id	sid	tid	token	lemma	pos
alkej-162	1	1	احمد	احمد	VERB
alkej-162	1	2	محمد	محمد	PROPN
alkej-162	1	3	الغبان	الغبان	NOUN
alkej-162	1	4	al	al	PROPN
alkej-162	1	5	-	-	PUNCT
alkej-162	1	6	khwarizmi	khwarizmi	PROPN
alkej-162	1	7	engineering	engineering	PROPN
alkej-162	1	8	journal	journal	PROPN
alkej-162	1	9	al	al	PROPN
alkej-162	1	10	-	-	PUNCT
alkej-162	1	11	khwarizmi	khwarizmi	PROPN
alkej-162	1	12	engineering	engineering	NOUN
alkej-162	1	13	journal	journal	PROPN
alkej-162	1	14	,	,	PUNCT
alkej-162	1	15	vol	vol	NOUN
alkej-162	1	16	.	.	PROPN
alkej-162	1	17	8	8	NUM
alkej-162	1	18	,	,	PUNCT
alkej-162	1	19	no	no	INTJ
alkej-162	1	20	.	.	NOUN
alkej-162	1	21	3	3	NUM
alkej-162	1	22	,	,	PUNCT
alkej-162	1	23	p.p	p.p	PROPN
alkej-162	1	24	.	.	PROPN
alkej-162	1	25	94	94	NUM
alkej-162	1	26	-	-	SYM
alkej-162	1	27	100	100	NUM
alkej-162	1	28	(	(	PUNCT
alkej-162	1	29	2013	2013	NUM
alkej-162	1	30	)	)	PUNCT
alkej-162	1	31	یتانیوم	یتانیوم	ADJ
alkej-162	1	32	المنجز	المنجز	PROPN
alkej-162	1	33	باالفالم	باالفالم	VERB
alkej-162	1	34	الرقیقةتأثیر	الرقیقةتأثیر	PROPN
alkej-162	1	35	زیادة	زیادة	PROPN
alkej-162	1	36	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	1	37	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	1	38	على	على	PROPN
alkej-162	1	39	الخواص	الخواص	PROPN
alkej-162	1	40	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	1	41	لكاربید	لكاربید	NOUN
alkej-162	1	42	الت	الت	INTJ
alkej-162	1	43	احمد	احمد	VERB
alkej-162	1	44	محمد	محمد	PROPN
alkej-162	1	45	حسن	حسن	NOUN
alkej-162	1	46	الغبان	الغبان	PROPN
alkej-162	1	47	لتكنولوجیةالجامعة	لتكنولوجیةالجامعة	PROPN
alkej-162	1	48	ا	ا	PROPN
alkej-162	1	49	/قسم	/قسم	X
alkej-162	1	50	ھندسة	ھندسة	PROPN
alkej-162	1	51	المواد	المواد	NOUN
alkej-162	1	52	ahmed_gaban@yahoo.com	ahmed_gaban@yahoo.com	NOUN
alkej-162	1	53	:	:	PUNCT
alkej-162	1	54	البرید	البرید	NOUN
alkej-162	1	55	االلكتروني	االلكتروني	NOUN
alkej-162	1	56	(	(	PUNCT
alkej-162	1	57	received	receive	VERB
alkej-162	1	58	12	12	NUM
alkej-162	1	59	march	march	NOUN
alkej-162	1	60	2012	2012	NUM
alkej-162	1	61	;	;	PUNCT
alkej-162	1	62	accepted	accept	VERB
alkej-162	1	63	18	18	NUM
alkej-162	1	64	feburary	feburary	PROPN
alkej-162	1	65	2013	2013	NUM
alkej-162	1	66	)	)	PUNCT
alkej-162	1	67	ةالخالص	ةالخالص	NOUN
alkej-162	1	68	افة	افة	PROPN
alkej-162	1	69	اضمثل	اضمثل	PROPN
alkej-162	1	70	الصالدة	الصالدة	PROPN
alkej-162	1	71	ممتازة	ممتازة	PROPN
alkej-162	2	1	من	من	PRON
alkej-162	2	2	مواد	مواد	NOUN
alkej-162	2	3	كاربیدیة	كاربیدیة	NOUN
alkej-162	2	4	او	او	NOUN
alkej-162	2	5	نایتریدیة	نایتریدیة	NOUN
alkej-162	2	6	ذات	ذات	NOUN
alkej-162	2	7	اھمیة	اھمیة	NOUN
alkej-162	2	8	فائقة	فائقة	PROPN
alkej-162	2	9	في	في	INTJ
alkej-162	2	10	مجال	مجال	ADJ
alkej-162	2	11	الصناعة	الصناعة	NOUN
alkej-162	2	12	لما	لما	AUX
alkej-162	2	13	لھا	لھا	VERB
alkej-162	2	14	من	من	ADP
alkej-162	3	1	خواص	خواص	ADV
alkej-162	3	2	میكانیكیة	میكانیكیة	NOUN
alkej-162	3	3	كونةمال	كونةمال	PROPN
alkej-162	3	4	تمثل	تمثل	NOUN
alkej-162	3	5	االفالم	االفالم	PROPN
alkej-162	4	1	الرقیقة	الرقیقة	PROPN
alkej-162	4	2	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	4	3	على	على	PROPN
alkej-162	4	4	الخواص	الخواص	PROPN
alkej-162	4	5	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	5	1	ةدراسة	ةدراسة	NOUN
alkej-162	5	2	تاثیر	تاثیر	NOUN
alkej-162	5	3	نسب	نسب	PROPN
alkej-162	5	4	تفي	تفي	INTJ
alkej-162	5	5	ھذا	ھذا	NOUN
alkej-162	5	6	البحث	البحث	VERB
alkej-162	5	7	تم	تم	PROPN
alkej-162	5	8	.	.	PUNCT
alkej-162	6	1	الى	الى	PROPN
alkej-162	6	2	امكانیة	امكانیة	PROPN
alkej-162	6	3	الطالء	الطالء	PROPN
alkej-162	6	4	بدرجات	بدرجات	PROPN
alkej-162	6	5	حراریة	حراریة	PROPN
alkej-162	6	6	واطئة	واطئة	PROPN
alkej-162	6	7	تخدم	تخدم	PROPN
alkej-162	6	8	السطوح	السطوح	PROPN
alkej-162	6	9	الحساسة	الحساسة	PROPN
alkej-162	7	1	لدرجات	لدرجات	PROPN
alkej-162	7	2	عالیة	عالیة	PROPN
alkej-162	7	3	لوحظ	لوحظ	NOUN
alkej-162	7	4	ان	ان	INTJ
alkej-162	7	5	ھنالك	ھنالك	PROPN
alkej-162	7	6	وقد	وقد	PROPN
alkej-162	7	7	.كیمیاویةمن	.كیمیاویةمن	PRON
alkej-162	7	8	التراكیب	التراكیب	PROPN
alkej-162	7	9	ال	ال	ADP
alkej-162	7	10	معین	معین	PROPN
alkej-162	7	11	ممثلة	ممثلة	ADJ
alkej-162	7	12	بمعامل	بمعامل	ADJ
alkej-162	7	13	المرونة	المرونة	NOUN
alkej-162	7	14	الفالم	الفالم	NOUN
alkej-162	7	15	رقیقة	رقیقة	PROPN
alkej-162	7	16	من	من	PRON
alkej-162	7	17	كاربید	كاربید	PROPN
alkej-162	7	18	التیتانیوم	التیتانیوم	NOUN
alkej-162	7	19	المنتج	المنتج	VERB
alkej-162	7	20	بواسطة	بواسطة	PROPN
alkej-162	7	21	التذریة	التذریة	PROPN
alkej-162	7	22	المغنترونیة	المغنترونیة	PROPN
alkej-162	7	23	لمدى	لمدى	VERB
alkej-162	7	24	حیث	حیث	ADJ
alkej-162	7	25	ان	ان	ADP
alkej-162	7	26	الطورالناتج	الطورالناتج	PROPN
alkej-162	7	27	ھو	ھو	ADP
alkej-162	7	28	في	في	PRON
alkej-162	7	29	الغالب	الغالب	ADJ
alkej-162	7	30	لكاربید	لكاربید	NOUN
alkej-162	7	31	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	7	32	بغض	بغض	ADJ
alkej-162	7	33	النظرعن	النظرعن	PROPN
alkej-162	7	34	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	7	35	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	8	1	من	من	INTJ
alkej-162	8	2	ھ	ھ	DET
alkej-162	8	3	الناتج	الناتج	NOUN
alkej-162	9	1	مع	مع	PROPN
alkej-162	9	2	نسبة	نسبة	VERB
alkej-162	9	3	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	9	4	المضافاستقراریة	المضافاستقراریة	PROPN
alkej-162	9	5	للخواص	للخواص	PROPN
alkej-162	9	6	البنیویة	البنیویة	PROPN
alkej-162	9	7	للطور	للطور	PROPN
alkej-162	9	8	)	)	PUNCT
alkej-162	9	9	تزداد	تزداد	NOUN
alkej-162	9	10	الصالدة	الصالدة	PROPN
alkej-162	9	11	(	(	PUNCT
alkej-162	9	12	حیث	حیث	PROPN
alkej-162	9	13	تزداد	تزداد	NOUN
alkej-162	9	14	الخواص	الخواص	PROPN
alkej-162	9	15	المیكانیكیة	المیكانیكیة	PROPN
alkej-162	9	16	.	.	PUNCT
alkej-162	10	1	كاربونلوحظ	كاربونلوحظ	NOUN
alkej-162	10	2	ارتباط	ارتباط	PUNCT
alkej-162	10	3	الخواص	الخواص	NOUN
alkej-162	10	4	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	10	5	للطورالكاربیدي	للطورالكاربیدي	PROPN
alkej-162	10	6	بنسبة	بنسبة	VERB
alkej-162	10	7	ال%	ال%	PROPN
alkej-162	10	8	.	.	PUNCT
alkej-162	11	1	٦٥الى	٦٥الى	PROPN
alkej-162	11	2	غایة	غایة	PROPN
alkej-162	11	3	اقل	اقل	PROPN
alkej-162	11	4	من	من	DET
alkej-162	11	5	%	%	NOUN
alkej-162	11	6	٣٤حدود	٣٤حدود	PUNCT
alkej-162	11	7	قد	قد	X
alkej-162	11	8	تشیر	تشیر	PROPN
alkej-162	11	9	ھذه	ھذه	PROPN
alkej-162	11	10	النتائج	النتائج	PROPN
alkej-162	11	11	الى	الى	PROPN
alkej-162	11	12	عالقة	عالقة	PROPN
alkej-162	11	13	وثیقة	وثیقة	PROPN
alkej-162	11	14	بین	بین	PROPN
alkej-162	11	15	الخواص	الخواص	PROPN
alkej-162	11	16	البنیویة	البنیویة	PROPN
alkej-162	11	17	.	.	PUNCT
alkej-162	12	1	وثم	وثم	VERB
alkej-162	12	2	تبدا	تبدا	PRON
alkej-162	12	3	بالتناقص	بالتناقص	ADJ
alkej-162	12	4	بنسب	بنسب	NOUN
alkej-162	12	5	كاربون	كاربون	NOUN
alkej-162	12	6	اعلى%	اعلى%	PUNCT
alkej-162	12	7	٥٠للطورالمنتج	٥٠للطورالمنتج	ADJ
alkej-162	12	8	لغایة	لغایة	ADJ
alkej-162	12	9	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	12	10	كاربون	كاربون	NOUN
alkej-162	12	11	بمقدار	بمقدار	NOUN
alkej-162	12	12	)	)	PUNCT
alkej-162	12	13	microstructure	microstructure	NOUN
alkej-162	12	14	(	(	PUNCT
alkej-162	12	15	م	م	NOUN
alkej-162	12	16	الناتج	الناتج	NOUN
alkej-162	12	17	من	من	NUM
alkej-162	12	18	جھة	جھة	NOUN
alkej-162	12	19	ثانیةوالمیكانیكیة	ثانیةوالمیكانیكیة	NOUN
alkej-162	13	1	من	من	DET
alkej-162	13	2	جھة	جھة	NOUN
alkej-162	13	3	وبین	وبین	PROPN
alkej-162	13	4	االجھادات	االجھادات	NOUN
alkej-162	13	5	المتبقیة	المتبقیة	PROPN
alkej-162	13	6	في	في	ADP
alkej-162	13	7	الفل	الفل	PROPN
alkej-162	13	8	.	.	PUNCT
alkej-162	13	9	.	.	PUNCT
alkej-162	13	10	،	،	PROPN
alkej-162	13	11	المعاملة	المعاملة	PROPN
alkej-162	13	12	الحراریة	الحراریة	PROPN
alkej-162	13	13	،	،	PROPN
alkej-162	13	14	قیاس	قیاس	PROPN
alkej-162	13	15	التغلغل	التغلغل	PROPN
alkej-162	13	16	النانويالتیتانیوم	النانويالتیتانیوم	PROPN
alkej-162	13	17	،	،	PROPN
alkej-162	13	18	التذریة	التذریة	PROPN
alkej-162	13	19	المغنترونیةرقائق	المغنترونیةرقائق	PROPN
alkej-162	13	20	كاربید	كاربید	PROPN
alkej-162	13	21	:	:	PUNCT
alkej-162	13	22	الكلمات	الكلمات	VERB
alkej-162	13	23	المفتاحیة	المفتاحیة	ADV
alkej-162	13	24	المقدمة	المقدمة	PROPN
alkej-162	13	25	.١	.١	PROPN
alkej-162	13	26	تعد	تعد	CCONJ
alkej-162	13	27	كاربیدات	كاربیدات	ADJ
alkej-162	13	28	المعادن	المعادن	ADJ
alkej-162	13	29	االنتقالیة	االنتقالیة	PROPN
alkej-162	13	30	مثل	مثل	PROPN
alkej-162	13	31	كاربید	كاربید	PROPN
alkej-162	13	32	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	13	33	او	او	NOUN
alkej-162	13	34	كاربید	كاربید	NOUN
alkej-162	13	35	ا	ا	X
alkej-162	13	36	من	من	INTJ
alkej-162	13	37	ناحیة	ناحیة	PROPN
alkej-162	13	38	اذ	اذ	PROPN
alkej-162	13	39	انھ	انھ	PROPN
alkej-162	14	1	الفائقة	الفائقة	PROPN
alkej-162	14	2	الخواصالتنكستن	الخواصالتنكستن	PROPN
alkej-162	15	1	من	من	PRON
alkej-162	15	2	المواد	المواد	ADJ
alkej-162	15	3	الصناعیة	الصناعیة	VERB
alkej-162	15	4	مقاومة	مقاومة	NOUN
alkej-162	15	5	لدرجات	لدرجات	PROPN
alkej-162	15	6	الحرارة	الحرارة	NOUN
alkej-162	15	7	العالیة	العالیة	VERB
alkej-162	15	8	و	و	PRON
alkej-162	15	9	مقاومة	مقاومة	NOUN
alkej-162	15	10	(	(	PUNCT
alkej-162	15	11	حراریا	حراریا	PROPN
alkej-162	15	12	وكیمیائیا	وكیمیائیا	PROPN
alkej-162	15	13	جیدة	جیدة	PROPN
alkej-162	15	14	اضافة	اضافة	PROPN
alkej-162	15	15	الى	الى	ADJ
alkej-162	15	16	خواصھا	خواصھا	NOUN
alkej-162	15	17	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	15	18	العالیة	العالیة	VERB
alkej-162	15	19	من	من	NUM
alkej-162	15	20	ناحیة	ناحیة	PROPN
alkej-162	15	21	اخرى	اخرى	PROPN
alkej-162	15	22	)	)	PUNCT
alkej-162	15	23	للتأكل	للتأكل	NOUN
alkej-162	16	1	ھذه	ھذه	ADP
alkej-162	16	2	المواد	المواد	ADJ
alkej-162	17	1	تجمع	تجمع	INTJ
alkej-162	18	1	في	في	ADP
alkej-162	19	1	العادة	العادة	PROPN
alkej-162	20	1	بین	بین	ADJ
alkej-162	21	1	خواص	خواص	ADV
alkej-162	21	2	المواد	المواد	ADJ
alkej-162	21	3	المعدنیة	المعدنیة	NOUN
alkej-162	21	4	من	من	INTJ
alkej-162	21	5	.	.	PUNCT
alkej-162	22	1	]	]	X
alkej-162	22	2	١	١	X
alkej-162	22	3	[	[	PUNCT
alkej-162	22	4	خواص	خواص	ADV
alkej-162	22	5	عالوة	عالوة	PROPN
alkej-162	22	6	علىجھة	علىجھة	PROPN
alkej-162	22	7	كالتوصیلیة	كالتوصیلیة	PROPN
alkej-162	22	8	الكھربائیة	الكھربائیة	PROPN
alkej-162	22	9	والحراریة	والحراریة	PROPN
alkej-162	22	10	العالیة	العالیة	VERB
alkej-162	22	11	د	د	PRON
alkej-162	22	12	السیرامیكیة	السیرامیكیة	NOUN
alkej-162	22	13	كمقاومة	كمقاومة	NOUN
alkej-162	22	14	البلى	البلى	ADJ
alkej-162	22	15	ودرجة	ودرجة	NOUN
alkej-162	22	16	االنصھار	االنصھار	ADV
alkej-162	22	17	العالیة	العالیة	VERB
alkej-162	22	18	من	من	PRON
alkej-162	22	19	الموا	الموا	PROPN
alkej-162	22	20	كثیرا	كثیرا	PROPN
alkej-162	22	21	ما	ما	ADP
alkej-162	22	22	یستخدم	یستخدم	PROPN
alkej-162	22	23	كاربید	كاربید	PROPN
alkej-162	22	24	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	22	25	كطالء	كطالء	NOUN
alkej-162	22	26	واقي	واقي	NOUN
alkej-162	22	27	.]٢[جھة	.]٢[جھة	PROPN
alkej-162	22	28	اخرى	اخرى	VERB
alkej-162	22	29	على	على	NOUN
alkej-162	22	30	سطوح	سطوح	NOUN
alkej-162	22	31	المواد	المواد	PROPN
alkej-162	22	32	المعدنیة	المعدنیة	NOUN
alkej-162	22	33	بالنظر	بالنظر	NOUN
alkej-162	22	34	لما	لما	VERB
alkej-162	22	35	یمتاز	یمتاز	ADV
alkej-162	22	36	بھ	بھ	ADP
alkej-162	22	37	من	من	NOUN
alkej-162	22	38	خواص	خواص	ADV
alkej-162	22	39	كما	كما	PROPN
alkej-162	22	40	مقاومة	مقاومة	PROPN
alkej-162	22	41	لالحتكاك	لالحتكاك	PROPN
alkej-162	22	42	تجعلھ	تجعلھ	PROPN
alkej-162	23	1	في	في	INTJ
alkej-162	23	2	المقدمة	المقدمة	PROPN
alkej-162	23	3	لمقاومة	لمقاومة	PROPN
alkej-162	23	4	البلى	البلى	PROPN
alkej-162	23	5	المیكانیكي	المیكانیكي	PROPN
alkej-162	23	6	كذلك	كذلك	PROPN
alkej-162	23	7	تستخدم	تستخدم	PROPN
alkej-162	23	8	في	في	X
alkej-162	23	9	.	.	PUNCT
alkej-162	24	1	مل	مل	PROPN
alkej-162	24	2	الكرویة	الكرویة	NOUN
alkej-162	24	3	ھو	ھو	PROPN
alkej-162	24	4	الحال	الحال	PROPN
alkej-162	24	5	في	في	ADP
alkej-162	24	6	عدد	عدد	PROPN
alkej-162	24	7	القطع	القطع	PROPN
alkej-162	24	8	والحوا	والحوا	NOUN
alkej-162	24	9	طالء	طالء	ADV
alkej-162	24	10	الحاویات	الحاویات	ADP
alkej-162	25	1	المقاومة	المقاومة	PROPN
alkej-162	25	2	لدرجات	لدرجات	PROPN
alkej-162	25	3	الحرارة	الحرارة	NOUN
alkej-162	25	4	العالیة	العالیة	NOUN
alkej-162	25	5	او	او	PRON
alkej-162	25	6	التي	التي	ADJ
alkej-162	25	7	تستخدم	تستخدم	NOUN
alkej-162	25	8	.	.	PUNCT
alkej-162	26	1	]	]	X
alkej-162	26	2	١,٢,٣[في	١,٢,٣[في	NUM
alkej-162	26	3	حفظ	حفظ	PROPN
alkej-162	26	4	منصھرات	منصھرات	NOUN
alkej-162	26	5	المعادن	المعادن	ADJ
alkej-162	26	6	وتطبیقات	وتطبیقات	PROPN
alkej-162	26	7	اخرى	اخرى	PROPN
alkej-162	26	8	كثیرة	كثیرة	NOUN
alkej-162	26	9	وسائل	وسائل	PROPN
alkej-162	26	10	متعددة	متعددة	VERB
alkej-162	26	11	تستخدم	تستخدم	PROPN
alkej-162	26	12	للطالء	للطالء	PROPN
alkej-162	26	13	بكاربید	بكاربید	NOUN
alkej-162	26	14	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	26	15	ولكن	ولكن	PROPN
alkej-162	26	16	اكثر	اكثر	NOUN
alkej-162	26	17	الطرق	الطرق	NOUN
alkej-162	26	18	)	)	PUNCT
alkej-162	26	19	pvd(الحدیثة	pvd(الحدیثة	NOUN
alkej-162	26	20	المستخدمة	المستخدمة	VERB
alkej-162	26	21	في	في	SCONJ
alkej-162	26	22	ھذا	ھذا	NOUN
alkej-162	26	23	المجال	المجال	VERB
