id	sid	eid	entity	type
alkej-433	1	1	4d6963726f736f667420576f7264202d20dfc7e3e120e6dac8c7d320e6e3c7e5d1	CARDINAL
alkej-433	1	2	al-khwarizmi	ORG
alkej-433	1	3	al-khwarizmi engineering journal	ORG
alkej-433	1	4	13	CARDINAL
alkej-433	1	5	4	CARDINAL
alkej-433	1	6	2017	CARDINAL
alkej-433	1	7	kamil j. kadhim* abbas	PERSON
alkej-433	1	8	maher ali hussein*** *	PERSON
alkej-433	1	9	al-furat al awsat technical university	PERSON
alkej-433	1	10	21	CARDINAL
alkej-433	1	11	february 2017	DATE
alkej-433	1	12	17	CARDINAL
alkej-433	8	1	altin	ORG
alkej-433	10	1	0.14	CARDINAL
alkej-433	10	2	0.15	CARDINAL
alkej-433	10	3	0.23	CARDINAL
alkej-433	10	4	0.02	CARDINAL
alkej-433	10	5	0.21	CARDINAL
alkej-433	10	6	1.138	CARDINAL
alkej-433	10	7	1.518	CARDINAL
alkej-433	10	8	1.735	CARDINAL
alkej-433	10	9	2.717	CARDINAL
alkej-433	10	10	3.0818	DATE
alkej-433	12	1	two	CARDINAL
alkej-433	13	1	altin	ORG
alkej-433	13	2	1	CARDINAL
alkej-433	15	1	1	CARDINAL
alkej-433	21	1	1	CARDINAL
alkej-433	21	2	2	CARDINAL
alkej-433	25	1	2	CARDINAL
alkej-433	27	1	kamil j. kadhim al-khwarizmi	PERSON
alkej-433	27	2	13	CARDINAL
alkej-433	27	3	4	CARDINAL
alkej-433	27	4	2017	CARDINAL
alkej-433	27	5	59	CARDINAL
alkej-433	27	6	450°	QUANTITY
alkej-433	28	1	68	CARDINAL
alkej-433	29	1	9	CARDINAL
alkej-433	30	1	3	CARDINAL
alkej-433	31	1	two	CARDINAL
alkej-433	31	2	910].these	NORP
alkej-433	34	1	2	CARDINAL
alkej-433	35	1	j&l technology korea	ORG
alkej-433	35	2	h.i.p iii	PERSON
alkej-433	36	1	four	CARDINAL
alkej-433	36	2	0.67	CARDINAL
alkej-433	36	3	33%	PERCENT
alkej-433	36	4	four	CARDINAL
alkej-433	36	5	15	CARDINAL
alkej-433	36	6	mm	PERSON
alkej-433	37	1	six	CARDINAL
alkej-433	37	2	1	CARDINAL
alkej-433	39	1	approximately 20mm	QUANTITY
alkej-433	39	2	30mm	QUANTITY
alkej-433	41	1	1	CARDINAL
alkej-433	41	2	j&l korea	GPE
alkej-433	41	3	h.i.p iii	PERSON
alkej-433	44	1	altin	ORG
alkej-433	45	1	3.18× 12.7	CARDINAL
alkej-433	45	2	12.7	CARDINAL
alkej-433	45	3	2	CARDINAL
alkej-433	46	1	table1	GPE
alkej-433	47	1	with5	PERSON
alkej-433	47	2	50 mm	QUANTITY
alkej-433	48	1	six	CARDINAL
alkej-433	49	1	5	CARDINAL
alkej-433	50	1	six	CARDINAL
alkej-433	51	1	1	CARDINAL
alkej-433	52	1	kamil j. kadhim al-khwarizmi	PERSON
alkej-433	52	2	13	CARDINAL
alkej-433	52	3	4	CARDINAL
alkej-433	52	4	2017	CARDINAL
alkej-433	52	5	60	CARDINAL
alkej-433	52	6	1	CARDINAL
alkej-433	53	1	1	CARDINAL
alkej-433	53	2	2	CARDINAL
alkej-433	53	3	3	CARDINAL
alkej-433	53	4	80%	PERCENT
