id	sid	eid	entity	type
cet-2315	1	1	57	DATE
cet-2315	1	2	2017	DATE
cet-2315	1	3	the italian association of chemical	ORG
cet-2315	1	4	sauro pierucci	ORG
cet-2315	1	5	jiří jaromír klemeš	PERSON
cet-2315	1	6	laura piazza	PERSON
cet-2315	1	7	serafim bakalis	PERSON
cet-2315	1	8	2017	DATE
cet-2315	1	9	aidic servizi s.r.l	ORG
cet-2315	2	1	978	CARDINAL
cet-2315	2	2	issn 2283-9216	PERSON
cet-2315	2	3	yasushige mori*,yuta	ORG
cet-2315	2	4	ken nishimura	PERSON
cet-2315	2	5	kenta yamada	PERSON
cet-2315	2	6	katsumi tsuchiya doshisha university	PERSON
cet-2315	2	7	1	CARDINAL
cet-2315	2	8	610-0321	CARDINAL
cet-2315	2	9	japan	GPE
cet-2315	2	10	epd	ORG
cet-2315	4	1	epd	ORG
cet-2315	5	1	21	CARDINAL
cet-2315	5	2	epd	ORG
cet-2315	8	1	nps	GPE
cet-2315	8	2	jgc c&c	PERSON
cet-2315	8	3	20	CARDINAL
cet-2315	8	4	nps	GPE
cet-2315	8	5	nps.	GPE
cet-2315	9	1	2-methyl-2-propanol	QUANTITY
cet-2315	9	2	epd	ORG
cet-2315	10	1	1	CARDINAL
cet-2315	10	2	epd	ORG
cet-2315	10	3	boccaccini	GPE
cet-2315	10	4	2016	DATE
cet-2315	11	1	2010	DATE
cet-2315	12	1	epd	ORG
cet-2315	14	1	liou et al	PERSON
cet-2315	15	1	2011	DATE
cet-2315	15	2	shao et al	PERSON
cet-2315	16	1	2014	DATE
cet-2315	16	2	epd	ORG
cet-2315	16	3	epd	ORG
cet-2315	17	1	nps	GPE
cet-2315	17	2	np	ORG
cet-2315	17	3	saito et al.	PERSON
cet-2315	17	4	2004	DATE
cet-2315	17	5	liang et al.	PERSON
cet-2315	17	6	2006	DATE
cet-2315	17	7	ni et al.	PERSON
cet-2315	17	8	2006	DATE
cet-2315	18	1	ofir et	PERSON
cet-2315	19	1	2008	DATE
cet-2315	19	2	epd	ORG
cet-2315	20	1	titania nps	PERSON
cet-2315	20	2	epd	ORG
cet-2315	20	3	titania nps	PERSON
cet-2315	20	4	10.3303	CARDINAL
cet-2315	20	5	mori y.	PERSON
cet-2315	20	6	nishimura k.	PERSON
cet-2315	20	7	yamada k.	PERSON
cet-2315	20	8	tsuchiya k.	PERSON
cet-2315	20	9	2017	DATE
cet-2315	20	10	57	CARDINAL
cet-2315	20	11	1507	CARDINAL
cet-2315	20	12	10.3303	CARDINAL
cet-2315	20	13	1507	CARDINAL
cet-2315	20	14	epd	ORG
cet-2315	21	1	2	CARDINAL
cet-2315	21	2	2.1	CARDINAL
cet-2315	21	3	jgc	ORG
cet-2315	21	4	epd	ORG
cet-2315	22	1	1	CARDINAL
cet-2315	23	1	10	CARDINAL
cet-2315	23	2	0.32	CARDINAL
cet-2315	23	3	1	CARDINAL
cet-2315	24	1	24	CARDINAL
cet-2315	24	2	8.5	CARDINAL
cet-2315	24	3	20-ml	QUANTITY
cet-2315	24	4	40	CARDINAL
cet-2315	24	5	0.1 mm	QUANTITY
cet-2315	24	6	0.5 mm	QUANTITY
cet-2315	24	7	150	CARDINAL