alkej-162	27	1	ھي	ھي	ADP
alkej-162	27	2	الترسیب	الترسیب	NOUN
alkej-162	27	3	الفیزیائي	الفیزیائي	PROPN
alkej-162	27	4	اذ	اذ	PROPN
alkej-162	27	5	انھ	انھ	PROPN
alkej-162	27	6	یمكن	یمكن	PROPN
alkej-162	27	7	بواسطة	بواسطة	PROPN
alkej-162	27	8	ھذه	ھذه	VERB
alkej-162	27	9	.]٤,٣	.]٤,٣	PUNCT
alkej-162	28	1	[	[	X
alkej-162	28	2	)	)	PUNCT
alkej-162	28	3	cvd	cvd	PROPN
alkej-162	28	4	(	(	PUNCT
alkej-162	28	5	والترسیب	والترسیب	PROPN
alkej-162	28	6	الكیمیائي	الكیمیائي	ADV
alkej-162	28	7	التقنیات	التقنیات	VERB
alkej-162	28	8	طالء	طالء	ADJ
alkej-162	28	9	اغلب	اغلب	NOUN
alkej-162	28	10	سطوح	سطوح	PROPN
alkej-162	28	11	المواد	المواد	PROPN
alkej-162	28	12	الھندسیة	الھندسیة	PROPN
alkej-162	28	13	وخصوصا	وخصوصا	PROPN
alkej-162	28	14	السطوح	السطوح	PROPN
alkej-162	28	15	الحساسة	الحساسة	PROPN
alkej-162	28	16	لدرجات	لدرجات	PROPN
alkej-162	28	17	الحرارة	الحرارة	PROPN
alkej-162	28	18	العالیة	العالیة	VERB
alkej-162	28	19	كاغلب	كاغلب	PROPN
alkej-162	28	20	انواع	انواع	ADJ
alkej-162	28	21	الصلب	الصلب	NOUN
alkej-162	28	22	وسبائكھ	وسبائكھ	INTJ
alkej-162	29	1	وفي	وفي	INTJ
alkej-162	29	2	ھذا	ھذا	PROPN
alkej-162	29	3	المجال	المجال	NOUN
alkej-162	29	4	یمتاز	یمتاز	ADP
alkej-162	29	5	الترسیب	الترسیب	PROPN
alkej-162	29	6	الفیزیائي	الفیزیائي	PROPN
alkej-162	29	7	بكافة	بكافة	PROPN
alkej-162	29	8	تقنیاتھ	تقنیاتھ	PROPN
alkej-162	29	9	اذ	اذ	PROPN
alkej-162	29	10	.	.	PUNCT
alkej-162	30	1	]	]	PUNCT
alkej-162	30	2	٤	٤	X
alkej-162	30	3	[	[	PUNCT
alkej-162	30	4	رجات	رجات	NOUN
alkej-162	30	5	واطئة	واطئة	PROPN
alkej-162	30	6	وامكانیة	وامكانیة	PROPN
alkej-162	30	7	السیطرة	السیطرة	PROPN
alkej-162	30	8	على	على	PROPN
alkej-162	30	9	یجمع	یجمع	PROPN
alkej-162	30	10	بین	بین	PROPN
alkej-162	30	11	خاصیة	خاصیة	PROPN
alkej-162	30	12	الطالء	الطالء	PROPN
alkej-162	30	13	بد	بد	PROPN
alkej-162	30	14	یحافظ	یحافظ	PROPN
alkej-162	30	15	كاربید	كاربید	PROPN
alkej-162	30	16	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	30	17	على	على	NOUN
alkej-162	30	18	.]٤[التركیب	.]٤[التركیب	PUNCT
alkej-162	30	19	الكیمیاوي	الكیمیاوي	PROPN
alkej-162	30	20	للكاربید	للكاربید	NOUN
alkej-162	30	21	بنیتھ	بنیتھ	PROPN
alkej-162	30	22	الذریة	الذریة	PROPN
alkej-162	30	23	لمدى	لمدى	VERB
alkej-162	30	24	من	من	DET
alkej-162	30	25	التراكیب	التراكیب	PROPN
alkej-162	30	26	الكیمیاویة	الكیمیاویة	PROPN
alkej-162	30	27	من	من	INTJ
alkej-162	30	28	التیتانیوم	التیتانیوم	PROPN
alkej-162	30	29	والكاربون	والكاربون	PROPN
alkej-162	30	30	وكما	وكما	PROPN
alkej-162	30	31	ھو	ھو	ADP
alkej-162	30	32	معلوم	معلوم	PROPN
alkej-162	30	33	فان	فان	PROPN
alkej-162	30	34	العالقة	العالقة	PROPN
alkej-162	30	35	بین	بین	PROPN
alkej-162	30	36	.	.	PUNCT
alkej-162	31	1	]	]	X
alkej-162	31	2	٥[وحسب	٥[وحسب	PROPN
alkej-162	31	3	مخطط	مخطط	PROPN
alkej-162	31	4	االتزان	االتزان	VERB
alkej-162	31	5	القة	القة	PROPN
alkej-162	31	6	وثیقة	وثیقة	PROPN
alkej-162	31	7	التركیب	التركیب	PROPN
alkej-162	31	8	الكیمیاوي	الكیمیاوي	VERB
alkej-162	31	9	للمادة	للمادة	PROPN
alkej-162	31	10	والخواص	والخواص	PROPN
alkej-162	31	11	البنیویة	البنیویة	VERB
alkej-162	31	12	ھي	ھي	ADV
alkej-162	31	13	ع	ع	X
alkej-162	31	14	لم	لم	ADV
alkej-162	31	15	.	.	PUNCT
alkej-162	32	1	الخواص	الخواص	PROPN
alkej-162	32	2	الفیزیائیة	الفیزیائیة	PROPN
alkej-162	32	3	والمیكانیكیة	والمیكانیكیة	PROPN
alkej-162	32	4	یمكن	یمكن	PROPN
alkej-162	32	5	ان	ان	PROPN
alkej-162	32	6	تؤثر	تؤثر	PROPN
alkej-162	32	7	على	على	PROPN
alkej-162	32	8	مجمل	مجمل	NOUN
alkej-162	32	9	تدرس	تدرس	X
alkej-162	32	10	ھذه	ھذه	NOUN
alkej-162	32	11	العالقة	العالقة	PROPN
alkej-162	32	12	بشكل	بشكل	PROPN
alkej-162	32	13	مستفیض	مستفیض	NOUN
alkej-162	32	14	من	من	PROPN
alkej-162	32	15	قبل	قبل	PROPN
alkej-162	32	16	الباحثین	الباحثین	PROPN
alkej-162	32	17	المھتمین	المھتمین	PROPN
alkej-162	32	18	بالموضوع	بالموضوع	PROPN
alkej-162	32	19	ولكن	ولكن	PROPN
alkej-162	32	20	تم	تم	AUX
alkej-162	32	21	التركیز	التركیز	VERB
alkej-162	32	22	في	في	PRON
alkej-162	32	23	الغالب	الغالب	PROPN
alkej-162	32	24	على	على	NOUN
alkej-162	32	25	التركیب	التركیب	NOUN
alkej-162	32	26	الكیمیاوي	الكیمیاوي	NOUN
alkej-162	32	27	التیتانیوم	التیتانیوم	NOUN
alkej-162	32	28	الى	الى	PROPN
alkej-162	32	29	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	32	30	ةالقریب	ةالقریب	NOUN
alkej-162	32	31	الى	الى	VERB
alkej-162	32	32	التجانس	التجانس	VERB
alkej-162	32	33	حیث	حیث	ADJ
alkej-162	32	34	تكون	تكون	VERB
alkej-162	33	1	نسب	نسب	INTJ
alkej-162	33	2	من	من	PRON
alkej-162	33	3	ھنا	ھنا	NUM
alkej-162	33	4	تبرز	تبرز	PROPN
alkej-162	33	5	اھمیة	اھمیة	PROPN
alkej-162	33	6	دراسة	دراسة	PROPN
alkej-162	34	1	.]٥	.]٥	PROPN
alkej-162	34	2	[	[	PUNCT
alkej-162	34	3	وي	وي	ADP
alkej-162	34	4	واحدیسا	واحدیسا	PROPN
alkej-162	34	5	c	c	NOUN
alkej-162	34	6	/	/	SYM
alkej-162	34	7	ti	ti	NOUN
alkej-162	34	8	حیث	حیث	ADJ
alkej-162	34	9	متعادلة	متعادلة	NOUN
alkej-162	34	10	تاثیر	تاثیر	VERB
alkej-162	34	11	التركیب	التركیب	NOUN
alkej-162	34	12	الكیمیاوي	الكیمیاوي	VERB
alkej-162	34	13	لكربید	لكربید	ADJ
alkej-162	34	14	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	34	15	على	على	NOUN
alkej-162	34	16	مجمل	مجمل	NOUN
alkej-162	34	17	خواص	خواص	ADV
alkej-162	34	18	ھذه	ھذه	VERB
alkej-162	34	19	تم	تم	NOUN
alkej-162	34	20	تشكیل	تشكیل	NOUN
alkej-162	34	21	سلسلة	سلسلة	VERB
alkej-162	35	1	من	من	PROPN
alkej-162	35	2	االفالم	االفالم	PROPN
alkej-162	35	3	في	في	SCONJ
alkej-162	35	4	ھذا	ھذا	NOUN
alkej-162	35	5	البحث	البحث	PROPN
alkej-162	35	6	.	.	PUNCT
alkej-162	36	1	المادة	المادة	PROPN
alkej-162	36	2	الھندسیة	الھندسیة	PROPN
alkej-162	36	3	الفائقة	الفائقة	PROPN
alkej-162	36	4	الرقیقة	الرقیقة	PROPN
alkej-162	36	5	لكاربید	لكاربید	NOUN
alkej-162	36	6	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	36	7	المختلف	المختلف	NOUN
alkej-162	36	8	في	في	SCONJ
alkej-162	36	9	التركیب	التركیب	PROPN
alkej-162	36	10	الكیمیاوي	الكیمیاوي	VERB
alkej-162	36	11	من	من	PRON
alkej-162	36	12	لم	لم	AUX
alkej-162	36	13	تظھر	تظھر	PROPN
alkej-162	36	14	.	.	PUNCT
alkej-162	37	1	c	c	X
alkej-162	37	2	/	/	SYM
alkej-162	37	3	ti=65%الى	ti=65%الى	PROPN
alkej-162	37	4	غایة	غایة	NOUN
alkej-162	37	5	c	c	PROPN
alkej-162	37	6	/	/	SYM
alkej-162	37	7	ti=34%حدود	ti=34%حدود	PROPN
alkej-162	37	8	نسبة	نسبة	PROPN
alkej-162	37	9	النتائج	النتائج	PROPN
alkej-162	37	10	اي	اي	PROPN
alkej-162	37	11	اختالف	اختالف	PROPN
alkej-162	37	12	في	في	ADP
alkej-162	37	13	البنیة	البنیة	PROPN
alkej-162	37	14	البلوریة	البلوریة	PROPN
alkej-162	37	15	على	على	PROPN
alkej-162	37	16	طول	طول	PROPN
alkej-162	37	17	المدى	المدى	NOUN
alkej-162	37	18	المختلف	المختلف	NOUN
alkej-162	37	19	تزداد	تزداد	NOUN
alkej-162	37	20	.	.	PUNCT
alkej-162	38	1	للتركیب	للتركیب	NOUN
alkej-162	38	2	الكیمیاوي	الكیمیاوي	VERB
alkej-162	38	3	ما	ما	PRON
alkej-162	38	4	عدا	عدا	NOUN
alkej-162	38	5	اختالف	اختالف	NOUN
alkej-162	38	6	في	في	ADP
alkej-162	38	7	اتجاه	اتجاه	PROPN
alkej-162	38	8	النمو	النمو	PROPN
alkej-162	38	9	البلوري	البلوري	PROPN
alkej-162	38	10	تزداد	تزداد	PROPN
alkej-162	38	11	الخواص	الخواص	PROPN
alkej-162	38	12	المیكانیكیة	المیكانیكیة	PROPN
alkej-162	38	13	.	.	PUNCT
alkej-162	39	1	االبعاد	االبعاد	PROPN
alkej-162	39	2	الذریة	الذریة	PROPN
alkej-162	39	3	مع	مع	PROPN
alkej-162	39	4	زیادة	زیادة	PROPN
alkej-162	39	5	نسبة	نسبة	PROPN
alkej-162	39	6	الكربون	الكربون	PROPN
alkej-162	39	7	مع	مع	PROPN
alkej-162	39	8	زیادة	زیادة	PROPN
alkej-162	39	9	نسبة	نسبة	PROPN
alkej-162	39	10	الكربون	الكربون	PROPN
alkej-162	39	11	"	"	PUNCT
alkej-162	39	12	eیونك	eیونك	NOUN
alkej-162	39	13	"	"	PUNCT
alkej-162	39	14	للطور	للطور	PROPN
alkej-162	39	15	الناتج	الناتج	PROPN
alkej-162	39	16	ممثلتا	ممثلتا	NOUN
alkej-162	39	17	بمعامل	بمعامل	NOUN
alkej-162	39	18	ثم	ثم	ADP
alkej-162	39	19	تبدا	تبدا	PRON
alkej-162	39	20	بالتناقص	بالتناقص	PROPN
alkej-162	39	21	مع	مع	ADP
alkej-162	39	22	استمرار	استمرار	PROPN
alkej-162	39	23	الزیادة	الزیادة	PROPN
alkej-162	39	24	بنسبة	بنسبة	PROPN
alkej-162	39	25	c	c	PROPN
alkej-162	39	26	/	/	SYM
alkej-162	39	27	ti=1لى	ti=1لى	PROPN
alkej-162	39	28	غایة	غایة	NOUN
alkej-162	39	29	ا	ا	X
alkej-162	39	30	تكون	تكون	PROPN
alkej-162	39	31	اجھادات	اجھادات	ADJ
alkej-162	39	32	داخلیة	داخلیة	PROPN
alkej-162	39	33	ضغطیة	ضغطیة	NOUN
alkej-162	39	34	الكربون	الكربون	PROPN
alkej-162	39	35	مما	مما	PRON
alkej-162	39	36	یعطي	یعطي	PROPN
alkej-162	39	37	دلیل	دلیل	PROPN
alkej-162	39	38	على	على	PROPN
alkej-162	39	39	.المنتج	.المنتج	ADP
alkej-162	39	40	للغشاء	للغشاء	ADP
alkej-162	39	41	الرقیق	الرقیق	ADJ
alkej-162	39	42	تؤدي	تؤدي	NOUN
alkej-162	39	43	الى	الى	VERB
alkej-162	39	44	تراجع	تراجع	PROPN
alkej-162	39	45	في	في	PRON
alkej-162	39	46	الخواص	الخواص	PROPN
alkej-162	39	47	المیكانیكیة	المیكانیكیة	PROPN
alkej-162	39	48	الجزء	الجزء	PROPN
alkej-162	39	49	العملي	العملي	PROPN
alkej-162	39	50	.٢	.٢	PUNCT
alkej-162	40	1	في	في	PRON
alkej-162	40	2	ھذا	ھذا	NOUN
alkej-162	40	3	البحث	البحث	VERB
alkej-162	40	4	تم	تم	PROPN
alkej-162	40	5	استخدام	استخدام	PROPN
alkej-162	40	6	نفس	نفس	PROPN
alkej-162	40	7	حجرة	حجرة	NOUN
alkej-162	40	8	الضغط	الضغط	PROPN
alkej-162	41	1	المذكورة	المذكورة	ADV
alkej-162	41	2	في	في	PRON
alkej-162	42	1	-الطالء	-الطالء	NOUN
alkej-162	42	2	من	من	ADP
alkej-162	42	3	قبل	قبل	PROPN
alkej-162	42	4	الباحث	الباحث	VERB
alkej-162	42	5	في	في	ADP
alkej-162	42	6	جامعة	جامعة	X
alkej-162	42	7	اخن	اخن	PROPN
alkej-162	42	8	اذ	اذ	PROPN
alkej-162	42	9	صممت	صممت	PROPN
alkej-162	42	10	منظومة	منظومة	ADV
alkej-162	42	11	.	.	PUNCT
alkej-162	43	1	]	]	X
alkej-162	43	2	٦	٦	X
alkej-162	43	3	[	[	PUNCT
alkej-162	43	4	المانیا	المانیا	NOUN
alkej-162	43	5	ونفذت	ونفذت	VERB
alkej-162	43	6	وفق	وفق	INTJ
alkej-162	43	7	متطلبات	متطلبات	PROPN
alkej-162	43	8	انتاج	انتاج	PROPN
alkej-162	43	9	افالم	افالم	PROPN
alkej-162	43	10	مختلفة	مختلفة	PROPN
alkej-162	43	11	التركیب	التركیب	PROPN
alkej-162	43	12	الكیمیاوي	الكیمیاوي	VERB
alkej-162	43	13	كدفعة	كدفعة	PROPN
alkej-162	43	14	واحدة	واحدة	PROPN
alkej-162	43	15	باستخدام	باستخدام	PROPN
alkej-162	43	16	التذریة	التذریة	PROPN
alkej-162	43	17	المغنترونیة	المغنترونیة	PROPN
alkej-162	43	18	.	.	PUNCT
alkej-162	44	1	combinatorial	combinatorial	ADJ
alkej-162	44	2	magnetron	magnetron	NOUN
alkej-162	44	3	sputtringاالندماجیة	sputtringاالندماجیة	NOUN
alkej-162	44	4	mailto:ahmed_gaban@yahoo.com	mailto:ahmed_gaban@yahoo.com	NOUN
alkej-162	44	5	)	)	PUNCT
alkej-162	44	6	2013(-100	2013(-100	PROPN
alkej-162	44	7	94	94	NUM
alkej-162	44	8	،	،	X
alkej-162	44	9	صفحة1	صفحة1	PROPN
alkej-162	44	10	،	،	PROPN
alkej-162	44	11	العدد9مجلة	العدد9مجلة	PROPN
alkej-162	44	12	الخوارزمي	الخوارزمي	VERB
alkej-162	44	13	الھندسیة	الھندسیة	PROPN
alkej-162	44	14	المجلد	المجلد	PROPN
alkej-162	44	15	عبد	عبد	PROPN
alkej-162	44	16	الكاظم	الكاظم	PROPN
alkej-162	44	17	احمد	احمد	PROPN
alkej-162	44	18	محمد	محمد	PROPN
alkej-162	44	19	حسن	حسن	NOUN
alkej-162	44	20	95	95	NUM
alkej-162	44	21	استخدمت	استخدمت	PROPN
alkej-162	44	22	اقطاب	اقطاب	NOUN
alkej-162	44	23	من	من	INTJ
alkej-162	44	24	كل	كل	NOUN
alkej-162	45	1	من	من	INTJ
alkej-162	46	1	التیتانیوم	التیتانیوم	PROPN
alkej-162	47	1	والكاربون	والكاربون	PROPN
alkej-162	48	1	الصلب	الصلب	NOUN
alkej-162	48	2	العالي	العالي	NOUN
alkej-162	48	3	درجة	درجة	NOUN
alkej-162	48	4	١٤ن	١٤ن	NOUN
alkej-162	48	5	عن	عن	AUX
alkej-162	48	6	السطح	السطح	PROPN
alkej-162	48	7	الواقع	الواقع	PROPN
alkej-162	48	8	في	في	SCONJ
alkej-162	48	9	االسفل	االسفل	PRON
alkej-162	48	10	مقداره	مقداره	PROPN
alkej-162	48	11	النقاوة	النقاوة	PROPN
alkej-162	48	12	وبمیال	وبمیال	ADJ
alkej-162	48	13	ھذا	ھذا	NOUN
alkej-162	48	14	المیالن	المیالن	VERB
alkej-162	48	15	یعطي	یعطي	PROPN
alkej-162	48	16	االمكانیة	االمكانیة	NOUN
alkej-162	48	17	للتحكم	للتحكم	NOUN
alkej-162	48	18	.	.	PUNCT
alkej-162	49	1	١	١	NUM
alkej-162	49	2	-كما	-كما	NOUN
alkej-162	49	3	موضح	موضح	NOUN
alkej-162	49	4	في	في	ADP
alkej-162	49	5	الشكل	الشكل	PROPN
alkej-162	49	6	قطبا	قطبا	PROPN
alkej-162	49	7	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	49	8	.	.	PUNCT
alkej-162	50	1	بمدى	بمدى	PROPN
alkej-162	50	2	كبیر	كبیر	ADV
alkej-162	50	3	من	من	PROPN
alkej-162	50	4	التراكیب	التراكیب	PROPN
alkej-162	50	5	الكمیاویة	الكمیاویة	PROPN
alkej-162	50	6	لنفس	لنفس	PROPN
alkej-162	50	7	المكونات	المكونات	PROPN
alkej-162	50	8	ملیمتر	ملیمتر	PROPN
alkej-162	50	9	ویبعدان	ویبعدان	PROPN
alkej-162	50	10	عن	عن	PROPN
alkej-162	50	11	السطح	السطح	PROPN
alkej-162	50	12	٣ملیمتر	٣ملیمتر	X
alkej-162	50	13	وسمك	وسمك	NOUN
alkej-162	50	14	٣٩والتیتانیوم	٣٩والتیتانیوم	NOUN
alkej-162	50	15	بقطر	بقطر	NOUN
alkej-162	50	16	ح	ح	PROPN
alkej-162	50	17	المستقبل	المستقبل	PROPN
alkej-162	50	18	عبارة	عبارة	PROPN
alkej-162	50	19	عن	عن	PROPN
alkej-162	51	1	السط	السط	PROPN
alkej-162	51	2	.	.	PUNCT
alkej-162	52	1	ملیمتر	ملیمتر	PROPN
alkej-162	52	2	٥٠المستقبل	٥٠المستقبل	PUNCT
alkej-162	53	1	للغشاء	للغشاء	ADP
alkej-162	53	2	بحدود	بحدود	NOUN
alkej-162	53	3	رقاقة	رقاقة	PROPN
alkej-162	53	4	من	من	PROPN
alkej-162	53	5	اوكسید	اوكسید	PROPN
alkej-162	53	6	االلمنیوم	االلمنیوم	PROPN
alkej-162	53	7	عالي	عالي	PROPN
alkej-162	53	8	النقاوة	النقاوة	VERB
alkej-162	53	9	بسطح	بسطح	ADJ
alkej-162	53	10	صقیل	صقیل	NOUN
alkej-162	53	11	واحد	واحد	PROPN
alkej-162	53	12	وبقطر	وبقطر	PROPN
