id	sid	eid	entity	type
cet-15687	1	1	10.3303	CARDINAL
cet-15687	1	2	14/04/2025	CARDINAL
cet-15687	1	3	2 september 2025	DATE
cet-15687	1	4	15	CARDINAL
cet-15687	1	5	r.	NORP
cet-15687	1	6	delitsyn l.	PERSON
cet-15687	1	7	sulman m.	PERSON
cet-15687	1	8	panin a.	PERSON
cet-15687	1	9	2025	DATE
cet-15687	1	10	120	CARDINAL
cet-15687	1	11	367	CARDINAL
cet-15687	2	1	120	CARDINAL
cet-15687	2	2	2025	DATE
cet-15687	2	3	the italian association of chemical	ORG
cet-15687	3	1	andiappan	GPE
cet-15687	3	2	denny k.s	PERSON
cet-15687	3	3	loong lam	PERSON
cet-15687	3	4	petar s. varbanov	PERSON
cet-15687	3	5	2025	DATE
cet-15687	3	6	aidic servizi s.r.l	ORG
cet-15687	4	1	979	CARDINAL
cet-15687	4	2	21	CARDINAL
cet-15687	4	3	issn 2283-9216	PERSON
cet-15687	4	4	ruslan kulumbegova	PERSON
cet-15687	4	5	leonid delitsyna	PERSON
cet-15687	4	6	oleg popela	PERSON
cet-15687	4	7	mikhail sulman*,b	PERSON
cet-15687	4	8	alexander paninc ajoint institute	ORG
cet-15687	4	9	the russian academy of sciences	ORG
cet-15687	4	10	izhorskaya st.	GPE
cet-15687	4	11	13	CARDINAL
cet-15687	4	12	moscow	GPE
cet-15687	4	13	125412	DATE
cet-15687	4	14	btver state technical university	ORG
cet-15687	4	15	a. nikitin	PERSON
cet-15687	5	1	22	DATE
cet-15687	5	2	tver	ORG
cet-15687	5	3	170026	DATE
cet-15687	5	4	the russian academy of sciences	ORG
cet-15687	5	5	leninsky prospekt 29	PERSON
cet-15687	5	6	moscow	GPE
cet-15687	5	7	119991	DATE
cet-15687	5	8	49 to 65 %	PERCENT
cet-15687	6	1	more than 90 %	PERCENT
cet-15687	6	2	sio₂	ORG
cet-15687	6	3	320–360 °	QUANTITY
cet-15687	6	4	9.5	CARDINAL
cet-15687	6	5	15.1	CARDINAL
cet-15687	7	1	1.	CARDINAL
cet-15687	7	2	one	CARDINAL
cet-15687	8	1	russia	GPE
cet-15687	8	2	annually	DATE
cet-15687	8	3	20	CARDINAL
cet-15687	8	4	less than 10 %	PERCENT
cet-15687	9	1	kozhukhova	NORP
cet-15687	9	2	2018	DATE
cet-15687	13	1	2019	DATE
cet-15687	14	1	russia	GPE
cet-15687	14	2	1	CARDINAL
cet-15687	19	1	wang et al.	PERSON
cet-15687	19	2	2005	DATE
cet-15687	21	1	li et al.	PERSON
cet-15687	21	2	2019	DATE
cet-15687	22	1	367	CARDINAL
cet-15687	22	2	1	CARDINAL
cet-15687	22	3	the russian federation	GPE
cet-15687	22	4	2025	DATE
cet-15687	22	5	loi sio2	PERSON
cet-15687	22	6	1 7.4 40.0	QUANTITY
cet-15687	22	7	12.8	CARDINAL
cet-15687	22	8	0.4 1.6	QUANTITY
cet-15687	22	9	1.4	CARDINAL
cet-15687	22	10	31.4	CARDINAL
cet-15687	22	11	57.6	CARDINAL
cet-15687	22	12	28.4	CARDINAL
cet-15687	22	13	2.8	CARDINAL
cet-15687	22	14	1	CARDINAL
cet-15687	22	15	2 kuznetsk	PERSON
cet-15687	22	16	3	CARDINAL
cet-15687	22	17	4	CARDINAL
cet-15687	22	18	5	CARDINAL
cet-15687	22	19	1	CARDINAL
cet-15687	23	1	1	CARDINAL
cet-15687	23	2	li et al.	PERSON
cet-15687	23	3	2019	DATE
cet-15687	23	4	1	CARDINAL
