id	sid	eid	entity	type
cet-2317	1	1	57	DATE
cet-2317	1	2	2017	DATE
cet-2317	1	3	the italian association of chemical	ORG
cet-2317	1	4	sauro pierucci	ORG
cet-2317	1	5	jiří jaromír klemeš	PERSON
cet-2317	1	6	laura piazza	PERSON
cet-2317	1	7	serafim bakalis	PERSON
cet-2317	1	8	2017	DATE
cet-2317	1	9	aidic servizi s.r.l	ORG
cet-2317	2	1	978	CARDINAL
cet-2317	2	2	issn 2283-9216	PERSON
cet-2317	2	3	maria sarno	PERSON
cet-2317	2	4	rosangela piscitelli*	PERSON
cet-2317	2	5	francesco marra	PERSON
cet-2317	2	6	claudia cirillo	PERSON
cet-2317	2	7	paolo ciambelli	PERSON
cet-2317	2	8	centre nano_mates	ORG
cet-2317	2	9	university of salerno via	ORG
cet-2317	2	10	giovanni paolo ii	PERSON
cet-2317	2	11	132 84084	CARDINAL
cet-2317	2	12	italy	GPE
cet-2317	3	1	first	ORDINAL
cet-2317	4	1	1698,5	DATE
cet-2317	8	1	1	CARDINAL
cet-2317	11	1	hemts	ORG
cet-2317	11	2	100°	QUANTITY
cet-2317	11	3	wang et al	PERSON
cet-2317	12	1	wang et al.	PERSON
cet-2317	12	2	2013	DATE
cet-2317	14	1	zhang et al	PERSON
cet-2317	15	1	zhang et al.	PERSON
cet-2317	15	2	2011	DATE
cet-2317	18	1	2004	DATE
cet-2317	18	2	kim et al.	PERSON
cet-2317	18	3	2001	DATE
cet-2317	18	4	shioya et al.	PERSON
cet-2317	18	5	2007	DATE
cet-2317	18	6	2009	DATE
cet-2317	19	1	lu et al	PERSON
cet-2317	20	1	lu et al.	PERSON
cet-2317	20	2	2012	DATE
cet-2317	21	1	kaur et al	PERSON
cet-2317	22	1	kaur et al.	PERSON
cet-2317	22	2	2014	DATE
cet-2317	24	1	10.3303	CARDINAL
cet-2317	24	2	sarno m.	PERSON
cet-2317	24	3	r.	NORP
cet-2317	24	4	marra f.	PERSON
cet-2317	24	5	2017	DATE
cet-2317	24	6	57	CARDINAL
cet-2317	24	7	15191524	DATE
cet-2317	24	8	10.3303	CARDINAL
cet-2317	24	9	1519	CARDINAL
cet-2317	25	1	first	ORDINAL
cet-2317	27	1	2	CARDINAL
cet-2317	29	1	2009	DATE
cet-2317	31	1	acetylene cvd	PERSON
cet-2317	32	1	third	ORDINAL
cet-2317	33	1	eurotherm 2408	DATE
cet-2317	34	1	99.998	CARDINAL
cet-2317	34	2	99.9990	CARDINAL
cet-2317	36	1	298k	CARDINAL
cet-2317	36	2	200 cm3	QUANTITY
cet-2317	36	3	10%	PERCENT
cet-2317	36	4	5 min	TIME
cet-2317	38	1	1	CARDINAL
cet-2317	38	2	leo 420	PERSON
cet-2317	39	1	20-50	CARDINAL
cet-2317	39	2	1b	CARDINAL
cet-2317	39	3	1c	CARDINAL
cet-2317	40	1	1	CARDINAL
cet-2317	42	1	873k	TIME
cet-2317	42	2	5 min	DATE
cet-2317	42	3	2	CARDINAL
cet-2317	43	1	balandin et al	PERSON
cet-2317	44	1	2008	DATE
cet-2317	46	1	1/(2πh)(∆p/∆t	CARDINAL
cet-2317	47	1	ω	CARDINAL
cet-2317	48	1	1/(2hπ)(dω	TIME
cet-2317	48	2	1	CARDINAL
cet-2317	49	1	1698,5	CARDINAL
cet-2317	50	1	1520	CARDINAL
cet-2317	50	2	2	CARDINAL
cet-2317	50	3	two	CARDINAL
cet-2317	51	1	3	CARDINAL
cet-2317	51	2	3	CARDINAL
cet-2317	51	3	1 mm	QUANTITY
cet-2317	51	4	0.8 mm x mm	QUANTITY
cet-2317	51	5	0.33	CARDINAL
cet-2317	51	6	6 rectangular	QUANTITY