cet-2315	24	8	10 min to 10	DATE
cet-2315	25	1	epd	ORG
cet-2315	26	1	epd	ORG
cet-2315	26	2	1.0	CARDINAL
cet-2315	27	1	nps	GPE
cet-2315	27	2	21	CARDINAL
cet-2315	27	3	10,000	CARDINAL
cet-2315	27	4	20 min	TIME
cet-2315	27	5	8.0	CARDINAL
cet-2315	28	1	90 min	DATE
cet-2315	28	2	epd	ORG
cet-2315	28	3	1.0	CARDINAL
cet-2315	29	1	epd	ORG
cet-2315	29	2	mcls-1000	DATE
cet-2315	29	3	otsuka electronics	ORG
cet-2315	30	1	els-8000	DATE
cet-2315	30	2	otsuka electronics	ORG
cet-2315	31	1	epd	ORG
cet-2315	31	2	epd	ORG
cet-2315	31	3	2012	DATE
cet-2315	32	1	epd	ORG
cet-2315	32	2	karl fischer	PERSON
cet-2315	32	3	kyoto electronics	ORG
cet-2315	33	1	2.2	CARDINAL
cet-2315	33	2	nippon	GPE
cet-2315	33	3	15-ω	CARDINAL
cet-2315	33	4	epd	ORG
cet-2315	35	1	epd	ORG
cet-2315	35	2	7050	CARDINAL
cet-2315	36	1	epd	ORG
cet-2315	36	2	15-mm	QUANTITY
cet-2315	36	3	7-mm	QUANTITY
cet-2315	36	4	10-mm	QUANTITY
cet-2315	36	5	49 mm2	QUANTITY
cet-2315	36	6	78.5 mm2	QUANTITY
cet-2315	36	7	15 mm	QUANTITY
cet-2315	37	1	150	CARDINAL
cet-2315	37	2	veeco	ORG
cet-2315	37	3	four	CARDINAL
cet-2315	38	1	410	CARDINAL
cet-2315	38	2	uv-2400	ORG
cet-2315	38	3	nps	GPE
cet-2315	40	1	3	CARDINAL
cet-2315	40	2	3.1	CARDINAL
cet-2315	40	3	epd	ORG
cet-2315	40	4	epd	ORG
cet-2315	40	5	ferrari	ORG
cet-2315	40	6	moreno	ORG
cet-2315	40	7	2010	DATE
cet-2315	41	1	1	CARDINAL
cet-2315	41	2	epd	ORG
cet-2315	42	1	2	CARDINAL
cet-2315	42	2	epd	ORG
cet-2315	42	3	1	CARDINAL
cet-2315	43	1	epd	ORG
cet-2315	43	2	epd	ORG
cet-2315	44	1	epd	ORG
cet-2315	44	2	epd	ORG
cet-2315	44	3	1	CARDINAL
cet-2315	45	1	2	CARDINAL
cet-2315	45	2	1	CARDINAL
cet-2315	45	3	four	CARDINAL
cet-2315	45	4	1508	CARDINAL
cet-2315	45	5	1	CARDINAL
cet-2315	45	6	1	CARDINAL
cet-2315	46	1	3.2	CARDINAL
cet-2315	46	2	w	ORG
cet-2315	46	3	epd	ORG
cet-2315	46	4	epd	ORG
cet-2315	46	5	2	CARDINAL
cet-2315	47	1	1	CARDINAL
cet-2315	48	1	epd	ORG
cet-2315	49	1	1	CARDINAL
cet-2315	50	1	epd	ORG
cet-2315	50	2	1	CARDINAL
cet-2315	51	1	2	CARDINAL
cet-2315	51	2	epd	ORG
cet-2315	51	3	60	CARDINAL
cet-2315	51	4	35	CARDINAL
cet-2315	52	1	0.155	CARDINAL
cet-2315	52	2	0.722	CARDINAL
cet-2315	53	1	less than 1	CARDINAL
cet-2315	53	2	titania nps	PERSON
cet-2315	53	3	epd	ORG
cet-2315	54	1	3.3	CARDINAL
cet-2315	54	2	epd	ORG
cet-2315	55	1	0.2	CARDINAL
cet-2315	55	2	0.35	CARDINAL
cet-2315	55	3	3	CARDINAL