cet-15687	23	5	3air	CARDINAL
cet-15687	23	6	5aluminosilicate	CARDINAL
cet-15687	23	7	6carbon	CARDINAL
cet-15687	23	8	7.8	CARDINAL
cet-15687	23	9	9	CARDINAL
cet-15687	23	10	10	CARDINAL
cet-15687	24	1	only about 30 %	PERCENT
cet-15687	24	2	up to 50 %	PERCENT
cet-15687	24	3	zhou et al.	PERSON
cet-15687	24	4	2024	DATE
cet-15687	25	1	2009	DATE
cet-15687	26	1	russia	GPE
cet-15687	28	1	uc	ORG
cet-15687	28	2	zheng et al.	PERSON
cet-15687	28	3	2022	CARDINAL
cet-15687	28	4	2016	DATE
cet-15687	30	1	ma et al	PERSON
cet-15687	31	1	2024	CARDINAL
cet-15687	31	2	2	CARDINAL
cet-15687	33	1	firstly	ORDINAL
cet-15687	33	2	21	CARDINAL
cet-15687	33	3	wang et al.	PERSON
cet-15687	33	4	2005	DATE
cet-15687	34	1	secondly	ORDINAL
cet-15687	34	2	2008	DATE
cet-15687	35	1	368	CARDINAL
cet-15687	35	2	2	CARDINAL
cet-15687	35	3	2024	DATE
cet-15687	36	1	between 45-30 %	CARDINAL
cet-15687	39	1	2005	DATE
cet-15687	39	2	30 %	PERCENT
cet-15687	40	1	serre et al	PERSON
cet-15687	41	1	2000	DATE
cet-15687	43	1	lin et al.	PERSON
cet-15687	43	2	2001	DATE
cet-15687	47	1	2	CARDINAL
cet-15687	47	2	250 μm	MONEY
cet-15687	48	1	237	CARDINAL
cet-15687	48	2	24	CARDINAL
cet-15687	48	3	1.7 liters	QUANTITY
cet-15687	49	1	80	CARDINAL
cet-15687	49	2	0.25 kg	QUANTITY
cet-15687	49	3	15 kg	QUANTITY
cet-15687	50	1	5	CARDINAL
cet-15687	50	2	2	CARDINAL
cet-15687	50	3	38.10113042004	CARDINAL
cet-15687	50	4	moscow	GPE
cet-15687	50	5	nizhny novgorod chemical industry	ORG
cet-15687	50	6	pjsc	PERSON
cet-15687	50	7	25 %	PERCENT
cet-15687	50	8	jsc novomoskovsk azot	ORG
cet-15687	51	1	jsc kaustik	GPE
cet-15687	51	2	nh4f∙hf	WORK_OF_ART
cet-15687	51	3	llc chemical	ORG
cet-15687	52	1	105 °	QUANTITY
cet-15687	53	1	1	CARDINAL
cet-15687	54	1	10–12 %	PERCENT
cet-15687	55	1	320–360 °	QUANTITY
cet-15687	57	1	2	CARDINAL
cet-15687	57	2	20 %	PERCENT
cet-15687	57	3	nh₄f·hf	LAW
cet-15687	57	4	90–95 °	QUANTITY
cet-15687	57	5	180	CARDINAL
cet-15687	57	6	300 min	QUANTITY
cet-15687	58	1	120 °	QUANTITY
cet-15687	59	1	369	CARDINAL
cet-15687	59	2	japan	GPE
cet-15687	60	1	2–4	CARDINAL
cet-15687	60	2	350 °	QUANTITY
cet-15687	60	3	12	CARDINAL
cet-15687	60	4	japan	GPE
cet-15687	61	1	77	CARDINAL
cet-15687	61	2	emmett	PERSON
cet-15687	61	3	0.2	CARDINAL
cet-15687	62	1	halenda	ORG
cet-15687	65	1	1940	DATE
cet-15687	66	1	3	CARDINAL
cet-15687	66	2	2	CARDINAL
cet-15687	68	1	nearly 100 %	PERCENT
cet-15687	69	1	0.3 to 0.5 mm	QUANTITY
cet-15687	72	1	2	CARDINAL
cet-15687	73	1	29.32	CARDINAL
cet-15687	73	2	78.3 loi	PERSON
cet-15687	73	3	wt.	GPE
cet-15687	73	4	3	CARDINAL
cet-15687	75	1	70 %	PERCENT
cet-15687	76	1	one	CARDINAL
cet-15687	76	2	medkov et al.	ORG
cet-15687	76	3	2011	DATE
cet-15687	76	4	nh₄f·hf	WORK_OF_ART