alkej-433	53	5	100 sccm	QUANTITY
alkej-433	53	6	100a	CARDINAL
alkej-433	53	7	30 mins	TIME
alkej-433	53	8	380	CARDINAL
alkej-433	53	9	° 4	DATE
alkej-433	53	10	300 sccm	QUANTITY
alkej-433	53	11	10 mins	TIME
alkej-433	53	12	380	CARDINAL
alkej-433	53	13	° 5	CARDINAL
alkej-433	53	14	40v	DATE
alkej-433	53	15	600 sccm	QUANTITY
alkej-433	53	16	80a	DATE
alkej-433	53	17	45 mins	TIME
alkej-433	53	18	380	CARDINAL
alkej-433	53	19	6	CARDINAL
alkej-433	53	20	30min	CARDINAL
alkej-433	53	21	100	CARDINAL
alkej-433	53	22	3	CARDINAL
alkej-433	53	23	altin	ORG
alkej-433	53	24	2	CARDINAL
alkej-433	54	1	2	CARDINAL
alkej-433	55	1	2	CARDINAL
alkej-433	55	2	40	CARDINAL
alkej-433	55	3	600	CARDINAL
alkej-433	55	4	80a	DATE
alkej-433	56	1	45,80,100,120,and 135 minutes time 380c°	QUANTITY
alkej-433	57	1	3	CARDINAL
alkej-433	58	1	2	CARDINAL
alkej-433	59	1	60 minutes	TIME
alkej-433	60	1	3	CARDINAL
alkej-433	60	2	altin deposition time	ORG
alkej-433	60	3	2.717	CARDINAL
alkej-433	60	4	600	CARDINAL
alkej-433	60	5	600	CARDINAL
alkej-433	60	6	3.912	CARDINAL
alkej-433	60	7	600	CARDINAL
alkej-433	60	8	120	CARDINAL
alkej-433	60	9	600	CARDINAL
alkej-433	60	10	600	CARDINAL
alkej-433	60	11	kamil j. kadhim al-khwarizmi	PERSON
alkej-433	60	12	13	CARDINAL
alkej-433	60	13	4	CARDINAL
alkej-433	60	14	2017	CARDINAL
alkej-433	60	15	61 4	DATE
alkej-433	61	1	4	CARDINAL
alkej-433	61	2	3	CARDINAL
alkej-433	63	1	fig	ORG
alkej-433	64	1	3	CARDINAL
alkej-433	65	1	5	CARDINAL
alkej-433	66	1	4	CARDINAL
alkej-433	67	1	5	CARDINAL
alkej-433	68	1	3	CARDINAL
alkej-433	72	1	4	CARDINAL
alkej-433	72	2	sumitomo	ORG
alkej-433	72	3	5	CARDINAL
alkej-433	72	4	sumitomo spgn120208s	ORG
alkej-433	72	5	4	CARDINAL
alkej-433	72	6	#	CARDINAL
alkej-433	72	7	sec	ORG
alkej-433	73	1	300	CARDINAL
alkej-433	73	2	2	CARDINAL
alkej-433	73	3	300	CARDINAL
alkej-433	73	4	4	CARDINAL
alkej-433	73	5	150	CARDINAL
alkej-433	73	6	5	CARDINAL
alkej-433	73	7	di water ultrasonic &	ORG
alkej-433	73	8	6 di(4	QUANTITY
alkej-433	73	9	sumitomo spgn120308s	ORG
alkej-433	73	10	•	CARDINAL
alkej-433	73	11	12.7mm •	QUANTITY
alkej-433	73	12	3.18 mm •	QUANTITY
alkej-433	73	13	0.8 mm kamil j. kadhim al-khwarizmi	QUANTITY
alkej-433	73	14	13	CARDINAL
alkej-433	73	15	4	CARDINAL
alkej-433	73	16	2017	CARDINAL
alkej-433	73	17	62	CARDINAL
alkej-433	73	18	5a	CARDINAL
alkej-433	74	1	4	CARDINAL
alkej-433	77	1	5	CARDINAL
alkej-433	79	1	5(b	CARDINAL
alkej-433	81	1	4	CARDINAL
alkej-433	85	1	6	CARDINAL
alkej-433	87	1	5	CARDINAL
