
ijassa-319	97	9	v=0.05mm	v=0.05mm	NOUN
ijassa-319	97	10	/	/	SYM
ijassa-319	97	11	min	min	NOUN
ijassa-319	97	12	is	be	AUX
ijassa-319	97	13	not	not	PART
ijassa-319	97	14	recommended	recommend	VERB
ijassa-319	97	15	,	,	PUNCT
ijassa-319	97	16	because	because	SCONJ
ijassa-319	97	17	the	the	DET
ijassa-319	97	18	averaged	average	VERB
ijassa-319	97	19	roughness	roughness	NOUN
ijassa-319	97	20	shows	show	VERB
ijassa-319	97	21	higher	high	ADJ
ijassa-319	97	22	value	value	NOUN
ijassa-319	97	23	.	.	PUNCT
ijassa-319	98	1	using	use	VERB
ijassa-319	98	2	high	high	ADJ
ijassa-319	98	3	velocity	velocity	NOUN
ijassa-319	98	4	(	(	PUNCT
ijassa-319	98	5	v=0.2	v=0.2	PROPN
ijassa-319	98	6	mm	mm	PROPN
ijassa-319	98	7	/	/	SYM
ijassa-319	98	8	min	min	PROPN
ijassa-319	98	9	or	or	CCONJ
ijassa-319	98	10	0.30mm	0.30mm	NUM
ijassa-319	98	11	/	/	SYM
ijassa-319	98	12	min	min	NOUN
ijassa-319	98	13	)	)	PUNCT
ijassa-319	98	14	and	and	CCONJ
ijassa-319	98	15	low	low	ADJ
ijassa-319	98	16	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	98	17	repetition	repetition	NOUN
ijassa-319	98	18	rate	rate	NOUN
ijassa-319	98	19	(	(	PUNCT
ijassa-319	98	20	f=5hz	f=5hz	NUM
ijassa-319	98	21	)	)	PUNCT
ijassa-319	98	22	,	,	PUNCT
ijassa-319	98	23	the	the	DET
ijassa-319	98	24	ablated	ablated	ADJ
ijassa-319	98	25	surface	surface	NOUN
ijassa-319	98	26	roughness	roughness	NOUN
ijassa-319	98	27	is	be	AUX
ijassa-319	98	28	very	very	ADV
ijassa-319	98	29	low	low	ADJ
ijassa-319	98	30	.	.	PUNCT
ijassa-319	99	1	but	but	CCONJ
ijassa-319	99	2	take	take	VERB
ijassa-319	99	3	into	into	ADP
ijassa-319	99	4	account	account	NOUN
ijassa-319	99	5	the	the	DET
ijassa-319	99	6	machining	machining	NOUN
ijassa-319	99	7	efficiency	efficiency	NOUN
ijassa-319	99	8	,	,	PUNCT
ijassa-319	99	9	the	the	DET
ijassa-319	99	10	repletion	repletion	NOUN
ijassa-319	99	11	rate	rate	NOUN
ijassa-319	99	12	of	of	ADP
ijassa-319	99	13	10hz	10hz	NOUN
ijassa-319	99	14	is	be	AUX
ijassa-319	99	15	better	well	ADJ
ijassa-319	99	16	.	.	PUNCT
ijassa-319	100	1	from	from	ADP
ijassa-319	100	2	the	the	DET
ijassa-319	100	3	trend	trend	NOUN
ijassa-319	100	4	of	of	ADP
ijassa-319	100	5	ablated	ablated	ADJ
ijassa-319	100	6	roughness	roughness	NOUN
ijassa-319	100	7	,	,	PUNCT
ijassa-319	100	8	the	the	DET
ijassa-319	100	9	influence	influence	NOUN
ijassa-319	100	10	of	of	ADP
ijassa-319	100	11	the	the	DET
ijassa-319	100	12	heat	heat	NOUN
ijassa-319	100	13	produced	produce	VERB
ijassa-319	100	14	during	during	ADP
ijassa-319	100	15	the	the	DET
ijassa-319	100	16	laser	laser	NOUN
ijassa-319	100	17	process	process	NOUN
ijassa-319	100	18	and	and	CCONJ
ijassa-319	100	19	the	the	DET
ijassa-319	100	20	cleaning	cleaning	NOUN
ijassa-319	100	21	process	process	NOUN
ijassa-319	100	22	with	with	ADP
ijassa-319	100	23	hf	hf	ADJ
ijassa-319	100	24	solution	solution	NOUN
ijassa-319	100	25	can	can	AUX
ijassa-319	100	26	not	not	PART
ijassa-319	100	27	be	be	AUX
ijassa-319	100	28	ignored	ignore	VERB
ijassa-319	100	29	.	.	PUNCT
ijassa-319	101	1	in	in	ADP
ijassa-319	101	2	fact	fact	NOUN
ijassa-319	101	3	,	,	PUNCT
ijassa-319	101	4	when	when	SCONJ
ijassa-319	101	5	the	the	DET
ijassa-319	101	6	laser	laser	NOUN
ijassa-319	101	7	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	101	8	was	be	AUX
ijassa-319	101	9	performed	perform	VERB
ijassa-319	101	10	under	under	ADP
ijassa-319	101	11	higher	high	ADJ
ijassa-319	101	12	repetition	repetition	NOUN
ijassa-319	101	13	rate	rate	NOUN
ijassa-319	101	14	and	and	CCONJ
ijassa-319	101	15	lower	low	ADJ
ijassa-319	101	16	scanning	scanning	NOUN
ijassa-319	101	17	speed	speed	NOUN
ijassa-319	101	18	,	,	PUNCT
ijassa-319	101	19	the	the	DET
ijassa-319	101	20	accumulation	accumulation	NOUN
ijassa-319	101	21	of	of	ADP
ijassa-319	101	22	heat	heat	NOUN
ijassa-319	101	23	become	become	VERB
ijassa-319	101	24	bigger	big	ADJ
ijassa-319	101	25	at	at	ADP
ijassa-319	101	26	same	same	ADJ
ijassa-319	101	27	point	point	NOUN
ijassa-319	101	28	,	,	PUNCT
ijassa-319	101	29	so	so	SCONJ
ijassa-319	101	30	that	that	SCONJ
ijassa-319	101	31	thermo	thermo	NOUN
ijassa-319	101	32	-	-	PUNCT
ijassa-319	101	33	stress	stress	NOUN
ijassa-319	101	34	would	would	AUX
ijassa-319	101	35	formed	form	VERB
ijassa-319	101	36	at	at	ADP
ijassa-319	101	37	bottom	bottom	NOUN
ijassa-319	101	38	of	of	ADP
ijassa-319	101	39	the	the	DET
ijassa-319	101	40	channel	channel	NOUN
ijassa-319	101	41	.	.	PUNCT
ijassa-319	102	1	after	after	ADP
ijassa-319	102	2	ultrasonic	ultrasonic	ADJ
ijassa-319	102	3	cleaning	cleaning	NOUN
ijassa-319	102	4	with	with	ADP
ijassa-319	102	5	hf	hf	NOUN
ijassa-319	102	6	solution	solution	NOUN
ijassa-319	102	7	,	,	PUNCT
ijassa-319	102	8	cracks	crack	NOUN
ijassa-319	102	9	resulting	result	VERB
ijassa-319	102	10	from	from	ADP
ijassa-319	102	11	the	the	DET
ijassa-319	102	12	thermo	thermo	NOUN
ijassa-319	102	13	-	-	PUNCT
ijassa-319	102	14	stress	stress	NOUN
ijassa-319	102	15	would	would	AUX
ijassa-319	102	16	be	be	AUX
ijassa-319	102	17	produced	produce	VERB
ijassa-319	102	18	,	,	PUNCT
ijassa-319	102	19	like	like	ADP
ijassa-319	102	20	the	the	DET
ijassa-319	102	21	upper	upper	ADJ
ijassa-319	102	22	-	-	PUNCT
ijassa-319	102	23	right	right	NOUN
ijassa-319	102	24	channel	channel	NOUN
ijassa-319	102	25	shown	show	VERB
ijassa-319	102	26	in	in	ADP
ijassa-319	102	27	fig	fig	NOUN
ijassa-319	102	28	.	.	PUNCT
ijassa-319	103	1	6	6	NUM
ijassa-319	103	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	103	3	this	this	PRON
ijassa-319	103	4	causes	cause	VERB
ijassa-319	103	5	the	the	DET
ijassa-319	103	6	increase	increase	NOUN
ijassa-319	103	7	of	of	ADP
ijassa-319	103	8	bottom	bottom	ADJ
ijassa-319	103	9	roughness	roughness	NOUN
ijassa-319	103	10	.	.	PUNCT
ijassa-319	104	1	3.3	3.3	NUM
ijassa-319	104	2	micromachining	micromachining	NOUN
ijassa-319	104	3	assisted	assist	VERB
ijassa-319	104	4	by	by	ADP
ijassa-319	104	5	numerical	numerical	PROPN
ijassa-319	104	6	control	control	PROPN
ijassa-319	104	7	nc	nc	PROPN
ijassa-319	104	8	programming	programming	PROPN
ijassa-319	104	9	is	be	AUX
ijassa-319	104	10	an	an	DET
ijassa-319	104	11	important	important	ADJ
ijassa-319	104	12	part	part	NOUN
ijassa-319	104	13	of	of	ADP
ijassa-319	104	14	laser	laser	NOUN
ijassa-319	104	15	processing	processing	NOUN
ijassa-319	104	16	,	,	PUNCT
ijassa-319	104	17	which	which	PRON
ijassa-319	104	18	affects	affect	VERB
ijassa-319	104	19	the	the	DET
ijassa-319	104	20	processing	processing	NOUN
ijassa-319	104	21	quality	quality	NOUN
ijassa-319	104	22	and	and	CCONJ
ijassa-319	104	23	production	production	NOUN
ijassa-319	104	24	efficiency[12	efficiency[12	PROPN
ijassa-319	104	25	]	]	PUNCT
ijassa-319	104	26	.	.	PUNCT
ijassa-319	105	1	in	in	ADP
ijassa-319	105	2	this	this	DET
ijassa-319	105	3	paper	paper	NOUN
ijassa-319	105	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	105	5	the	the	DET
ijassa-319	105	6	nc	nc	PROPN
ijassa-319	105	7	programming	programming	NOUN
ijassa-319	105	8	system	system	NOUN
ijassa-319	105	9	is	be	AUX
ijassa-319	105	10	alphacam	alphacam	NOUN
ijassa-319	105	11	which	which	PRON
ijassa-319	105	12	programmed	program	VERB
ijassa-319	105	13	by	by	ADP
ijassa-319	105	14	licom	licom	PROPN
ijassa-319	105	15	system	system	PROPN
ijassa-319	105	16	ltd	ltd	PROPN
ijassa-319	105	17	of	of	ADP
ijassa-319	105	18	england	england	PROPN
ijassa-319	105	19	.	.	PUNCT
ijassa-319	106	1	based	base	VERB
ijassa-319	106	2	upon	upon	SCONJ
ijassa-319	106	3	geometric	geometric	ADJ
ijassa-319	106	4	graphics	graphic	NOUN
ijassa-319	106	5	information	information	NOUN
ijassa-319	106	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	106	7	this	this	DET
ijassa-319	106	8	system	system	NOUN
ijassa-319	106	9	can	can	AUX
ijassa-319	106	10	automatically	automatically	ADV
ijassa-319	106	11	generate	generate	VERB
ijassa-319	106	12	and	and	CCONJ
ijassa-319	106	13	optimize	optimize	VERB
ijassa-319	106	14	the	the	DET
ijassa-319	106	15	tool	tool	NOUN
ijassa-319	106	16	-	-	PUNCT
ijassa-319	106	17	path	path	NOUN
ijassa-319	106	18	.	.	PUNCT
ijassa-319	107	1	as	as	SCONJ
ijassa-319	107	2	the	the	DET
ijassa-319	107	3	user	user	NOUN
ijassa-319	107	4	input	input	VERB
ijassa-319	107	5	the	the	DET
ijassa-319	107	6	process	process	NOUN
ijassa-319	107	7	parameters	parameter	NOUN
ijassa-319	107	8	on	on	ADP
ijassa-319	107	9	the	the	DET
