id	sid	eid	entity	type
cet-11357	1	1	microsoft	ORG
cet-11357	1	2	3galluzzi_revised	CARDINAL
cet-11357	1	3	10.3303	CARDINAL
cet-11357	1	4	2	CARDINAL
cet-11357	1	5	15	CARDINAL
cet-11357	1	6	24	CARDINAL
cet-11357	1	7	february 2021	DATE
cet-11357	1	8	wang c.	PERSON
cet-11357	1	9	wu y.	PERSON
cet-11357	1	10	xue y.	PERSON
cet-11357	1	11	liu y.	PERSON
cet-11357	1	12	bousquet a.	PERSON
cet-11357	1	13	tomasella e.	PERSON
cet-11357	1	14	2021	DATE
cet-11357	1	15	84	CARDINAL
cet-11357	1	16	31	CARDINAL
cet-11357	1	17	84	CARDINAL
cet-11357	1	18	2021	CARDINAL
cet-11357	1	19	the italian association of chemical	ORG
cet-11357	1	20	paolo ciambelli	PERSON
cet-11357	1	21	di palma	PERSON
cet-11357	1	22	2021	CARDINAL
cet-11357	1	23	aidic servizi s.r.l	ORG
cet-11357	2	1	978	CARDINAL
cet-11357	2	2	82	CARDINAL
cet-11357	2	3	issn 2283-9216	PERSON
cet-11357	2	4	cong wanga	PERSON
cet-11357	2	5	yuping ninga	PERSON
cet-11357	2	6	ping songa	PERSON
cet-11357	2	7	yongxin wua	PERSON
cet-11357	2	8	yafei xuea	PERSON
cet-11357	2	9	angelique bousquetb	PERSON
cet-11357	2	10	eric tomasellab	PERSON
cet-11357	2	11	beihang university	ORG
cet-11357	2	12	37	CARDINAL
cet-11357	2	13	100191	DATE
cet-11357	2	14	beijing	GPE
cet-11357	2	15	china	GPE
cet-11357	2	16	université clermont auvergne	ORG
cet-11357	2	17	cnrs	GPE
cet-11357	2	18	clermont	GPE
cet-11357	2	19	clermont	GPE
cet-11357	2	20	france	GPE
cet-11357	2	21	the 21st century	DATE
cet-11357	5	1	today	DATE
cet-11357	5	2	25%	PERCENT
cet-11357	5	3	2050	DATE
cet-11357	6	1	france	GPE
cet-11357	6	2	beihang university	ORG
cet-11357	6	3	china	GPE
cet-11357	8	1	the 19th century	DATE
cet-11357	10	1	the 20th century	DATE
cet-11357	10	2	0.6°	QUANTITY
cet-11357	11	1	the 21st century	DATE
cet-11357	11	2	2 billion	CARDINAL
cet-11357	11	3	one	CARDINAL
cet-11357	12	1	third	ORDINAL
cet-11357	12	2	3, 2001	DATE
cet-11357	13	1	the end of this century	DATE
cet-11357	13	2	1.5 to 5°	TIME
cet-11357	17	1	december 1997	DATE
cet-11357	17	2	at least 5%	PERCENT
cet-11357	17	3	the period 2008-2012	DATE
cet-11357	17	4	1990	DATE
cet-11357	18	1	more than 20%	PERCENT
cet-11357	19	1	paris	GPE
cet-11357	19	2	december 2015	DATE
cet-11357	19	3	195	CARDINAL
cet-11357	19	4	first	ORDINAL
cet-11357	20	1	2°	QUANTITY
cet-11357	20	2	1.5°	QUANTITY
cet-11357	21	1	2015	CARDINAL
cet-11357	25	1	31	DATE
cet-11357	26	1	162	CARDINAL
cet-11357	26	2	135	CARDINAL
cet-11357	27	1	at least 9	CARDINAL
cet-11357	27	2	20%	PERCENT
cet-11357	28	1	64%	PERCENT
cet-11357	28	2	2018	DATE
cet-11357	32	1	el bassam	PERSON
cet-11357	32	2	400 trillion kwh	QUANTITY
cet-11357	32	3	el bassam et al	PERSON
cet-11357	32	4	2013	DATE
cet-11357	34	1	3	CARDINAL
cet-11357	35	1	first	ORDINAL
cet-11357	36	1	second	ORDINAL
cet-11357	37	1	2	CARDINAL
cet-11357	37	2	csp technologies	ORG
cet-11357	37	3	csp systems	ORG