alkej-433	88	1	6	CARDINAL
alkej-433	88	2	three	CARDINAL
alkej-433	89	1	first	ORDINAL
alkej-433	90	1	third	ORDINAL
alkej-433	91	1	1	CARDINAL
alkej-433	91	2	0 µm to 1.8 µm	DATE
alkej-433	91	3	0 to 10 min	TIME
alkej-433	92	1	2	CARDINAL
alkej-433	93	1	35) minutes	TIME
alkej-433	94	1	6.1	CARDINAL
alkej-433	94	2	6	CARDINAL
alkej-433	96	1	5	CARDINAL
alkej-433	97	1	four	CARDINAL
alkej-433	97	2	5,7	CARDINAL
alkej-433	97	3	8	CARDINAL
alkej-433	102	1	7	CARDINAL
alkej-433	103	1	kamil j. kadhim al-khwarizmi	PERSON
alkej-433	103	2	13	CARDINAL
alkej-433	103	3	4	CARDINAL
alkej-433	103	4	2017	CARDINAL
alkej-433	103	5	63	CARDINAL
alkej-433	104	1	6	CARDINAL
alkej-433	105	1	14	CARDINAL
alkej-433	107	1	7	CARDINAL
alkej-433	108	1	8,a	CARDINAL
alkej-433	108	2	4	CARDINAL
alkej-433	108	3	1	CARDINAL
alkej-433	108	4	8	CARDINAL
alkej-433	111	1	9	CARDINAL
alkej-433	113	1	8	CARDINAL
alkej-433	116	1	kamil j. kadhim al-khwarizmi	PERSON
alkej-433	116	2	13	CARDINAL
alkej-433	116	3	4	CARDINAL
alkej-433	116	4	2017	CARDINAL
alkej-433	116	5	64	DATE
alkej-433	117	1	9	CARDINAL
alkej-433	117	2	ti/altin	ORG
alkej-433	117	3	1.183	CARDINAL
alkej-433	117	4	3.081	CARDINAL
alkej-433	117	5	kamil j. kadhim al-khwarizmi	PERSON
alkej-433	117	6	13	CARDINAL
alkej-433	117	7	4	CARDINAL
alkej-433	117	8	2017	CARDINAL
alkej-433	117	9	65 6.2	CARDINAL
alkej-433	118	1	10	CARDINAL
alkej-433	119	1	0 s to 200	DATE
alkej-433	119	2	0.63	CARDINAL
alkej-433	120	1	3.0818 µm	MONEY
alkej-433	121	1	1.735	CARDINAL
alkej-433	123	1	10	CARDINAL
alkej-433	125	1	3.0818	CARDINAL
alkej-433	126	1	6).using	CARDINAL
alkej-433	126	2	6	CARDINAL
alkej-433	126	3	6	CARDINAL
alkej-433	126	4	3.0818 µm	MONEY
alkej-433	128	1	23.34 50.91	CARDINAL
alkej-433	128	2	11.36	CARDINAL
alkej-433	128	3	40.81	MONEY
alkej-433	129	1	11–13	CARDINAL
alkej-433	131	1	200	CARDINAL
alkej-433	131	2	1,400	CARDINAL
alkej-433	131	3	1,600	CARDINAL
alkej-433	131	4	0.4 0.5 0.6 0.7	QUANTITY
alkej-433	131	5	sec	ORG
alkej-433	132	1	o	DATE
alkej-433	132	2	kamil j. kadhim al-khwarizmi	PERSON
alkej-433	132	3	13	CARDINAL
alkej-433	132	4	4	CARDINAL
alkej-433	132	5	2017	CARDINAL
alkej-433	132	6	66	CARDINAL
alkej-433	133	1	11	CARDINAL
alkej-433	133	2	3d	CARDINAL
alkej-433	134	1	3d	CARDINAL
alkej-433	135	1	12	CARDINAL
alkej-433	136	1	7	CARDINAL
alkej-433	136	2	15	CARDINAL
alkej-433	138	1	18	CARDINAL
alkej-433	141	1	1.138	CARDINAL
alkej-433	146	1	12	CARDINAL
alkej-433	147	1	ti/altin	ORG
alkej-433	148	1	kamil j. kadhim al-khwarizmi	PERSON