ijassa-319	107	10	basis	basis	NOUN
ijassa-319	107	11	of	of	ADP
ijassa-319	107	12	the	the	DET
ijassa-319	107	13	tool	tool	NOUN
ijassa-319	107	14	-	-	PUNCT
ijassa-319	107	15	path	path	NOUN
ijassa-319	107	16	,	,	PUNCT
ijassa-319	107	17	the	the	DET
ijassa-319	107	18	system	system	NOUN
ijassa-319	107	19	then	then	ADV
ijassa-319	107	20	generate	generate	VERB
ijassa-319	107	21	laser	laser	NOUN
ijassa-319	107	22	processing	processing	NOUN
ijassa-319	107	23	nc	nc	PROPN
ijassa-319	107	24	code	code	PROPN
ijassa-319	107	25	automatically	automatically	ADV
ijassa-319	107	26	,	,	PUNCT
ijassa-319	107	27	includes	include	VERB
ijassa-319	107	28	the	the	DET
ijassa-319	107	29	laser	laser	NOUN
ijassa-319	107	30	fire	fire	NOUN
ijassa-319	107	31	on	on	ADP
ijassa-319	107	32	/	/	SYM
ijassa-319	107	33	off	off	ADP
ijassa-319	107	34	control	control	NOUN
ijassa-319	107	35	.	.	PUNCT
ijassa-319	108	1	the	the	DET
ijassa-319	108	2	flow	flow	ADJ
ijassa-319	108	3	chart	chart	NOUN
ijassa-319	108	4	of	of	ADP
ijassa-319	108	5	laser	laser	PROPN
ijassa-319	108	6	micro	micro	NOUN
ijassa-319	108	7	-	-	NOUN
ijassa-319	108	8	manufacturing	manufacturing	NOUN
ijassa-319	108	9	is	be	AUX
ijassa-319	108	10	shown	show	VERB
ijassa-319	108	11	in	in	ADP
ijassa-319	108	12	fig	fig	NOUN
ijassa-319	108	13	.	.	PUNCT
ijassa-319	109	1	9	9	X
ijassa-319	109	2	.	.	X
ijassa-319	109	3	trajectory	trajectory	NOUN
ijassa-319	109	4	optimization	optimization	NOUN
ijassa-319	109	5	is	be	AUX
ijassa-319	109	6	aimed	aim	VERB
ijassa-319	109	7	at	at	ADP
ijassa-319	109	8	generating	generate	VERB
ijassa-319	109	9	the	the	DET
ijassa-319	109	10	reasonable	reasonable	ADJ
ijassa-319	109	11	laser	laser	NOUN
ijassa-319	109	12	processing	processing	NOUN
ijassa-319	109	13	tool	tool	NOUN
ijassa-319	109	14	-	-	PUNCT
ijassa-319	109	15	path	path	NOUN
ijassa-319	109	16	,	,	PUNCT
ijassa-319	109	17	getting	get	VERB
ijassa-319	109	18	the	the	DET
ijassa-319	109	19	shortest	short	ADJ
ijassa-319	109	20	processing	processing	NOUN
ijassa-319	109	21	path	path	NOUN
ijassa-319	109	22	and	and	CCONJ
ijassa-319	109	23	the	the	DET
ijassa-319	109	24	least	least	ADJ
ijassa-319	109	25	number	number	NOUN
ijassa-319	109	26	of	of	ADP
ijassa-319	109	27	laser	laser	NOUN
ijassa-319	109	28	switching	switching	NOUN
ijassa-319	109	29	,	,	PUNCT
ijassa-319	109	30	and	and	CCONJ
ijassa-319	109	31	then	then	ADV
ijassa-319	109	32	improving	improve	VERB
ijassa-319	109	33	the	the	DET
ijassa-319	109	34	efficiency	efficiency	NOUN
ijassa-319	109	35	of	of	ADP
ijassa-319	109	36	laser	laser	NOUN
ijassa-319	109	37	processing	processing	NOUN
ijassa-319	109	38	.	.	PUNCT
ijassa-319	110	1	typically	typically	ADV
ijassa-319	110	2	,	,	PUNCT
ijassa-319	110	3	the	the	DET
ijassa-319	110	4	processing	processing	NOUN
ijassa-319	110	5	parameters	parameter	NOUN
ijassa-319	110	6	include	include	VERB
ijassa-319	110	7	laser	laser	NOUN
ijassa-319	110	8	fluence	fluence	NOUN
ijassa-319	110	9	,	,	PUNCT
ijassa-319	110	10	beam	beam	NOUN
ijassa-319	110	11	size	size	NOUN
ijassa-319	110	12	,	,	PUNCT
ijassa-319	110	13	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	110	14	repetition	repetition	NOUN
ijassa-319	110	15	frequency	frequency	NOUN
ijassa-319	110	16	,	,	PUNCT
ijassa-319	110	17	scanning	scan	VERB
ijassa-319	110	18	velocity	velocity	NOUN
ijassa-319	110	19	(	(	PUNCT
ijassa-319	110	20	for	for	ADP
ijassa-319	110	21	processing	process	VERB
ijassa-319	110	22	with	with	ADP
ijassa-319	110	23	scanning	scan	VERB
ijassa-319	110	24	mode	mode	NOUN
ijassa-319	110	25	)	)	PUNCT
ijassa-319	110	26	and	and	CCONJ
ijassa-319	110	27	total	total	ADJ
ijassa-319	110	28	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	110	29	numbers	number	NOUN
ijassa-319	110	30	(	(	PUNCT
ijassa-319	110	31	usually	usually	ADV
ijassa-319	110	32	for	for	ADP
ijassa-319	110	33	machining	machine	VERB
ijassa-319	110	34	at	at	ADP
ijassa-319	110	35	a	a	DET
ijassa-319	110	36	constant	constant	ADJ
ijassa-319	110	37	position	position	NOUN
ijassa-319	110	38	)	)	PUNCT
ijassa-319	110	39	.	.	PUNCT
ijassa-319	111	1	creating	create	VERB
ijassa-319	111	2	toolpath	toolpath	NOUN
ijassa-319	111	3	determining	determine	VERB
ijassa-319	111	4	the	the	DET
ijassa-319	111	5	optimal	optimal	ADJ
ijassa-319	111	6	processing	processing	NOUN
ijassa-319	111	7	parameters	parameter	NOUN
ijassa-319	111	8	step	step	VERB
ijassa-319	111	9	and	and	CCONJ
ijassa-319	111	10	repeat	repeat	VERB
ijassa-319	111	11	mode	mode	NOUN
ijassa-319	111	12	direct	direct	ADJ
ijassa-319	111	13	writing	writing	NOUN
ijassa-319	111	14	mode	mode	NOUN
ijassa-319	111	15	generating	generate	VERB
ijassa-319	111	16	nc	nc	PROPN
ijassa-319	111	17	code	code	PROPN
ijassa-319	111	18	actual	actual	ADJ
ijassa-319	111	19	machining	machining	NOUN
ijassa-319	111	20	drawing	draw	VERB
ijassa-319	111	21	3d	3d	NUM
ijassa-319	111	22	structure	structure	NOUN
ijassa-319	111	23	fig.9	fig.9	PROPN
ijassa-319	111	24	.	.	PUNCT
ijassa-319	112	1	the	the	DET
ijassa-319	112	2	flow	flow	ADJ
ijassa-319	112	3	chart	chart	NOUN
ijassa-319	112	4	of	of	ADP
ijassa-319	112	5	laser	laser	NOUN
ijassa-319	112	6	processing	processing	NOUN
ijassa-319	112	7	advances	advance	NOUN
ijassa-319	112	8	in	in	ADP
ijassa-319	112	9	systems	system	NOUN
ijassa-319	112	10	science	science	NOUN
ijassa-319	112	11	and	and	CCONJ
ijassa-319	112	12	applications	application	NOUN
ijassa-319	112	13	(	(	PUNCT
ijassa-319	112	14	2011	2011	NUM
ijassa-319	112	15	)	)	PUNCT
ijassa-319	112	16	,	,	PUNCT
ijassa-319	112	17	vol.11	vol.11	PROPN
ijassa-319	112	18	,	,	PUNCT
ijassa-319	112	19	no.3	no.3	NOUN
ijassa-319	112	20	-	-	SYM
ijassa-319	112	21	4	4	NUM
ijassa-319	112	22	277	277	NUM
ijassa-319	112	23	as	as	ADP
ijassa-319	112	24	examples	example	NOUN
ijassa-319	112	25	of	of	ADP
ijassa-319	112	26	laser	laser	NOUN
ijassa-319	112	27	nc	nc	PROPN
ijassa-319	112	28	micromachining	micromachining	PROPN
ijassa-319	112	29	,	,	PUNCT
ijassa-319	112	30	fig	fig	NOUN
ijassa-319	112	31	.	.	PUNCT
ijassa-319	113	1	10	10	NUM
ijassa-319	113	2	shows	show	VERB
ijassa-319	113	3	two	two	NUM
ijassa-319	113	4	microstructures	microstructure	NOUN
ijassa-319	113	5	fabricated	fabricate	VERB
ijassa-319	113	6	by	by	ADP
ijassa-319	113	7	157	157	NUM
ijassa-319	113	8	nm	nm	ADJ
ijassa-319	113	9	laser	laser	NOUN
ijassa-319	113	10	.	.	PUNCT
ijassa-319	114	1	fig	fig	NOUN
ijassa-319	114	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	115	1	10(a	10(a	NUM
ijassa-319	115	2	)	)	PUNCT
ijassa-319	115	3	is	be	AUX
ijassa-319	115	4	a	a	DET
ijassa-319	115	5	chinese	chinese	ADJ
ijassa-319	115	6	character	character	NOUN
ijassa-319	115	7	“	"	PUNCT
ijassa-319	115	8	田	田	NOUN
ijassa-319	115	9	”	"	PUNCT
ijassa-319	115	10	.	.	PUNCT
ijassa-319	116	1	the	the	DET
ijassa-319	116	2	process	process	NOUN
ijassa-319	116	3	tool	tool	NOUN
ijassa-319	116	4	-	-	PUNCT
ijassa-319	116	5	path	path	NOUN
ijassa-319	116	6	was	be	AUX
ijassa-319	116	7	decided	decide	VERB
ijassa-319	116	8	as	as	ADP
ijassa-319	116	9	from	from	ADP
ijassa-319	116	10	line	line	NOUN
ijassa-319	116	11	1	1	NUM
ijassa-319	116	12	to	to	PART
ijassa-319	116	13	line	line	NOUN
ijassa-319	116	14	6	6	NUM
ijassa-319	116	15	.	.	PUNCT
ijassa-319	117	1	the	the	DET
ijassa-319	117	2	process	process	NOUN
ijassa-319	117	3	parameters	parameter	NOUN
ijassa-319	117	4	were	be	AUX
ijassa-319	117	5	:	:	PUNCT
ijassa-319	117	6	a	a	DET
ijassa-319	117	7	quadrate	quadrate	ADJ
ijassa-319	117	8	beam	beam	NOUN
ijassa-319	117	9	with	with	ADP
ijassa-319	117	10	size	size	NOUN
ijassa-319	117	11	of	of	ADP
ijassa-319	117	12	~35μm×25μm	~35μm×25μm	PROPN
ijassa-319	117	13	,	,	PUNCT
ijassa-319	117	14	the	the	DET
ijassa-319	117	15	laser	laser	NOUN
ijassa-319	117	16	fluence	fluence	NOUN
ijassa-319	117	17	~4j	~4j	PROPN
ijassa-319	117	18	/	/	SYM
ijassa-319	117	19	cm2	cm2	NOUN
ijassa-319	117	20	;	;	PUNCT
ijassa-319	117	21	scanning	scan	VERB
ijassa-319	117	22	velocity	velocity	NOUN
ijassa-319	117	23	0.15mm	0.15mm	NOUN
ijassa-319	117	24	/	/	SYM
ijassa-319	117	25	min	min	PROPN
ijassa-319	117	26	,	,	PUNCT
ijassa-319	117	27	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	117	28	repetition	repetition	NOUN
ijassa-319	117	29	rate	rate	NOUN
ijassa-319	117	30	12hz	12hz	NOUN
ijassa-319	117	31	.	.	PUNCT
ijassa-319	118	1	fig	fig	NOUN
ijassa-319	118	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	119	1	10(b	10(b	NUM