cet-2315	55	4	1	CARDINAL
cet-2315	56	1	nps.	GPE
cet-2315	56	2	2	CARDINAL
cet-2315	56	3	epd	ORG
cet-2315	56	4	1	CARDINAL
cet-2315	57	1	1	CARDINAL
cet-2315	57	2	10-5	CARDINAL
cet-2315	57	3	[ μs/cm	QUANTITY
cet-2315	58	1	0.056 92.6 10.7	QUANTITY
cet-2315	58	2	92.1 12.1	CARDINAL
cet-2315	58	3	2	CARDINAL
cet-2315	58	4	35	CARDINAL
cet-2315	58	5	epd	ORG
cet-2315	58	6	60	CARDINAL
cet-2315	58	7	0.155	CARDINAL
cet-2315	58	8	0.350	CARDINAL
cet-2315	58	9	0.2 0.4 0.6 0.8 1	QUANTITY
cet-2315	58	10	100	CARDINAL
cet-2315	58	11	400	CARDINAL
cet-2315	59	1	io	GPE
cet-2315	59	2	epd	ORG
cet-2315	62	1	35	CARDINAL
cet-2315	62	2	1	CARDINAL
cet-2315	62	3	1509	CARDINAL
cet-2315	63	1	p-25 nps	ORG
cet-2315	65	1	3	CARDINAL
cet-2315	66	1	1.90	CARDINAL
cet-2315	66	2	1.9710-5 m3	QUANTITY
cet-2315	66	3	3	CARDINAL
cet-2315	67	1	1	CARDINAL
cet-2315	67	2	epd	ORG
cet-2315	68	1	4	CARDINAL
cet-2315	68	2	epd	ORG
cet-2315	68	3	1	CARDINAL
cet-2315	69	1	epd	ORG
cet-2315	70	1	epd	ORG
cet-2315	71	1	ferrari	ORG
cet-2315	71	2	moreno	ORG
cet-2315	71	3	2010	DATE
cet-2315	71	4	   0	MONEY
cet-2315	71	5	  	PERSON
cet-2315	71	6		ORG
cet-2315	73	1	2	CARDINAL
cet-2315	73	2	epd	ORG
cet-2315	73	3	nicholson	PERSON
cet-2315	73	4	1996	DATE
cet-2315	74	1	1	CARDINAL
cet-2315	74	2	epd	ORG
cet-2315	75	1	4	CARDINAL
cet-2315	75	2	2	CARDINAL
cet-2315	75	3	1	CARDINAL
cet-2315	75	4	1	CARDINAL
cet-2315	76	1	epd	ORG
cet-2315	76	2	5	CARDINAL
cet-2315	77	1	10	CARDINAL
cet-2315	77	2	20 μm	QUANTITY
cet-2315	77	3	5	CARDINAL
cet-2315	77	4	epd	ORG
cet-2315	79	1	4	CARDINAL
cet-2315	80	1	6	CARDINAL
cet-2315	83	1	2009	DATE
cet-2315	83	2	epd	ORG
cet-2315	84	1	6	CARDINAL
cet-2315	85	1	3	CARDINAL
cet-2315	85	2	epd	ORG
cet-2315	86	1	4	CARDINAL
cet-2315	86	2	epd	ORG
cet-2315	87	1	4 5	CARDINAL
cet-2315	87	2	150	CARDINAL
cet-2315	87	3	200el ec	ORG
cet-2315	87	4	1	CARDINAL
cet-2315	87	5	2	CARDINAL
cet-2315	87	6	0.2 0.35	QUANTITY
cet-2315	87	7	162	CARDINAL
cet-2315	87	8	140	CARDINAL
cet-2315	87	9	116	CARDINAL
cet-2315	87	10	93	CARDINAL
cet-2315	87	11	80	CARDINAL
cet-2315	87	12	72	CARDINAL
cet-2315	87	13	108	CARDINAL
cet-2315	90	1	20 80	DATE
cet-2315	90	2	0.2 0.35	CARDINAL
cet-2315	90	3	1510	CARDINAL
cet-2315	90	4	3.4	CARDINAL
cet-2315	90	5	nps	GPE
cet-2315	90	6	4	CARDINAL
cet-2315	90	7	5	DATE
cet-2315	90	8	6	CARDINAL
cet-2315	91	1	nps deposition	GPE
