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ajema-1940	116	3	тешабоев	тешабоев	ADJ
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ajema-1940	117	5	рубидинов	рубидинов	NOUN
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ajema-1940	119	1	вакуумное	вакуумное	VERB
ajema-1940	119	2	ионноплазменное	ионноплазменное	X
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ajema-1940	119	9	слоев	слоев	ADJ
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ajema-1940	120	1	scientific	scientific	ADJ
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ajema-1940	121	1	тешабоев	тешабоев	ADJ
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ajema-1940	125	1	анализ	анализ	PROPN
ajema-1940	125	2	ремонта	ремонта	VERB
ajema-1940	125	3	поверхностей	поверхностей	PROPN
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ajema-1940	125	6	газотермическим	газотермическим	NOUN
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ajema-1940	125	8	гальваническим	гальваническим	VERB
ajema-1940	125	9	покрытием	покрытием	NOUN
ajema-1940	125	10	.	.	PUNCT
ajema-1940	126	1	scientific	scientific	ADJ
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