ijassa-319	119	2	)	)	PUNCT
ijassa-319	120	1	is	be	AUX
ijassa-319	120	2	a	a	DET
ijassa-319	120	3	special	special	ADJ
ijassa-319	120	4	shaped	shape	VERB
ijassa-319	120	5	channel	channel	NOUN
ijassa-319	120	6	ablated	ablate	VERB
ijassa-319	120	7	into	into	ADP
ijassa-319	120	8	a	a	DET
ijassa-319	120	9	smf-28	smf-28	ADJ
ijassa-319	120	10	fiber	fiber	NOUN
ijassa-319	120	11	.	.	PUNCT
ijassa-319	121	1	laser	laser	NOUN
ijassa-319	121	2	scanning	scanning	NOUN
ijassa-319	121	3	was	be	AUX
ijassa-319	121	4	performed	perform	VERB
ijassa-319	121	5	along	along	ADP
ijassa-319	121	6	a	a	DET
ijassa-319	121	7	path	path	NOUN
ijassa-319	121	8	as	as	ADP
ijassa-319	121	9	line1	line1	PROPN
ijassa-319	121	10	to	to	ADP
ijassa-319	121	11	2	2	NUM
ijassa-319	121	12	,	,	PUNCT
ijassa-319	121	13	and	and	CCONJ
ijassa-319	121	14	so	so	ADV
ijassa-319	121	15	on	on	ADV
ijassa-319	121	16	.	.	PUNCT
ijassa-319	122	1	laser	laser	NOUN
ijassa-319	122	2	spot	spot	NOUN
ijassa-319	122	3	is	be	AUX
ijassa-319	122	4	about	about	ADV
ijassa-319	122	5	10μm×10μm	10μm×10μm	NUM
ijassa-319	122	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	122	7	and	and	CCONJ
ijassa-319	122	8	scanning	scan	VERB
ijassa-319	122	9	velocity	velocity	NOUN
ijassa-319	122	10	is	be	AUX
ijassa-319	122	11	0.12mm	0.12mm	ADJ
ijassa-319	122	12	/	/	SYM
ijassa-319	122	13	min	min	NOUN
ijassa-319	122	14	.	.	PROPN
ijassa-319	122	15	on	on	ADP
ijassa-319	122	16	the	the	DET
ijassa-319	122	17	whole	whole	NOUN
ijassa-319	122	18	,	,	PUNCT
ijassa-319	122	19	the	the	DET
ijassa-319	122	20	micromachining	micromachine	VERB
ijassa-319	122	21	quality	quality	NOUN
ijassa-319	122	22	of	of	ADP
ijassa-319	122	23	those	those	DET
ijassa-319	122	24	microstructures	microstructure	NOUN
ijassa-319	122	25	is	be	AUX
ijassa-319	122	26	considerably	considerably	ADV
ijassa-319	122	27	good	good	ADJ
ijassa-319	122	28	.	.	PUNCT
ijassa-319	123	1	(	(	PUNCT
ijassa-319	123	2	a	a	X
ijassa-319	123	3	)	)	PUNCT
ijassa-319	123	4	(	(	PUNCT
ijassa-319	123	5	b	b	X
ijassa-319	123	6	)	)	PUNCT
ijassa-319	123	7	fig.10	fig.10	NOUN
ijassa-319	123	8	.	.	PUNCT
ijassa-319	124	1	the	the	DET
ijassa-319	124	2	nc	nc	PROPN
ijassa-319	124	3	process	process	NOUN
ijassa-319	124	4	tool	tool	NOUN
ijassa-319	124	5	-	-	PUNCT
ijassa-319	124	6	path	path	NOUN
ijassa-319	124	7	and	and	CCONJ
ijassa-319	124	8	ablated	ablate	VERB
ijassa-319	124	9	images	image	NOUN
ijassa-319	124	10	of	of	ADP
ijassa-319	124	11	157	157	NUM
ijassa-319	124	12	nm	nm	NOUN
ijassa-319	124	13	laser	laser	NOUN
ijassa-319	124	14	micro	micro	NOUN
ijassa-319	124	15	-	-	NOUN
ijassa-319	124	16	fabrication	fabrication	NOUN
ijassa-319	124	17	(	(	PUNCT
ijassa-319	124	18	a	a	NOUN
ijassa-319	124	19	)	)	PUNCT
ijassa-319	124	20	on	on	ADP
ijassa-319	124	21	a	a	DET
ijassa-319	124	22	silica	silica	NOUN
ijassa-319	124	23	chip	chip	NOUN
ijassa-319	124	24	(	(	PUNCT
ijassa-319	124	25	b	b	NOUN
ijassa-319	124	26	)	)	PUNCT
ijassa-319	124	27	on	on	ADP
ijassa-319	124	28	a	a	DET
ijassa-319	124	29	silica	silica	NOUN
ijassa-319	124	30	fiber	fiber	NOUN
ijassa-319	124	31	4	4	NUM
ijassa-319	124	32	.	.	PUNCT
ijassa-319	124	33	discussion	discussion	NOUN
ijassa-319	124	34	fused	fuse	VERB
ijassa-319	124	35	silica	silica	NOUN
ijassa-319	124	36	has	have	VERB
ijassa-319	124	37	a	a	DET
ijassa-319	124	38	~9.3ev	~9.3ev	NOUN
ijassa-319	124	39	bandgap	bandgap	NOUN
ijassa-319	124	40	energy	energy	NOUN
ijassa-319	124	41	,	,	PUNCT
ijassa-319	124	42	equivalent	equivalent	ADJ
ijassa-319	124	43	to	to	ADP
ijassa-319	124	44	133	133	NUM
ijassa-319	124	45	nm	nm	PRON
ijassa-319	124	46	wavelength	wavelength	NOUN
ijassa-319	124	47	.	.	PUNCT
ijassa-319	125	1	practical	practical	ADJ
ijassa-319	125	2	lasers	laser	NOUN
ijassa-319	125	3	are	be	AUX
ijassa-319	125	4	not	not	PART
ijassa-319	125	5	yet	yet	ADV
ijassa-319	125	6	available	available	ADJ
ijassa-319	125	7	at	at	ADP
ijassa-319	125	8	the	the	DET
ijassa-319	125	9	bandgap	bandgap	NOUN
ijassa-319	125	10	energy	energy	NOUN
ijassa-319	125	11	(	(	PUNCT
ijassa-319	125	12	9.3ev	9.3ev	NUM
ijassa-319	125	13	)	)	PUNCT
ijassa-319	125	14	.	.	PUNCT
ijassa-319	126	1	at	at	ADP
ijassa-319	126	2	157	157	NUM
ijassa-319	126	3	nm	nm	ADJ
ijassa-319	126	4	wavelength	wavelength	NOUN
ijassa-319	126	5	,	,	PUNCT
ijassa-319	126	6	fused	fuse	VERB
ijassa-319	126	7	silica	silica	NOUN
ijassa-319	126	8	is	be	AUX
ijassa-319	126	9	only	only	ADV
ijassa-319	126	10	weakly	weakly	ADV
ijassa-319	126	11	absorbing	absorbing	ADJ
ijassa-319	126	12	,	,	PUNCT
ijassa-319	126	13	α=10cm-1[10	α=10cm-1[10	PROPN
ijassa-319	126	14	]	]	PUNCT
ijassa-319	126	15	,	,	PUNCT
ijassa-319	126	16	but	but	CCONJ
ijassa-319	126	17	from	from	ADP
ijassa-319	126	18	our	our	PRON
ijassa-319	126	19	experiments	experiment	NOUN
ijassa-319	126	20	and	and	CCONJ
ijassa-319	126	21	literature	literature	NOUN
ijassa-319	126	22	[	[	X
ijassa-319	126	23	10,11,13,14,15	10,11,13,14,15	NUM
ijassa-319	126	24	]	]	X
ijassa-319	126	25	,	,	PUNCT
ijassa-319	126	26	the	the	DET
ijassa-319	126	27	157	157	NUM
ijassa-319	126	28	nm	nm	ADJ
ijassa-319	126	29	lasers	laser	NOUN
ijassa-319	126	30	nevertheless	nevertheless	ADV
ijassa-319	126	31	provide	provide	VERB
ijassa-319	126	32	sufficiently	sufficiently	ADV
ijassa-319	126	33	strong	strong	ADJ
ijassa-319	126	34	interaction	interaction	NOUN
ijassa-319	126	35	that	that	PRON
ijassa-319	126	36	smooth	smooth	VERB
ijassa-319	126	37	etched	etch	VERB
ijassa-319	126	38	surfaces	surface	NOUN
ijassa-319	126	39	can	can	AUX
ijassa-319	126	40	be	be	AUX
ijassa-319	126	41	precisely	precisely	ADV
ijassa-319	126	42	excised	excise	VERB
ijassa-319	126	43	,	,	PUNCT
ijassa-319	126	44	free	free	ADJ
ijassa-319	126	45	of	of	ADP
ijassa-319	126	46	micro	micro	NOUN
ijassa-319	126	47	-	-	NOUN
ijassa-319	126	48	cracks	crack	NOUN
ijassa-319	126	49	and	and	CCONJ
ijassa-319	126	50	with	with	ADP
ijassa-319	126	51	little	little	ADJ
ijassa-319	126	52	debris	debris	NOUN
ijassa-319	126	53	.	.	PUNCT
ijassa-319	127	1	the	the	DET
ijassa-319	127	2	inverse	inverse	NOUN
ijassa-319	127	3	of	of	ADP
ijassa-319	127	4	the	the	DET
ijassa-319	127	5	slope	slope	NOUN
ijassa-319	127	6	provides	provide	VERB
ijassa-319	127	7	an	an	DET
ijassa-319	127	8	effective	effective	ADJ
ijassa-319	127	9	single	single	ADJ
ijassa-319	127	10	-	-	PUNCT
ijassa-319	127	11	photon	photon	NOUN
ijassa-319	127	12	absorption	absorption	NOUN
ijassa-319	127	13	coefficient	coefficient	NOUN
ijassa-319	127	14	of	of	ADP
ijassa-319	127	15	αeff	αeff	NOUN
ijassa-319	127	16	=	=	NOUN
ijassa-319	127	17	170,000cm-1	170,000cm-1	NUM
ijassa-319	127	18	—	—	PUNCT
ijassa-319	127	19	a	a	DET
ijassa-319	127	20	17,000	17,000	NUM
ijassa-319	127	21	-	-	NUM
ijassa-319	127	22	fold	fold	ADJ
ijassa-319	127	23	278	278	NUM
ijassa-319	127	24	xu	xu	NUM
ijassa-319	127	25	:	:	PUNCT
ijassa-319	127	26	micro	micro	ADJ
ijassa-319	127	27	-	-	ADJ
ijassa-319	127	28	manufacturing	manufacturing	ADJ
ijassa-319	127	29	technology	technology	NOUN
ijassa-319	127	30	using	use	VERB
ijassa-319	127	31	duv	duv	PROPN
ijassa-319	127	32	laser	laser	PROPN
ijassa-319	127	33	and	and	CCONJ
ijassa-319	127	34	nc	nc	PROPN
ijassa-319	127	35	increase	increase	NOUN
ijassa-319	127	36	that	that	PRON
ijassa-319	127	37	attests	attest	VERB
ijassa-319	127	38	to	to	ADP
ijassa-319	127	39	the	the	DET
ijassa-319	127	40	importance	importance	NOUN
ijassa-319	127	41	of	of	ADP
ijassa-319	127	42	defect	defect	ADJ
ijassa-319	127	43	formation	formation	NOUN
ijassa-319	127	44	during	during	ADP
ijassa-319	127	45	such	such	ADJ
ijassa-319	127	46	single	single	ADJ
ijassa-319	127	47	-	-	PUNCT
ijassa-319	127	48	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	127	49	interactions	interaction	NOUN
ijassa-319	127	50	.	.	PUNCT
ijassa-319	128	1	this	this	PRON
ijassa-319	128	2	is	be	AUX
ijassa-319	128	3	due	due	ADJ
ijassa-319	128	4	to	to	ADP
ijassa-319	128	5	,	,	PUNCT
ijassa-319	128	6	the	the	DET
ijassa-319	128	7	157	157	NUM
ijassa-319	128	8	nm	nm	ADJ
ijassa-319	128	9	output	output	NOUN
ijassa-319	128	10	of	of	ADP
ijassa-319	128	11	the	the	DET
ijassa-319	128	12	f2	f2	PROPN
ijassa-319	128	13	laser	laser	NOUN
ijassa-319	128	14	,	,	PUNCT
ijassa-319	128	15	which	which	PRON
ijassa-319	128	16	strongly	strongly	ADV
ijassa-319	128	17	couples	couple	VERB
ijassa-319	128	18	energy	energy	NOUN