alkej-162	53	13	تم	تم	NOUN
alkej-162	53	14	وضع	وضع	NOUN
alkej-162	53	15	رقاقة	رقاقة	NOUN
alkej-162	53	16	مثقبة	مثقبة	NOUN
alkej-162	53	17	من	من	PROPN
alkej-162	53	18	الصلب	الصلب	NOUN
alkej-162	53	19	فوق	فوق	PROPN
alkej-162	53	20	السطح	السطح	PROPN
alkej-162	53	21	.	.	PUNCT
alkej-162	54	1	ملیمتر	ملیمتر	NOUN
alkej-162	54	2	٥٠.٨	٥٠.٨	NUM
alkej-162	54	3	المستقبل	المستقبل	NOUN
alkej-162	54	4	لغرض	لغرض	PRON
alkej-162	54	5	حجز	حجز	PROPN
alkej-162	54	6	الطالء	الطالء	PROPN
alkej-162	54	7	عن	عن	PROPN
alkej-162	54	8	مناطق	مناطق	PROPN
alkej-162	54	9	محددة	محددة	NOUN
alkej-162	54	10	والنتاج	والنتاج	ADV
alkej-162	54	11	عدة	عدة	PROPN
alkej-162	54	12	كل	كل	PROPN
alkej-162	54	13	مساحة	مساحة	VERB
alkej-162	54	14	دائریة	دائریة	PROPN
alkej-162	54	15	تمثل	تمثل	PROPN
alkej-162	54	16	تركیب	تركیب	NOUN
alkej-162	54	17	.	.	PUNCT
alkej-162	55	1	٢مساحات	٢مساحات	PROPN
alkej-162	55	2	دائریة	دائریة	PROPN
alkej-162	55	3	حسب	حسب	VERB
alkej-162	55	4	الشكل	الشكل	PROPN
alkej-162	55	5	عن	عن	PROPN
alkej-162	55	6	االخر	االخر	NOUN
alkej-162	55	7	باالتجاه	باالتجاه	ADJ
alkej-162	55	8	من	من	PRON
alkej-162	55	9	الیمین	الیمین	PROPN
alkej-162	55	10	الى	الى	ADJ
alkej-162	55	11	الیسار	الیسار	NOUN
alkej-162	55	12	كیمیاوي	كیمیاوي	NOUN
alkej-162	55	13	محدد	محدد	PROPN
alkej-162	55	14	مفصول	مفصول	PROPN
alkej-162	55	15	بعد	بعد	PROPN
alkej-162	55	16	اكمال	اكمال	PROPN
alkej-162	55	17	)	)	PUNCT
alkej-162	55	18	.	.	PUNCT
alkej-162	56	1	تیتانیوم	تیتانیوم	NOUN
alkej-162	56	2	او	او	NOUN
alkej-162	56	3	كاربون	كاربون	NOUN
alkej-162	56	4	(	(	PUNCT
alkej-162	56	5	او	او	NOUN
alkej-162	56	6	العكس	العكس	NOUN
alkej-162	56	7	وحسب	وحسب	NOUN
alkej-162	56	8	جھة	جھة	PROPN
alkej-162	56	9	كل	كل	PROPN
alkej-162	56	10	قطب	قطب	PRON
alkej-162	56	11	وضع	وضع	PROPN
alkej-162	56	12	السطح	السطح	PROPN
alkej-162	56	13	المستقبل	المستقبل	PROPN
alkej-162	56	14	للطالء	للطالء	PROPN
alkej-162	56	15	واالقطاب	واالقطاب	PROPN
alkej-162	57	1	في	في	SCONJ
alkej-162	57	2	اماكنھا	اماكنھا	NOUN
alkej-162	57	3	یتم	یتم	INTJ
alkej-162	57	4	تفریغ	تفریغ	PROPN
alkej-162	57	5	باسكال	باسكال	PROPN
alkej-162	57	6	للتخلص	للتخلص	VERB
alkej-162	57	7	من	من	NUM
alkej-162	57	8	١٠-٤الحجرة	١٠-٤الحجرة	NOUN
alkej-162	57	9	من	من	DET
alkej-162	57	10	الھواء	الھواء	PROPN
alkej-162	57	11	لغایة	لغایة	NOUN
alkej-162	57	12	ضغط	ضغط	VERB
alkej-162	57	13	مقداره	مقداره	X
alkej-162	57	14	.	.	PUNCT
alkej-162	58	1	اسكالب	اسكالب	NOUN
alkej-162	58	2	٠.٣اغلب	٠.٣اغلب	PROPN
alkej-162	58	3	الشوائب	الشوائب	PROPN
alkej-162	58	4	بعد	بعد	PROPN
alkej-162	58	5	ذلك	ذلك	PROPN
alkej-162	58	6	یضخ	یضخ	PROPN
alkej-162	58	7	غاز	غاز	PROPN
alkej-162	58	8	االركون	االركون	PROPN
alkej-162	58	9	بضغط	بضغط	NOUN
alkej-162	58	10	واط	واط	VERB
alkej-162	58	11	لكل	لكل	PRON
alkej-162	58	12	سنتیمتر	سنتیمتر	NOUN
alkej-162	58	13	مربع	مربع	NOUN
alkej-162	58	14	لكل	لكل	PRON
alkej-162	58	15	٦.٧و	٦.٧و	DET
alkej-162	58	16	٤.٢تم	٤.٢تم	PROPN
alkej-162	58	17	تسلیط	تسلیط	NOUN
alkej-162	59	1	طاقة	طاقة	INTJ
alkej-162	59	2	مقدرھا	مقدرھا	PROPN
alkej-162	60	1	من	من	INTJ
alkej-162	60	2	قطبي	قطبي	PROPN
alkej-162	60	3	التیتانیوم	التیتانیوم	PROPN
alkej-162	60	4	والكاربون	والكاربون	NOUN
alkej-162	60	5	على	على	PROPN
alkej-162	60	6	التوالي	التوالي	NOUN
alkej-162	60	7	لیتم	لیتم	PROPN
alkej-162	60	8	انتاج	انتاج	NOUN
alkej-162	60	9	البالزما	البالزما	NOUN
alkej-162	60	10	الطالء	الطالء	PROPN
alkej-162	60	11	او	او	PROPN
alkej-162	60	12	الترسیب	الترسیب	NOUN
alkej-162	60	13	تم	تم	NOUN
alkej-162	60	14	بدون	بدون	VERB
alkej-162	60	15	اي	اي	PRON
alkej-162	60	16	مصدر	مصدر	NOUN
alkej-162	60	17	حراري	حراري	NOUN
alkej-162	60	18	.	.	PUNCT
alkej-162	61	1	الالزمة	الالزمة	PROPN
alkej-162	61	2	للطالء	للطالء	PROPN
alkej-162	61	3	لتسخین	لتسخین	PROPN
alkej-162	61	4	السطح	السطح	PROPN
alkej-162	61	5	المستقبل	المستقبل	PROPN
alkej-162	61	6	للطالء	للطالء	PROPN
alkej-162	61	7	ولم	ولم	PROPN
alkej-162	61	8	ترتفع	ترتفع	PROPN
alkej-162	61	9	درجة	درجة	ADJ
alkej-162	61	10	حرارة	حرارة	PROPN
alkej-162	61	11	السطح	السطح	PROPN
alkej-162	61	12	بعد	بعد	PROPN
alkej-162	61	13	انجاز	انجاز	VERB
alkej-162	61	14	الطالء	الطالء	PROPN
alkej-162	61	15	بسمك	بسمك	PROPN
alkej-162	61	16	.	.	PUNCT
alkej-162	62	1	ئویة	ئویة	PROPN
alkej-162	62	2	في	في	ADP
alkej-162	62	3	الغالبدرجة	الغالبدرجة	PROPN
alkej-162	62	4	م	م	PROPN
alkej-162	62	5	٥٠عن	٥٠عن	ADJ
alkej-162	62	6	اكثر	اكثر	PROPN
alkej-162	63	1	من	من	PROPN
alkej-162	63	2	میكرون	میكرون	PROPN
alkej-162	63	3	توقف	توقف	PROPN
alkej-162	63	4	المنظومة	المنظومة	PROPN
alkej-162	64	1	لیتم	لیتم	PROPN
alkej-162	64	2	استخراج	استخراج	PROPN
alkej-162	64	3	السطح	السطح	PROPN
alkej-162	64	4	١.٥یقارب	١.٥یقارب	AUX
alkej-162	64	5	المستقبل	المستقبل	PROPN
alkej-162	64	6	للغشاء	للغشاء	ADP
alkej-162	64	7	الرقیق	الرقیق	PROPN
alkej-162	64	8	ویتم	ویتم	PROPN
alkej-162	64	9	تقطیع	تقطیع	PROPN
alkej-162	64	10	العینة	العینة	PROPN
alkej-162	64	11	لعدة	لعدة	PROPN
alkej-162	64	12	اجزاء	اجزاء	PROPN
alkej-162	65	1	من	من	PROPN
alkej-162	66	1	االسفل	االسفل	PRON
alkej-162	66	2	الى	الى	PROPN
alkej-162	66	3	االعلى	االعلى	PROPN
alkej-162	66	4	للحصول	للحصول	NOUN
alkej-162	66	5	على	على	PROPN
alkej-162	66	6	شرائح	شرائح	NOUN
alkej-162	66	7	متعددة	متعددة	VERB
alkej-162	66	8	كل	كل	PROPN
alkej-162	66	9	شریحة	شریحة	PROPN
alkej-162	66	10	تحتوي	تحتوي	PROPN
alkej-162	67	1	عدة	عدة	PROPN
alkej-162	67	2	ي	ي	X
alkej-162	67	3	ف	ف	PROPN
alkej-162	67	4	.	.	PUNCT
alkej-162	68	1	مساحات	مساحات	PROPN
alkej-162	68	2	دائریة	دائریة	PROPN
alkej-162	68	3	وكل	وكل	PROPN
alkej-162	68	4	مساحة	مساحة	VERB
alkej-162	68	5	تمثل	تمثل	NOUN
alkej-162	68	6	تركیب	تركیب	NOUN
alkej-162	68	7	كیمیاوي	كیمیاوي	NOUN
alkej-162	68	8	مختلف	مختلف	NOUN
alkej-162	68	9	عینة	عینة	PROPN
alkej-162	68	10	كما	كما	PROPN
alkej-162	68	11	١٣ھذا	١٣ھذا	PROPN
alkej-162	68	12	البحث	البحث	PROPN
alkej-162	68	13	استخدمت	استخدمت	PROPN
alkej-162	68	14	شریحة	شریحة	PROPN
alkej-162	68	15	واحدة	واحدة	PROPN
alkej-162	68	16	فقط	فقط	PROPN
alkej-162	68	17	حاویة	حاویة	PROPN
alkej-162	68	18	على	على	PROPN
alkej-162	68	19	تم	تم	ADP
alkej-162	68	20	فحص	فحص	PROPN
alkej-162	68	21	التركیب	التركیب	PROPN
alkej-162	68	22	الكیمیاوي	الكیمیاوي	VERB
alkej-162	68	23	لكل	لكل	PRON
alkej-162	68	24	مساحة	مساحة	NOUN
alkej-162	68	25	.	.	PUNCT
alkej-162	69	1	٢موضح	٢موضح	NOUN
alkej-162	69	2	في	في	ADP
alkej-162	69	3	الشكل	الشكل	PROPN
alkej-162	69	4	المربوط	المربوط	PROPN
alkej-162	69	5	یاباني	یاباني	PROPN
alkej-162	69	6	المنشأ	المنشأ	PROPN
alkej-162	69	7	edxدائریة	edxدائریة	PROPN
alkej-162	69	8	في	في	SCONJ
alkej-162	69	9	الوسط	الوسط	NOUN
alkej-162	69	10	بواسطة	بواسطة	NOUN
alkej-162	69	11	جھاز	جھاز	NOUN
alkej-162	69	12	لمجھر	لمجھر	NOUN
alkej-162	69	13	الكتروني	الكتروني	NOUN
alkej-162	69	14	ماسح	ماسح	NOUN
alkej-162	69	15	والمتواجد	والمتواجد	ADV
alkej-162	69	16	في	في	SCONJ
alkej-162	69	17	قسم	قسم	PROPN
alkej-162	69	18	كیمیاء	كیمیاء	NOUN
alkej-162	69	19	المواد	المواد	VERB
alkej-162	69	20	في	في	ADP
alkej-162	69	21	جامعة	جامعة	NOUN
alkej-162	69	22	لغرض	لغرض	PROPN
alkej-162	69	23	المعایرة	المعایرة	PROPN
alkej-162	69	24	من	من	PROPN
alkej-162	69	25	مادة	مادة	PROPN
alkej-162	69	26	استعملت	استعملت	PROPN
alkej-162	69	27	عینة	عینة	PROPN
alkej-162	69	28	قیاسیة	قیاسیة	PROPN
alkej-162	69	29	.	.	PUNCT
alkej-162	70	1	المانیا	المانیا	NOUN
alkej-162	70	2	-	-	PUNCT
alkej-162	70	3	اخن	اخن	PROPN
alkej-162	70	4	البنیة	البنیة	PROPN
alkej-162	70	5	البلوریة	البلوریة	PROPN
alkej-162	70	6	تم	تم	AUX
alkej-162	70	7	فحصھا	فحصھا	NOUN
alkej-162	70	8	لكل	لكل	NOUN
alkej-162	70	9	.	.	PUNCT
alkej-162	71	1	كاربید	كاربید	NOUN
alkej-162	71	2	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	71	3	لغرض	لغرض	NOUN
alkej-162	71	4	المقارنة	المقارنة	NOUN
alkej-162	71	5	ھذا	ھذا	NOUN
alkej-162	71	6	.	.	PUNCT
alkej-162	72	1	gaddsمنطقة	gaddsمنطقة	NOUN
alkej-162	72	2	في	في	SCONJ
alkej-162	72	3	الشریحة	الشریحة	PROPN
alkej-162	72	4	بواسطة	بواسطة	PROPN
alkej-162	72	5	اشعة	اشعة	PROPN
alkej-162	72	6	اكس	اكس	NOUN
alkej-162	72	7	بجھاز	بجھاز	PROPN
alkej-162	72	8	الجھاز	الجھاز	PROPN
alkej-162	72	9	یعطي	یعطي	VERB
alkej-162	72	10	امكانیة	امكانیة	PROPN
alkej-162	72	11	كبیرة	كبیرة	NOUN
alkej-162	72	12	لفحص	لفحص	PROPN
alkej-162	72	13	االفالم	االفالم	VERB
alkej-162	72	14	الرقیقة	الرقیقة	ADJ
alkej-162	72	15	بزاویة	بزاویة	ADJ
alkej-162	72	16	حیود	حیود	PROPN
alkej-162	72	17	واحدة	واحدة	PROPN
alkej-162	72	18	وباالمكان	وباالمكان	PROPN
alkej-162	72	19	تدویر	تدویر	VERB
alkej-162	72	20	العینة	العینة	PROPN
alkej-162	72	21	بكافة	بكافة	PROPN
alkej-162	72	22	االتجاھات	االتجاھات	PROPN
alkej-162	72	23	للحصول	للحصول	NOUN
alkej-162	72	24	على	على	PROPN
alkej-162	72	25	اما	اما	VERB
alkej-162	72	26	الخواص	الخواص	PROPN
alkej-162	72	27	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	72	28	متمثلة	متمثلة	PROPN
alkej-162	72	29	.	.	PUNCT
alkej-162	73	1	تیجة	تیجة	PROPN
alkej-162	73	2	لحیود	لحیود	NOUN
alkej-162	73	3	االشعة	االشعة	PROPN
alkej-162	73	4	السینیةافضل	السینیةافضل	PROPN
alkej-162	73	5	ن	ن	PROPN
alkej-162	73	6	بمعامل	بمعامل	ADJ
alkej-162	73	7	یونك	یونك	NOUN
alkej-162	73	8	لكل	لكل	PRON
alkej-162	73	9	مساحة	مساحة	VERB
alkej-162	73	10	صغیرة	صغیرة	ADJ
alkej-162	73	11	فلقد	فلقد	NOUN
alkej-162	73	12	تم	تم	ADJ
alkej-162	73	13	احتسابھا	احتسابھا	PROPN
alkej-162	73	14	بعد	بعد	PROPN
alkej-162	73	15	الحصول	الحصول	PROPN
alkej-162	73	16	على	على	PROPN
alkej-162	73	17	النتائج	النتائج	PROPN
alkej-162	73	18	التفصیلیة	التفصیلیة	PROPN
alkej-162	73	19	من	من	NUM
alkej-162	73	20	جھاز	جھاز	PROPN
alkej-162	74	1	قیاس	قیاس	PROPN
alkej-162	74	2	الخواص	الخواص	PROPN
alkej-162	74	3	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	74	4	النانوي	النانوي	VERB
alkej-162	74	5	the	the	DET
alkej-162	74	6	nanoindentation	nanoindentation	NOUN
alkej-162	74	7	measurements	measurement	NOUN
alkej-162	74	8	.	.	PUNCT
alkej-162	75	1	اذ	اذ	NOUN
alkej-162	75	2	یتم	یتم	VERB
alkej-162	75	3	ادخال	ادخال	NOUN
alkej-162	75	4	ثم	ثم	ADP
alkej-162	75	5	تثبت	تثبت	NOUN
alkej-162	75	6	النقاط	النقاط	PROPN
alkej-162	75	7	المراد	المراد	VERB
alkej-162	75	8	فحصھا	فحصھا	ADJ
alkej-162	75	9	الشریحة	الشریحة	PROPN
alkej-162	75	10	بعد	بعد	PROPN
alkej-162	75	11	تثبیتھا	تثبیتھا	X
alkej-162	75	12	على	على	PROPN
alkej-162	75	13	حامل	حامل	NOUN
alkej-162	75	14	ومن	ومن	PROPN
alkej-162	75	15	وتاخذ	وتاخذ	PROPN
alkej-162	75	16	عدة	عدة	PROPN
alkej-162	75	17	نقاط	نقاط	PROPN
alkej-162	75	18	لكل	لكل	PRON
alkej-162	75	19	مساحة	مساحة	VERB
alkej-162	75	20	دائریة	دائریة	PROPN
alkej-162	75	21	لغرض	لغرض	PROPN
alkej-162	75	22	احتساب	احتساب	PROPN
alkej-162	75	23	معدل	معدل	PROPN
alkej-162	75	24	القراءة	القراءة	NOUN
alkej-162	75	25	.لكل	.لكل	NOUN
alkej-162	75	26	مساحة	مساحة	VERB
alkej-162	75	27	طالء	طالء	ADJ
alkej-162	75	28	e	e	NOUN
alkej-162	75	29	“	"	PUNCT
alkej-162	75	30	یونك	یونك	ADJ
alkej-162	75	31	“	"	PUNCT
alkej-162	75	32	ومن	ومن	ADJ
alkej-162	75	33	ثم	ثم	ADP
alkej-162	75	34	یستخرج	یستخرج	PROPN
alkej-162	75	35	معامل	معامل	PROPN
alkej-162	75	36	التذریة	التذریة	PROPN
alkej-162	75	37	المغنترونیة	المغنترونیة	PROPN
alkej-162	75	38	لكاربید	لكاربید	PROPN
alkej-162	75	39	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	75	40	من	من	PRON
alkej-162	75	41	قطبي	قطبي	PROPN
alkej-162	75	42	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	75	43	والتیتانیوم	والتیتانیوم	ADV
alkej-162	75	44	.	.	PUNCT
alkej-162	76	1	١-شكل	١-شكل	NOUN
alkej-162	76	2	magnetron	magnetron	NOUN
alkej-162	76	3	sputtering	sputtering	NOUN
alkej-162	76	4	of	of	ADP
alkej-162	76	5	ticx	ticx	NOUN
alkej-162	76	6	from	from	ADP
alkej-162	76	7	carbon	carbon	NOUN
alkej-162	76	8	and	and	CCONJ
alkej-162	76	9	titanium	titanium	NOUN
alkej-162	76	10	cathodes	cathode	NOUN
alkej-162	76	11	.	.	PUNCT
alkej-162	77	1	.الغشاء	.الغشاء	PROPN
alkej-162	77	2	الرقیق	الرقیق	PROPN
alkej-162	77	3	من	من	PRON
alkej-162	77	4	كاربید	كاربید	NOUN
alkej-162	77	5	التیتانیوم	التیتانیوم	NOUN
alkej-162	77	6	بمساحات	بمساحات	ADV
alkej-162	77	7	دائریة	دائریة	PROPN
alkej-162	77	8	بعد	بعد	PROPN
alkej-162	77	9	عملیة	عملیة	PROPN
alkej-162	77	10	الطالء	الطالء	PROPN
alkej-162	77	11	على	على	PROPN
alkej-162	77	12	سطح	سطح	PROPN
alkej-162	78	1	من	من	PROPN
alkej-162	78	2	اوكسید	اوكسید	PROPN
alkej-162	78	3	االلمنیوم	االلمنیوم	VERB
alkej-162	78	4	-٢-الشكل	-٢-الشكل	PROPN
alkej-162	78	5	the	the	DET
alkej-162	78	6	deposited	deposit	VERB
alkej-162	78	7	ticx	ticx	NOUN
alkej-162	78	8	thin	thin	ADJ
alkej-162	78	9	films	film	NOUN
alkej-162	78	10	with	with	ADP
alkej-162	78	11	circular	circular	ADJ
alkej-162	78	12	shapes	shape	NOUN
alkej-162	78	13	on	on	ADP
alkej-162	78	14	a	a	DET
alkej-162	78	15	al2o3	al2o3	PROPN
alkej-162	78	16	substrate	substrate	NOUN
alkej-162	78	17	.	.	PUNCT
alkej-162	78	18	)	)	PUNCT
alkej-162	79	1	2013(-100	2013(-100	PROPN
alkej-162	79	2	94	94	NUM
alkej-162	79	3	،	،	X
alkej-162	79	4	صفحة1	صفحة1	PROPN
alkej-162	79	5	،	،	PROPN
alkej-162	79	6	العدد9مجلة	العدد9مجلة	PROPN
alkej-162	79	7	الخوارزمي	الخوارزمي	VERB
alkej-162	79	8	الھندسیة	الھندسیة	PROPN
alkej-162	79	9	المجلد	المجلد	PROPN
alkej-162	79	10	عبد	عبد	PROPN
alkej-162	79	11	الكاظم	الكاظم	PROPN
alkej-162	79	12	احمد	احمد	PROPN