cet-15687	77	1	2022	CARDINAL
cet-15687	78	1	sio2 +	ORG
cet-15687	79	1	∙	ORG
cet-15687	80	1	1	CARDINAL
cet-15687	83	1	+ 4nh4он	CARDINAL
cet-15687	83	2	2	CARDINAL
cet-15687	83	3	2nh4f	CARDINAL
cet-15687	83	4	nh4f	ORG
cet-15687	84	1	+ nh3	CARDINAL
cet-15687	84	2	3	CARDINAL
cet-15687	84	3	9.53 m2	QUANTITY
cet-15687	84	4	60 %	PERCENT
cet-15687	84	5	3	CARDINAL
cet-15687	85	1	cc3	ORG
cet-15687	85	2	only 3.6 %	PERCENT
cet-15687	85	3	4	CARDINAL
cet-15687	85	4	almost 60 %	PERCENT
cet-15687	85	5	15.1 m2	QUANTITY
cet-15687	85	6	370	CARDINAL
cet-15687	85	7	3	CARDINAL
cet-15687	85	8	cc1 nh4f∙hf н2о 82.9 cc1	PERSON
cet-15687	86	1	84.4 cc1 naoh	PERSON
cet-15687	86	2	64.1 cc1	PERSON
cet-15687	86	3	3	CARDINAL
cet-15687	86	4	cc1	ORG
cet-15687	86	5	cc3	ORG
cet-15687	86	6	cc1	ORG
cet-15687	88	1	4	CARDINAL
cet-15687	88	2	12.9	CARDINAL
cet-15687	89	1	4	CARDINAL
cet-15687	89	2	cc1	ORG
cet-15687	89	3	cc2	ORG
cet-15687	89	4	cc3	ORG
cet-15687	89	5	loi sio2	PERSON
cet-15687	89	6	3.1 0.6 0.6 0.1	QUANTITY
cet-15687	89	7	cc3	ORG
cet-15687	89	8	96.4	CARDINAL
cet-15687	89	9	0.4 1.8 1.3 0.1	QUANTITY
cet-15687	90	1	cc3	ORG
cet-15687	90	2	cc1 via desilication	ORG
cet-15687	91	1	4	CARDINAL
cet-15687	92	1	cc1	ORG
cet-15687	92	2	cc3	ORG
cet-15687	92	3	5	CARDINAL
cet-15687	92	4	cc1	ORG
cet-15687	92	5	cc3	ORG
cet-15687	92	6	cc1	ORG
cet-15687	92	7	14.7	CARDINAL
cet-15687	94	1	cc3	ORG
cet-15687	94	2	cc3	ORG
cet-15687	94	3	cc1	ORG
cet-15687	95	1	5	CARDINAL
cet-15687	97	1	2008	DATE
cet-15687	97	2	2	CARDINAL
cet-15687	98	1	371	CARDINAL
cet-15687	99	1	4	CARDINAL
cet-15687	99	2	21–24	CARDINAL
cet-15687	101	1	nh₄f·hf	LANGUAGE
cet-15687	101	2	91 %	PERCENT
cet-15687	102	1	14.7	CARDINAL
cet-15687	104	1	60 %	PERCENT
cet-15687	106	1	russian science foundation	ORG
cet-15687	107	1	24	CARDINAL
cet-15687	108	1	brunauer s.	PERSON
cet-15687	108	2	deming l.s.	PERSON
cet-15687	108	3	deming w.e.	ORG
cet-15687	108	4	e. 1940	PERSON
cet-15687	109	1	american	NORP
cet-15687	109	2	62	CARDINAL
cet-15687	109	3	1723–1732	CARDINAL
cet-15687	110	1	cangialosi f.	PERSON
cet-15687	110	2	notarnicola	ORG
cet-15687	110	3	liberti l.	PERSON
cet-15687	110	4	stencel j. 2009	PERSON
cet-15687	111	1	164	CARDINAL
cet-15687	111	2	683–688	CARDINAL
cet-15687	112	1	delitsyn l.m.	PERSON
cet-15687	112	2	kulumbegov r.v.	PERSON
cet-15687	112	3	o.s.	GPE
cet-15687	112	4	2022	CARDINAL
cet-15687	113	1	69	CARDINAL
cet-15687	113	2	933–941	CARDINAL
cet-15687	114	1	delitsyn l.m.	PERSON
cet-15687	114	2	kulumbegov r.v.	PERSON
cet-15687	114	3	o.s.	GPE
cet-15687	114	4	borisov y.a.	PERSON
cet-15687	114	5	gadzhiev s.a. 2025	PERSON
cet-15687	115	1	72	DATE
cet-15687	115	2	203	CARDINAL
cet-15687	117	1	r.k.	GPE