cet-2315	91	2	1	CARDINAL
cet-2315	91	3	2	CARDINAL
cet-2315	91	4	nps	PERSON
cet-2315	91	5	half	CARDINAL
cet-2315	93	1	nps	GPE
cet-2315	93	2	4	CARDINAL
cet-2315	93	3	2	CARDINAL
cet-2315	93	4	0.47	CARDINAL
cet-2315	94	1	a half	CARDINAL
cet-2315	95	1	nps	GPE
cet-2315	95	2	5	CARDINAL
cet-2315	96	1	nps	PERSON
cet-2315	96	2	72	CARDINAL
cet-2315	97	1	6	CARDINAL
cet-2315	97	2	nps	GPE
cet-2315	97	3	5	CARDINAL
cet-2315	98	1	epd	ORG
cet-2315	99	1	6	CARDINAL
cet-2315	101	1	7	CARDINAL
cet-2315	101	2	epd	ORG
cet-2315	101	3	nps	ORG
cet-2315	102	1	8	CARDINAL
cet-2315	103	1	epd	ORG
cet-2315	104	1	162	CARDINAL
cet-2315	104	2	116	CARDINAL
cet-2315	104	3	93	CARDINAL
cet-2315	104	4	72	CARDINAL
cet-2315	104	5	108	CARDINAL
cet-2315	105	1	116	CARDINAL
cet-2315	106	1	93	CARDINAL
cet-2315	106	2	72	DATE
cet-2315	106	3	o	DATE
cet-2315	107	1	m	ORG
cet-2315	107	2	108	CARDINAL
cet-2315	107	3	0 0.5 1 1.5 2	QUANTITY
cet-2315	108	1	nps w	GPE
cet-2315	108	2	0.2	CARDINAL
cet-2315	108	3	40	CARDINAL
cet-2315	108	4	60 80	TIME
cet-2315	112	1	nps w	GPE
cet-2315	113	1	0.2	CARDINAL
cet-2315	113	2	1511	CARDINAL
cet-2315	113	3	nps	PERSON
cet-2315	113	4	108	CARDINAL
cet-2315	115	1	3.5	CARDINAL
cet-2315	115	2	2-methyl-2-propanol	QUANTITY
cet-2315	115	3	epd	ORG
cet-2315	115	4	2-methyl-2-propanol	QUANTITY
cet-2315	116	1	7	CARDINAL
cet-2315	116	2	8	CARDINAL
cet-2315	117	1	epd	ORG
cet-2315	118	1	4.	CARDINAL
cet-2315	118	2	epd	ORG
cet-2315	118	3	epd	ORG
cet-2315	119	1	less than 1	CARDINAL
cet-2315	120	1	round p-25 nps	ORG
cet-2315	121	1	nps	GPE
cet-2315	122	1	2-methyl-2-propanol	QUANTITY
cet-2315	122	2	epd	ORG
cet-2315	123	1	15k06549	CARDINAL
cet-2315	123	2	japan	GPE
cet-2315	124	1	boccaccini a.r.	ORG
cet-2315	124	2	2016	DATE
cet-2315	124	3	j. euro	PRODUCT
cet-2315	125	1	cer	PERSON
cet-2315	126	1	36	CARDINAL
cet-2315	126	2	265	CARDINAL
cet-2315	127	1	dor s.	PERSON
cet-2315	127	2	rühle s.	PERSON
cet-2315	127	3	ofir a.	PERSON
cet-2315	127	4	adler m.	PERSON
cet-2315	127	5	grinis l.	PERSON
cet-2315	127	6	zaban a.	PERSON
cet-2315	127	7	2009	DATE
cet-2315	127	8	tio2	CARDINAL
cet-2315	130	1	342	CARDINAL
cet-2315	130	2	70-75	DATE
cet-2315	131	1	rad m.	PERSON
cet-2315	131	2	2012	DATE
cet-2315	131	3	epd	ORG
cet-2315	131	4	j. am	PERSON
cet-2315	133	1	95	CARDINAL
cet-2315	133	2	3434-3440	CARDINAL