alkej-162	79	13	محمد	محمد	PROPN
alkej-162	79	14	حسن	حسن	NOUN
alkej-162	79	15	96	96	NUM
alkej-162	79	16	النتائج	النتائج	NOUN
alkej-162	79	17	والمناقشة	والمناقشة	NOUN
alkej-162	79	18	.٣	.٣	PRON
alkej-162	79	19	تراكیب	تراكیب	PROPN
alkej-162	79	20	الكیمیاویة	الكیمیاویة	PROPN
alkej-162	79	21	لمساحات	لمساحات	NOUN
alkej-162	79	22	بعض	بعض	NOUN
alkej-162	79	23	نتائج	نتائج	PROPN
alkej-162	79	24	الیوضح	الیوضح	ADJ
alkej-162	79	25	٣-الشكل	٣-الشكل	PROPN
alkej-162	79	26	الكاربون	الكاربون	NOUN
alkej-162	79	27	الى	الى	PROPN
alkej-162	79	28	اقص	اقص	PROPN
alkej-162	79	29	نسبةمن	نسبةمن	PROPN
alkej-162	79	30	خاللھا	خاللھا	ADJ
alkej-162	79	31	یمكن	یمكن	NOUN
alkej-162	79	32	مالحظة	مالحظة	PROPN
alkej-162	79	33	تن	تن	INTJ
alkej-162	79	34	.	.	PUNCT
alkej-162	80	1	طالء	طالء	PROPN
alkej-162	80	2	مختلفة	مختلفة	PROPN
alkej-162	80	3	في	في	SCONJ
alkej-162	80	4	الجھة	الجھة	PROPN
alkej-162	80	5	القریبة	القریبة	PROPN
alkej-162	80	6	الى	الى	VERB
alkej-162	80	7	قطب	قطب	PROPN
alkej-162	80	8	التیتانیوم	التیتانیوم	NOUN
alkej-162	80	9	في	في	ADP
alkej-162	80	10	c	c	NOUN
alkej-162	80	11	/	/	SYM
alkej-162	80	12	ti	ti	NOUN
alkej-162	80	13	ratioالتیتانیوم	ratioالتیتانیوم	NOUN
alkej-162	80	14	ھذه	ھذه	PROPN
alkej-162	80	15	.حین	.حین	PUNCT
alkej-162	81	1	تزداد	تزداد	NOUN
alkej-162	81	2	ھذه	ھذه	NOUN
alkej-162	81	3	النسبة	النسبة	NOUN
alkej-162	81	4	في	في	ADP
alkej-162	81	5	حال	حال	PROPN
alkej-162	81	6	القرب	القرب	PROPN
alkej-162	82	1	من	من	INTJ
alkej-162	82	2	قطب	قطب	PRON
alkej-162	82	3	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	82	4	التذریة	التذریة	PROPN
alkej-162	82	5	المغنترونیة	المغنترونیة	PROPN
alkej-162	82	6	احدى	احدى	VERB
alkej-162	82	7	اھم	اھم	PROPN
alkej-162	82	8	المیزات	المیزات	PROPN
alkej-162	82	9	التي	التي	PROPN
alkej-162	82	10	توفرھا	توفرھا	PROPN
alkej-162	82	11	طریقة	طریقة	PROPN
alkej-162	83	1	في	في	ADP
alkej-162	83	2	عدة	عدة	INTJ
alkej-162	83	3	.	.	PUNCT
alkej-162	84	1	combinatorial	combinatorial	ADJ
alkej-162	84	2	magnetron	magnetron	NOUN
alkej-162	84	3	sputtringاالندماجیة	sputtringاالندماجیة	NOUN
alkej-162	84	4	ابحاث	ابحاث	NOUN
alkej-162	84	5	سابقة	سابقة	NOUN
alkej-162	84	6	اظھر	اظھر	PROPN
alkej-162	84	7	كاربید	كاربید	NOUN
alkej-162	84	8	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	84	9	المرسب	المرسب	PROPN
alkej-162	84	10	كاغشیة	كاغشیة	VERB
alkej-162	84	11	رقیقة	رقیقة	ADJ
alkej-162	84	12	ھذا	ھذا	NOUN
alkej-162	84	13	یعطي	یعطي	PROPN
alkej-162	84	14	.	.	PUNCT
alkej-162	85	1	]	]	X
alkej-162	85	2	٧,٨,٩,١٠[امكانیة	٧,٨,٩,١٠[امكانیة	PROPN
alkej-162	85	3	عالیة	عالیة	PROPN
alkej-162	85	4	للتحكم	للتحكم	VERB
alkej-162	85	5	بالتركیب	بالتركیب	NOUN
alkej-162	85	6	الكیمیاوي	الكیمیاوي	VERB
alkej-162	85	7	االمكانیة	االمكانیة	NOUN
alkej-162	85	8	الجراء	الجراء	PROPN
alkej-162	85	9	دراسات	دراسات	PROPN
alkej-162	85	10	نظامیة	نظامیة	PROPN
alkej-162	85	11	تحلیلیة	تحلیلیة	PROPN
alkej-162	85	12	لربط	لربط	PROPN
alkej-162	85	13	التركیب	التركیب	PROPN
alkej-162	85	14	الكیمیاوي	الكیمیاوي	VERB
alkej-162	85	15	اص	اص	PROPN
alkej-162	85	16	الفیزیائیة	الفیزیائیة	PROPN
alkej-162	85	17	والمیكانیكیة	والمیكانیكیة	PROPN
alkej-162	85	18	وبامكانیة	وبامكانیة	NOUN
alkej-162	85	19	مع	مع	PROPN
alkej-162	85	20	كافة	كافة	PROPN
alkej-162	85	21	الخوللطور	الخوللطور	PROPN
alkej-162	85	22	المنتج	المنتج	PROPN
alkej-162	85	23	عدم	عدم	PROPN
alkej-162	85	24	نظرا	نظرا	NOUN
alkej-162	85	25	ل	ل	PROPN
alkej-162	85	26	bulk	bulk	ADJ
alkej-162	85	27	materialغیر	materialغیر	ADJ
alkej-162	85	28	ممكنة	ممكنة	ADJ
alkej-162	86	1	في	في	DET
alkej-162	86	2	حالة	حالة	NOUN
alkej-162	86	3	العینات	العینات	PROPN
alkej-162	86	4	الكتلویة	الكتلویة	PROPN
alkej-162	86	5	بتقنیة	بتقنیة	PROPN
alkej-162	86	6	المساحیق	المساحیق	PROPN
alkej-162	86	7	على	على	PROPN
alkej-162	86	8	انتاج	انتاج	PROPN
alkej-162	86	9	مجموعة	مجموعة	PROPN
alkej-162	86	10	كبیرة	كبیرة	PROPN
alkej-162	86	11	من	من	PRON
alkej-162	87	1	العیناتامكانیة	العیناتامكانیة	PROPN
alkej-162	87	2	وللصعوبة	وللصعوبة	VERB
alkej-162	87	3	في	في	ADP
alkej-162	87	4	تكرار	تكرار	PROPN
alkej-162	87	5	نفس	نفس	PROPN
alkej-162	87	6	الظروف	الظروف	NOUN
alkej-162	87	7	المحیطة	المحیطة	NOUN
alkej-162	87	8	في	في	ADP
alkej-162	87	9	كل	كل	NOUN
alkej-162	87	10	سبیل	سبیل	ADV
alkej-162	87	11	المثال	المثال	ADV
alkej-162	87	12	لما	لما	VERB
alkej-162	87	13	مجموعةالفحص	مجموعةالفحص	SCONJ
alkej-162	87	14	باالشعة	باالشعة	NOUN
alkej-162	87	15	السینیة	السینیة	PROPN
alkej-162	87	16	یوضح	یوضح	PROPN
alkej-162	87	17	نتائج	نتائج	PROPN
alkej-162	87	18	٤الشكل	٤الشكل	PROPN
alkej-162	87	19	.حالة	.حالة	PRON
alkej-162	87	20	تظھر	تظھر	PROPN
alkej-162	87	21	النتائج	النتائج	PROPN
alkej-162	87	22	بروز	بروز	PROPN
alkej-162	87	23	كاربید	كاربید	PROPN
alkej-162	87	24	.	.	PUNCT
alkej-162	88	1	یب	یب	PROPN
alkej-162	88	2	الكیمیاويمختلفة	الكیمیاويمختلفة	PROPN
alkej-162	88	3	الترك	الترك	PROPN
alkej-162	88	4	عینة	عینة	PROPN
alkej-162	88	5	١٣	١٣	NUM
alkej-162	88	6	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	88	7	كطور	كطور	NOUN
alkej-162	88	8	وحید	وحید	VERB
alkej-162	88	9	على	على	NOUN
alkej-162	88	10	الرغم	الرغم	NOUN
alkej-162	88	11	من	من	PRON
alkej-162	88	12	اختالف	اختالف	NOUN
alkej-162	88	13	التركیب	التركیب	PROPN
alkej-162	88	14	الكیمیاوي	الكیمیاوي	VERB
alkej-162	88	15	او	او	PRON
alkej-162	88	16	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	88	17	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	88	18	الى	الى	VERB
alkej-162	88	19	التیتانیوم	التیتانیوم	NOUN
alkej-162	88	20	صعودا	صعودا	NOUN
alkej-162	88	21	او	او	NOUN
alkej-162	88	22	نزوال	نزوال	NOUN
alkej-162	88	23	برغم	برغم	NOUN
alkej-162	88	24	اختالف	اختالف	NOUN
alkej-162	88	25	یمكن	یمكن	NOUN
alkej-162	88	26	ایضا	ایضا	VERB
alkej-162	88	27	.	.	PUNCT
alkej-162	89	1	واضح	واضح	VERB
alkej-162	89	2	في	في	DET
alkej-162	89	3	شدة	شدة	PROPN
alkej-162	89	4	الطور	الطور	PROPN
alkej-162	89	5	الناتج	الناتج	PROPN
alkej-162	89	6	بزیادة	بزیادة	PROPN
alkej-162	89	7	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	89	8	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	89	9	.	.	PUNCT
alkej-162	90	1	واسع	واسع	NOUN
alkej-162	90	2	في	في	ADP
alkej-162	90	3	اتجاه	اتجاه	PROPN
alkej-162	90	4	نمو	نمو	SCONJ
alkej-162	90	5	البلورات	البلورات	NOUN
alkej-162	90	6	بزیادة	بزیادة	PROPN
alkej-162	90	7	نسبة	نسبة	PROPN
alkej-162	90	8	الكاربونمالحظة	الكاربونمالحظة	PROPN
alkej-162	90	9	فرق	فرق	PROPN
alkej-162	90	10	(	(	PUNCT
alkej-162	90	11	النظام	النظام	PROPN
alkej-162	90	12	المكعب	المكعب	PROPN
alkej-162	90	13	في	في	PART
alkej-162	90	14	)	)	PUNCT
alkej-162	90	15	١	١	NUM
alkej-162	90	16	١	١	NUM
alkej-162	90	17	١	١	NUM
alkej-162	90	18	(	(	PUNCT
alkej-162	90	19	بلورات	بلورات	NOUN
alkej-162	90	20	باالتجاهللحیث	باالتجاهللحیث	VERB
alkej-162	90	21	یتجھ	یتجھ	NOUN
alkej-162	90	22	النمو	النمو	NOUN
alkej-162	90	23	مع	مع	ADP
alkej-162	90	24	)	)	PUNCT
alkej-162	90	25	0	0	NUM
alkej-162	90	26	0	0	NUM
alkej-162	90	27	2	2	NUM
alkej-162	90	28	(	(	PUNCT
alkej-162	90	29	بلوري	بلوري	PROPN
alkej-162	90	30	نمو	نمو	SCONJ
alkej-162	90	31	باتجاهالالى	باتجاهالالى	ADJ
alkej-162	90	32	)	)	PUNCT
alkej-162	90	33	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	90	34	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	90	35	االقل	االقل	PROPN
alkej-162	90	36	في	في	ADP
alkej-162	90	37	البنیة	البنیة	PROPN
alkej-162	90	38	anisotropyموضوع	anisotropyموضوع	PROPN
alkej-162	90	39	التباین	التباین	PROPN
alkej-162	90	40	.انخفاض	.انخفاض	PROPN
alkej-162	90	41	نسبة	نسبة	VERB
alkej-162	90	42	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	90	43	تركیب	تركیب	PROPN
alkej-162	91	1	قد	قد	INTJ
alkej-162	91	2	تم	تم	AUX
alkej-162	91	3	مناقشتھا	مناقشتھا	VERB
alkej-162	91	4	في	في	INTJ
alkej-162	91	5	المجھریة	المجھریة	AUX
alkej-162	91	6	الفالم	الفالم	VERB
alkej-162	91	7	رقیقة	رقیقة	ADJ
alkej-162	91	8	ذات	ذات	NOUN
alkej-162	91	9	نفس	نفس	PROPN
alkej-162	91	10	ال	ال	ADP
alkej-162	91	11	لم	لم	ADP
alkej-162	91	12	یتم	یتم	PROPN
alkej-162	91	13	توضیح	توضیح	PROPN
alkej-162	91	14	السبب	السبب	PROPN
alkej-162	91	15	الرئیسي	الرئیسي	PROPN
alkej-162	91	16	.	.	PUNCT
alkej-162	92	1	]	]	X
alkej-162	92	2	١١,١٢,١٣,١٤[ابحاث	١١,١٢,١٣,١٤[ابحاث	NOUN
alkej-162	92	3	سابقة	سابقة	NOUN
alkej-162	92	4	لھذه	لھذه	NOUN
alkej-162	92	5	الظاھرة	الظاھرة	NOUN
alkej-162	92	6	وسبب	وسبب	PROPN
alkej-162	92	7	اختالفھا	اختالفھا	VERB
alkej-162	92	8	من	من	DET
alkej-162	92	9	طریقة	طریقة	ADJ
alkej-162	92	10	انتاج	انتاج	NOUN
alkej-162	92	11	الى	الى	PROPN
alkej-162	92	12	اخرى	اخرى	PROPN
alkej-162	92	13	غیر	غیر	PROPN
alkej-162	92	14	ان	ان	ADP
alkej-162	92	15	the	the	DET
alkej-162	92	16	strain	strain	PROPN
alkej-162	92	17	energyالسبب	energyالسبب	NOUN
alkej-162	92	18	العام	العام	PROPN
alkej-162	92	19	یمكن	یمكن	PROPN
alkej-162	92	20	اجمالھ	اجمالھ	PROPN
alkej-162	92	21	في	في	ADP
alkej-162	92	22	طاقة	طاقة	PROPN
alkej-162	92	23	االنفعال	االنفعال	NOUN
alkej-162	92	24	في	في	DET
alkej-162	92	25	حالة	حالة	NOUN
alkej-162	92	26	)	)	PUNCT
alkej-162	92	27	١١١(تتجھ	١١١(تتجھ	NOUN
alkej-162	92	28	البلورات	البلورات	VERB
alkej-162	92	29	باتجاه	باتجاه	ADJ
alkej-162	92	30	نمو	نمو	SCONJ
alkej-162	92	31	بعبارة	بعبارة	NOUN
alkej-162	92	32	اخرى	اخرى	VERB
alkej-162	92	33	.	.	PUNCT
alkej-162	93	1	]	]	X
alkej-162	93	2	١٤	١٤	NUM
alkej-162	93	3	[	[	PUNCT
alkej-162	93	4	في	في	X
alkej-162	93	5	ة	ة	NOUN
alkej-162	93	6	تیتانیوم	تیتانیوم	NOUN
alkej-162	93	7	اكبر	اكبر	PROPN
alkej-162	93	8	لغرض	لغرض	NOUN
alkej-162	93	9	تقلیل	تقلیل	VERB
alkej-162	93	10	الجھد	الجھد	PROPN
alkej-162	93	11	الالزم	الالزم	PROPN
alkej-162	93	12	للبناء	للبناء	PROPN
alkej-162	93	13	البلوري	البلوري	PROPN
alkej-162	93	14	نسب	نسب	PROPN
alkej-162	93	15	بزیادة	بزیادة	PROPN
alkej-162	93	16	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	93	17	الكربون	الكربون	PROPN
alkej-162	93	18	في	في	PRON
alkej-162	93	19	)	)	PUNCT
alkej-162	93	20	0	0	NUM
alkej-162	93	21	0	0	NUM
alkej-162	94	1	2(الى	2(الى	NUM
alkej-162	94	2	البلوري	البلوري	PROPN
alkej-162	94	3	حین	حین	PROPN
alkej-162	94	4	یتجھ	یتجھ	NOUN
alkej-162	94	5	النمو	النمو	PROPN
alkej-162	94	6	سوف	سوف	PRON
alkej-162	94	7	یتم	یتم	X
alkej-162	94	8	التطرق	التطرق	PROPN
alkej-162	94	9	الى	الى	PROPN
alkej-162	94	10	ھذه	ھذه	PROPN
alkej-162	94	11	النتائج	النتائج	PROPN
alkej-162	94	12	بصورة	بصورة	PROPN
alkej-162	94	13	تفصیلیة	تفصیلیة	PROPN
alkej-162	94	14	.	.	PUNCT
alkej-162	95	1	الطور	الطور	NOUN
alkej-162	95	2	المنتج	المنتج	VERB
alkej-162	95	3	تم	تم	NOUN
alkej-162	95	4	.	.	PUNCT
alkej-162	96	1	اكثر	اكثر	PROPN
alkej-162	96	2	في	في	ADP
alkej-162	96	3	ابحاث	ابحاث	PROPN
alkej-162	96	4	مستقبلیة	مستقبلیة	PROPN
alkej-162	96	5	الحقة	الحقة	PROPN
alkej-162	96	6	لغرض	لغرض	NOUN
alkej-162	96	7	دراستھا	دراستھا	VERB
alkej-162	96	8	بشكل	بشكل	NOUN
alkej-162	96	9	تفصیلي	تفصیلي	VERB
alkej-162	96	10	حث	حث	PROPN
alkej-162	96	11	التركیز	التركیز	PROPN
alkej-162	96	12	على	على	PROPN
alkej-162	96	13	العالقة	العالقة	PROPN
alkej-162	96	14	بین	بین	PROPN
alkej-162	96	15	نسبة	نسبة	PROPN
alkej-162	96	16	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	96	17	الى	الى	VERB
alkej-162	96	18	في	في	PRON
alkej-162	96	19	ھذا	ھذا	PROPN
alkej-162	96	20	الب	الب	PROPN
alkej-162	96	21	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	96	22	في	في	ADP
alkej-162	96	23	الطور	الطور	NOUN
alkej-162	96	24	الكاربیدي	الكاربیدي	PROPN
alkej-162	96	25	المنتج	المنتج	VERB
alkej-162	96	26	وبین	وبین	PROPN
alkej-162	96	27	الخواص	الخواص	NOUN
alkej-162	96	28	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	96	29	فقد	فقد	PUNCT
alkej-162	96	30	تم	تم	NOUN
alkej-162	96	31	دراسة	دراسة	PROPN
alkej-162	97	1	الخواص	الخواص	PROPN
alkej-162	97	2	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	97	3	بواسطة	بواسطة	NOUN
alkej-162	97	4	.	.	PUNCT
alkej-162	98	1	متمثلة	متمثلة	PROPN
alkej-162	98	2	بمعامل	بمعامل	ADJ
alkej-162	98	3	المرونة	المرونة	PROPN
alkej-162	98	4	جھاز	جھاز	PROPN
alkej-162	98	5	الفحص	الفحص	PROPN
alkej-162	98	6	النانوي	النانوي	PROPN
alkej-162	98	7	بدقة	بدقة	PROPN
alkej-162	98	8	متناھیة	متناھیة	PROPN
alkej-162	98	9	لغرض	لغرض	PRON
alkej-162	98	10	تجاھل	تجاھل	INTJ
alkej-162	98	11	خواص	خواص	ADV
alkej-162	98	12	المادة	المادة	VERB
alkej-162	98	13	یوضح	یوضح	VERB
alkej-162	98	14	٥	٥	NUM
alkej-162	98	15	-الشكل	-الشكل	NOUN
alkej-162	98	16	.	.	PUNCT
alkej-162	99	1	لمنیوماالساس	لمنیوماالساس	PROPN
alkej-162	99	2	متمثلة	متمثلة	PROPN
alkej-162	99	3	في	في	ADP
alkej-162	99	4	رقیقة	رقیقة	ADJ
alkej-162	99	5	اوكسید	اوكسید	PROPN
alkej-162	99	6	اال	اال	VERB
alkej-162	99	7	العالقة	العالقة	PROPN
alkej-162	99	8	بین	بین	PROPN
alkej-162	99	9	نسبة	نسبة	PROPN
alkej-162	99	10	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	99	11	الى	الى	VERB
alkej-162	99	12	التیتانیوم	التیتانیوم	NOUN
alkej-162	99	13	في	في	ADP
alkej-162	99	14	الطور	الطور	NOUN
alkej-162	99	15	الناتج	الناتج	PROPN
alkej-162	99	16	ومعامل	ومعامل	NOUN
alkej-162	99	17	یمكن	یمكن	NOUN
alkej-162	99	18	.	.	PUNCT
alkej-162	100	1	المرونة	المرونة	PROPN
alkej-162	100	2	المستحصل	المستحصل	VERB
alkej-162	100	3	من	من	PROPN
alkej-162	100	4	فحص	فحص	PROPN
alkej-162	100	5	الخواص	الخواص	PROPN