cet-15687	118	1	2019	DATE
cet-15687	119	1	672	CARDINAL
cet-15687	119	2	951	CARDINAL
cet-15687	120	1	izquierdo m.t.	PERSON
cet-15687	120	2	rubio b.	PERSON
cet-15687	120	3	2008	DATE
cet-15687	120	4	so2	PERSON
cet-15687	121	1	155	CARDINAL
cet-15687	121	2	199	CARDINAL
cet-15687	122	1	kozhukhova	PERSON
cet-15687	122	2	n.i.	GPE
cet-15687	122	3	lebedev m.	PERSON
cet-15687	122	4	vasilenko e.n.	PERSON
cet-15687	122	5	goncharova e.n. 2018	PERSON
cet-15687	123	1	1066	DATE
cet-15687	123	2	012010	DATE
cet-15687	124	1	li h.	PERSON
cet-15687	124	2	chen y.	PERSON
cet-15687	124	3	zhang x.	PERSON
cet-15687	124	4	li ch.	PERSON
cet-15687	124	5	2019	DATE
cet-15687	125	1	55	DATE
cet-15687	126	1	lin c.-j.	PERSON
cet-15687	127	1	chang j.-e.	PERSON
cet-15687	127	2	2001	DATE
cet-15687	128	1	44	DATE
cet-15687	128	2	1185–1192	DATE
cet-15687	128	3	g.	PERSON
cet-15687	128	4	huang h.	PERSON
cet-15687	128	5	liu j., dong l.	PERSON
cet-15687	128	6	bilal m.	PERSON
cet-15687	128	7	shao h.	PERSON
cet-15687	128	8	tao d. 2024	PERSON
cet-15687	129	1	434	CARDINAL
cet-15687	129	2	119247	DATE
cet-15687	130	1	medkov	PERSON
cet-15687	131	1	m.a.	PERSON
cet-15687	131	2	epov d.g.	PERSON
cet-15687	131	3	2011	DATE
cet-15687	132	1	the russian academy of sciences	ORG
cet-15687	132	2	5(159	CARDINAL
cet-15687	132	3	60-65	DATE
cet-15687	133	1	rubel a.	PERSON
cet-15687	133	2	andrews r.	PERSON
cet-15687	133	3	gonzalez r.	PERSON
cet-15687	133	4	robl t.,	PERSON
cet-15687	133	5	2005	DATE
cet-15687	133	6	nox	ORG
cet-15687	134	1	84	CARDINAL
cet-15687	134	2	911–916	CARDINAL
cet-15687	135	1	samygin v.d.	PERSON
cet-15687	135	2	lekhatinov	PERSON
cet-15687	135	3	tertyshnikov m.s.	PERSON
cet-15687	136	1	2016	DATE
cet-15687	137	1	3	CARDINAL
cet-15687	137	2	55	CARDINAL
cet-15687	138	1	serre s.d.	PERSON
cet-15687	139	1	2000	DATE
cet-15687	140	1	39	CARDINAL
cet-15687	140	2	1723–1730	CARDINAL
cet-15687	141	1	wang s.	PERSON
cet-15687	141	2	boyjoo y.	PERSON
cet-15687	141	3	choueib a.	PERSON
cet-15687	141	4	ng e.	PERSON
cet-15687	141	5	wu h.w.	PERSON
cet-15687	141	6	zhu z.h. 2005	PERSON
cet-15687	141	7	80	CARDINAL
cet-15687	141	8	1204-1209	DATE
cet-15687	142	1	wang s.	PERSON
cet-15687	142	2	li h., 2005	PERSON
cet-15687	143	1	126	CARDINAL
cet-15687	144	1	zheng k.	PERSON
cet-15687	144	2	zhang w.	PERSON
cet-15687	144	3	li y.	PERSON
cet-15687	144	4	feng w.	PERSON
cet-15687	144	5	xie g.	PERSON
cet-15687	144	6	xia w. 2022	PERSON
cet-15687	145	1	2022	CARDINAL
cet-15687	145	2	332	CARDINAL
cet-15687	145	3	126023	DATE
cet-15687	146	1	zhou	PERSON
cet-15687	147	1	li h.	PERSON
cet-15687	147	2	chen y.	PERSON
cet-15687	147	3	xu z. 2024	PERSON
cet-15687	148	1	355, 129460	DATE
cet-15687	149	1	372	CARDINAL