ijassa-319	128	19	into	into	ADP
ijassa-319	128	20	glass	glass	NOUN
ijassa-319	128	21	via	via	ADP
ijassa-319	128	22	defects	defect	NOUN
ijassa-319	128	23	,	,	PUNCT
ijassa-319	128	24	dopants	dopant	NOUN
ijassa-319	128	25	or	or	CCONJ
ijassa-319	128	26	near	near	ADJ
ijassa-319	128	27	-	-	PUNCT
ijassa-319	128	28	bandedge	bandedge	NOUN
ijassa-319	128	29	states	state	NOUN
ijassa-319	128	30	,	,	PUNCT
ijassa-319	128	31	provides	provide	VERB
ijassa-319	128	32	one	one	NUM
ijassa-319	128	33	approach	approach	NOUN
ijassa-319	128	34	for	for	ADP
ijassa-319	128	35	micromachining	micromachine	VERB
ijassa-319	128	36	glass	glass	NOUN
ijassa-319	128	37	.	.	PUNCT
ijassa-319	129	1	in	in	ADP
ijassa-319	129	2	general	general	ADJ
ijassa-319	129	3	,	,	PUNCT
ijassa-319	129	4	germanium	germanium	NOUN
ijassa-319	129	5	and	and	CCONJ
ijassa-319	129	6	other	other	ADJ
ijassa-319	129	7	elements	element	NOUN
ijassa-319	129	8	are	be	AUX
ijassa-319	129	9	doped	dope	VERB
ijassa-319	129	10	into	into	ADP
ijassa-319	129	11	silica	silica	NOUN
ijassa-319	129	12	fibers	fiber	NOUN
ijassa-319	129	13	or	or	CCONJ
ijassa-319	129	14	glasses	glass	NOUN
ijassa-319	129	15	.	.	PUNCT
ijassa-319	130	1	fused	fuse	VERB
ijassa-319	130	2	silica	silica	NOUN
ijassa-319	130	3	has	have	VERB
ijassa-319	130	4	~8	~8	NOUN
ijassa-319	130	5	-	-	PUNCT
ijassa-319	130	6	ev	ev	VERB
ijassa-319	130	7	bandgap	bandgap	NOUN
ijassa-319	130	8	energy	energy	NOUN
ijassa-319	130	9	,	,	PUNCT
ijassa-319	130	10	and	and	CCONJ
ijassa-319	130	11	bonding	bond	VERB
ijassa-319	130	12	energy	energy	NOUN
ijassa-319	130	13	of	of	ADP
ijassa-319	130	14	si	si	NOUN
ijassa-319	130	15	-	-	PROPN
ijassa-319	130	16	o	o	NOUN
ijassa-319	130	17	is	be	AUX
ijassa-319	130	18	4.5ev	4.5ev	PROPN
ijassa-319	130	19	[	[	X
ijassa-319	130	20	10	10	NUM
ijassa-319	130	21	]	]	PUNCT
ijassa-319	130	22	.	.	PUNCT
ijassa-319	131	1	the	the	DET
ijassa-319	131	2	dopants	dopant	NOUN
ijassa-319	131	3	lower	low	ADJ
ijassa-319	131	4	the	the	DET
ijassa-319	131	5	bandgap	bandgap	NOUN
ijassa-319	131	6	and	and	CCONJ
ijassa-319	131	7	provide	provide	VERB
ijassa-319	131	8	copious	copious	ADJ
ijassa-319	131	9	new	new	ADJ
ijassa-319	131	10	defect	defect	NOUN
ijassa-319	131	11	centers	center	NOUN
ijassa-319	131	12	.	.	PUNCT
ijassa-319	132	1	and	and	CCONJ
ijassa-319	132	2	then	then	ADV
ijassa-319	132	3	,	,	PUNCT
ijassa-319	132	4	induced	induce	VERB
ijassa-319	132	5	by	by	ADP
ijassa-319	132	6	irradiation	irradiation	NOUN
ijassa-319	132	7	of	of	ADP
ijassa-319	132	8	157	157	NUM
ijassa-319	132	9	nm	nm	ADJ
ijassa-319	132	10	laser	laser	NOUN
ijassa-319	132	11	,	,	PUNCT
ijassa-319	132	12	many	many	ADJ
ijassa-319	132	13	defects	defect	NOUN
ijassa-319	132	14	such	such	ADJ
ijassa-319	132	15	as	as	ADP
ijassa-319	132	16	nbohcs	nbohc	NOUN
ijassa-319	132	17	,	,	PUNCT
ijassa-319	132	18	odcs	odcs	ADJ
ijassa-319	132	19	and	and	CCONJ
ijassa-319	132	20	e	e	NOUN
ijassa-319	132	21	’	'	PUNCT
ijassa-319	132	22	centers	center	NOUN
ijassa-319	132	23	were	be	AUX
ijassa-319	132	24	also	also	ADV
ijassa-319	132	25	created	create	VERB
ijassa-319	132	26	.	.	PUNCT
ijassa-319	133	1	the	the	DET
ijassa-319	133	2	possible	possible	ADJ
ijassa-319	133	3	processes	process	NOUN
ijassa-319	133	4	for	for	ADP
ijassa-319	133	5	photoinduced	photoinduce	VERB
ijassa-319	133	6	defect	defect	NOUN
ijassa-319	133	7	formation	formation	NOUN
ijassa-319	133	8	in	in	ADP
ijassa-319	133	9	the	the	DET
ijassa-319	133	10	fused	fuse	VERB
ijassa-319	133	11	silica	silica	NOUN
ijassa-319	133	12	upon	upon	SCONJ
ijassa-319	133	13	f2	f2	PROPN
ijassa-319	133	14	laser	laser	NOUN
ijassa-319	133	15	irradiation	irradiation	NOUN
ijassa-319	133	16	can	can	AUX
ijassa-319	133	17	be	be	AUX
ijassa-319	133	18	given	give	VERB
ijassa-319	133	19	by	by	ADP
ijassa-319	133	20	:	:	PUNCT
ijassa-319	133	21	(	(	PUNCT
ijassa-319	133	22	)	)	PUNCT
ijassa-319	133	23	(	(	PUNCT
ijassa-319	133	24	)	)	PUNCT
ijassa-319	133	25	(	(	PUNCT
ijassa-319	133	26	)	)	PUNCT
ijassa-319	133	27	hvsi	hvsi	NOUN
ijassa-319	134	1	o	o	INTJ
ijassa-319	134	2	si	si	INTJ
ijassa-319	134	3	si	si	X
ijassa-319	134	4	o	o	NOUN
ijassa-319	134	5	si	si	X
ijassa-319	134	6	e	e	PROPN
ijassa-319	134	7	nbohc	nbohc	PROPN
ijassa-319	134	8	≡	≡	PROPN
ijassa-319	134	9	−	−	PROPN
ijassa-319	135	1	−	−	PROPN
ijassa-319	135	2	≡	≡	PROPN
ijassa-319	135	3	⎯⎯→	⎯⎯→	X
ijassa-319	135	4	≡	≡	PROPN
ijassa-319	135	5	•	•	ADP
ijassa-319	136	1	+	+	CCONJ
ijassa-319	136	2	•	•	NUM
ijassa-319	136	3	−	−	PROPN
ijassa-319	136	4	≡	≡	PROPN
ijassa-319	136	5	′	′	NUM
ijassa-319	136	6	ⅰ	ⅰ	NOUN
ijassa-319	136	7	2	2	NUM
ijassa-319	136	8	1	1	NUM
ijassa-319	136	9	2	2	NUM
ijassa-319	136	10	(	(	PUNCT
ijassa-319	136	11	)	)	PUNCT
ijassa-319	136	12	(	(	PUNCT
ijassa-319	136	13	)	)	PUNCT
ijassa-319	136	14	2	2	NUM
ijassa-319	136	15	(	(	PUNCT
ijassa-319	136	16	e	e	NOUN
ijassa-319	136	17	)	)	PUNCT
ijassa-319	136	18	hv	hv	PROPN
ijassa-319	136	19	si	si	PROPN
ijassa-319	136	20	o	o	NOUN
ijassa-319	136	21	si	si	X
ijassa-319	136	22	si	si	INTJ
ijassa-319	136	23	si	si	PROPN
ijassa-319	136	24	o	o	PROPN
ijassa-319	136	25	odcs	odc	VERB
ijassa-319	136	26	si	si	PROPN
ijassa-319	136	27	si	si	X
ijassa-319	136	28	si	si	PROPN
ijassa-319	136	29	≡	≡	PROPN
ijassa-319	136	30	−	−	PROPN
ijassa-319	137	1	−	−	PROPN
ijassa-319	137	2	≡	≡	PROPN
ijassa-319	137	3	⎯⎯→≡	⎯⎯→≡	PROPN
ijassa-319	137	4	−	−	PROPN
ijassa-319	137	5	≡	≡	PROPN
ijassa-319	137	6	+	+	CCONJ
ijassa-319	137	7	≡	≡	PROPN
ijassa-319	137	8	−	−	PROPN
ijassa-319	137	9	≡	≡	PROPN
ijassa-319	137	10	⎯⎯→	⎯⎯→	X
ijassa-319	137	11	≡	≡	PROPN
ijassa-319	137	12	•	•	NOUN
ijassa-319	137	13	′	′	NUM
ijassa-319	138	1	ⅱ	ⅱ	ADP
ijassa-319	138	2	the	the	DET
ijassa-319	138	3	photoexcited	photoexcite	VERB
ijassa-319	138	4	states	state	NOUN
ijassa-319	138	5	of	of	ADP
ijassa-319	138	6	si	si	PROPN
ijassa-319	138	7	–	–	PUNCT
ijassa-319	138	8	o	o	NOUN
ijassa-319	138	9	–	–	PUNCT
ijassa-319	138	10	si	si	PROPN
ijassa-319	138	11	rings	ring	NOUN
ijassa-319	138	12	would	would	AUX
ijassa-319	138	13	result	result	VERB
ijassa-319	138	14	in	in	ADP
ijassa-319	138	15	dissociation	dissociation	NOUN
ijassa-319	138	16	into	into	ADP
ijassa-319	138	17	pairs	pair	NOUN
ijassa-319	138	18	of	of	ADP
ijassa-319	138	19	nbohcs	nbohc	NOUN
ijassa-319	138	20	and	and	CCONJ
ijassa-319	138	21	e	e	NOUN
ijassa-319	138	22	’	'	PUNCT
ijassa-319	138	23	centers	center	NOUN
ijassa-319	138	24	[	[	X
ijassa-319	138	25	process	process	NOUN
ijassa-319	138	26	(	(	PUNCT
ijassa-319	138	27	i)]or	i)]or	ADV
ijassa-319	138	28	formation	formation	NOUN
ijassa-319	138	29	of	of	ADP
ijassa-319	138	30	odcs	odc	NOUN
ijassa-319	138	31	accompanied	accompany	VERB
ijassa-319	138	32	by	by	ADP
ijassa-319	138	33	interstitial	interstitial	ADJ
ijassa-319	138	34	oxygen	oxygen	NOUN
ijassa-319	138	35	molecules	molecule	NOUN
ijassa-319	138	36	[	[	X
ijassa-319	138	37	process	process	NOUN
ijassa-319	138	38	(	(	PUNCT
ijassa-319	138	39	ii	ii	NOUN
ijassa-319	138	40	)	)	PUNCT
ijassa-319	138	41	]	]	PUNCT
ijassa-319	138	42	.	.	PUNCT
ijassa-319	139	1	the	the	DET
ijassa-319	139	2	photoinduced	photoinduce	VERB
ijassa-319	139	3	odc	odc	PROPN
ijassa-319	139	4	defects	defect	NOUN
ijassa-319	139	5	were	be	AUX
ijassa-319	139	6	also	also	ADV
ijassa-319	139	7	excited	excite	VERB
ijassa-319	139	8	by	by	ADP
ijassa-319	139	9	f2	f2	PROPN
ijassa-319	139	10	laser	laser	NOUN
ijassa-319	139	11	,	,	PUNCT
ijassa-319	139	12	which	which	PRON
ijassa-319	139	13	led	lead	VERB
ijassa-319	139	14	to	to	ADP
ijassa-319	139	15	the	the	DET
ijassa-319	139	16	formation	formation	NOUN
ijassa-319	139	17	of	of	ADP
ijassa-319	139	18	e	e	NOUN
ijassa-319	139	19	’	'	PUNCT
ijassa-319	139	20	centers	center	NOUN
ijassa-319	139	21	.	.	PUNCT
ijassa-319	140	1	all	all	PRON
ijassa-319	140	2	of	of	ADP
ijassa-319	140	3	them	they	PRON
ijassa-319	140	4	would	would	AUX
ijassa-319	140	5	cause	cause	VERB
ijassa-319	140	6	the	the	DET
ijassa-319	140	7	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	140	8	threshold	threshold	NOUN
ijassa-319	140	9	was	be	AUX
ijassa-319	140	10	lowered	lower	VERB
ijassa-319	140	11	,	,	PUNCT
ijassa-319	140	12	sometimes	sometimes	ADV
ijassa-319	140	13	to	to	ADP
ijassa-319	140	14	70	70	NUM
ijassa-319	140	15	%	%	NOUN
ijassa-319	140	16	.	.	PUNCT
ijassa-319	141	1	due	due	ADP
ijassa-319	141	2	to	to	ADP
ijassa-319	141	3	the	the	DET