alkej-162	100	6	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	100	7	مالحظة	مالحظة	NOUN
alkej-162	101	1	ان	ان	SCONJ
alkej-162	101	2	معامل	معامل	PROPN
alkej-162	101	3	المرونة	المرونة	PROPN
alkej-162	101	4	یزداد	یزداد	PROPN
alkej-162	101	5	طردیا	طردیا	ADP
alkej-162	101	6	بزیادة	بزیادة	PROPN
alkej-162	101	7	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	101	8	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	101	9	الى	الى	PROPN
alkej-162	101	10	وحدة	وحدة	PROPN
alkej-162	101	11	ذریة	ذریة	PROPN
alkej-162	101	12	للكاربون	للكاربون	PROPN
alkej-162	101	13	في	في	ADP
alkej-162	101	14	حین	حین	PROPN
alkej-162	101	15	تبدأ	تبدأ	NOUN
alkej-162	101	16	قیمة	قیمة	INTJ
alkej-162	102	1	%	%	INTJ
alkej-162	103	1	٥٠غایة	٥٠غایة	CCONJ
alkej-162	104	1	ما	ما	PRON
alkej-162	104	2	مقداره	مقداره	X
alkej-162	104	3	مل	مل	PROPN
alkej-162	104	4	المرونة	المرونة	NOUN
alkej-162	104	5	باالنخفاض	باالنخفاض	NOUN
alkej-162	104	6	تدریجیا	تدریجیا	NOUN
alkej-162	104	7	بزیادة	بزیادة	NOUN
alkej-162	104	8	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	104	9	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	104	10	اكثر	اكثر	PROPN
alkej-162	104	11	من	من	PROPN
alkej-162	104	12	معا	معا	PROPN
alkej-162	104	13	قد	قد	ADP
alkej-162	104	14	یعود	یعود	PROPN
alkej-162	104	15	السبب	السبب	PROPN
alkej-162	104	16	الرئیسي	الرئیسي	PROPN
alkej-162	104	17	%	%	PROPN
alkej-162	104	18	.	.	PUNCT
alkej-162	105	1	٦٣الى	٦٣الى	PROPN
alkej-162	105	2	غایة	غایة	PROPN
alkej-162	105	3	حدود	حدود	PROPN
alkej-162	105	4	اقل	اقل	PROPN
alkej-162	106	1	من	من	INTJ
alkej-162	106	2	%	%	NOUN
alkej-162	107	1	٥٠	٥٠	NUM
alkej-162	108	1	لزیادة	لزیادة	ADJ
alkej-162	108	2	الخواص	الخواص	INTJ
alkej-162	108	3	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	108	4	في	في	ADP
alkej-162	108	5	الطور	الطور	NOUN
alkej-162	108	6	الناتج	الناتج	PROPN
alkej-162	109	1	مع	مع	PROPN
alkej-162	109	2	زیادة	زیادة	PROPN
alkej-162	109	3	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	109	4	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	109	5	الى	الى	PROPN
alkej-162	109	6	تزاید	تزاید	PROPN
alkej-162	109	7	اعداد	اعداد	PROPN
alkej-162	109	8	ذرات	ذرات	PROPN
alkej-162	109	9	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	109	10	التي	التي	PROPN
alkej-162	109	11	تحتل	تحتل	PROPN
alkej-162	109	12	المواقع	المواقع	VERB
alkej-162	109	13	ما	ما	ADP
alkej-162	109	14	ھذا	ھذا	NOUN
alkej-162	109	15	النوع	النوع	VERB
alkej-162	109	16	من	من	DET
alkej-162	109	17	التداخل	التداخل	NOUN
alkej-162	109	18	الذري	الذري	PROPN
alkej-162	109	19	.interstitial	.interstitial	PROPN
alkej-162	109	20	atomsبین	atomsبین	PROPN
alkej-162	109	21	الذرات	الذرات	PROPN
alkej-162	109	22	من	من	PROPN
alkej-162	109	23	المفترض	المفترض	NOUN
alkej-162	109	24	.	.	PUNCT
alkej-162	110	1	یتسبب	یتسبب	PROPN
alkej-162	110	2	في	في	DET
alkej-162	110	3	زیادة	زیادة	PROPN
alkej-162	110	4	ملحوظة	ملحوظة	NOUN
alkej-162	110	5	في	في	SCONJ
alkej-162	110	6	الخواص	الخواص	PROPN
alkej-162	110	7	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	110	8	بظھور	بظھور	VERB
alkej-162	110	9	طور	طور	NOUN
alkej-162	110	10	%	%	NOUN
alkej-162	110	11	٥٠الكاربون	٥٠الكاربون	PROPN
alkej-162	111	1	الفائض	الفائض	PROPN
alkej-162	111	2	بنسبة	بنسبة	PROPN
alkej-162	111	3	اكبر	اكبر	PROPN
alkej-162	111	4	من	من	INTJ
alkej-162	112	1	ان	ان	ADV
alkej-162	112	2	یتسبب	یتسبب	PROPN
alkej-162	112	3	وفقا	وفقا	ADJ
alkej-162	112	4	للفحص	للفحص	ADJ
alkej-162	112	5	باالشعة	باالشعة	NOUN
alkej-162	112	6	.	.	PUNCT
alkej-162	113	1	]	]	PUNCT
alkej-162	113	2	١٥[الكرافیت	١٥[الكرافیت	NOUN
alkej-162	113	3	الحر	الحر	NOUN
alkej-162	113	4	في	في	SCONJ
alkej-162	113	5	البنیة	البنیة	PROPN
alkej-162	113	6	الذریة	الذریة	PROPN
alkej-162	113	7	للمنتج	للمنتج	PROPN
alkej-162	113	8	فق	فق	VERB
alkej-162	113	9	للطور	للطور	PROPN
alkej-162	113	10	السینیة	السینیة	PROPN
alkej-162	113	11	لم	لم	ADP
alkej-162	113	12	یظھر	یظھر	PROPN
alkej-162	113	13	اي	اي	ADP
alkej-162	113	14	دلیل	دلیل	ADJ
alkej-162	113	15	على	على	NOUN
alkej-162	113	16	وجود	وجود	NOUN
alkej-162	113	17	طور	طور	VERB
alkej-162	114	1	اخر	اخر	PROPN
alkej-162	114	2	مرا	مرا	PROPN
alkej-162	114	3	یعطي	یعطي	PROPN
alkej-162	114	4	سببا	سببا	PUNCT
alkej-162	114	5	واضحا	واضحا	VERB
alkej-162	114	6	للتناقص	للتناقص	NOUN
alkej-162	115	1	في	في	SCONJ
alkej-162	115	2	الخواص	الخواص	NOUN
alkej-162	115	3	اربیدي	اربیدي	PROPN
alkej-162	115	4	الناتج	الناتج	PROPN
alkej-162	115	5	مما	مما	PROPN
alkej-162	115	6	الك	الك	NOUN
alkej-162	115	7	من	من	PRON
alkej-162	115	8	ذلك	ذلك	PROPN
alkej-162	115	9	یمكن	یمكن	NOUN
alkej-162	115	10	%	%	INTJ
alkej-162	115	11	.	.	PUNCT
alkej-162	116	1	٥٠المیكانیكیة	٥٠المیكانیكیة	PUNCT
alkej-162	116	2	بزیادة	بزیادة	PROPN
alkej-162	116	3	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	116	4	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	116	5	اكثر	اكثر	PROPN
alkej-162	117	1	من	من	PROPN
alkej-162	117	2	االعتقاد	االعتقاد	PROPN
alkej-162	117	3	بان	بان	PROPN
alkej-162	117	4	السبب	السبب	PROPN
alkej-162	117	5	الرئیسي	الرئیسي	PROPN
alkej-162	117	6	النخفاض	النخفاض	PROPN
alkej-162	117	7	معامل	معامل	NOUN
alkej-162	117	8	المرونة	المرونة	PROPN
alkej-162	117	9	في	في	ADP
alkej-162	117	10	الغشاء	الغشاء	PROPN
alkej-162	117	11	الرقیق	الرقیق	PROPN
alkej-162	117	12	المنتج	المنتج	PROPN
alkej-162	117	13	بنسبة	بنسبة	NOUN
alkej-162	117	14	كاربون	كاربون	NOUN
alkej-162	117	15	عالي	عالي	PROPN
alkej-162	117	16	یمكن	یمكن	NOUN
alkej-162	117	17	ارجاعھ	ارجاعھ	PROPN
alkej-162	117	18	الى	الى	PROPN
alkej-162	117	19	االجھادات	االجھادات	PROPN
alkej-162	117	20	عتبار	عتبار	ADV
alkej-162	118	1	ان	ان	ADP
alkej-162	118	2	الغشاء	الغشاء	PROPN
alkej-162	118	3	مع	مع	PROPN
alkej-162	118	4	االخذ	االخذ	PROPN
alkej-162	118	5	بنظر	بنظر	PROPN
alkej-162	118	6	اال	اال	PROPN
alkej-162	118	7	.	.	PUNCT
alkej-162	119	1	یبالداخلیة	یبالداخلیة	PROPN
alkej-162	119	2	الناتجة	الناتجة	PROPN
alkej-162	119	3	اثناء	اثناء	PROPN
alkej-162	119	4	الترس	الترس	VERB
alkej-162	119	5	مما	مما	NOUN
alkej-162	119	6	قد	قد	INTJ
alkej-162	119	7	.	.	PUNCT
alkej-162	120	1	تم	تم	PROPN
alkej-162	120	2	ترسیبھ	ترسیبھ	PROPN
alkej-162	120	3	دون	دون	PROPN
alkej-162	120	4	اي	اي	NOUN
alkej-162	120	5	مصدر	مصدر	NOUN
alkej-162	120	6	حراري	حراري	NOUN
alkej-162	120	7	خارجي	خارجي	ADJ
alkej-162	120	8	الرقیق	الرقیق	PROPN
alkej-162	120	9	المنتج	المنتج	VERB
alkej-162	120	10	یعطي	یعطي	PROPN
alkej-162	120	11	المجال	المجال	NOUN
alkej-162	120	12	الواسع	الواسع	VERB
alkej-162	120	13	لالجھادات	لالجھادات	ADJ
alkej-162	120	14	المرافقة	المرافقة	PROPN
alkej-162	120	15	للعب	للعب	VERB
alkej-162	120	16	دور	دور	X
alkej-162	120	17	اساسي	اساسي	NOUN
alkej-162	120	18	في	في	X
alkej-162	120	19	لوحظ	لوحظ	VERB
alkej-162	120	20	في	في	ADP
alkej-162	120	21	دراسات	دراسات	PROPN
alkej-162	120	22	سابقة	سابقة	PROPN
alkej-162	120	23	وجود	وجود	PROPN
alkej-162	120	24	عالقة	عالقة	PROPN
alkej-162	120	25	وثیقة	وثیقة	VERB
alkej-162	120	26	.	.	PUNCT
alkej-162	121	1	]	]	X
alkej-162	121	2	١٦	١٦	NUM
alkej-162	121	3	[	[	PUNCT
alkej-162	121	4	ھذه	ھذه	NOUN
alkej-162	121	5	العملیة	العملیة	ADP
alkej-162	121	6	اذ	اذ	PROPN
alkej-162	121	7	.	.	PUNCT
alkej-162	122	1	]	]	X
alkej-162	122	2	١٧[ونة	١٧[ونة	PROPN
alkej-162	122	3	بین	بین	PROPN
alkej-162	122	4	االجھادات	االجھادات	PROPN
alkej-162	122	5	المتكونة	المتكونة	PROPN
alkej-162	122	6	في	في	ADP
alkej-162	122	7	الفلم	الفلم	PROPN
alkej-162	122	8	الرقیق	الرقیق	PROPN
alkej-162	122	9	ومعامل	ومعامل	NOUN
alkej-162	122	10	المر	المر	NOUN
alkej-162	122	11	تتناقص	تتناقص	PROPN
alkej-162	122	12	الخواص	الخواص	PROPN
alkej-162	122	13	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	122	14	ممثلتا	ممثلتا	ADJ
alkej-162	122	15	بمعامل	بمعامل	ADJ
alkej-162	122	16	المرونة	المرونة	NOUN
alkej-162	122	17	مع	مع	INTJ
alkej-162	122	18	زیادة	زیادة	ADJ
alkej-162	123	1	حجم	حجم	NOUN
alkej-162	124	1	من	من	INTJ
alkej-162	124	2	ھذا	ھذا	INTJ
alkej-162	124	3	یمكن	یمكن	NOUN
alkej-162	124	4	االعتقاد	االعتقاد	ADJ
alkej-162	124	5	ان	ان	INTJ
alkej-162	124	6	.	.	PUNCT
alkej-162	125	1	االجھادات	االجھادات	PROPN
alkej-162	125	2	المتبقة	المتبقة	PROPN
alkej-162	125	3	المرافقة	المرافقة	PROPN
alkej-162	125	4	للترسیب	للترسیب	PROPN
alkej-162	125	5	سبب	سبب	PROPN
alkej-162	125	6	التناقص	التناقص	PROPN
alkej-162	125	7	في	في	ADP
alkej-162	125	8	الخواص	الخواص	ADJ
alkej-162	125	9	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	125	10	المرافق	المرافق	PROPN
alkej-162	125	11	لزیادة	لزیادة	PROPN
alkej-162	125	12	نسبة	نسبة	PROPN
alkej-162	125	13	الكربون	الكربون	PROPN
alkej-162	125	14	في	في	DET
alkej-162	125	15	الغشاء	الغشاء	PROPN
alkej-162	125	16	الكاربیدي	الكاربیدي	PROPN
alkej-162	125	17	في	في	SCONJ
alkej-162	125	18	ھذا	ھذا	NOUN
alkej-162	125	19	البحث	البحث	VERB
alkej-162	125	20	یعود	یعود	PROPN
alkej-162	125	21	الى	الى	PROPN
alkej-162	125	22	االجھادات	االجھادات	PROPN
alkej-162	125	23	یمكن	یمكن	PROPN
alkej-162	125	24	االستنتاج	االستنتاج	PROPN
alkej-162	126	1	ان	ان	PROPN
alkej-162	126	2	.]١٨[كما	.]١٨[كما	PROPN
alkej-162	126	3	وجد	وجد	VERB
alkej-162	126	4	في	في	ADP
alkej-162	126	5	ابحاث	ابحاث	NOUN
alkej-162	126	6	سابقة	سابقة	PROPN
alkej-162	126	7	الضغطیة	الضغطیة	PROPN
alkej-162	126	8	االجھادات	االجھادات	PROPN
alkej-162	126	9	الضغطیة	الضغطیة	PROPN
alkej-162	126	10	المتولدة	المتولدة	PROPN
alkej-162	126	11	نتیجة	نتیجة	PROPN
alkej-162	126	12	ظاھرة	ظاھرة	PROPN
alkej-162	126	13	المزدوج	المزدوج	PROPN
alkej-162	126	14	الحراري	الحراري	PROPN
alkej-162	126	15	لھا	لھا	VERB
alkej-162	126	16	.الرقیقاثر	.الرقیقاثر	NOUN
alkej-162	126	17	كبیر	كبیر	ADV
alkej-162	127	1	في	في	ADP
alkej-162	127	2	خفض	خفض	PROPN
alkej-162	127	3	الخواص	الخواص	NOUN
alkej-162	127	4	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	127	5	للغشاء	للغشاء	ADP
alkej-162	127	6	االستنتاجات	االستنتاجات	NOUN
alkej-162	127	7	.٤	.٤	PROPN
alkej-162	128	1	على	على	PROPN
alkej-162	128	2	الخواص	الخواص	PROPN
alkej-162	128	3	دراسة	دراسة	PROPN
alkej-162	128	4	تاثیر	تاثیر	VERB
alkej-162	128	5	نسبھ	نسبھ	VERB
alkej-162	128	6	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	128	7	تفي	تفي	INTJ
alkej-162	129	1	ھذا	ھذا	NOUN
alkej-162	129	2	البحث	البحث	PROPN
alkej-162	129	3	تم	تم	ADP
alkej-162	129	4	الفالم	الفالم	PROPN
alkej-162	129	5	رقیقة	رقیقة	PROPN
alkej-162	129	6	من	من	PROPN
alkej-162	129	7	كاربید	كاربید	PROPN
alkej-162	129	8	)	)	PUNCT
alkej-162	130	1	e	e	X
alkej-162	130	2	(	(	PUNCT
alkej-162	130	3	نةالمیكانیكیة	نةالمیكانیكیة	VERB
alkej-162	130	4	ممثلة	ممثلة	ADJ
alkej-162	130	5	بمعامل	بمعامل	ADJ
alkej-162	130	6	المرو	المرو	NOUN
alkej-162	130	7	التیتانیوم	التیتانیوم	NOUN
alkej-162	130	8	المنتج	المنتج	VERB
alkej-162	130	9	بواسطة	بواسطة	PROPN
alkej-162	130	10	التذریة	التذریة	PROPN
alkej-162	130	11	المغنترونیة	المغنترونیة	PROPN
alkej-162	130	12	لمدى	لمدى	VERB
alkej-162	130	13	من	من	DET
alkej-162	130	14	التراكیب	التراكیب	NOUN
alkej-162	130	15	لوحظ	لوحظ	NOUN
alkej-162	130	16	ان	ان	AUX
alkej-162	130	17	ھنالك	ھنالك	ADJ
alkej-162	130	18	استقراریة	استقراریة	PROPN
alkej-162	130	19	للخواص	للخواص	PROPN
alkej-162	130	20	البنیویة	البنیویة	PROPN
alkej-162	130	21	للطور	للطور	PROPN
alkej-162	130	22	.	.	PUNCT
alkej-162	131	1	الكیمیاویة	الكیمیاویة	VERB
alkej-162	131	2	في	في	DET
alkej-162	131	3	الغالب	الغالب	ADJ
alkej-162	131	4	اذا	اذا	PROPN
alkej-162	131	5	انھ	انھ	PROPN
alkej-162	131	6	نسبة	نسبة	PROPN
alkej-162	131	7	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	131	8	المضافة	المضافة	PROPN
alkej-162	131	9	اختالف	اختالف	NOUN
alkej-162	131	10	الناتج	الناتج	NOUN
alkej-162	132	1	مع	مع	INTJ
alkej-162	132	2	%	%	NOUN
alkej-162	132	3	٣٤دود	٣٤دود	PROPN
alkej-162	132	4	كاربید	كاربید	PROPN
alkej-162	132	5	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	132	6	بغض	بغض	ADJ
alkej-162	132	7	النظرعن	النظرعن	PROPN
alkej-162	132	8	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	132	9	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	133	1	من	من	INTJ
alkej-162	133	2	ح	ح	PROPN
alkej-162	133	3	الخواص	الخواص	ADJ
alkej-162	133	4	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	133	5	ترتبط%	ترتبط%	PUNCT
alkej-162	133	6	.	.	PUNCT
alkej-162	133	7	٦٥الى	٦٥الى	PROPN
alkej-162	133	8	غایة	غایة	PROPN
alkej-162	133	9	اقل	اقل	PROPN
alkej-162	134	1	من	من	PROPN
alkej-162	134	2	تزداد	تزداد	NOUN
alkej-162	134	3	لغایة	لغایة	PROPN
alkej-162	134	4	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	134	5	كاربون	كاربون	PROPN
alkej-162	134	6	اذ	اذ	PROPN
alkej-162	134	7	للطورالكاربیدي	للطورالكاربیدي	PROPN
alkej-162	134	8	بنسبة	بنسبة	PROPN
alkej-162	134	9	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	134	10	یستنتج	یستنتج	NOUN
alkej-162	134	11	من	من	X
alkej-162	134	12	.	.	PUNCT
alkej-162	135	1	وثم	وثم	VERB
alkej-162	135	2	تبدا	تبدا	PRON
alkej-162	135	3	بالتناقص	بالتناقص	ADJ
alkej-162	135	4	بنسب	بنسب	NOUN
alkej-162	135	5	كاربون	كاربون	NOUN
alkej-162	135	6	اعلى%	اعلى%	PUNCT
alkej-162	135	7	٥٠بمقدار	٥٠بمقدار	PROPN
alkej-162	136	1	ھذا	ھذا	PROPN
alkej-162	136	2	البحث	البحث	ADV
alkej-162	136	3	ان	ان	ADV
alkej-162	136	4	االجھادات	االجھادات	PROPN
alkej-162	136	5	الضغطیة	الضغطیة	ADJ