cet-11357	38	1	four	CARDINAL
cet-11357	38	2	1	CARDINAL
cet-11357	39	1	linear	ORG
cet-11357	39	2	romero et al.	PERSON
cet-11357	39	3	2014	DATE
cet-11357	39	4	al.	ORG
cet-11357	39	5	2011	DATE
cet-11357	39	6	dan et al	PERSON
cet-11357	39	7	2017	DATE
cet-11357	40	1	1	CARDINAL
cet-11357	40	2	four	CARDINAL
cet-11357	40	3	newcastle	GPE
cet-11357	40	4	australia	GPE
cet-11357	40	5	qinghai province	GPE
cet-11357	40	6	china	GPE
cet-11357	40	7	albuquerque, usa	ORG
cet-11357	40	8	almeria	GPE
cet-11357	40	9	spain	GPE
cet-11357	40	10	2	CARDINAL
cet-11357	41	1	400°	QUANTITY
cet-11357	41	2	2016	DATE
cet-11357	42	1	2	CARDINAL
cet-11357	44	1	32	DATE
cet-11357	44	2	weinstein	PERSON
cet-11357	44	3	weinstein et al	PERSON
cet-11357	44	4	2015	DATE
cet-11357	47	1	1	CARDINAL
cet-11357	47	2	2	CARDINAL
cet-11357	48	1	1	CARDINAL
cet-11357	49	1	2	CARDINAL
cet-11357	49	2	g(λ	PERSON
cet-11357	49	3	1.5	CARDINAL
cet-11357	49	4	1.5	CARDINAL
cet-11357	49	5	0.2-2.5 µm	PERCENT
cet-11357	51	1	2.5-25	DATE
cet-11357	51	2	ftir	ORG
cet-11357	51	3	nofuentes et al	ORG
cet-11357	51	4	2014	DATE
cet-11357	52	1	third	ORDINAL
cet-11357	52	2	3	CARDINAL
cet-11357	52	3	chester et al.	PERSON
cet-11357	52	4	2011	DATE
cet-11357	52	5	3	CARDINAL
cet-11357	52	6	σ	ORG
cet-11357	52	7	stefan boltzmann’s	PERSON
cet-11357	53	1	0.91	CARDINAL
cet-11357	54	1	3	CARDINAL
cet-11357	54	2	four	CARDINAL
cet-11357	54	3	zhang et al	PERSON
cet-11357	54	4	2017	DATE
cet-11357	55	1	0.95	CARDINAL
cet-11357	59	1	3	CARDINAL
cet-11357	60	1	four	CARDINAL
cet-11357	61	1	six	CARDINAL
cet-11357	61	2	4	CARDINAL
cet-11357	62	1	al. 2015	ORG
cet-11357	63	1	xu et al	PERSON
cet-11357	63	2	2020	DATE
cet-11357	64	1	4	CARDINAL
cet-11357	64	2	six	CARDINAL
cet-11357	65	1	33 3	DATE
cet-11357	72	1	cu	ORG
cet-11357	72	2	xue et al.	PERSON
cet-11357	72	3	2013	DATE
cet-11357	73	1	5a	CARDINAL
cet-11357	75	1	68%	PERCENT
cet-11357	75	2	38%	PERCENT
cet-11357	76	1	500 °	QUANTITY
cet-11357	76	2	12	CARDINAL
cet-11357	76	3	5b	CARDINAL
cet-11357	77	1	5	CARDINAL
cet-11357	78	1	500 °	QUANTITY
cet-11357	78	2	12	CARDINAL
cet-11357	79	1	liu	PERSON
cet-11357	79	2	liu et al 2014	PERSON
cet-11357	84	1	one	CARDINAL
cet-11357	85	1	0.95	CARDINAL
cet-11357	85	2	0.08	CARDINAL
cet-11357	86	1	zr2n	NORP
cet-11357	87	1	500 °	QUANTITY
cet-11357	87	2	0.92	CARDINAL
cet-11357	87	3	0.10	CARDINAL
cet-11357	88	1	6	CARDINAL
cet-11357	88	2	csp applications	ORG
cet-11357	89	1	34	CARDINAL
cet-11357	89	2	6	CARDINAL
cet-11357	90	1	0.2–25	CARDINAL
cet-11357	90	2	500 °	QUANTITY
cet-11357	91	1	chinese	NORP
cet-11357	91	2	beihang university	ORG
cet-11357	92	1	wu	PERSON
cet-11357	92	2	wu et al	PERSON
cet-11357	92	3	2015	DATE
cet-11357	92	4	al/nbtin/nbtion/sio2	ORG
cet-11357	92	5	al/nbtisin	ORG
cet-11357	93	1	nbtin	ORG
cet-11357	94	1	7a	CARDINAL
cet-11357	94	2	7b	CARDINAL