alkej-433	148	2	13	CARDINAL
alkej-433	148	3	4	CARDINAL
alkej-433	148	4	2017	CARDINAL
alkej-433	148	5	67 7	DATE
alkej-433	160	1	0.14	CARDINAL
alkej-433	160	2	0.15	CARDINAL
alkej-433	160	3	0.23	CARDINAL
alkej-433	160	4	0.02	CARDINAL
alkej-433	160	5	0.21	CARDINAL
alkej-433	160	6	1.138	CARDINAL
alkej-433	160	7	1.518	CARDINAL
alkej-433	160	8	1.735	CARDINAL
alkej-433	160	9	2.717	CARDINAL
alkej-433	160	10	3.0818 µm	MONEY
alkej-433	162	1	0.02	CARDINAL
alkej-433	162	2	2.717 µm. 8	MONEY
alkej-433	163	1	1	CARDINAL
alkej-433	163	2	sivasakthivel	ORG
alkej-433	163	3	m. v. vel	PERSON
alkej-433	163	4	r. sudhakaran	PERSON
alkej-433	164	1	2	CARDINAL
alkej-433	164	2	6	CARDINAL
alkej-433	165	1	17801789,2010	CARDINAL
alkej-433	166	1	2	CARDINAL
alkej-433	166	2	h. zhao	PERSON
alkej-433	166	3	g.c. barber	PERSON
alkej-433	166	4	q. zou	PERSON
alkej-433	166	5	253	CARDINAL
alkej-433	167	1	957-962	CARDINAL
alkej-433	168	1	3] k.h.w	QUANTITY
alkej-433	168	2	seah	PERSON
alkej-433	168	3	x. li	PERSON
alkej-433	168	4	k.s. lee	PERSON
alkej-433	170	1	technol	PERSON
alkej-433	171	1	48	DATE
alkej-433	172	1	495	CARDINAL
alkej-433	173	1	4	CARDINAL
alkej-433	173	2	h. yong	PERSON
alkej-433	173	3	g. dawson	PERSON
alkej-433	173	4	258	CARDINAL
alkej-433	174	1	1455-1461, 2005	DATE
alkej-433	175	1	5	CARDINAL
alkej-433	175	2	j. manigaj	PERSON
alkej-433	175	3	s. velappan	PERSON
alkej-433	175	4	s. nallathambhi	PERSON
alkej-433	175	5	a.v.	PERSON
alkej-433	175	6	m. jacob,“experimental	PERSON
alkej-433	175	7	30	CARDINAL
alkej-433	175	8	3	CARDINAL
alkej-433	176	1	257-265	CARDINAL
alkej-433	177	1	6	CARDINAL
alkej-433	177	2	a. y. erry	PERSON
alkej-433	177	3	r. muhammad	PERSON
alkej-433	177	4	h. muataz	PERSON
alkej-433	177	5	a. delvis	PERSON
alkej-433	177	6	european journal scientific research	ORG
alkej-433	178	1	2	CARDINAL
alkej-433	179	1	180-188	CARDINAL
alkej-433	179	2	2009	DATE
alkej-433	180	1	7	CARDINAL
alkej-433	180	2	a. otieno	PERSON
alkej-433	180	3	p. chandhana	PERSON
alkej-433	180	4	w. pedapati	PERSON
alkej-433	180	5	z. haiyan	PERSON
alkej-433	180	6	2006	DATE
alkej-433	181	1	2350,2006	CARDINAL
alkej-433	182	1	8	CARDINAL
alkej-433	182	2	j. pelleg	PERSON
alkej-433	182	3	l.z. zevin	PERSON
alkej-433	182	4	s. lungo	PERSON
alkej-433	182	5	n. coritoru	PERSON
alkej-433	182	6	117-197	CARDINAL
alkej-433	182	7	1991	DATE
alkej-433	183	1	9	CARDINAL
alkej-433	184	1	strehbtow	PERSON
alkej-433	184	2	b. navinšek	PERSON