alkej-162	136	6	المتولدة	المتولدة	PROPN
alkej-162	136	7	في	في	PROPN
alkej-162	136	8	الفلم	الفلم	PROPN
alkej-162	136	9	الكاربیدي	الكاربیدي	PROPN
alkej-162	136	10	.الخواص	.الخواص	PUNCT
alkej-162	136	11	المیكانیكیة	المیكانیكیة	PROPN
alkej-162	136	12	بصورة	بصورة	PROPN
alkej-162	136	13	فعالةالرقیق	فعالةالرقیق	PROPN
alkej-162	136	14	لھا	لھا	PROPN
alkej-162	136	15	اثر	اثر	PROPN
alkej-162	136	16	كبیر	كبیر	ADV
alkej-162	136	17	في	في	ADP
alkej-162	136	18	خفض	خفض	PROPN
alkej-162	136	19	)	)	PUNCT
alkej-162	136	20	2013(-100	2013(-100	PROPN
alkej-162	136	21	94	94	NUM
alkej-162	136	22	،	،	X
alkej-162	136	23	صفحة1	صفحة1	PROPN
alkej-162	136	24	،	،	PROPN
alkej-162	136	25	العدد9مجلة	العدد9مجلة	PROPN
alkej-162	136	26	الخوارزمي	الخوارزمي	VERB
alkej-162	136	27	الھندسیة	الھندسیة	PROPN
alkej-162	136	28	المجلد	المجلد	PROPN
alkej-162	136	29	عبد	عبد	PROPN
alkej-162	136	30	الكاظم	الكاظم	PROPN
alkej-162	136	31	احمد	احمد	PROPN
alkej-162	136	32	محمد	محمد	PROPN
alkej-162	136	33	حسن	حسن	NOUN
alkej-162	136	34	97	97	NUM
alkej-162	136	35	.التركیب	.التركیب	NOUN
alkej-162	136	36	الكیمیاوي	الكیمیاوي	NOUN
alkej-162	136	37	لعینتین	لعینتین	PROPN
alkej-162	136	38	من	من	PROPN
alkej-162	136	39	كاربید	كاربید	PROPN
alkej-162	136	40	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	136	41	وھي	وھي	PROPN
alkej-162	137	1	العینات	العینات	PROPN
alkej-162	137	2	الطرفیة	الطرفیة	PROPN
alkej-162	137	3	الحاویة	الحاویة	PROPN
alkej-162	137	4	على	على	PROPN
alkej-162	137	5	اعلى	اعلى	PROPN
alkej-162	137	6	واقل	واقل	ADJ
alkej-162	137	7	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	137	8	كاربون	كاربون	PROPN
alkej-162	137	9	-٣-الشكل	-٣-الشكل	PROPN
alkej-162	137	10	the	the	DET
alkej-162	137	11	chemical	chemical	NOUN
alkej-162	137	12	composition	composition	NOUN
alkej-162	137	13	of	of	ADP
alkej-162	137	14	the	the	DET
alkej-162	137	15	slide	slide	NOUN
alkej-162	137	16	edges	edge	NOUN
alkej-162	137	17	of	of	ADP
alkej-162	137	18	the	the	DET
alkej-162	137	19	largest	large	ADJ
alkej-162	137	20	and	and	CCONJ
alkej-162	137	21	smallest	small	ADJ
alkej-162	137	22	carbon	carbon	NOUN
alkej-162	137	23	concentration	concentration	NOUN
alkej-162	137	24	.	.	PUNCT
alkej-162	138	1	.عینة	.عینة	ADP
alkej-162	138	2	وحسب	وحسب	NOUN
alkej-162	138	3	التركیب	التركیب	PROPN
alkej-162	138	4	الكیمیاوي	الكیمیاوي	VERB
alkej-162	138	5	لنسبة	لنسبة	PROPN
alkej-162	138	6	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	138	7	١٣نتائج	١٣نتائج	NOUN
alkej-162	139	1	فحص	فحص	PROPN
alkej-162	139	2	التركیب	التركیب	PROPN
alkej-162	139	3	البلوري	البلوري	PROPN
alkej-162	139	4	لكاربید	لكاربید	PROPN
alkej-162	139	5	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	139	6	المنتج	المنتج	VERB
alkej-162	139	7	كافالم	كافالم	NOUN
alkej-162	139	8	رقیقة	رقیقة	ADJ
alkej-162	139	9	لما	لما	VERB
alkej-162	139	10	مجموعھ	مجموعھ	PROPN
alkej-162	140	1	-٤-الشكل	-٤-الشكل	ADP
alkej-162	140	2	the	the	DET
alkej-162	140	3	xrd	xrd	NOUN
alkej-162	140	4	results	result	VERB
alkej-162	140	5	for	for	ADP
alkej-162	140	6	ticx	ticx	NOUN
alkej-162	140	7	thin	thin	ADJ
alkej-162	140	8	films	film	NOUN
alkej-162	140	9	of	of	ADP
alkej-162	140	10	13	13	NUM
alkej-162	140	11	different	different	ADJ
alkej-162	140	12	chemical	chemical	NOUN
alkej-162	140	13	compositions	composition	NOUN
alkej-162	140	14	.	.	PUNCT
alkej-162	141	1	a	a	DET
alkej-162	141	2	b	b	NOUN
alkej-162	141	3	c	c	NOUN
alkej-162	141	4	d	d	NOUN
alkej-162	141	5	)	)	PUNCT
alkej-162	141	6	2013(-100	2013(-100	PROPN
alkej-162	141	7	94	94	NUM
alkej-162	141	8	،	،	X
alkej-162	141	9	صفحة1	صفحة1	PROPN
alkej-162	141	10	،	،	PROPN
alkej-162	141	11	العدد9مجلة	العدد9مجلة	PROPN
alkej-162	141	12	الخوارزمي	الخوارزمي	VERB
alkej-162	141	13	الھندسیة	الھندسیة	PROPN
alkej-162	141	14	المجلد	المجلد	PROPN
alkej-162	142	1	عبد	عبد	PROPN
alkej-162	142	2	الكاظم	الكاظم	PROPN
alkej-162	142	3	احمد	احمد	PROPN
alkej-162	142	4	محمد	محمد	PROPN
alkej-162	142	5	حسن	حسن	NOUN
alkej-162	142	6	98	98	NUM
alkej-162	142	7	لخواص	لخواص	NOUN
alkej-162	142	8	المیكانیكیة	المیكانیكیة	NOUN
alkej-162	142	9	الفالم	الفالم	NOUN
alkej-162	142	10	رقیقة	رقیقة	ADJ
alkej-162	142	11	من	من	PRON
alkej-162	142	12	كاربید	كاربید	PROPN
alkej-162	142	13	التایتانیوم	التایتانیوم	PROPN
alkej-162	142	14	وحسب	وحسب	NOUN
alkej-162	142	15	نسبة	نسبة	NOUN
alkej-162	142	16	الكاربون	الكاربون	PROPN
alkej-162	143	1	الى	الى	VERB
alkej-162	143	2	التیتانیوم	التیتانیوم	VERB
alkej-162	143	3	لكل	لكل	PRON
alkej-162	143	4	فلم	فلم	ADV
alkej-162	143	5	مقارنة	مقارنة	NOUN
alkej-162	143	6	مع	مع	ADP
alkej-162	143	7	بعض	بعض	NOUN
alkej-162	143	8	االبحاث	االبحاث	PROPN
alkej-162	143	9	نتائج	نتائج	PROPN
alkej-162	144	1	فحص	فحص	PROPN
alkej-162	144	2	ا	ا	PROPN
alkej-162	145	1	-٥-الشكل	-٥-الشكل	X
alkej-162	145	2	.السابقة	.السابقة	PUNCT
alkej-162	146	1	the	the	DET
alkej-162	146	2	mechanical	mechanical	ADJ
alkej-162	146	3	properties	property	NOUN
alkej-162	146	4	of	of	ADP
alkej-162	146	5	ticx	ticx	NOUN
alkej-162	146	6	thin	thin	ADJ
alkej-162	146	7	films	film	NOUN
alkej-162	146	8	as	as	ADP
alkej-162	146	9	a	a	DET
alkej-162	146	10	function	function	NOUN
alkej-162	146	11	of	of	ADP
alkej-162	146	12	chemical	chemical	ADJ
alkej-162	146	13	composition	composition	NOUN
alkej-162	146	14	and	and	CCONJ
alkej-162	146	15	the	the	DET
alkej-162	146	16	comparison	comparison	NOUN
alkej-162	146	17	with	with	ADP
alkej-162	146	18	other	other	ADJ
alkej-162	146	19	studies	study	NOUN
alkej-162	146	20	.	.	PUNCT
alkej-162	147	1	ادرالمص	ادرالمص	PROPN
alkej-162	147	2	.٥	.٥	PUNCT
alkej-162	148	1	[	[	X
alkej-162	148	2	1	1	X
alkej-162	148	3	]	]	PUNCT
alkej-162	148	4	j.	j.	PROPN
alkej-162	148	5	solda´n	solda´n	PROPN
alkej-162	148	6	,	,	PUNCT
alkej-162	148	7	j.	j.	PROPN
alkej-162	148	8	musil	musil	PROPN
alkej-162	148	9	,	,	PUNCT
alkej-162	148	10	“	"	PUNCT
alkej-162	148	11	structure	structure	NOUN
alkej-162	148	12	and	and	CCONJ
alkej-162	148	13	mechanical	mechanical	ADJ
alkej-162	148	14	properties	property	NOUN
alkej-162	148	15	of	of	ADP
alkej-162	148	16	dc	dc	PROPN
alkej-162	148	17	magnetron	magnetron	PROPN
alkej-162	148	18	sputtered	sputter	VERB
alkej-162	148	19	tic	tic	ADJ
alkej-162	148	20	/	/	SYM
alkej-162	148	21	cu	cu	NOUN
alkej-162	148	22	films	film	NOUN
alkej-162	148	23	"	"	PUNCT
alkej-162	148	24	,	,	PUNCT
alkej-162	148	25	vacuum	vacuum	NOUN
alkej-162	148	26	,	,	PUNCT
alkej-162	148	27	vol	vol	NOUN
alkej-162	148	28	.	.	PROPN
alkej-162	148	29	81	81	NUM
alkej-162	148	30	,	,	PUNCT
alkej-162	148	31	pp	pp	ADJ
alkej-162	148	32	.	.	PUNCT
alkej-162	149	1	531–583	531–583	NUM
alkej-162	149	2	,	,	PUNCT
alkej-162	149	3	2006	2006	NUM
alkej-162	149	4	.	.	PUNCT
alkej-162	150	1	[	[	X
alkej-162	150	2	2	2	NUM
alkej-162	150	3	]	]	PUNCT
alkej-162	150	4	m.	m.	NOUN
alkej-162	150	5	t.	t.	PROPN
alkej-162	150	6	hosseinnejad	hosseinnejad	PROPN
alkej-162	150	7	,	,	PUNCT
alkej-162	150	8	z.	z.	PROPN
alkej-162	150	9	ghorannevis	ghorannevis	PROPN
alkej-162	150	10	,	,	PUNCT
alkej-162	150	11	m.	m.	NOUN
alkej-162	150	12	ghoranneviss	ghoranneviss	PROPN
alkej-162	150	13	,	,	PUNCT
alkej-162	150	14	m.	m.	NOUN
alkej-162	150	15	soltanveisi	soltanveisi	PROPN
alkej-162	150	16	,	,	PUNCT
alkej-162	150	17	m.	m.	NOUN
alkej-162	150	18	shirazi	shirazi	PROPN
alkej-162	150	19	,	,	PUNCT
alkej-162	150	20	"	"	PUNCT
alkej-162	150	21	preparation	preparation	NOUN
alkej-162	150	22	of	of	ADP
alkej-162	150	23	titanium	titanium	NOUN
alkej-162	150	24	carbide	carbide	NOUN
alkej-162	150	25	thin	thin	ADJ
alkej-162	150	26	film	film	NOUN
alkej-162	150	27	using	use	VERB
alkej-162	150	28	plasma	plasma	NOUN
alkej-162	150	29	focus	focus	NOUN
alkej-162	150	30	device	device	NOUN
alkej-162	150	31	"	"	PUNCT
alkej-162	150	32	,	,	PUNCT
alkej-162	150	33	j	j	PROPN
alkej-162	150	34	fusion	fusion	NOUN
alkej-162	150	35	energ	energ	NOUN
alkej-162	150	36	,	,	PUNCT
alkej-162	150	37	vol	vol	NOUN
alkej-162	150	38	30	30	NUM
alkej-162	150	39	,	,	PUNCT
alkej-162	150	40	pp	pp	ADJ
alkej-162	150	41	.	.	PUNCT
alkej-162	151	1	516–522	516–522	NUM
alkej-162	151	2	,	,	PUNCT
alkej-162	151	3	2011	2011	NUM
alkej-162	151	4	.	.	PUNCT
alkej-162	152	1	[	[	X
alkej-162	152	2	3	3	X
alkej-162	152	3	]	]	X
alkej-162	152	4	k.	k.	PROPN
alkej-162	152	5	polychronopoulou	polychronopoulou	PROPN
alkej-162	152	6	,	,	PUNCT
alkej-162	152	7	j.	j.	PROPN
alkej-162	152	8	lee	lee	PROPN
alkej-162	152	9	,	,	PUNCT
alkej-162	152	10	c.	c.	PROPN
alkej-162	152	11	tsotsos	tsotsos	PROPN
alkej-162	152	12	,	,	PUNCT
alkej-162	152	13	n.g	n.g	PROPN
alkej-162	152	14	.	.	PROPN
alkej-162	152	15	demas	demas	PROPN
alkej-162	152	16	,	,	PUNCT
alkej-162	152	17	r.l	r.l	PROPN
alkej-162	152	18	.	.	PROPN
alkej-162	152	19	meschewski	meschewski	PROPN
alkej-162	152	20	,	,	PUNCT
alkej-162	152	21	c.	c.	PROPN
alkej-162	152	22	rebholz	rebholz	PROPN
alkej-162	152	23	,	,	PUNCT
alkej-162	152	24	a.a	a.a	PROPN
alkej-162	152	25	.	.	PROPN
alkej-162	152	26	polycarpou	polycarpou	PROPN
alkej-162	152	27	,	,	PUNCT
alkej-162	152	28	"	"	PUNCT
alkej-162	152	29	deposition	deposition	NOUN
alkej-162	152	30	and	and	CCONJ
alkej-162	152	31	nanotribological	nanotribological	ADJ
alkej-162	152	32	characterization	characterization	NOUN
alkej-162	152	33	of	of	ADP
alkej-162	152	34	sub100	sub100	NOUN
alkej-162	152	35	-	-	PUNCT
alkej-162	152	36	nm	nm	NOUN
alkej-162	152	37	thick	thick	ADJ
alkej-162	152	38	protective	protective	ADJ
alkej-162	152	39	ti	ti	NOUN
alkej-162	152	40	-	-	PUNCT
alkej-162	152	41	based	base	VERB
alkej-162	152	42	coatings	coating	NOUN
alkej-162	152	43	for	for	ADP
alkej-162	152	44	miniature	miniature	ADJ
alkej-162	152	45	applications	application	NOUN
alkej-162	152	46	"	"	PUNCT
alkej-162	152	47	,	,	PUNCT
alkej-162	152	48	tribol	tribol	PROPN
alkej-162	152	49	lett	lett	PROPN
alkej-162	152	50	,	,	PUNCT
alkej-162	152	51	vol	vol	NOUN
alkej-162	152	52	.	.	PROPN
alkej-162	153	1	44	44	NUM
alkej-162	153	2	pp	pp	NOUN
alkej-162	153	3	.	.	PUNCT
alkej-162	154	1	213–221	213–221	NUM
alkej-162	154	2	,	,	PUNCT
alkej-162	154	3	2011	2011	NUM
alkej-162	154	4	.	.	PUNCT
alkej-162	155	1	[	[	X
alkej-162	155	2	4	4	X
alkej-162	155	3	]	]	X
alkej-162	155	4	e.	e.	PROPN
alkej-162	155	5	coronel	coronel	PROPN
alkej-162	155	6	,	,	PUNCT
alkej-162	155	7	u.	u.	PROPN
alkej-162	155	8	wiklund	wiklund	PROPN
alkej-162	155	9	,	,	PUNCT
alkej-162	155	10	e.	e.	PROPN
alkej-162	155	11	olsson	olsson	PROPN
alkej-162	155	12	,	,	PUNCT
alkej-162	155	13	"	"	PUNCT
alkej-162	155	14	the	the	DET
alkej-162	155	15	effect	effect	NOUN
alkej-162	155	16	of	of	ADP
alkej-162	155	17	carbon	carbon	NOUN
alkej-162	155	18	content	content	NOUN
alkej-162	155	19	on	on	ADP
alkej-162	155	20	the	the	DET
alkej-162	155	21	microstructure	microstructure	NOUN
alkej-162	155	22	of	of	ADP
alkej-162	155	23	hydrogen	hydrogen	NOUN
alkej-162	155	24	-	-	PUNCT
alkej-162	155	25	free	free	ADJ
alkej-162	155	26	physical	physical	ADJ
alkej-162	155	27	vapour	vapour	NOUN
alkej-162	155	28	deposited	deposit	VERB
alkej-162	155	29	titanium	titanium	NOUN
alkej-162	155	30	carbide	carbide	NOUN
alkej-162	155	31	films	film	NOUN
alkej-162	155	32	"	"	PUNCT
alkej-162	155	33	,	,	PUNCT
alkej-162	155	34	thin	thin	ADJ
alkej-162	155	35	solid	solid	ADJ
alkej-162	155	36	films	film	NOUN
alkej-162	155	37	vol	vol	NOUN
alkej-162	155	38	.	.	PUNCT
alkej-162	156	1	518	518	NUM
alkej-162	156	2	pp	pp	NOUN
alkej-162	156	3	.	.	PUNCT
alkej-162	157	1	71–76	71–76	NUM
alkej-162	157	2	,	,	PUNCT
alkej-162	157	3	2009	2009	NUM
alkej-162	157	4	.	.	PUNCT
alkej-162	158	1	[	[	X
alkej-162	158	2	5	5	NUM
alkej-162	158	3	]	]	X
alkej-162	158	4	ya	ya	PROPN
alkej-162	158	5	-	-	PUNCT
alkej-162	158	6	feng	feng	PROPN
alkej-162	158	7	yang	yang	PROPN
alkej-162	158	8	,	,	PUNCT
alkej-162	158	9	hui	hui	PROPN
alkej-162	158	10	-	-	PUNCT
alkej-162	158	11	yuan	yuan	PROPN
alkej-162	158	12	wang	wang	PROPN
alkej-162	158	13	,	,	PUNCT
alkej-162	158	14	jin	jin	NOUN
alkej-162	158	15	-	-	PUNCT
alkej-162	158	16	guo	guo	PROPN
alkej-162	158	17	wang	wang	PROPN
alkej-162	158	18	,	,	PUNCT
alkej-162	158	19	and	and	CCONJ
alkej-162	158	20	qi	qi	PROPN
alkej-162	158	21	-	-	PUNCT
alkej-162	158	22	chuan	chuan	PROPN
alkej-162	158	23	jiang	jiang	PROPN
alkej-162	158	24	,	,	PUNCT
alkej-162	158	25	"	"	PUNCT
alkej-162	158	26	lattice	lattice	NOUN
alkej-162	158	27	parameter	parameter	NOUN
alkej-162	158	28	and	and	CCONJ
alkej-162	158	29	stoichiometry	stoichiometry	NOUN
alkej-162	158	30	of	of	ADP
alkej-162	158	31	ticx	ticx	NOUN
alkej-162	158	32	produced	produce	VERB
alkej-162	158	33	in	in	ADP
alkej-162	158	34	alloyed	alloyed	ADJ
alkej-162	158	35	ti	ti	PROPN
alkej-162	158	36	–	–	PUNCT
alkej-162	158	37	c	c	NOUN
alkej-162	158	38	systems	system	NOUN
alkej-162	158	39	by	by	ADP
alkej-162	158	40	selfpropagating	selfpropagate	VERB
alkej-162	158	41	high	high	ADJ
alkej-162	158	42	-	-	PUNCT
alkej-162	158	43	temperature	temperature	NOUN
alkej-162	158	44	synthesis	synthesis	NOUN
alkej-162	158	45	"	"	PUNCT
alkej-162	158	46	,	,	PUNCT
alkej-162	158	47	j.	j.	PROPN