ijassa-319	141	4	large	large	ADJ
ijassa-319	141	5	photon	photon	NOUN
ijassa-319	141	6	energy	energy	NOUN
ijassa-319	141	7	of	of	ADP
ijassa-319	141	8	7.9	7.9	NUM
ijassa-319	141	9	-	-	PUNCT
ijassa-319	141	10	ev	ev	NOUN
ijassa-319	141	11	,	,	PUNCT
ijassa-319	141	12	it	it	PRON
ijassa-319	141	13	is	be	AUX
ijassa-319	141	14	easy	easy	ADJ
ijassa-319	141	15	to	to	PART
ijassa-319	141	16	break	break	VERB
ijassa-319	141	17	the	the	DET
ijassa-319	141	18	bonding	bonding	NOUN
ijassa-319	141	19	of	of	ADP
ijassa-319	141	20	silica	silica	NOUN
ijassa-319	141	21	glasses	glass	NOUN
ijassa-319	141	22	for	for	ADP
ijassa-319	141	23	157	157	NUM
ijassa-319	141	24	nm	nm	ADJ
ijassa-319	141	25	laser	laser	NOUN
ijassa-319	141	26	,	,	PUNCT
ijassa-319	141	27	only	only	ADV
ijassa-319	141	28	by	by	ADP
ijassa-319	141	29	one	one	NUM
ijassa-319	141	30	-	-	PUNCT
ijassa-319	141	31	photon	photon	NOUN
ijassa-319	141	32	-	-	PUNCT
ijassa-319	141	33	absorption	absorption	NOUN
ijassa-319	141	34	processes	process	NOUN
ijassa-319	141	35	.	.	PUNCT
ijassa-319	142	1	in	in	ADP
ijassa-319	142	2	fact	fact	NOUN
ijassa-319	142	3	,	,	PUNCT
ijassa-319	142	4	when	when	SCONJ
ijassa-319	142	5	fused	fuse	VERB
ijassa-319	142	6	silica	silica	NOUN
ijassa-319	142	7	exposed	expose	VERB
ijassa-319	142	8	to	to	ADP
ijassa-319	142	9	157	157	NUM
ijassa-319	142	10	nm	nm	ADJ
ijassa-319	142	11	laser	laser	NOUN
ijassa-319	142	12	irradiation	irradiation	NOUN
ijassa-319	142	13	,	,	PUNCT
ijassa-319	142	14	ion	ion	NOUN
ijassa-319	142	15	(	(	PUNCT
ijassa-319	142	16	si+	si+	ADJ
ijassa-319	142	17	,	,	PUNCT
ijassa-319	142	18	o+	o+	ADJ
ijassa-319	142	19	)	)	PUNCT
ijassa-319	142	20	emission	emission	NOUN
ijassa-319	142	21	phenomenon	phenomenon	NOUN
ijassa-319	142	22	and	and	CCONJ
ijassa-319	142	23	changes	change	NOUN
ijassa-319	142	24	of	of	ADP
ijassa-319	142	25	ion	ion	NOUN
ijassa-319	142	26	intensities	intensity	NOUN
ijassa-319	142	27	have	have	AUX
ijassa-319	142	28	been	be	AUX
ijassa-319	142	29	observed	observe	VERB
ijassa-319	142	30	[	[	PUNCT
ijassa-319	142	31	16	16	NUM
ijassa-319	142	32	]	]	PUNCT
ijassa-319	142	33	.	.	PUNCT
ijassa-319	143	1	that	that	PRON
ijassa-319	143	2	is	be	AUX
ijassa-319	143	3	also	also	ADV
ijassa-319	143	4	evidence	evidence	NOUN
ijassa-319	143	5	of	of	ADP
ijassa-319	143	6	photo	photo	NOUN
ijassa-319	143	7	-	-	PUNCT
ijassa-319	143	8	chemical	chemical	NOUN
ijassa-319	143	9	interaction	interaction	NOUN
ijassa-319	143	10	.	.	PUNCT
ijassa-319	144	1	unlike	unlike	ADP
ijassa-319	144	2	material	material	NOUN
ijassa-319	144	3	removal	removal	NOUN
ijassa-319	144	4	by	by	ADP
ijassa-319	144	5	193	193	NUM
ijassa-319	144	6	nm	nm	NOUN
ijassa-319	144	7	and	and	CCONJ
ijassa-319	144	8	248	248	NUM
ijassa-319	144	9	nm	nm	ADJ
ijassa-319	144	10	excimer	excimer	NOUN
ijassa-319	144	11	laser	laser	NOUN
ijassa-319	144	12	,	,	PUNCT
ijassa-319	144	13	which	which	PRON
ijassa-319	144	14	are	be	AUX
ijassa-319	144	15	mainly	mainly	ADV
ijassa-319	144	16	by	by	ADP
ijassa-319	144	17	photo	photo	NOUN
ijassa-319	144	18	-	-	PUNCT
ijassa-319	144	19	thermal	thermal	ADJ
ijassa-319	144	20	effect	effect	NOUN
ijassa-319	145	1	[	[	X
ijassa-319	145	2	17	17	NUM
ijassa-319	145	3	]	]	PUNCT
ijassa-319	145	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	145	5	few	few	ADJ
ijassa-319	145	6	of	of	ADP
ijassa-319	145	7	heat	heat	NOUN
ijassa-319	145	8	generated	generate	VERB
ijassa-319	145	9	during	during	ADP
ijassa-319	145	10	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	145	11	of	of	ADP
ijassa-319	145	12	157	157	NUM
ijassa-319	145	13	nm	nm	ADJ
ijassa-319	145	14	laser	laser	NOUN
ijassa-319	145	15	[	[	X
ijassa-319	145	16	18,19	18,19	NUM
ijassa-319	145	17	]	]	X
ijassa-319	145	18	.	.	PUNCT
ijassa-319	146	1	however	however	ADV
ijassa-319	146	2	,	,	PUNCT
ijassa-319	146	3	there	there	PRON
ijassa-319	146	4	is	be	VERB
ijassa-319	146	5	still	still	ADV
ijassa-319	146	6	evidence	evidence	NOUN
ijassa-319	146	7	of	of	ADP
ijassa-319	146	8	weak	weak	ADJ
ijassa-319	146	9	thermal	thermal	ADJ
ijassa-319	146	10	effect	effect	NOUN
ijassa-319	146	11	in	in	ADP
ijassa-319	146	12	157	157	NUM
ijassa-319	146	13	nm	nm	ADJ
ijassa-319	146	14	laser	laser	NOUN
ijassa-319	146	15	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	146	16	.	.	PUNCT
ijassa-319	147	1	for	for	ADP
ijassa-319	147	2	example	example	NOUN
ijassa-319	147	3	,	,	PUNCT
ijassa-319	147	4	slight	slight	ADJ
ijassa-319	147	5	color	color	NOUN
ijassa-319	147	6	-	-	PUNCT
ijassa-319	147	7	difference	difference	NOUN
ijassa-319	147	8	resulted	result	VERB
ijassa-319	147	9	from	from	ADP
ijassa-319	147	10	heat	heat	NOUN
ijassa-319	147	11	on	on	ADP
ijassa-319	147	12	glass	glass	NOUN
ijassa-319	147	13	surface	surface	NOUN
ijassa-319	147	14	can	can	AUX
ijassa-319	147	15	be	be	AUX
ijassa-319	147	16	observed	observe	VERB
ijassa-319	147	17	,	,	PUNCT
ijassa-319	147	18	as	as	SCONJ
ijassa-319	147	19	shown	show	VERB
ijassa-319	147	20	in	in	ADP
ijassa-319	147	21	fig	fig	NOUN
ijassa-319	147	22	.	.	PUNCT
ijassa-319	148	1	6	6	NUM
ijassa-319	148	2	and	and	CCONJ
ijassa-319	148	3	fig	fig	NOUN
ijassa-319	148	4	.	.	PUNCT
ijassa-319	149	1	10	10	NUM
ijassa-319	149	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	150	1	after	after	ADV
ijassa-319	150	2	all	all	ADV
ijassa-319	150	3	,	,	PUNCT
ijassa-319	150	4	the	the	DET
ijassa-319	150	5	157	157	NUM
ijassa-319	150	6	nm	nm	ADJ
ijassa-319	150	7	laser	laser	NOUN
ijassa-319	150	8	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	150	9	is	be	AUX
ijassa-319	150	10	one	one	NUM
ijassa-319	150	11	-	-	PUNCT
ijassa-319	150	12	photon	photon	NOUN
ijassa-319	150	13	-	-	PUNCT
ijassa-319	150	14	absorption	absorption	NOUN
ijassa-319	150	15	process	process	NOUN
ijassa-319	150	16	for	for	ADP
ijassa-319	150	17	silica	silica	NOUN
ijassa-319	150	18	glasses	glass	NOUN
ijassa-319	150	19	or	or	CCONJ
ijassa-319	150	20	fibers	fiber	NOUN
ijassa-319	150	21	,	,	PUNCT
ijassa-319	150	22	accompanying	accompany	VERB
ijassa-319	150	23	with	with	ADP
ijassa-319	150	24	weak	weak	ADJ
ijassa-319	150	25	thermal	thermal	ADJ
ijassa-319	150	26	effect	effect	NOUN
ijassa-319	150	27	only	only	ADV
ijassa-319	150	28	.	.	PUNCT
ijassa-319	151	1	5	5	X
ijassa-319	151	2	.	.	X
ijassa-319	151	3	conclusions	conclusion	NOUN
ijassa-319	151	4	a	a	DET
ijassa-319	151	5	new	new	ADJ
ijassa-319	151	6	micro	micro	ADJ
ijassa-319	151	7	-	-	ADJ
ijassa-319	151	8	manufacturing	manufacturing	ADJ
ijassa-319	151	9	tool	tool	NOUN
ijassa-319	151	10	-157	-157	PROPN
ijassa-319	151	11	nm	nm	ADJ
ijassa-319	151	12	duv	duv	PROPN
ijassa-319	151	13	laser	laser	NOUN
ijassa-319	151	14	is	be	AUX
ijassa-319	151	15	demonstrated	demonstrate	VERB
ijassa-319	151	16	in	in	ADP
ijassa-319	151	17	this	this	DET
ijassa-319	151	18	paper	paper	NOUN
ijassa-319	151	19	.	.	PUNCT
ijassa-319	152	1	for	for	ADP
ijassa-319	152	2	157	157	NUM
ijassa-319	152	3	nm	nm	ADJ
ijassa-319	152	4	laser	laser	NOUN
ijassa-319	152	5	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	152	6	of	of	ADP
ijassa-319	152	7	fused	fuse	VERB
ijassa-319	152	8	silica	silica	NOUN
ijassa-319	152	9	,	,	PUNCT
ijassa-319	152	10	the	the	DET
ijassa-319	152	11	material	material	NOUN
ijassa-319	152	12	removal	removal	NOUN
ijassa-319	152	13	is	be	AUX
ijassa-319	152	14	predominantly	predominantly	ADV
ijassa-319	152	15	photo	photo	ADJ
ijassa-319	152	16	-	-	PUNCT
ijassa-319	152	17	chemical	chemical	NOUN
ijassa-319	152	18	reaction	reaction	NOUN
ijassa-319	152	19	induced	induce	VERB
ijassa-319	152	20	by	by	ADP
ijassa-319	152	21	one	one	NUM
ijassa-319	152	22	-	-	PUNCT
ijassa-319	152	23	photon	photon	NOUN
ijassa-319	152	24	absorption	absorption	NOUN
ijassa-319	152	25	process	process	NOUN
ijassa-319	152	26	.	.	PUNCT
ijassa-319	153	1	experiments	experiment	NOUN
ijassa-319	153	2	and	and	CCONJ
ijassa-319	153	3	analysis	analysis	NOUN
ijassa-319	153	4	show	show	VERB
ijassa-319	153	5	that	that	SCONJ
ijassa-319	153	6	:	:	PUNCT
ijassa-319	153	7	(	(	PUNCT
ijassa-319	153	8	1	1	X
ijassa-319	153	9	)	)	PUNCT
ijassa-319	153	10	the	the	DET
ijassa-319	153	11	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	153	12	rate	rate	NOUN
ijassa-319	153	13	of	of	ADP
ijassa-319	153	14	fused	fuse	VERB
ijassa-319	153	15	silica	silica	NOUN
ijassa-319	153	16	is	be	AUX
ijassa-319	153	17	about	about	ADV
ijassa-319	153	18	75nm	75nm	NOUN