cet-11357	94	3	al/nbtin/nbtion/sio2	ORG
cet-11357	94	4	400 °	QUANTITY
cet-11357	94	5	2	CARDINAL
cet-11357	94	6	0.934	CARDINAL
cet-11357	94	7	0.901	CARDINAL
cet-11357	94	8	0.13 to 0.14	CARDINAL
cet-11357	94	9	93.2%	PERCENT
cet-11357	94	10	89.8%	PERCENT
cet-11357	95	1	al/nbtin/nbtion/sio2	ORG
cet-11357	95	2	500 °	QUANTITY
cet-11357	95	3	2	CARDINAL
cet-11357	95	4	0.538	CARDINAL
cet-11357	95	5	53.5%	PERCENT
cet-11357	96	1	al/nbtin/ nbtion/sio2 one	ORG
cet-11357	97	1	500 °	QUANTITY
cet-11357	97	2	2	CARDINAL
cet-11357	97	3	0.922	CARDINAL
cet-11357	97	4	0.13	CARDINAL
cet-11357	97	5	91.9%	PERCENT
cet-11357	98	1	nbtin	ORG
cet-11357	99	1	7	CARDINAL
cet-11357	100	1	al/nbtin/nbtion/sio2	ORG
cet-11357	101	1	4.	CARDINAL
cet-11357	102	1	at least 20 years	DATE
cet-11357	102	2	the night	TIME
cet-11357	108	1	2020	DATE
cet-11357	108	2	35 pvd	QUANTITY
cet-11357	109	1	8	CARDINAL
cet-11357	110	1	8	CARDINAL
cet-11357	111	1	nine	CARDINAL
cet-11357	112	1	0.25 µm	MONEY
cet-11357	112	2	0.5 µm	CARDINAL
cet-11357	117	1	0.95	CARDINAL
cet-11357	117	2	0.99	CARDINAL
cet-11357	118	1	as low as 0.06	CARDINAL
cet-11357	121	1	2012	DATE
cet-11357	123	1	2013	DATE
cet-11357	124	1	chester	PERSON
cet-11357	124	2	joannopoulos jd	PERSON
cet-11357	124	3	soljacic m	PERSON
cet-11357	124	4	celanovic i. 2011	PERSON
cet-11357	125	1	a245-257	CARDINAL
cet-11357	126	1	2015	DATE
cet-11357	126	2	24.11.2020	CARDINAL
cet-11357	126	3	dan atasi	PERSON
cet-11357	126	4	harish c. barshilia	PERSON
cet-11357	126	5	kamanio chattopadhyay	PERSON
cet-11357	126	6	bikramjit basu	PERSON
cet-11357	126	7	2017	DATE
cet-11357	126	8	79	CARDINAL
cet-11357	126	9	1050–1077	CARDINAL
cet-11357	126	10	el bassam	PERSON
cet-11357	126	11	m.l.	GPE
cet-11357	126	12	el bassam	PERSON
cet-11357	126	13	m.l.	GPE
cet-11357	126	14	2013	DATE
cet-11357	127	1	91	CARDINAL
cet-11357	127	2	3, 2001	DATE
cet-11357	127	3	24.11.2020	CARDINAL
cet-11357	127	4	liu yu	PERSON
cet-11357	127	5	zhifeng wang	PERSON
cet-11357	127	6	dongqiang lei	PERSON
cet-11357	127	7	cong wang	PERSON
cet-11357	127	8	2014	DATE
cet-11357	127	9	127	CARDINAL
cet-11357	127	10	143–146	CARDINAL
cet-11357	127	11	wenwen wang	PERSON
cet-11357	127	12	ying sun	PERSON
cet-11357	127	13	yongxin wu	PERSON
cet-11357	127	14	yingfang liu	PERSON
cet-11357	127	15	hongliang	PERSON
cet-11357	127	16	muhammad imran malik	PERSON
cet-11357	127	17	cong wang	PERSON
cet-11357	127	18	shuxi zhao	PERSON
cet-11357	127	19	eric tomasella	PERSON
cet-11357	127	20	angélique bousquet	ORG
cet-11357	127	21	2016	DATE
cet-11357	127	22	128	CARDINAL
cet-11357	127	23	73	CARDINAL
cet-11357	128	1	nofuentes g	PERSON
cet-11357	128	2	garcía	GPE
cet-11357	128	3	munoz jv	ORG
cet-11357	128	4	chenlo f.,	PERSON
cet-11357	128	5	2014	DATE
cet-11357	129	1	113	CARDINAL
cet-11357	129	2	302	CARDINAL
cet-11357	129	3	36	CARDINAL