alkej-162	158	48	am	am	PROPN
alkej-162	158	49	.	.	PUNCT
alkej-162	158	50	ceram	ceram	PROPN
alkej-162	158	51	.	.	PUNCT
alkej-162	159	1	soc	soc	PROPN
alkej-162	159	2	.	.	PUNCT
alkej-162	159	3	,	,	PUNCT
alkej-162	159	4	vol	vol	NOUN
alkej-162	159	5	.	.	PROPN
alkej-162	159	6	11	11	NUM
alkej-162	159	7	,	,	PUNCT
alkej-162	159	8	pp	pp	ADJ
alkej-162	159	9	.	.	PUNCT
alkej-162	160	1	3813–3816	3813–3816	NUM
alkej-162	160	2	,	,	PUNCT
alkej-162	160	3	2008	2008	NUM
alkej-162	160	4	.	.	PUNCT
alkej-162	161	1	[	[	X
alkej-162	161	2	6	6	NUM
alkej-162	161	3	]	]	PUNCT
alkej-162	161	4	a.	a.	NOUN
alkej-162	161	5	abdulkadhim	abdulkadhim	PROPN
alkej-162	161	6	,	,	PUNCT
alkej-162	161	7	t.	t.	PROPN
alkej-162	161	8	takahashi	takahashi	PROPN
alkej-162	161	9	,	,	PUNCT
alkej-162	161	10	d.	d.	PROPN
alkej-162	161	11	music	music	PROPN
alkej-162	161	12	,	,	PUNCT
alkej-162	161	13	f.	f.	PROPN
alkej-162	161	14	munnik	munnik	PROPN
alkej-162	161	15	,	,	PUNCT
alkej-162	161	16	j.	j.	PROPN
alkej-162	161	17	m.	m.	PROPN
alkej-162	161	18	schneider	schneider	PROPN
alkej-162	161	19	,	,	PUNCT
alkej-162	161	20	"	"	PUNCT
alkej-162	161	21	max	max	NOUN
alkej-162	161	22	phase	phase	NOUN
alkej-162	161	23	formation	formation	NOUN
alkej-162	161	24	by	by	ADP
alkej-162	161	25	intercalation	intercalation	NOUN
alkej-162	161	26	upon	upon	SCONJ
alkej-162	161	27	annealing	annealing	NOUN
alkej-162	161	28	of	of	ADP
alkej-162	161	29	ticx	ticx	NOUN
alkej-162	161	30	/	/	SYM
alkej-162	161	31	al	al	PROPN
alkej-162	161	32	(	(	PUNCT
alkej-162	161	33	0.4	0.4	NUM
alkej-162	161	34	≤	≤	NUM
alkej-162	161	35	x	x	SYM
alkej-162	161	36	≤	≤	NUM
alkej-162	161	37	1	1	NUM
alkej-162	161	38	)	)	PUNCT
alkej-162	161	39	bilayer	bilayer	NOUN
alkej-162	161	40	thin	thin	ADJ
alkej-162	161	41	films	film	NOUN
alkej-162	161	42	"	"	PUNCT
alkej-162	161	43	,	,	PUNCT
alkej-162	161	44	acta	acta	PROPN
alkej-162	161	45	materialia	materialia	PROPN
alkej-162	161	46	,	,	PUNCT
alkej-162	161	47	vol	vol	NOUN
alkej-162	161	48	.	.	PROPN
alkej-162	161	49	59	59	NUM
alkej-162	161	50	,	,	PUNCT
alkej-162	161	51	pp	pp	ADJ
alkej-162	161	52	.	.	PUNCT
alkej-162	162	1	6168–6175	6168–6175	NUM
alkej-162	162	2	,	,	PUNCT
alkej-162	162	3	2011	2011	NUM
alkej-162	162	4	.	.	PUNCT
alkej-162	162	5	)	)	PUNCT
alkej-162	163	1	2013(-100	2013(-100	PROPN
alkej-162	163	2	94	94	NUM
alkej-162	163	3	،	،	X
alkej-162	163	4	صفحة1	صفحة1	PROPN
alkej-162	163	5	،	،	PROPN
alkej-162	163	6	العدد9مجلة	العدد9مجلة	PROPN
alkej-162	163	7	الخوارزمي	الخوارزمي	VERB
alkej-162	163	8	الھندسیة	الھندسیة	PROPN
alkej-162	163	9	المجلد	المجلد	PROPN
alkej-162	163	10	عبد	عبد	PROPN
alkej-162	164	1	الكاظم	الكاظم	PROPN
alkej-162	164	2	احمد	احمد	PROPN
alkej-162	164	3	محمد	محمد	PROPN
alkej-162	165	1	حسن	حسن	NOUN
alkej-162	165	2	99	99	NUM
alkej-162	166	1	[	[	X
alkej-162	166	2	7	7	NUM
alkej-162	166	3	]	]	X
alkej-162	166	4	d.	d.	PROPN
alkej-162	166	5	galvan	galvan	PROPN
alkej-162	166	6	,	,	PUNCT
alkej-162	166	7	y.t	y.t	PROPN
alkej-162	166	8	.	.	PROPN
alkej-162	166	9	pei	pei	PROPN
alkej-162	166	10	,	,	PUNCT
alkej-162	166	11	j.th.m	j.th.m	PROPN
alkej-162	166	12	.	.	PUNCT
alkej-162	167	1	de	de	PROPN
alkej-162	167	2	hosson	hosson	NOUN
alkej-162	167	3	,	,	PUNCT
alkej-162	167	4	"	"	PUNCT
alkej-162	167	5	influence	influence	NOUN
alkej-162	167	6	of	of	ADP
alkej-162	167	7	deposition	deposition	NOUN
alkej-162	167	8	parameters	parameter	NOUN
alkej-162	167	9	on	on	ADP
alkej-162	167	10	the	the	DET
alkej-162	167	11	structure	structure	NOUN
alkej-162	167	12	and	and	CCONJ
alkej-162	167	13	mechanical	mechanical	ADJ
alkej-162	167	14	properties	property	NOUN
alkej-162	167	15	of	of	ADP
alkej-162	167	16	nanocomposite	nanocomposite	ADJ
alkej-162	167	17	coatings	coating	NOUN
alkej-162	167	18	"	"	PUNCT
alkej-162	167	19	,	,	PUNCT
alkej-162	167	20	surface	surface	NOUN
alkej-162	167	21	and	and	CCONJ
alkej-162	167	22	coating	coating	NOUN
alkej-162	167	23	technology	technology	NOUN
alkej-162	167	24	,	,	PUNCT
alkej-162	167	25	vol	vol	NOUN
alkej-162	167	26	.	.	PROPN
alkej-162	167	27	201	201	NUM
alkej-162	167	28	,	,	PUNCT
alkej-162	167	29	pp	pp	ADP
alkej-162	167	30	.	.	PUNCT
alkej-162	168	1	590	590	NUM
alkej-162	168	2	-	-	SYM
alkej-162	168	3	598	598	NUM
alkej-162	168	4	,	,	PUNCT
alkej-162	168	5	2006	2006	NUM
alkej-162	168	6	.	.	PUNCT
alkej-162	169	1	[	[	X
alkej-162	169	2	8	8	NUM
alkej-162	169	3	]	]	PUNCT
alkej-162	169	4	a.	a.	NOUN
alkej-162	169	5	leonhardtu	leonhardtu	PROPN
alkej-162	169	6	,	,	PUNCT
alkej-162	169	7	h.	h.	PROPN
alkej-162	169	8	liepack	liepack	PROPN
alkej-162	169	9	,	,	PUNCT
alkej-162	169	10	k.	k.	PROPN
alkej-162	169	11	bartsch	bartsch	PROPN
alkej-162	169	12	,	,	PUNCT
alkej-162	169	13	"	"	PUNCT
alkej-162	169	14	cvd	cvd	PROPN
alkej-162	169	15	of	of	ADP
alkej-162	169	16	ticx	ticx	PROPN
alkej-162	169	17	/a	/a	PUNCT
alkej-162	169	18	-	-	PUNCT
alkej-162	169	19	c	c	NOUN
alkej-162	169	20	-	-	PUNCT
alkej-162	169	21	layers	layer	NOUN
alkej-162	169	22	under	under	ADP
alkej-162	169	23	d.c.-pulse	d.c.-pulse	ADJ
alkej-162	169	24	discharge	discharge	NOUN
alkej-162	169	25	"	"	PUNCT
alkej-162	169	26	,	,	PUNCT
alkej-162	169	27	surface	surface	NOUN
alkej-162	169	28	and	and	CCONJ
alkej-162	169	29	coatings	coating	NOUN
alkej-162	169	30	technology	technology	NOUN
alkej-162	169	31	,	,	PUNCT
alkej-162	169	32	vol	vol	NOUN
alkej-162	169	33	.	.	PUNCT
alkej-162	170	1	133	133	NUM
alkej-162	170	2	-	-	SYM
alkej-162	170	3	134	134	NUM
alkej-162	170	4	,	,	PUNCT
alkej-162	170	5	pp	pp	ADJ
alkej-162	170	6	.	.	PUNCT
alkej-162	171	1	186	186	NUM
alkej-162	171	2	-	-	SYM
alkej-162	171	3	190	190	NUM
alkej-162	171	4	,	,	PUNCT
alkej-162	171	5	2000	2000	NUM
alkej-162	171	6	.	.	PUNCT
alkej-162	172	1	[	[	X
alkej-162	172	2	9	9	NUM
alkej-162	172	3	]	]	X
alkej-162	172	4	e.	e.	PROPN
alkej-162	172	5	kusano	kusano	PROPN
alkej-162	172	6	,	,	PUNCT
alkej-162	172	7	a.	a.	NOUN
alkej-162	172	8	satoh	satoh	PROPN
alkej-162	172	9	.	.	PUNCT
alkej-162	173	1	m.	m.	PROPN
alkej-162	173	2	kitagawa	kitagawa	PROPN
alkej-162	173	3	.	.	PUNCT
alkej-162	174	1	h.	h.	PROPN
alkej-162	174	2	canto	canto	PROPN
alkej-162	174	3	,	,	PUNCT
alkej-162	174	4	a.	a.	NOUN
alkej-162	174	5	kinbara	kinbara	PROPN
alkej-162	174	6	,	,	PUNCT
alkej-162	174	7	"	"	PUNCT
alkej-162	174	8	titanium	titanium	NOUN
alkej-162	174	9	carbide	carbide	NOUN
alkej-162	174	10	film	film	NOUN
alkej-162	174	11	deposition	deposition	NOUN
alkej-162	174	12	by	by	ADP
alkej-162	174	13	dc	dc	PROPN
alkej-162	174	14	magnetron	magnetron	PROPN
alkej-162	174	15	reactive	reactive	ADJ
alkej-162	174	16	sputtering	sputtering	NOUN
alkej-162	174	17	using	use	VERB
alkej-162	174	18	a	a	DET
alkej-162	174	19	solid	solid	ADJ
alkej-162	174	20	carbon	carbon	NOUN
alkej-162	174	21	source	source	NOUN
alkej-162	174	22	"	"	PUNCT
alkej-162	174	23	,	,	PUNCT
alkej-162	174	24	thin	thin	ADJ
alkej-162	174	25	solid	solid	ADJ
alkej-162	174	26	films	film	NOUN
alkej-162	174	27	,	,	PUNCT
alkej-162	174	28	vol	vol	NOUN
alkej-162	174	29	.	.	PUNCT
alkej-162	175	1	343	343	NUM
alkej-162	175	2	-	-	SYM
alkej-162	175	3	344	344	NUM
alkej-162	175	4	,	,	PUNCT
alkej-162	175	5	pp	pp	ADJ
alkej-162	175	6	.	.	PUNCT
alkej-162	176	1	254	254	NUM
alkej-162	176	2	-	-	SYM
alkej-162	176	3	256	256	NUM
alkej-162	176	4	,	,	PUNCT
alkej-162	176	5	1999	1999	NUM
alkej-162	176	6	.	.	PUNCT
alkej-162	177	1	[	[	X
alkej-162	177	2	10	10	NUM
alkej-162	177	3	]	]	X
alkej-162	177	4	a.a	a.a	PROPN
alkej-162	177	5	.	.	PROPN
alkej-162	177	6	voevodin	voevodin	PROPN
alkej-162	177	7	,	,	PUNCT
alkej-162	177	8	j.s	j.s	PROPN
alkej-162	177	9	.	.	PROPN
alkej-162	177	10	zabinski	zabinski	PROPN
alkej-162	177	11	,	,	PUNCT
alkej-162	177	12	"	"	PUNCT
alkej-162	177	13	loadadaptive	loadadaptive	ADJ
alkej-162	177	14	crystalline	crystalline	NOUN
alkej-162	177	15	–	–	PUNCT
alkej-162	177	16	amorphous	amorphous	ADJ
alkej-162	177	17	nanocomposites	nanocomposite	NOUN
alkej-162	177	18	"	"	PUNCT
alkej-162	177	19	,	,	PUNCT
alkej-162	177	20	journal	journal	NOUN
alkej-162	177	21	of	of	ADP
alkej-162	177	22	materials	material	NOUN
alkej-162	177	23	science	science	NOUN
alkej-162	177	24	,	,	PUNCT
alkej-162	177	25	vol	vol	NOUN
alkej-162	177	26	.	.	PROPN
alkej-162	177	27	33	33	NUM
alkej-162	177	28	,	,	PUNCT
alkej-162	177	29	pp	pp	ADJ
alkej-162	177	30	.	.	PUNCT
alkej-162	178	1	319327	319327	NUM
alkej-162	178	2	,	,	PUNCT
alkej-162	178	3	1998	1998	NUM
alkej-162	178	4	.	.	PUNCT
alkej-162	179	1	[	[	X
alkej-162	179	2	11	11	NUM
alkej-162	179	3	]	]	X
alkej-162	179	4	r.s	r.s	PROPN
alkej-162	179	5	.	.	PROPN
alkej-162	179	6	rawat	rawat	PROPN
alkej-162	179	7	,	,	PUNCT
alkej-162	179	8	p.	p.	PROPN
alkej-162	179	9	leeb	leeb	PROPN
alkej-162	179	10	,	,	PUNCT
alkej-162	179	11	t.	t.	PROPN
alkej-162	179	12	white	white	PROPN
alkej-162	179	13	,	,	PUNCT
alkej-162	179	14	li	li	PROPN
alkej-162	179	15	ying	ying	PROPN
alkej-162	179	16	,	,	PUNCT
alkej-162	179	17	s.	s.	PROPN
alkej-162	179	18	lee	lee	PROPN
alkej-162	179	19	,	,	PUNCT
alkej-162	179	20	"	"	PUNCT
alkej-162	179	21	room	room	NOUN
alkej-162	179	22	temperature	temperature	NOUN
alkej-162	179	23	deposition	deposition	NOUN
alkej-162	179	24	of	of	ADP
alkej-162	179	25	titanium	titanium	NOUN
alkej-162	179	26	carbide	carbide	ADJ
alkej-162	179	27	thin	thin	ADJ
alkej-162	179	28	films	film	NOUN
alkej-162	179	29	using	use	VERB
alkej-162	179	30	dense	dense	ADJ
alkej-162	179	31	plasma	plasma	NOUN
alkej-162	179	32	focus	focus	NOUN
alkej-162	179	33	device	device	NOUN
alkej-162	179	34	"	"	PUNCT
alkej-162	179	35	,	,	PUNCT
alkej-162	179	36	surface	surface	NOUN
alkej-162	179	37	and	and	CCONJ
alkej-162	179	38	coatings	coating	NOUN
alkej-162	179	39	technology	technology	NOUN
alkej-162	179	40	,	,	PUNCT
alkej-162	179	41	vol.138	vol.138	NOUN
alkej-162	179	42	,	,	PUNCT
alkej-162	179	43	159	159	NUM
alkej-162	179	44	-	-	SYM
alkej-162	179	45	165	165	NUM
alkej-162	179	46	,	,	PUNCT
alkej-162	179	47	2001	2001	NUM
alkej-162	179	48	.	.	PUNCT
alkej-162	180	1	[	[	X
alkej-162	180	2	12	12	NUM
alkej-162	180	3	]	]	PUNCT
alkej-162	180	4	p.	p.	NOUN
alkej-162	180	5	j.	j.	PROPN
alkej-162	180	6	martin	martin	PROPN
alkej-162	180	7	,	,	PUNCT
alkej-162	180	8	r.	r.	PROPN
alkej-162	180	9	p.	p.	PROPN
alkej-162	180	10	netterfield	netterfield	PROPN
alkej-162	180	11	,	,	PUNCT
alkej-162	180	12	t.	t.	PROPN
alkej-162	180	13	j.	j.	PROPN
alkej-162	180	14	kinder	kinder	PROPN
alkej-162	180	15	,	,	PUNCT
alkej-162	180	16	"	"	PUNCT
alkej-162	180	17	deposition	deposition	NOUN
alkej-162	180	18	of	of	ADP
alkej-162	180	19	tin	tin	NOUN
alkej-162	180	20	,	,	PUNCT
alkej-162	180	21	tic	tic	ADJ
alkej-162	180	22	,	,	PUNCT
alkej-162	180	23	and	and	CCONJ
alkej-162	180	24	ti02	ti02	PROPN
alkej-162	180	25	films	film	NOUN
alkej-162	180	26	by	by	ADP
alkej-162	180	27	filtered	filter	VERB
alkej-162	180	28	arc	arc	NOUN
alkej-162	180	29	evaporation	evaporation	NOUN
alkej-162	180	30	"	"	PUNCT
alkej-162	180	31	,	,	PUNCT
alkej-162	180	32	surface	surface	NOUN
alkej-162	180	33	and	and	CCONJ
alkej-162	180	34	coatings	coating	NOUN
alkej-162	180	35	technology	technology	NOUN
alkej-162	180	36	,	,	PUNCT
alkej-162	180	37	vol	vol	NOUN
alkej-162	180	38	.	.	PROPN
alkej-162	180	39	49	49	NUM
alkej-162	180	40	,	,	PUNCT
alkej-162	180	41	pp	pp	ADJ
alkej-162	180	42	.	.	PUNCT
alkej-162	181	1	239	239	NUM
alkej-162	181	2	-	-	SYM
alkej-162	181	3	243	243	NUM
alkej-162	181	4	,	,	PUNCT
alkej-162	181	5	1991	1991	NUM
alkej-162	181	6	.	.	PUNCT
alkej-162	182	1	[	[	X
alkej-162	182	2	13	13	NUM
alkej-162	182	3	]	]	X
alkej-162	182	4	r.	r.	PROPN
alkej-162	182	5	kuzel	kuzel	PROPN
alkej-162	182	6	,	,	PUNCT
alkej-162	182	7	jr	jr	PROPN
alkej-162	182	8	.	.	PROPN
alkej-162	182	9	,	,	PUNCT
alkej-162	182	10	r.	r.	PROPN
alkej-162	182	11	cernf	cernf	PROPN
alkej-162	182	12	,	,	PUNCT
alkej-162	182	13	v.	v.	ADP
alkej-162	182	14	valvoda	valvoda	NOUN
alkej-162	182	15	,	,	PUNCT
alkej-162	182	16	m.	m.	NOUN
alkej-162	182	17	blomberg	blomberg	PROPN
alkej-162	182	18	,	,	PUNCT
alkej-162	182	19	m.	m.	NOUN
alkej-162	182	20	merisalo	merisalo	PROPN
alkej-162	182	21	,	,	PUNCT
alkej-162	182	22	s.	s.	PROPN
alkej-162	182	23	kadlec	kadlec	PROPN
alkej-162	182	24	,	,	PUNCT
alkej-162	182	25	"	"	PUNCT
alkej-162	182	26	complex	complex	ADJ
alkej-162	182	27	xrd	xrd	NOUN
alkej-162	182	28	microstructural	microstructural	ADJ
alkej-162	182	29	studies	study	NOUN
alkej-162	182	30	of	of	ADP
alkej-162	182	31	hard	hard	ADJ
alkej-162	182	32	coatings	coating	NOUN
alkej-162	182	33	applied	apply	VERB
alkej-162	182	34	to	to	ADP
alkej-162	182	35	pvddeposited	pvddeposite	VERB
alkej-162	182	36	tin	tin	NOUN
alkej-162	182	37	films	film	NOUN
alkej-162	182	38	part	part	NOUN
alkej-162	182	39	ii	ii	PROPN
alkej-162	182	40	transition	transition	NOUN
alkej-162	182	41	from	from	ADP
alkej-162	182	42	porous	porous	ADJ
alkej-162	182	43	to	to	ADP
alkej-162	182	44	compact	compact	ADJ
alkej-162	182	45	films	film	NOUN
alkej-162	182	46	and	and	CCONJ