ijassa-319	153	19	/	/	SYM
ijassa-319	153	20	pulse	pulse	NOUN
ijassa-319	153	21	under	under	ADP
ijassa-319	153	22	laser	laser	NOUN
ijassa-319	153	23	fluence	fluence	NOUN
ijassa-319	153	24	of	of	ADP
ijassa-319	153	25	~4j	~4j	PROPN
ijassa-319	153	26	/	/	SYM
ijassa-319	153	27	cm2	cm2	NOUN
ijassa-319	153	28	and	and	CCONJ
ijassa-319	153	29	spot	spot	NOUN
ijassa-319	153	30	size	size	NOUN
ijassa-319	153	31	smaller	small	ADJ
ijassa-319	153	32	than	than	ADP
ijassa-319	153	33	35μm	35μm	NUM
ijassa-319	153	34	.	.	PUNCT
ijassa-319	154	1	but	but	CCONJ
ijassa-319	154	2	when	when	SCONJ
ijassa-319	154	3	the	the	DET
ijassa-319	154	4	number	number	NOUN
ijassa-319	154	5	of	of	ADP
ijassa-319	154	6	pulses	pulse	NOUN
ijassa-319	154	7	increases	increase	NOUN
ijassa-319	154	8	,	,	PUNCT
ijassa-319	154	9	the	the	DET
ijassa-319	154	10	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	154	11	rate	rate	NOUN
ijassa-319	154	12	would	would	AUX
ijassa-319	154	13	drop	drop	VERB
ijassa-319	154	14	down	down	ADP
ijassa-319	154	15	gradually	gradually	ADV
ijassa-319	154	16	.	.	PUNCT
ijassa-319	155	1	(	(	PUNCT
ijassa-319	155	2	2	2	X
ijassa-319	155	3	)	)	PUNCT
ijassa-319	155	4	take	take	VERB
ijassa-319	155	5	into	into	ADP
ijassa-319	155	6	account	account	NOUN
ijassa-319	155	7	the	the	DET
ijassa-319	155	8	machining	machining	NOUN
ijassa-319	155	9	efficiency	efficiency	NOUN
ijassa-319	155	10	,	,	PUNCT
ijassa-319	155	11	a	a	DET
ijassa-319	155	12	better	well	ADJ
ijassa-319	155	13	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	155	14	quality	quality	NOUN
ijassa-319	155	15	can	can	AUX
ijassa-319	155	16	be	be	AUX
ijassa-319	155	17	achieved	achieve	VERB
ijassa-319	155	18	under	under	ADP
ijassa-319	155	19	the	the	DET
ijassa-319	155	20	repetition	repetition	NOUN
ijassa-319	155	21	rate	rate	NOUN
ijassa-319	155	22	of	of	ADP
ijassa-319	155	23	~10hz	~10hz	NOUN
ijassa-319	155	24	.	.	PUNCT
ijassa-319	156	1	(	(	PUNCT
ijassa-319	156	2	3	3	X
ijassa-319	156	3	)	)	PUNCT
ijassa-319	156	4	157	157	NUM
ijassa-319	156	5	nm	nm	ADJ
ijassa-319	156	6	duv	duv	NOUN
ijassa-319	156	7	laser	laser	NOUN
ijassa-319	156	8	processing	processing	NOUN
ijassa-319	156	9	has	have	VERB
ijassa-319	156	10	great	great	ADJ
ijassa-319	156	11	potential	potential	NOUN
ijassa-319	156	12	for	for	ADP
ijassa-319	156	13	precision	precision	NOUN
ijassa-319	156	14	microfabrication	microfabrication	NOUN
ijassa-319	156	15	of	of	ADP
ijassa-319	156	16	hard	hard	ADJ
ijassa-319	156	17	materials	material	NOUN
ijassa-319	156	18	for	for	ADP
ijassa-319	156	19	practical	practical	ADJ
ijassa-319	156	20	applications	application	NOUN
ijassa-319	156	21	.	.	PUNCT
ijassa-319	157	1	acknowledgements	acknowledgement	NOUN
ijassa-319	157	2	this	this	DET
ijassa-319	157	3	work	work	NOUN
ijassa-319	157	4	was	be	AUX
ijassa-319	157	5	financially	financially	ADV
ijassa-319	157	6	supported	support	VERB
ijassa-319	157	7	by	by	ADP
ijassa-319	157	8	the	the	DET
ijassa-319	157	9	national	national	ADJ
ijassa-319	157	10	natural	natural	PROPN
ijassa-319	157	11	science	science	PROPN
ijassa-319	157	12	foundation	foundation	PROPN
ijassa-319	157	13	of	of	ADP
ijassa-319	157	14	china	china	PROPN
ijassa-319	157	15	(	(	PUNCT
ijassa-319	157	16	grant	grant	PROPN
ijassa-319	157	17	no.50775169	no.50775169	PROPN
ijassa-319	157	18	and	and	CCONJ
ijassa-319	157	19	no.60537050	no.60537050	PROPN
ijassa-319	157	20	)	)	PUNCT
ijassa-319	157	21	.	.	PUNCT
ijassa-319	158	1	references	reference	NOUN
ijassa-319	158	2	[	[	X
ijassa-319	158	3	1	1	NUM
ijassa-319	158	4	]	]	PUNCT
ijassa-319	158	5	m.	m.	PROPN
ijassa-319	158	6	edward	edward	PROPN
ijassa-319	158	7	motamedi	motamedi	PROPN
ijassa-319	158	8	,	,	PUNCT
ijassa-319	158	9	ming	ming	PROPN
ijassa-319	158	10	c.wu	c.wu	PROPN
ijassa-319	158	11	and	and	CCONJ
ijassa-319	158	12	kristorfer	kristorfer	VERB
ijassa-319	158	13	s.j.pister	s.j.pister	NOUN
ijassa-319	158	14	.	.	PUNCT
ijassa-319	159	1	micro	micro	ADJ
ijassa-319	159	2	-	-	ADJ
ijassa-319	159	3	opto	opto	ADJ
ijassa-319	159	4	-	-	PUNCT
ijassa-319	159	5	electro	electro	ADJ
ijassa-319	159	6	-	-	PUNCT
ijassa-319	159	7	mechanical	mechanical	ADJ
ijassa-319	159	8	devices	device	NOUN
ijassa-319	159	9	and	and	CCONJ
ijassa-319	159	10	on	on	ADP
ijassa-319	159	11	-	-	PUNCT
ijassa-319	159	12	chip	chip	NOUN
ijassa-319	159	13	optical	optical	ADJ
ijassa-319	159	14	processing	processing	NOUN
ijassa-319	159	15	.	.	PUNCT
ijassa-319	160	1	opt	opt	PROPN
ijassa-319	160	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	161	1	eng	eng	PROPN
ijassa-319	161	2	.	.	PROPN
ijassa-319	161	3	,	,	PUNCT
ijassa-319	161	4	vol	vol	NOUN
ijassa-319	161	5	.	.	PUNCT
ijassa-319	162	1	advances	advance	NOUN
ijassa-319	162	2	in	in	ADP
ijassa-319	162	3	systems	system	NOUN
ijassa-319	162	4	science	science	NOUN
ijassa-319	162	5	and	and	CCONJ
ijassa-319	162	6	applications	application	NOUN
ijassa-319	162	7	(	(	PUNCT
ijassa-319	162	8	2011	2011	NUM
ijassa-319	162	9	)	)	PUNCT
ijassa-319	162	10	,	,	PUNCT
ijassa-319	162	11	vol.11	vol.11	PROPN
ijassa-319	162	12	,	,	PUNCT
ijassa-319	162	13	no.3	no.3	NOUN
ijassa-319	162	14	-	-	SYM
ijassa-319	162	15	4	4	NUM
ijassa-319	162	16	279	279	NUM
ijassa-319	162	17	36	36	NUM
ijassa-319	162	18	(	(	PUNCT
ijassa-319	162	19	1997	1997	NUM
ijassa-319	162	20	)	)	PUNCT
ijassa-319	162	21	1282	1282	NUM
ijassa-319	162	22	-	-	SYM
ijassa-319	162	23	1297	1297	NUM
ijassa-319	162	24	.	.	PUNCT
ijassa-319	163	1	[	[	X
ijassa-319	163	2	2	2	X
ijassa-319	163	3	]	]	PUNCT
ijassa-319	163	4	w.	w.	PROPN
ijassa-319	163	5	zhang	zhang	PROPN
ijassa-319	163	6	and	and	CCONJ
ijassa-319	163	7	j.	j.	PROPN
ijassa-319	163	8	xiong	xiong	PROPN
ijassa-319	163	9	.	.	PUNCT
ijassa-319	164	1	micro	micro	ADJ
ijassa-319	164	2	-	-	ADJ
ijassa-319	164	3	optical	optical	ADJ
ijassa-319	164	4	-	-	PUNCT
ijassa-319	164	5	electromechanical	electromechanical	NOUN
ijassa-319	164	6	-	-	PUNCT
ijassa-319	164	7	system	system	NOUN
ijassa-319	164	8	,	,	PUNCT
ijassa-319	164	9	moems	moem	NOUN
ijassa-319	164	10	.	.	PUNCT
ijassa-319	165	1	china	china	PROPN
ijassa-319	165	2	machine	machine	PROPN
ijassa-319	165	3	press	press	PROPN
ijassa-319	165	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	165	5	(	(	PUNCT
ijassa-319	165	6	2006	2006	NUM
ijassa-319	165	7	)	)	PUNCT
ijassa-319	165	8	.	.	PUNCT
ijassa-319	166	1	[	[	X
ijassa-319	166	2	3	3	X
ijassa-319	166	3	]	]	X
ijassa-319	166	4	ming	ming	PROPN
ijassa-319	166	5	c.	c.	PROPN
ijassa-319	166	6	wu	wu	PROPN
ijassa-319	166	7	.	.	PUNCT
ijassa-319	167	1	micromachining	micromachine	VERB
ijassa-319	167	2	for	for	ADP
ijassa-319	167	3	optical	optical	ADJ
ijassa-319	167	4	and	and	CCONJ
ijassa-319	167	5	optoelectronic	optoelectronic	ADJ
ijassa-319	167	6	systems.vol.85	systems.vol.85	NOUN
ijassa-319	167	7	,	,	PUNCT
ijassa-319	167	8	no.11(1997	no.11(1997	X
ijassa-319	167	9	)	)	PUNCT
ijassa-319	167	10	18333	18333	NUM
ijassa-319	167	11	-	-	SYM
ijassa-319	167	12	1856	1856	NUM
ijassa-319	167	13	.	.	PUNCT
ijassa-319	168	1	[	[	X
ijassa-319	168	2	4	4	NUM
ijassa-319	168	3	]	]	X
ijassa-319	168	4	fei	fei	PROPN
ijassa-319	168	5	-	-	PUNCT
ijassa-319	168	6	fan	fan	PROPN
ijassa-319	168	7	chen	chen	PROPN
ijassa-319	168	8	,	,	PUNCT
ijassa-319	168	9	ling	ling	PROPN
ijassa-319	168	10	yin	yin	PROPN
ijassa-319	168	11	and	and	CCONJ
ijassa-319	168	12	yun	yun	PROPN
ijassa-319	168	13	-	-	PUNCT
ijassa-319	168	14	long	long	ADJ
ijassa-319	168	15	li	li	PROPN
ijassa-319	168	16	.	.	PROPN
ijassa-319	168	17	review	review	NOUN
ijassa-319	168	18	and	and	CCONJ
ijassa-319	168	19	prospects	prospect	NOUN
ijassa-319	168	20	of	of	ADP
ijassa-319	168	21	research	research	NOUN
ijassa-319	168	22	on	on	ADP
ijassa-319	168	23	micro	micro	ADJ
ijassa-319	168	24	-	-	ADJ
ijassa-319	168	25	opto	opto	ADJ
ijassa-319	168	26	-	-	PUNCT
ijassa-319	168	27	electromechanical	electromechanical	ADJ
ijassa-319	168	28	system	system	NOUN
ijassa-319	168	29	.	.	PUNCT
ijassa-319	169	1	microfabrication	microfabrication	NOUN
ijassa-319	169	2	technology	technology	NOUN
ijassa-319	169	3	.	.	PUNCT
ijassa-319	170	1	no.3(2002	no.3(2002	VERB
ijassa-319	170	2	)	)	PUNCT
ijassa-319	170	3	1	1	NUM
ijassa-319	170	4	-	-	SYM
ijassa-319	170	5	7	7	NUM
ijassa-319	170	6	.	.	PUNCT
ijassa-319	171	1	[	[	X
ijassa-319	171	2	5	5	X
ijassa-319	171	3	]	]	PUNCT
ijassa-319	171	4	hiroaki	hiroaki	PROPN