alkej-433	186	1	246-303,1997	DATE
alkej-433	187	1	10	CARDINAL
alkej-433	187	2	r. major	PERSON
alkej-433	187	3	f. bruckert	PERSON
alkej-433	187	4	j.m. lackner	PERSON
alkej-433	187	5	r. ebner	PERSON
alkej-433	187	6	r. kustosz	PERSON
alkej-433	187	7	p. lacki	PERSON
alkej-433	188	1	7	DATE
alkej-433	189	1	63-70	CARDINAL
alkej-433	190	1	11	CARDINAL
alkej-433	190	2	kovalev	PERSON
alkej-433	190	3	d.l.	GPE
alkej-433	190	4	a.y.	GPE
alkej-433	190	5	rashkovskiy	ORG
alkej-433	190	6	g.s. fox-abinovich	PERSON
alkej-433	190	7	k. yamamoto	PERSON
alkej-433	190	8	s. veldhuis	PERSON
alkej-433	190	9	m. aguirre	PERSON
alkej-433	190	10	b.d. beake.impact	PERSON
alkej-433	190	11	al	ORG
alkej-433	190	12	pvd	ORG
alkej-433	190	13	184	CARDINAL
alkej-433	190	14	187	CARDINAL
alkej-433	190	15	2010	DATE
alkej-433	191	1	12	CARDINAL
alkej-433	192	1	b. zajec	PERSON
alkej-433	192	2	n. bay	FAC
alkej-433	192	3	j. vižintin	PERSON
alkej-433	193	1	270,pp	CARDINAL
alkej-433	193	2	2011	DATE
alkej-433	194	1	2017(58-68	DATE
alkej-433	194	2	الهندسية المجلم كامل جواد	PERSON
alkej-433	194	3	68	CARDINAL
alkej-433	194	4	متعدد الطبقات على	PERSON
alkej-433	194	5	سطحها	DATE
alkej-433	194	6	طالء	NORP
alkej-433	195	1	جامعة الفرات االوسط	ORG
alkej-433	196	1	الخالصة	GPE
alkej-433	196	2	تدريجية	PERSON
alkej-433	198	1	تقلل أثناء عمليات	PERSON
alkej-433	198	2	وعملية الفرك التي	ORG
alkej-433	198	3	األداة وقطعة	EVENT
alkej-433	199	1	السطوح لقطعة	ORG
alkej-433	200	1	وايضا	ORG
alkej-433	201	1	المطلوبة	GPE
alkej-433	202	1	الدراسة، ركزنا	PERSON
alkej-433	203	1	الرايش على	PERSON
alkej-433	206	1	وقطعة العمل	ORG
alkej-433	207	1	ولتقليل	GPE
alkej-433	208	1	على سطح العدة	PERSON
alkej-433	208	2	عملنا على	PERSON
alkej-433	210	1	بإضافة نترات	PERSON
alkej-433	210	2	األلومنيوم التيتانيوم altinباستخدام طالءالفقد اثبت ان المطلية	ORG
alkej-433	210	3	أفضل المواد لطالء	ORG
alkej-433	211	1	تجريبيا	PERSON
alkej-433	211	2	0.23	CARDINAL
alkej-433	211	3	0.15	CARDINAL
alkej-433	211	4	0.14بعد	PERSON
alkej-433	211	5	altinقيم خشونة السطح	PERSON
alkej-433	212	1	آتعتبر فعالة جدا	PERSON
alkej-433	212	2	0.02	CARDINAL
alkej-433	212	3	0.21	CARDINAL
alkej-433	212	4	3.0818	MONEY
alkej-433	212	5	2.717	CARDINAL
alkej-433	212	6	1.735	CARDINAL
alkej-433	212	7	1.518	CARDINAL
alkej-433	212	8	1.138ميكرون	CARDINAL
alkej-433	213	1	الكرة	PERSON
alkej-433	213	2	الفوالذية	DATE
alkej-433	213	3	للطالء كان نتيجة علما	ORG
alkej-433	214	1	لقياس	ORG
alkej-433	214	2	حومنطقة	ORG
alkej-433	214	3	الطالء .واهم	PERSON