alkej-162	182	47	microstructural	microstructural	ADJ
alkej-162	182	48	inhomogeneity	inhomogeneity	NOUN
alkej-162	182	49	of	of	ADP
alkej-162	182	50	the	the	DET
alkej-162	182	51	layers	layer	NOUN
alkej-162	182	52	"	"	PUNCT
alkej-162	182	53	,	,	PUNCT
alkej-162	182	54	thin	thin	ADJ
alkej-162	182	55	solid	solid	ADJ
alkej-162	182	56	films	film	NOUN
alkej-162	182	57	,	,	PUNCT
alkej-162	182	58	vol	vol	NOUN
alkej-162	182	59	.	.	PROPN
alkej-162	182	60	268	268	NUM
alkej-162	182	61	,	,	PUNCT
alkej-162	182	62	pp	pp	ADJ
alkej-162	182	63	.	.	PUNCT
alkej-162	183	1	72	72	NUM
alkej-162	183	2	-	-	SYM
alkej-162	183	3	82	82	NUM
alkej-162	183	4	,	,	PUNCT
alkej-162	183	5	1995	1995	NUM
alkej-162	183	6	.	.	PUNCT
alkej-162	184	1	[	[	X
alkej-162	184	2	14	14	NUM
alkej-162	184	3	]	]	X
alkej-162	184	4	u.c	u.c	X
alkej-162	184	5	.	.	PUNCT
alkej-162	185	1	oh	oh	INTJ
alkej-162	185	2	,	,	PUNCT
alkej-162	185	3	j.	j.	PROPN
alkej-162	185	4	ho	ho	PROPN
alkej-162	185	5	je	je	PROPN
alkej-162	185	6	,	,	PUNCT
alkej-162	185	7	"	"	PUNCT
alkej-162	185	8	effects	effect	NOUN
alkej-162	185	9	of	of	ADP
alkej-162	185	10	strain	strain	ADJ
alkej-162	185	11	energy	energy	NOUN
alkej-162	185	12	on	on	ADP
alkej-162	185	13	the	the	DET
alkej-162	185	14	preferred	preferred	ADJ
alkej-162	185	15	orientation	orientation	NOUN
alkej-162	185	16	of	of	ADP
alkej-162	185	17	tin	tin	NOUN
alkej-162	185	18	thin	thin	ADJ
alkej-162	185	19	films	film	NOUN
alkej-162	185	20	"	"	PUNCT
alkej-162	185	21	,	,	PUNCT
alkej-162	185	22	j.	j.	PROPN
alkej-162	185	23	appl	appl	PROPN
alkej-162	185	24	.	.	PUNCT
alkej-162	186	1	phys	phy	NOUN
alkej-162	186	2	.	.	PUNCT
alkej-162	186	3	,	,	PUNCT
alkej-162	186	4	vol	vol	NOUN
alkej-162	186	5	.	.	PROPN
alkej-162	187	1	74	74	NUM
alkej-162	187	2	,	,	PUNCT
alkej-162	187	3	pp	pp	ADJ
alkej-162	187	4	.	.	PUNCT
alkej-162	188	1	16921698,1993	16921698,1993	X
alkej-162	188	2	.	.	PUNCT
alkej-162	189	1	[	[	X
alkej-162	189	2	15	15	NUM
alkej-162	189	3	]	]	X
alkej-162	189	4	g.li	g.li	PROPN
alkej-162	189	5	,	,	PUNCT
alkej-162	189	6	l.f.xia	l.f.xia	PROPN
alkej-162	189	7	,	,	PUNCT
alkej-162	189	8	"	"	PUNCT
alkej-162	189	9	structural	structural	ADJ
alkej-162	189	10	characterization	characterization	NOUN
alkej-162	189	11	of	of	ADP
alkej-162	189	12	ticx	ticx	NOUN
alkej-162	189	13	films	film	NOUN
alkej-162	189	14	prepared	prepare	VERB
alkej-162	189	15	by	by	ADP
alkej-162	189	16	plasma	plasma	NOUN
alkej-162	189	17	based	base	VERB
alkej-162	189	18	ion	ion	NOUN
alkej-162	189	19	implantation	implantation	NOUN
alkej-162	189	20	"	"	PUNCT
alkej-162	189	21	,	,	PUNCT
alkej-162	189	22	vol	vol	NOUN
alkej-162	189	23	.	.	PROPN
alkej-162	190	1	396	396	NUM
alkej-162	190	2	,	,	PUNCT
alkej-162	190	3	pp	pp	ADJ
alkej-162	190	4	.	.	PUNCT
alkej-162	191	1	16	16	NUM
alkej-162	191	2	-	-	SYM
alkej-162	191	3	22	22	NUM
alkej-162	191	4	,	,	PUNCT
alkej-162	191	5	2001	2001	NUM
alkej-162	191	6	.	.	PUNCT
alkej-162	192	1	[	[	X
alkej-162	192	2	16	16	NUM
alkej-162	192	3	]	]	PUNCT
alkej-162	192	4	a.	a.	NOUN
alkej-162	192	5	kinbara	kinbara	PROPN
alkej-162	192	6	,	,	PUNCT
alkej-162	192	7	s.	s.	PROPN
alkej-162	192	8	baba	baba	PROPN
alkej-162	192	9	,	,	PUNCT
alkej-162	192	10	"	"	PUNCT
alkej-162	192	11	internal	internal	ADJ
alkej-162	192	12	stress	stress	NOUN
alkej-162	192	13	and	and	CCONJ
alkej-162	192	14	young	young	ADJ
alkej-162	192	15	's	's	PART
alkej-162	192	16	modulus	modulus	NOUN
alkej-162	192	17	of	of	ADP
alkej-162	192	18	tic	tic	ADJ
alkej-162	192	19	coatings	coating	NOUN
alkej-162	192	20	"	"	PUNCT
alkej-162	192	21	,	,	PUNCT
alkej-162	192	22	thin	thin	ADJ
alkej-162	192	23	solid	solid	ADJ
alkej-162	192	24	films	film	NOUN
alkej-162	192	25	,	,	PUNCT
alkej-162	192	26	vol	vol	NOUN
alkej-162	192	27	.	.	PUNCT
alkej-162	192	28	107	107	NUM
alkej-162	192	29	,	,	PUNCT
alkej-162	192	30	pp	pp	ADV
alkej-162	192	31	.	.	PUNCT
alkej-162	193	1	359	359	NUM
alkej-162	193	2	-	-	SYM
alkej-162	193	3	364	364	NUM
alkej-162	193	4	,	,	PUNCT
alkej-162	193	5	1983	1983	NUM
alkej-162	193	6	.	.	PUNCT
alkej-162	194	1	[	[	X
alkej-162	194	2	17	17	NUM
alkej-162	194	3	]	]	X
alkej-162	194	4	c.t	c.t	PROPN
alkej-162	194	5	.	.	PROPN
alkej-162	194	6	chuanga	chuanga	PROPN
alkej-162	194	7	,	,	PUNCT
alkej-162	194	8	c.k	c.k	PROPN
alkej-162	194	9	.	.	PROPN
alkej-162	194	10	chaob	chaob	PROPN
alkej-162	194	11	,	,	PUNCT
alkej-162	194	12	r.c	r.c	PROPN
alkej-162	194	13	.	.	PROPN
alkej-162	194	14	changa	changa	PROPN
alkej-162	194	15	,	,	PUNCT
alkej-162	194	16	k.y	k.y	PROPN
alkej-162	194	17	.	.	PROPN
alkej-162	194	18	chub	chub	PROPN
alkej-162	194	19	,	,	PUNCT
alkej-162	194	20	"	"	PUNCT
alkej-162	194	21	effects	effect	NOUN
alkej-162	194	22	of	of	ADP
alkej-162	194	23	internal	internal	ADJ
alkej-162	194	24	stresses	stress	NOUN
alkej-162	194	25	on	on	ADP
alkej-162	194	26	the	the	DET
alkej-162	194	27	mechanical	mechanical	ADJ
alkej-162	194	28	properties	property	NOUN
alkej-162	194	29	of	of	ADP
alkej-162	194	30	deposition	deposition	NOUN
alkej-162	194	31	thin	thin	ADJ
alkej-162	194	32	films	film	NOUN
alkej-162	194	33	"	"	PUNCT
alkej-162	194	34	,	,	PUNCT
alkej-162	194	35	journal	journal	NOUN
alkej-162	194	36	of	of	ADP
alkej-162	194	37	materials	material	NOUN
alkej-162	194	38	processing	processing	NOUN
alkej-162	194	39	technology	technology	NOUN
alkej-162	194	40	,	,	PUNCT
alkej-162	194	41	vol	vol	NOUN
alkej-162	194	42	.	.	NOUN
alkej-162	194	43	2	2	NUM
alkej-162	194	44	0	0	NUM
alkej-162	194	45	1	1	NUM
alkej-162	194	46	,	,	PUNCT
alkej-162	194	47	pp	pp	ADJ
alkej-162	194	48	.	.	PUNCT
alkej-162	195	1	770–774	770–774	NUM
alkej-162	195	2	,	,	PUNCT
alkej-162	195	3	2	2	NUM
alkej-162	195	4	0	0	NUM
alkej-162	195	5	0	0	NUM
alkej-162	195	6	8	8	NUM
alkej-162	195	7	.	.	PUNCT
alkej-162	196	1	[	[	X
alkej-162	196	2	18	18	NUM
alkej-162	196	3	]	]	X
alkej-162	196	4	h.	h.	PROPN
alkej-162	196	5	liepack	liepack	PROPN
alkej-162	196	6	,	,	PUNCT
alkej-162	196	7	k.	k.	PROPN
alkej-162	196	8	bartsch	bartsch	PROPN
alkej-162	196	9	,	,	PUNCT
alkej-162	196	10	w.	w.	PROPN
alkej-162	196	11	bru¨ckner	bru¨ckner	PROPN
alkej-162	196	12	,	,	PUNCT
alkej-162	196	13	a.	a.	PROPN
alkej-162	196	14	leonhardt	leonhardt	PROPN
alkej-162	196	15	,	,	PUNCT
alkej-162	196	16	"	"	PUNCT
alkej-162	196	17	mechanical	mechanical	ADJ
alkej-162	196	18	behavior	behavior	NOUN
alkej-162	196	19	of	of	ADP
alkej-162	196	20	pacvd	pacvd	NOUN
alkej-162	196	21	tic	tic	ADJ
alkej-162	196	22	–	–	PUNCT
alkej-162	196	23	amorphous	amorphous	ADJ
alkej-162	196	24	carbon	carbon	NOUN
alkej-162	196	25	composite	composite	ADJ
alkej-162	196	26	layers	layer	NOUN
alkej-162	196	27	"	"	PUNCT
alkej-162	196	28	,	,	PUNCT
alkej-162	196	29	surface	surface	NOUN
alkej-162	196	30	and	and	CCONJ
alkej-162	196	31	coatings	coating	NOUN
alkej-162	196	32	technology	technology	NOUN
alkej-162	196	33	,	,	PUNCT
alkej-162	196	34	vol	vol	NOUN
alkej-162	196	35	.	.	PROPN
alkej-162	196	36	183	183	NUM
alkej-162	196	37	,	,	PUNCT
alkej-162	196	38	pp	pp	ADJ
alkej-162	196	39	.	.	PUNCT
alkej-162	197	1	69–73	69–73	X
alkej-162	197	2	.	.	X
alkej-162	197	3	2004	2004	NUM
alkej-162	197	4	.	.	PUNCT
alkej-162	198	1	ahmed	ahmed	PROPN
alkej-162	198	2	m.	m.	PROPN
alkej-162	198	3	h.	h.	PROPN
alkej-162	198	4	abdulkadhim	abdulkadhim	PROPN
alkej-162	198	5	al	al	PROPN
alkej-162	198	6	-	-	PUNCT
alkej-162	198	7	khwarizmi	khwarizmi	PROPN
alkej-162	198	8	engineering	engineering	NOUN
alkej-162	198	9	journal	journal	PROPN
alkej-162	198	10	,	,	PUNCT
alkej-162	198	11	vol	vol	NOUN
alkej-162	198	12	.	.	NOUN
alkej-162	198	13	9	9	NUM
alkej-162	198	14	,	,	PUNCT
alkej-162	198	15	no.1	no.1	NUM
alkej-162	198	16	,	,	PUNCT
alkej-162	198	17	p.p	p.p	PROPN
alkej-162	198	18	.	.	PROPN
alkej-162	198	19	94	94	NUM
alkej-162	198	20	-	-	SYM
alkej-162	198	21	100	100	NUM
alkej-162	198	22	(	(	PUNCT
alkej-162	198	23	2013	2013	NUM
alkej-162	198	24	)	)	PUNCT
alkej-162	198	25	100	100	NUM
alkej-162	198	26	the	the	DET
alkej-162	198	27	effect	effect	NOUN
alkej-162	198	28	of	of	ADP
alkej-162	198	29	increasing	increase	VERB
alkej-162	198	30	carbon	carbon	NOUN
alkej-162	198	31	concentration	concentration	NOUN
alkej-162	198	32	increasing	increase	VERB
alkej-162	198	33	on	on	ADP
alkej-162	198	34	the	the	DET
alkej-162	198	35	mechanical	mechanical	ADJ
alkej-162	198	36	properties	property	NOUN
alkej-162	198	37	of	of	ADP
alkej-162	198	38	ticx	ticx	ADJ
alkej-162	198	39	thin	thin	ADJ
alkej-162	198	40	films	film	NOUN
alkej-162	198	41	ahmed	ahmed	PROPN
alkej-162	198	42	m.	m.	PROPN
alkej-162	198	43	h.	h.	PROPN
alkej-162	198	44	abdulkadhim	abdulkadhim	PROPN
alkej-162	198	45	al	al	PROPN
alkej-162	198	46	-	-	PUNCT
alkej-162	198	47	ghaban	ghaban	PROPN
alkej-162	198	48	department	department	NOUN
alkej-162	198	49	of	of	ADP
alkej-162	198	50	materials	material	NOUN
alkej-162	198	51	engineering/	engineering/	NUM
alkej-162	198	52	university	university	NOUN
alkej-162	198	53	of	of	ADP
alkej-162	198	54	technology	technology	NOUN
alkej-162	198	55	ahmed_gaban@yahoo.com	ahmed_gaban@yahoo.com	X
alkej-162	199	1	mail:-e	mail:-e	ADP
alkej-162	199	2	abstract	abstract	ADJ
alkej-162	199	3	carbides	carbide	NOUN
alkej-162	199	4	or	or	CCONJ
alkej-162	199	5	nitrides	nitride	VERB
alkej-162	199	6	thin	thin	ADJ
alkej-162	199	7	films	film	NOUN
alkej-162	199	8	present	present	ADJ
alkej-162	199	9	materials	material	NOUN
alkej-162	199	10	with	with	ADP
alkej-162	199	11	good	good	ADJ
alkej-162	199	12	mechanical	mechanical	ADJ
alkej-162	199	13	properties	property	NOUN
alkej-162	199	14	for	for	ADP
alkej-162	199	15	industrial	industrial	ADJ
alkej-162	199	16	applications	application	NOUN
alkej-162	199	17	as	as	SCONJ
alkej-162	199	18	they	they	PRON
alkej-162	199	19	can	can	AUX
alkej-162	199	20	be	be	AUX
alkej-162	199	21	coatings	coating	NOUN
alkej-162	199	22	at	at	ADP
alkej-162	199	23	low	low	ADJ
alkej-162	199	24	temperatures	temperature	NOUN
alkej-162	199	25	serve	serve	VERB
alkej-162	199	26	temperature	temperature	NOUN
alkej-162	199	27	sensitive	sensitive	ADJ
alkej-162	199	28	surfaces	surface	NOUN
alkej-162	199	29	.	.	PUNCT
alkej-162	200	1	in	in	ADP
alkej-162	200	2	this	this	DET
alkej-162	200	3	work	work	NOUN
alkej-162	200	4	the	the	DET
alkej-162	200	5	effect	effect	NOUN
alkej-162	200	6	of	of	ADP
alkej-162	200	7	the	the	DET
alkej-162	200	8	c	c	NOUN
alkej-162	200	9	percentage	percentage	NOUN
alkej-162	200	10	on	on	ADP
alkej-162	200	11	the	the	DET
alkej-162	200	12	mechanical	mechanical	ADJ
alkej-162	200	13	properties	property	NOUN
alkej-162	200	14	represented	represent	VERB
alkej-162	200	15	by	by	ADP
alkej-162	200	16	the	the	DET
alkej-162	200	17	young	young	ADJ
alkej-162	200	18	modulus	modulus	NOUN
alkej-162	200	19	(	(	PUNCT
alkej-162	200	20	e	e	NOUN
alkej-162	200	21	)	)	PUNCT
alkej-162	200	22	of	of	ADP
alkej-162	200	23	combinatorial	combinatorial	ADJ
alkej-162	200	24	magnetron	magnetron	NOUN
alkej-162	200	25	sputtered	sputter	VERB
alkej-162	200	26	ticx	ticx	NOUN
alkej-162	200	27	(	(	PUNCT
alkej-162	200	28	34%x	34%x	PROPN
alkej-162	200	29	65	65	NUM
alkej-162	200	30	%	%	NOUN
alkej-162	200	31	)	)	PUNCT
alkej-162	200	32	has	have	AUX
alkej-162	200	33	been	be	AUX
alkej-162	200	34	studied	study	VERB
alkej-162	200	35	.	.	PUNCT
alkej-162	201	1	the	the	DET
alkej-162	201	2	structure	structure	NOUN
alkej-162	201	3	of	of	ADP
alkej-162	201	4	the	the	DET
alkej-162	201	5	produced	produce	VERB
alkej-162	201	6	films	film	NOUN
alkej-162	201	7	is	be	AUX
alkej-162	201	8	tic	tic	ADJ
alkej-162	201	9	independent	independent	ADJ
alkej-162	201	10	on	on	ADP
alkej-162	201	11	the	the	DET
alkej-162	201	12	c	c	PROPN
alkej-162	201	13	concentration	concentration	NOUN
alkej-162	201	14	.	.	PUNCT
alkej-162	202	1	the	the	DET
alkej-162	202	2	mechanical	mechanical	ADJ
alkej-162	202	3	properties	property	NOUN
alkej-162	202	4	are	be	AUX
alkej-162	202	5	increased	increase	VERB
alkej-162	202	6	with	with	ADP
alkej-162	202	7	increasing	increase	VERB
alkej-162	202	8	the	the	DET
alkej-162	202	9	c	c	PROPN
alkej-162	202	10	concentration	concentration	NOUN
alkej-162	202	11	up	up	ADP
alkej-162	202	12	to	to	PART
alkej-162	202	13	50	50	NUM
alkej-162	202	14	%	%	NOUN
alkej-162	202	15	,	,	PUNCT
alkej-162	202	16	and	and	CCONJ
alkej-162	202	17	then	then	ADV
alkej-162	202	18	decreasing	decrease	VERB
alkej-162	202	19	with	with	ADP
alkej-162	202	20	further	furth	ADJ
alkej-162	202	21	c	c	NOUN
alkej-162	202	22	%	%	NOUN
alkej-162	202	23	increasing	increase	VERB
alkej-162	202	24	.	.	PUNCT
alkej-162	203	1	these	these	DET
alkej-162	203	2	results	result	NOUN
alkej-162	203	3	can	can	AUX
alkej-162	203	4	be	be	AUX
alkej-162	203	5	explained	explain	VERB
alkej-162	203	6	by	by	ADP
alkej-162	203	7	considering	consider	VERB
alkej-162	203	8	the	the	DET
alkej-162	203	9	resultant	resultant	NOUN
alkej-162	203	10	residual	residual	ADJ
alkej-162	203	11	stresses	stress	NOUN
alkej-162	203	12	.	.	PUNCT
alkej-162	204	1	mailto:ahmed_gaban@yahoo.com	mailto:ahmed_gaban@yahoo.com	X