ijassa-319	171	5	misawa	misawa	PROPN
ijassa-319	171	6	and	and	CCONJ
ijassa-319	171	7	saulius	saulius	PROPN
ijassa-319	171	8	juodkazis	juodkazi	NOUN
ijassa-319	171	9	.	.	PUNCT
ijassa-319	172	1	3d	3d	PROPN
ijassa-319	172	2	laser	laser	NOUN
ijassa-319	172	3	microfabrication	microfabrication	NOUN
ijassa-319	172	4	.	.	PUNCT
ijassa-319	173	1	wiley	wiley	PROPN
ijassa-319	173	2	-	-	PUNCT
ijassa-319	173	3	vch	vch	PROPN
ijassa-319	173	4	verlag	verlag	PROPN
ijassa-319	173	5	gmbh&co.kgaa	gmbh&co.kgaa	PROPN
ijassa-319	173	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	173	7	(	(	PUNCT
ijassa-319	173	8	2006	2006	NUM
ijassa-319	173	9	)	)	PUNCT
ijassa-319	173	10	.	.	PUNCT
ijassa-319	174	1	[	[	X
ijassa-319	174	2	6	6	NUM
ijassa-319	174	3	]	]	X
ijassa-319	174	4	j.f	j.f	PROPN
ijassa-319	174	5	.	.	PROPN
ijassa-319	174	6	li	li	PROPN
ijassa-319	174	7	,	,	PUNCT
ijassa-319	174	8	microfabrication	microfabrication	NOUN
ijassa-319	174	9	technology	technology	NOUN
ijassa-319	174	10	of	of	ADP
ijassa-319	174	11	threedimensional	threedimensional	ADJ
ijassa-319	174	12	microdevices	microdevice	NOUN
ijassa-319	174	13	and	and	CCONJ
ijassa-319	174	14	their	their	PRON
ijassa-319	174	15	mems	mem	NOUN
ijassa-319	174	16	application	application	NOUN
ijassa-319	174	17	.	.	PUNCT
ijassa-319	174	18	inorganic	inorganic	ADJ
ijassa-319	174	19	materials	material	NOUN
ijassa-319	174	20	,	,	PUNCT
ijassa-319	174	21	17(4	17(4	NUM
ijassa-319	174	22	)	)	PUNCT
ijassa-319	174	23	(	(	PUNCT
ijassa-319	174	24	2003	2003	NUM
ijassa-319	174	25	)	)	PUNCT
ijassa-319	174	26	657	657	NUM
ijassa-319	174	27	-	-	SYM
ijassa-319	174	28	664	664	NUM
ijassa-319	174	29	.	.	PUNCT
ijassa-319	175	1	[	[	X
ijassa-319	175	2	7	7	X
ijassa-319	175	3	]	]	X
ijassa-319	175	4	ivan	ivan	PROPN
ijassa-319	175	5	fanderilik	fanderilik	PROPN
ijassa-319	175	6	.	.	PUNCT
ijassa-319	175	7	silica	silica	NOUN
ijassa-319	175	8	glass	glass	NOUN
ijassa-319	175	9	and	and	CCONJ
ijassa-319	175	10	its	its	PRON
ijassa-319	175	11	application	application	NOUN
ijassa-319	175	12	.	.	PUNCT
ijassa-319	176	1	amsterdam	amsterdam	NOUN
ijassa-319	176	2	:	:	PUNCT
ijassa-319	176	3	elsevier(1991	elsevier(1991	NUM
ijassa-319	176	4	)	)	PUNCT
ijassa-319	176	5	.	.	PUNCT
ijassa-319	177	1	[	[	X
ijassa-319	177	2	8	8	NUM
ijassa-319	177	3	]	]	PUNCT
ijassa-319	177	4	levy	levy	PROPN
ijassa-319	177	5	d.h	d.h	PROPN
ijassa-319	177	6	.	.	PROPN
ijassa-319	178	1	and	and	CCONJ
ijassa-319	178	2	gleason	gleason	PROPN
ijassa-319	178	3	k.k	k.k	PROPN
ijassa-319	178	4	.	.	PROPN
ijassa-319	178	5	reactions	reaction	NOUN
ijassa-319	178	6	of	of	ADP
ijassa-319	178	7	hydrogenated	hydrogenate	VERB
ijassa-319	178	8	defects	defect	NOUN
ijassa-319	178	9	in	in	ADP
ijassa-319	178	10	fuled	fule	VERB
ijassa-319	178	11	silica	silica	NOUN
ijassa-319	178	12	caused	cause	VERB
ijassa-319	178	13	by	by	ADP
ijassa-319	178	14	thermal	thermal	ADJ
ijassa-319	178	15	treament	treament	NOUN
ijassa-319	178	16	and	and	CCONJ
ijassa-319	178	17	deep	deep	ADJ
ijassa-319	178	18	ultraviolet	ultraviolet	ADJ
ijassa-319	178	19	irradiation	irradiation	NOUN
ijassa-319	178	20	.	.	PUNCT
ijassa-319	179	1	appl.phys.lett	appl.phys.lett	NOUN
ijassa-319	179	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	179	3	,60(14)(1992	,60(14)(1992	PUNCT
ijassa-319	179	4	)	)	PUNCT
ijassa-319	179	5	1667	1667	NUM
ijassa-319	179	6	-	-	SYM
ijassa-319	179	7	1669	1669	NUM
ijassa-319	179	8	.	.	PUNCT
ijassa-319	180	1	[	[	X
ijassa-319	180	2	9	9	NUM
ijassa-319	180	3	]	]	X
ijassa-319	180	4	y.	y.	PROPN
ijassa-319	180	5	wang	wang	PROPN
ijassa-319	180	6	and	and	CCONJ
ijassa-319	180	7	l.	l.	PROPN
ijassa-319	180	8	liu	liu	PROPN
ijassa-319	180	9	.	.	PROPN
ijassa-319	180	10	silica	silica	NOUN
ijassa-319	180	11	glass	glass	NOUN
ijassa-319	180	12	.	.	PUNCT
ijassa-319	181	1	chemical	chemical	NOUN
ijassa-319	181	2	industry	industry	NOUN
ijassa-319	181	3	press	press	NOUN
ijassa-319	181	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	181	5	(	(	PUNCT
ijassa-319	181	6	2006	2006	NUM
ijassa-319	181	7	)	)	PUNCT
ijassa-319	181	8	.	.	PUNCT
ijassa-319	182	1	[	[	X
ijassa-319	182	2	10	10	NUM
ijassa-319	182	3	]	]	X
ijassa-319	182	4	p.r	p.r	PROPN
ijassa-319	182	5	.	.	PROPN
ijassa-319	182	6	herman	herman	PROPN
ijassa-319	182	7	,	,	PUNCT
ijassa-319	182	8	r.s	r.s	PROPN
ijassa-319	182	9	.	.	PROPN
ijassa-319	182	10	marjoribanks	marjoribanks	PROPN
ijassa-319	182	11	,	,	PUNCT
ijassa-319	182	12	et	et	PROPN
ijassa-319	182	13	al	al	PROPN
ijassa-319	182	14	.	.	PROPN
ijassa-319	182	15	laser	laser	NOUN
ijassa-319	182	16	shaping	shaping	NOUN
ijassa-319	182	17	of	of	ADP
ijassa-319	182	18	photonic	photonic	ADJ
ijassa-319	182	19	materials	material	NOUN
ijassa-319	182	20	:	:	PUNCT
ijassa-319	182	21	deep	deep	ADJ
ijassa-319	182	22	-	-	PUNCT
ijassa-319	182	23	ultraviolet	ultraviolet	NOUN
ijassa-319	182	24	and	and	CCONJ
ijassa-319	182	25	ultrafast	ultrafast	ADJ
ijassa-319	182	26	lasers	laser	NOUN
ijassa-319	182	27	.	.	PUNCT
ijassa-319	183	1	applied	apply	VERB
ijassa-319	183	2	surface	surface	NOUN
ijassa-319	183	3	science	science	NOUN
ijassa-319	183	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	183	5	154	154	NUM
ijassa-319	183	6	-	-	SYM
ijassa-319	183	7	155(8)(2000)577	155(8)(2000)577	NUM
ijassa-319	183	8	-	-	PUNCT
ijassa-319	183	9	586	586	NUM
ijassa-319	183	10	.	.	PUNCT
ijassa-319	184	1	[	[	X
ijassa-319	184	2	11	11	NUM
ijassa-319	184	3	]	]	X
ijassa-319	184	4	y.	y.	PROPN
ijassa-319	184	5	dai	dai	PROPN
ijassa-319	184	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	184	7	d.	d.	PROPN
ijassa-319	184	8	jiang	jiang	PROPN
ijassa-319	184	9	and	and	CCONJ
ijassa-319	184	10	g.	g.	PROPN
ijassa-319	184	11	xu	xu	PROPN
ijassa-319	184	12	.	.	PUNCT
ijassa-319	185	1	microstructuring	microstructure	VERB
ijassa-319	185	2	of	of	ADP
ijassa-319	185	3	photonic	photonic	ADJ
ijassa-319	185	4	materials	material	NOUN
ijassa-319	185	5	by	by	ADP
ijassa-319	185	6	deep	deep	ADJ
ijassa-319	185	7	-	-	PUNCT
ijassa-319	185	8	ultraviolet	ultraviolet	NOUN
ijassa-319	185	9	laser	laser	NOUN
ijassa-319	185	10	.	.	PUNCT
ijassa-319	186	1	proceedings	proceeding	NOUN
ijassa-319	186	2	of	of	ADP
ijassa-319	186	3	spie	spie	ADJ
ijassa-319	186	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	186	5	7284(2009)72840p1	7284(2009)72840p1	NUM
ijassa-319	186	6	-	-	SYM
ijassa-319	186	7	6	6	NUM
ijassa-319	186	8	.	.	PUNCT
ijassa-319	187	1	[	[	X
ijassa-319	187	2	12	12	NUM
ijassa-319	187	3	]	]	X
ijassa-319	187	4	ryoichi	ryoichi	PROPN
ijassa-319	187	5	kuwano	kuwano	PROPN
ijassa-319	187	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	187	7	tsuyoshi	tsuyoshi	PROPN
ijassa-319	187	8	tokunaga	tokunaga	PROPN
ijassa-319	187	9	,	,	PUNCT
ijassa-319	187	10	yukitoshi	yukitoshi	ADJ
ijassa-319	187	11	otani	otani	NOUN
ijassa-319	187	12	and	and	CCONJ
ijassa-319	187	13	norihiro	norihiro	ADJ
ijassa-319	187	14	umeda	umeda	PROPN
ijassa-319	187	15	.	.	PUNCT
ijassa-319	188	1	beam	beam	NOUN
ijassa-319	188	2	shaping	shape	VERB
ijassa-319	188	3	optics	optic	NOUN
ijassa-319	188	4	for	for	ADP
ijassa-319	188	5	yag	yag	NOUN
ijassa-319	188	6	laser	laser	NOUN
ijassa-319	188	7	processing	processing	NOUN
ijassa-319	188	8	fabricated	fabricate	VERB
ijassa-319	188	9	by	by	ADP
ijassa-319	188	10	computerized	computerized	ADJ
ijassa-319	188	11	numerical	numerical	PROPN
ijassa-319	188	12	control	control	PROPN
ijassa-319	188	13	lathe	lathe	PROPN
ijassa-319	188	14	.	.	PUNCT
ijassa-319	189	1	optical	optical	ADJ
ijassa-319	189	2	review	review	PROPN
ijassa-319	189	3	vol	vol	NOUN
ijassa-319	189	4	.	.	PROPN
ijassa-319	190	1	12	12	NUM
ijassa-319	190	2	,	,	PUNCT
ijassa-319	190	3	no	no	INTJ
ijassa-319	190	4	.	.	NOUN
ijassa-319	190	5	6	6	NUM
ijassa-319	190	6	(	(	PUNCT
ijassa-319	190	7	2005	2005	NUM
ijassa-319	190	8	)	)	PUNCT
ijassa-319	191	1	476–479	476–479	NUM
ijassa-319	191	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	192	1	[	[	X
ijassa-319	192	2	13	13	NUM
ijassa-319	192	3	]	]	X
ijassa-319	192	4	h.	h.	PROPN
ijassa-319	192	5	deng	deng	PROPN
ijassa-319	192	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	192	7	y.	y.	PROPN
ijassa-319	192	8	rao	rao	PROPN
ijassa-319	192	9	,	,	PUNCT
ijassa-319	192	10	z.	z.	PROPN
ijassa-319	192	11	ran	run	VERB
ijassa-319	192	12	,	,	PUNCT
ijassa-319	192	13	x.	x.	PROPN
ijassa-319	192	14	liao	liao	PROPN