cet-2317	51	7	100 µm x	QUANTITY
cet-2317	51	8	50	CARDINAL
cet-2317	51	9	329	CARDINAL
cet-2317	51	10	6	CARDINAL
cet-2317	51	11	100 x	QUANTITY
cet-2317	51	12	10	CARDINAL
cet-2317	51	13	20	DATE
cet-2317	51	14	30 microns	QUANTITY
cet-2317	51	15	1 cm	QUANTITY
cet-2317	51	16	1 cm	QUANTITY
cet-2317	51	17	0.6 mm	QUANTITY
cet-2317	52	1	− ∇ ∙	ORG
cet-2317	52	2	k𝑖∇t𝑖	PERSON
cet-2317	53	1	2	CARDINAL
cet-2317	54	1	two	CARDINAL
cet-2317	56	1	2	CARDINAL
cet-2317	56	2	3d	CARDINAL
cet-2317	56	3	313.15 k	QUANTITY
cet-2317	58	1	3	CARDINAL
cet-2317	59	1	5.2	CARDINAL
cet-2317	59	2	46843	CARDINAL
cet-2317	59	3	200000 degrees	QUANTITY
cet-2317	60	1	3d	CARDINAL
cet-2317	60	2	2d	CARDINAL
cet-2317	60	3	2009	DATE
cet-2317	61	1	three	CARDINAL
cet-2317	63	1	3	CARDINAL
cet-2317	65	1	1577,88 1725,92	DATE
cet-2317	67	1	100%	PERCENT
cet-2317	67	2	50%	PERCENT
cet-2317	67	3	1521	CARDINAL
cet-2317	67	4	3 watt	QUANTITY
cet-2317	67	5	40°	QUANTITY
cet-2317	67	6	60-3000	CARDINAL
cet-2317	70	1	newton	ORG
cet-2317	71	1	200-300	CARDINAL
cet-2317	71	2	zhang et al	PERSON
cet-2317	72	1	zhang et al.	PERSON
cet-2317	72	2	2011	DATE
cet-2317	76	1	four	CARDINAL
cet-2317	76	2		CARDINAL
cet-2317	76	3		CARDINAL
cet-2317	76	4		CARDINAL
cet-2317	76	5		CARDINAL
cet-2317	78	1	10 µm	MONEY
cet-2317	79	1	4	CARDINAL
cet-2317	79	2	three	CARDINAL
cet-2317	79	3	20, 30	DATE
cet-2317	79	4	40 microns	QUANTITY
cet-2317	80	1	60	CARDINAL
cet-2317	83	1	about 60	CARDINAL
cet-2317	84	1	1200	CARDINAL
cet-2317	84	2	4	CARDINAL
cet-2317	86	1	about 30 °	CARDINAL
cet-2317	87	1	4	CARDINAL
cet-2317	87	2	k=60	PERSON
cet-2317	89	1	10 50	CARDINAL
cet-2317	89	2	170	CARDINAL
cet-2317	90	1	0,79	CARDINAL
cet-2317	90	2	10 micron 30 micron 20 micron	QUANTITY
cet-2317	90	3	70	CARDINAL
cet-2317	90	4	150	CARDINAL
cet-2317	90	5	2050	DATE
cet-2317	90	6	10 micron 20 micron 30 micron	QUANTITY
cet-2317	91	1	1522	CARDINAL
cet-2317	91	2	60 w	MONEY
cet-2317	91	3	about 1250	CARDINAL
cet-2317	93	1	5	CARDINAL
cet-2317	94	1	3d	CARDINAL
cet-2317	94	2	zhang et al	PERSON
cet-2317	95	1	zhang et al.	PERSON
cet-2317	95	2	2011	DATE
cet-2317	96	1	5	CARDINAL
cet-2317	96	2	10 µm	DATE
cet-2317	97	1	300	CARDINAL
cet-2317	97	2	less than 85°	QUANTITY
cet-2317	97	3	6	CARDINAL
cet-2317	100	1	300	CARDINAL
cet-2317	100	2	7	CARDINAL
cet-2317	101	1	7	CARDINAL
cet-2317	103	1	1	CARDINAL
cet-2317	103	2	273	CARDINAL
cet-2317	103	3	6	CARDINAL
cet-2317	103	4	10	CARDINAL
cet-2317	104	1	10	CARDINAL
cet-2317	106	1	40 80	TIME
cet-2317	106	2	0,72	CARDINAL
cet-2317	107	1	40	CARDINAL
cet-2317	108	1	1523	CARDINAL
cet-2317	108	2	7	CARDINAL
cet-2317	108	3	between 6 and 13	CARDINAL
cet-2317	108	4	4	CARDINAL
cet-2317	110	1	60 w	MONEY