cet-2315	134	1	ferrari b.	PERSON
cet-2315	134	2	moreno r.	PERSON
cet-2315	134	3	2010	DATE
cet-2315	134	4	epd	ORG
cet-2315	134	5	j. euro	PRODUCT
cet-2315	135	1	cer	PERSON
cet-2315	136	1	30	CARDINAL
cet-2315	136	2	1069-1078	CARDINAL
cet-2315	137	1	liang l.	PERSON
cet-2315	137	2	dai s.	PERSON
cet-2315	137	3	hu l.	PERSON
cet-2315	137	4	kong f.	PERSON
cet-2315	137	5	xu w.	PERSON
cet-2315	137	6	wang k., 2006	PERSON
cet-2315	137	7	tio2	GPE
cet-2315	137	8	j. phys	ORG
cet-2315	139	1	110	CARDINAL
cet-2315	139	2	12404-12409	DATE
cet-2315	140	1	liou y.j.	PERSON
cet-2315	140	2	hsiao p.t.	PERSON
cet-2315	141	1	chen l.c.	PERSON
cet-2315	141	2	chu y.y.	PERSON
cet-2315	141	3	teng	PERSON
cet-2315	141	4	2011	DATE
cet-2315	141	5	tio2	GPE
cet-2315	141	6	j. phys	ORG
cet-2315	143	1	115	CARDINAL
cet-2315	143	2	25580-25589	DATE
cet-2315	144	1	ni m.	PERSON
cet-2315	144	2	leung m.k.h.	PERSON
cet-2315	144	3	leung d.y.c.	PERSON
cet-2315	144	4	sumathy k., 2006	PERSON
cet-2315	145	1	90	CARDINAL
cet-2315	145	2	1331-1344	DATE
cet-2315	146	1	ofir a.	PERSON
cet-2315	146	2	dor s.	PERSON
cet-2315	146	3	grinis l.	PERSON
cet-2315	146	4	zaban a.	PERSON
cet-2315	146	5	t.	GPE
cet-2315	146	6	j., 2008	GPE
cet-2315	146	7	tio2	GPE
cet-2315	146	8	j. chem	ORG
cet-2315	148	1	128	CARDINAL
cet-2315	148	2	064703	DATE
cet-2315	149	1	radice s.	PERSON
cet-2315	149	2	bradbury	GPE
cet-2315	149	3	c.r.	GPE
cet-2315	149	4	mischler s.	PERSON
cet-2315	149	5	2010	DATE
cet-2315	149	6	j. euro	PRODUCT
cet-2315	150	1	cer	PERSON
cet-2315	151	1	30	CARDINAL
cet-2315	151	2	1079-1088	DATE
cet-2315	152	1	saito y.	PERSON
cet-2315	152	2	kambe s.	PERSON
cet-2315	152	3	kitamura t.	PERSON
cet-2315	152	4	wada y.	PERSON
cet-2315	152	5	yanagida s.	PERSON
cet-2315	152	6	2004	DATE
cet-2315	152	7	tio2	ORG
cet-2315	153	1	83	DATE
cet-2315	153	2	113	CARDINAL
cet-2315	154	1	sarkar p.	PERSON
cet-2315	154	2	nicholson p.s.	PERSON
cet-2315	154	3	1996	DATE
cet-2315	154	4	epd	ORG
cet-2315	154	5	j. am	PERSON
cet-2315	155	1	79	CARDINAL
cet-2315	155	2	1987-2002	DATE
cet-2315	156	1	shao f.	PERSON
cet-2315	156	2	sun j.	PERSON
cet-2315	156	3	gao l.	PERSON
cet-2315	156	4	chen j.	PERSON
cet-2315	156	5	yang s.	PERSON
cet-2315	156	6	2014	DATE
cet-2315	156	7	tio2	GPE
cet-2315	156	8	rsc adv	PERSON
cet-2315	156	9	4, 7805-7810	DATE
cet-2315	157	1	1512	CARDINAL