ijassa-319	192	15	,	,	PUNCT
ijassa-319	192	16	w.	w.	PROPN
ijassa-319	192	17	liu	liu	PROPN
ijassa-319	192	18	.	.	PUNCT
ijassa-319	193	1	photonic	photonic	PROPN
ijassa-319	193	2	crystal	crystal	NOUN
ijassa-319	193	3	fiber	fiber	NOUN
ijassa-319	193	4	based	base	VERB
ijassa-319	193	5	fabry	fabry	PROPN
ijassa-319	193	6	-	-	PUNCT
ijassa-319	193	7	perot	perot	NOUN
ijassa-319	193	8	sensor	sensor	NOUN
ijassa-319	193	9	fabricated	fabricate	VERB
ijassa-319	193	10	by	by	ADP
ijassa-319	193	11	using	use	VERB
ijassa-319	193	12	157	157	NUM
ijassa-319	193	13	nm	nm	ADJ
ijassa-319	193	14	laser	laser	NOUN
ijassa-319	193	15	micromachining	micromachining	NOUN
ijassa-319	193	16	.	.	PUNCT
ijassa-319	194	1	acta	acta	PROPN
ijassa-319	194	2	optica	optica	PROPN
ijassa-319	194	3	sinica	sinica	PROPN
ijassa-319	194	4	.	.	PUNCT
ijassa-319	195	1	28(2)(2008)255	28(2)(2008)255	NUM
ijassa-319	195	2	-	-	SYM
ijassa-319	195	3	258	258	NUM
ijassa-319	195	4	.	.	PUNCT
ijassa-319	196	1	[	[	X
ijassa-319	196	2	14	14	NUM
ijassa-319	196	3	]	]	X
ijassa-319	196	4	y.	y.	PROPN
ijassa-319	196	5	dai	dai	PROPN
ijassa-319	196	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	196	7	w.	w.	PROPN
ijassa-319	196	8	li	li	PROPN
ijassa-319	196	9	and	and	CCONJ
ijassa-319	196	10	d.	d.	PROPN
ijassa-319	196	11	jiang	jiang	PROPN
ijassa-319	196	12	.	.	PUNCT
ijassa-319	197	1	micro	micro	ADJ
ijassa-319	197	2	ablation	ablation	NOUN
ijassa-319	197	3	of	of	ADP
ijassa-319	197	4	optical	optical	ADJ
ijassa-319	197	5	fibers	fiber	NOUN
ijassa-319	197	6	using	use	VERB
ijassa-319	197	7	vacuum	vacuum	NOUN
ijassa-319	197	8	ultraviolet	ultraviolet	NOUN
ijassa-319	197	9	laser	laser	PROPN
ijassa-319	197	10	.	.	PUNCT
ijassa-319	198	1	proc	proc	PROPN
ijassa-319	198	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	199	1	int	int	NOUN
ijassa-319	199	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	199	3	conf	conf	PROPN
ijassa-319	199	4	.	.	PUNCT
ijassa-319	200	1	integr	integr	PROPN
ijassa-319	200	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	201	1	commer	commer	PROPN
ijassa-319	201	2	.	.	PUNCT
ijassa-319	201	3	micro	micro	PROPN
ijassa-319	201	4	nanosyst	nanosyst	PROPN
ijassa-319	201	5	,	,	PUNCT
ijassa-319	201	6	sanya	sanya	PROPN
ijassa-319	201	7	china	china	PROPN
ijassa-319	201	8	.	.	PUNCT
ijassa-319	202	1	(	(	PUNCT
ijassa-319	202	2	2007)1353	2007)1353	NOUN
ijassa-319	202	3	-	-	SYM
ijassa-319	202	4	1356	1356	NUM
ijassa-319	202	5	.	.	PUNCT
ijassa-319	203	1	[	[	X
ijassa-319	203	2	15	15	NUM
ijassa-319	203	3	]	]	X
ijassa-319	203	4	j.	j.	PROPN
ijassa-319	203	5	greuters	greuters	PROPN
ijassa-319	203	6	and	and	CCONJ
ijassa-319	203	7	n.h	n.h	PROPN
ijassa-319	203	8	.	.	PUNCT
ijassa-319	203	9	rizvi	rizvi	PROPN
ijassa-319	203	10	.	.	PUNCT
ijassa-319	204	1	laser	laser	NOUN
ijassa-319	204	2	micromachining	micromachining	NOUN
ijassa-319	204	3	of	of	ADP
ijassa-319	204	4	optical	optical	ADJ
ijassa-319	204	5	materials	material	NOUN
ijassa-319	204	6	with	with	ADP
ijassa-319	204	7	a	a	DET
ijassa-319	204	8	157	157	NUM
ijassa-319	204	9	-	-	PUNCT
ijassa-319	204	10	nm	nm	NOUN
ijassa-319	204	11	fluorine	fluorine	NOUN
ijassa-319	204	12	laser	laser	NOUN
ijassa-319	204	13	,	,	PUNCT
ijassa-319	204	14	proc	proc	NOUN
ijassa-319	204	15	.	.	PUNCT
ijassa-319	205	1	spie	spie	PROPN
ijassa-319	205	2	,	,	PUNCT
ijassa-319	205	3	belgium	belgium	NOUN
ijassa-319	205	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	205	5	4941(2003	4941(2003	NUM
ijassa-319	205	6	)	)	PUNCT
ijassa-319	205	7	77	77	NUM
ijassa-319	205	8	-	-	SYM
ijassa-319	205	9	83	83	NUM
ijassa-319	205	10	.	.	PUNCT
ijassa-319	206	1	[	[	X
ijassa-319	206	2	16	16	NUM
ijassa-319	206	3	]	]	X
ijassa-319	206	4	s.r	s.r	PROPN
ijassa-319	206	5	.	.	PROPN
ijassa-319	206	6	john	john	PROPN
ijassa-319	206	7	,	,	PUNCT
ijassa-319	206	8	j.a	j.a	PROPN
ijassa-319	206	9	.	.	PROPN
ijassa-319	206	10	leraas	leraas	PROPN
ijassa-319	206	11	,	,	PUNCT
ijassa-319	206	12	s.c	s.c	PROPN
ijassa-319	206	13	.	.	PROPN
ijassa-319	206	14	langford	langford	PROPN
ijassa-319	206	15	and	and	CCONJ
ijassa-319	206	16	j.t	j.t	PROPN
ijassa-319	206	17	.	.	PROPN
ijassa-319	206	18	dickinson	dickinson	PROPN
ijassa-319	206	19	.	.	PUNCT
ijassa-319	207	1	laser	laser	PROPN
ijassa-319	207	2	induced	induce	VERB
ijassa-319	207	3	ion	ion	NOUN
ijassa-319	207	4	emission	emission	NOUN
ijassa-319	207	5	from	from	ADP
ijassa-319	207	6	wide	wide	ADJ
ijassa-319	207	7	bandgap	bandgap	NOUN
ijassa-319	207	8	materials	material	NOUN
ijassa-319	207	9	.	.	PUNCT
ijassa-319	208	1	applied	apply	VERB
ijassa-319	208	2	surface	surface	NOUN
ijassa-319	208	3	science	science	NOUN
ijassa-319	208	4	.	.	PUNCT
ijassa-319	209	1	253(2007	253(2007	NUM
ijassa-319	209	2	)	)	PUNCT
ijassa-319	209	3	6283–6288	6283–6288	NUM
ijassa-319	209	4	.	.	PUNCT
ijassa-319	210	1	[	[	X
ijassa-319	210	2	17	17	NUM
ijassa-319	210	3	]	]	X
ijassa-319	210	4	y.	y.	PROPN
ijassa-319	210	5	liao	liao	PROPN
ijassa-319	210	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	210	7	y.	y.	PROPN
ijassa-319	210	8	chen	chen	PROPN
ijassa-319	210	9	,	,	PUNCT
ijassa-319	210	10	c.	c.	PROPN
ijassa-319	210	11	chao	chao	PROPN
ijassa-319	210	12	and	and	CCONJ
ijassa-319	210	13	y.	y.	PROPN
ijassa-319	210	14	liu	liu	PROPN
ijassa-319	210	15	.	.	PUNCT
ijassa-319	210	16	surface	surface	PROPN
ijassa-319	210	17	morphology	morphology	NOUN
ijassa-319	210	18	and	and	CCONJ
ijassa-319	210	19	sub	sub	ADJ
ijassa-319	210	20	-	-	ADJ
ijassa-319	210	21	surface	surface	ADJ
ijassa-319	210	22	damaged	damage	VERB
ijassa-319	210	23	layer	layer	NOUN
ijassa-319	210	24	of	of	ADP
ijassa-319	210	25	various	various	ADJ
ijassa-319	210	26	glasses	glass	NOUN
ijassa-319	210	27	machined	machine	VERB
ijassa-319	210	28	by	by	ADP
ijassa-319	210	29	193	193	NUM
ijassa-319	210	30	nm	nm	ADJ
ijassa-319	210	31	arf	arf	NOUN
ijassa-319	210	32	excimer	excimer	NOUN
ijassa-319	210	33	laser	laser	NOUN
ijassa-319	210	34	.	.	PUNCT
ijassa-319	211	1	proceedings	proceeding	NOUN
ijassa-319	211	2	of	of	ADP
ijassa-319	211	3	spie	spie	ADJ
ijassa-319	211	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	211	5	5717(2005)110	5717(2005)110	NOUN
ijassa-319	211	6	-	-	PUNCT
ijassa-319	211	7	117	117	NUM
ijassa-319	211	8	.	.	PUNCT
ijassa-319	212	1	[	[	X
ijassa-319	212	2	18	18	NUM
ijassa-319	212	3	]	]	PUNCT
ijassa-319	212	4	a.	a.	NOUN
ijassa-319	212	5	pusel	pusel	NOUN
ijassa-319	212	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	212	7	p.	p.	NOUN
ijassa-319	212	8	hess	hess	PROPN
ijassa-319	212	9	,	,	PUNCT
ijassa-319	212	10	et	et	PROPN
ijassa-319	212	11	al	al	PROPN
ijassa-319	212	12	.	.	PUNCT
ijassa-319	212	13	photochemical	photochemical	ADJ
ijassa-319	212	14	processing	processing	NOUN
ijassa-319	212	15	(	(	PUNCT
ijassa-319	212	16	157	157	NUM
ijassa-319	212	17	nm	nm	NOUN
ijassa-319	212	18	)	)	PUNCT
ijassa-319	212	19	of	of	ADP
ijassa-319	212	20	semiconductor	semiconductor	NOUN
ijassa-319	212	21	surfaces	surface	NOUN
ijassa-319	212	22	without	without	ADP
ijassa-319	212	23	heating	heating	NOUN
ijassa-319	212	24	.	.	PUNCT
ijassa-319	213	1	surface	surface	NOUN
ijassa-319	213	2	science	science	NOUN
ijassa-319	213	3	,	,	PUNCT
ijassa-319	213	4	74(11)(1999)433	74(11)(1999)433	NOUN
ijassa-319	213	5	-	-	SYM
ijassa-319	213	6	435	435	NUM
ijassa-319	213	7	.	.	PUNCT
ijassa-319	214	1	[	[	X
ijassa-319	214	2	19	19	NUM
ijassa-319	214	3	]	]	X
ijassa-319	214	4	vaidynathan	vaidynathan	NOUN
ijassa-319	214	5	a	a	PRON
ijassa-319	214	6	,	,	PUNCT
ijassa-319	214	7	walker	walker	PROPN
ijassa-319	214	8	t	t	PROPN
ijassa-319	214	9	,	,	PUNCT
ijassa-319	214	10	et	et	PROPN
ijassa-319	214	11	al	al	PROPN
ijassa-319	214	12	.	.	PROPN
ijassa-319	214	13	comparison	comparison	NOUN
ijassa-319	214	14	of	of	ADP
ijassa-319	214	15	keldysh	keldysh	NOUN
ijassa-319	214	16	and	and	CCONJ
ijassa-319	214	17	perturbation	perturbation	NOUN
ijassa-319	214	18	formulas	formula	NOUN
ijassa-319	214	19	for	for	ADP
ijassa-319	214	20	one	one	NUM
ijassa-319	214	21	-	-	PUNCT
ijassa-319	214	22	photon	photon	NOUN
ijassa-319	214	23	absorption	absorption	NOUN
ijassa-319	214	24	.	.	PUNCT
ijassa-319	215	1	j.	j.	PROPN
ijassa-319	215	2	physics	physics	PROPN
ijassa-319	215	3	review	review	PROPN
ijassa-319	215	4	,	,	PUNCT
ijassa-319	215	5	20b(5)(1979)3526–3527	20b(5)(1979)3526–3527	NUM
ijassa-319	215	6	.	.	PUNCT