cet-2317	110	2	about 1250	CARDINAL
cet-2317	113	1	1	CARDINAL
cet-2317	113	2	273	CARDINAL
cet-2317	113	3	10 µm connection	QUANTITY
cet-2317	114	1	altavilla c.	PERSON
cet-2317	114	2	sarno m.	PERSON
cet-2317	114	3	2009	DATE
cet-2317	116	1	21	CARDINAL
cet-2317	116	2	4851-4858	DATE
cet-2317	117	1	balandin a.a.	PERSON
cet-2317	117	2	ghosh s.	PERSON
cet-2317	117	3	bao w.	PERSON
cet-2317	117	4	calizo i.	PERSON
cet-2317	117	5	teweldebrhan d.	PERSON
cet-2317	117	6	miao f.	PERSON
cet-2317	117	7	lau c.n. 2008	PERSON
cet-2317	117	8	8, 902907	DATE
cet-2317	118	1	bertoluzza f.	PERSON
cet-2317	118	2	delmonte n.	PERSON
cet-2317	118	3	r. 2009	PERSON
cet-2317	118	4	three	CARDINAL
cet-2317	118	5	hemts	ORG
cet-2317	119	1	49	DATE
cet-2317	119	2	468	CARDINAL
cet-2317	119	3	nihei m.	PERSON
cet-2317	119	4	kondo d.	PERSON
cet-2317	119	5	kawabata a.	PERSON
cet-2317	119	6	2004	DATE
cet-2317	120	1	j. appl	PERSON
cet-2317	122	1	43	CARDINAL
cet-2317	122	2	7337-7341	DATE
cet-2317	123	1	kaur s.	PERSON
cet-2317	123	2	raravikar n.	PERSON
cet-2317	123	3	helms b.a.	PERSON
cet-2317	123	4	r.	NORP
cet-2317	123	5	ogletree d.f. 2014	PERSON
cet-2317	123	6	nat	ORG
cet-2317	125	1	5	CARDINAL
cet-2317	125	2	3082	CARDINAL
cet-2317	126	1	kim p.	PERSON
cet-2317	126	2	shi l.	PERSON
cet-2317	126	3	majumdar a.	PERSON
cet-2317	126	4	mceuen p. l. 2001	PERSON
cet-2317	127	1	lett	PERSON
cet-2317	128	1	87, 2155021-2155024	DATE
cet-2317	129	1	shi t.	PERSON
cet-2317	129	2	xia q.	PERSON
cet-2317	129	3	liao g. 2012	PERSON
cet-2317	129	4	therm	PERSON
cet-2317	130	1	eng	PERSON
cet-2317	130	2	36	DATE
cet-2317	130	3	181	CARDINAL
cet-2317	131	1	shioya h.	ORG
cet-2317	131	2	iwai t.	PERSON
cet-2317	131	3	kondo d.	PERSON
cet-2317	131	4	nihei m. awano y.	PERSON
cet-2317	131	5	2007	DATE
cet-2317	132	1	j. appl.phys.	PERSON
cet-2317	132	2	46	DATE
cet-2317	132	3	3139-3143	CARDINAL
cet-2317	133	1	kondo d.	PERSON
cet-2317	133	2	yamaguchi y.	PERSON
cet-2317	133	3	iwai t. 2009	PERSON
cet-2317	133	4	978	CARDINAL
cet-2317	133	5	221	CARDINAL
cet-2317	134	1	wang y. h.	PERSON
cet-2317	134	2	liang y. c.	PERSON
cet-2317	134	3	samundra g. s.	PERSON
cet-2317	134	4	chang t. f.	PERSON
cet-2317	134	5	huang g. h.	PERSON
cet-2317	134	6	yuan l.	PERSON
cet-2317	134	7	lo g. q. 2013	PERSON
cet-2317	134	8	semicond	PERSON
cet-2317	135	1	sci	ORG
cet-2317	135	2	technol	PERSON
cet-2317	135	3	28, 125010	DATE
cet-2317	135	4	10pp	ORDINAL
cet-2317	136	1	zhang w.	PERSON
cet-2317	136	2	huang j. yang s.	PERSON
cet-2317	136	3	gupta p.	PERSON
cet-2317	136	4	2011	DATE
cet-2317	136	5	europe	LOC
cet-2317	136	6	1	CARDINAL
cet-2317	136	7	40	CARDINAL
cet-2317	136	8	6	CARDINAL
cet-2317	136	9	13	CARDINAL
cet-2317	136	10	1524	CARDINAL