id	sid	eid	entity	type
fcis-4147	1	1	2832-6024	DATE
fcis-4147	2	1	2	CARDINAL
fcis-4147	2	2	2	CARDINAL
fcis-4147	2	3	2022 75	DATE
fcis-4147	3	1	kuosheng jiang1,2,3,4	PERSON
fcis-4147	3	2	hui guo5	PERSON
fcis-4147	3	3	dongyang he1,2	ORG
fcis-4147	3	4	ziyang yin1,2	PERSON
fcis-4147	3	5	1	CARDINAL
fcis-4147	3	6	huainan 232001	DATE
fcis-4147	3	7	china 2	ORG
fcis-4147	3	8	anhui university of science and technology	ORG
fcis-4147	3	9	huainan 232001	DATE
fcis-4147	3	10	automobile co., ltd.	ORG
fcis-4147	3	11	huainan 232001	DATE
fcis-4147	3	12	china 4key	ORG
fcis-4147	3	13	nanchang 330013	GPE
fcis-4147	3	14	china	GPE
fcis-4147	3	15	5avic	CARDINAL
fcis-4147	3	16	changsha 410200	GPE
fcis-4147	3	17	china	GPE
fcis-4147	3	18	jie ren	PERSON
fcis-4147	3	19	1447896707@qq.com	CARDINAL
fcis-4147	3	20	576194225@qq.com	CARDINAL
fcis-4147	3	21	3143621962@qq.com	CARDINAL
fcis-4147	12	1	300mm	QUANTITY
fcis-4147	12	2	270mm	QUANTITY
fcis-4147	12	3	the radial assembly	ORG
fcis-4147	13	1	0.2372mm	QUANTITY
fcis-4147	15	1	1	CARDINAL
fcis-4147	17	1	three	CARDINAL
fcis-4147	18	1	two	CARDINAL
fcis-4147	18	2	three	CARDINAL
fcis-4147	18	3	three	CARDINAL
fcis-4147	19	1	two	CARDINAL
fcis-4147	19	2	three	CARDINAL
fcis-4147	19	3	three	CARDINAL
fcis-4147	24	1	gangfeng xiao	PERSON
fcis-4147	27	1	ccd	PRODUCT
fcis-4147	27	2	moraleda	ORG
fcis-4147	28	1	ccd	PRODUCT
fcis-4147	29	1	ccd	PRODUCT
fcis-4147	32	1	japan	GPE
fcis-4147	32	2	76	CARDINAL
fcis-4147	35	1	zhang maowei et al	PERSON
fcis-4147	36	1	θ(y	ORG
fcis-4147	39	1	kühnel et al	PERSON
fcis-4147	40	1	four	CARDINAL
fcis-4147	41	1	4.0	CARDINAL
fcis-4147	43	1	qiangwei bao	PERSON
fcis-4147	44	1	three	CARDINAL
fcis-4147	47	1	jiekanghaw	PERSON
fcis-4147	48	1	minghui hu	PERSON
fcis-4147	55	1	jinfeng liu	PERSON
fcis-4147	58	1	three	CARDINAL
fcis-4147	68	1	2.	CARDINAL
fcis-4147	68	2	2.1	CARDINAL
fcis-4147	73	1	cartesian	NORP
fcis-4147	74	1	2	CARDINAL
fcis-4147	75	1	2	CARDINAL
fcis-4147	75	2	2	CARDINAL
fcis-4147	76	1	11,2	CARDINAL
fcis-4147	77	1	− 𝑧0	PERSON
fcis-4147	77	2	77	CARDINAL
fcis-4147	80	1	𝑏2 =	GPE
fcis-4147	80	2	𝑝)for	ORG
fcis-4147	80	3	linear	ORG
fcis-4147	80	4	vector;(𝑥0	GPE
fcis-4147	80	5	𝑧0	PERSON
fcis-4147	82	1	2.2	CARDINAL
fcis-4147	83	1	𝑅𝑚𝑖𝑛	ORG
fcis-4147	83	2	𝑅𝑚𝑖𝑛	ORG
fcis-4147	84	1	𝑅𝑚𝑎𝑥 − 𝑅𝑚𝑖𝑛.	PERSON
fcis-4147	84	2	y x	PERSON
fcis-4147	84	3	maxr	GPE
fcis-4147	84	4	minr	PERSON
fcis-4147	84	5	2.3	CARDINAL
fcis-4147	85	1	three	CARDINAL
fcis-4147	88	1	2	CARDINAL
fcis-4147	88	2	three	CARDINAL
fcis-4147	89	1	three	CARDINAL
fcis-4147	90	1	3	CARDINAL
fcis-4147	90	2	3.1	CARDINAL
fcis-4147	91	1	3	CARDINAL
fcis-4147	91	2	two	CARDINAL
fcis-4147	91	3	four	CARDINAL
fcis-4147	93	1	more than 0.05mm	QUANTITY
fcis-4147	95	1	3.2	CARDINAL
fcis-4147	96	1	4	CARDINAL
fcis-4147	96	2	three	CARDINAL
fcis-4147	97	1	three	CARDINAL
fcis-4147	99	1	ccd	PRODUCT
fcis-4147	100	1	first	ORDINAL
fcis-4147	100	2	ccd	ORG
fcis-4147	104	1	3d	CARDINAL
fcis-4147	105	1	ccd	PERSON
fcis-4147	105	2	3.3	CARDINAL
fcis-4147	108	1	four	CARDINAL
fcis-4147	110	1	4	CARDINAL
fcis-4147	111	1	4.1	CARDINAL
fcis-4147	112	1	4	CARDINAL
fcis-4147	113	1	japanese	NORP
fcis-4147	113	2	panasonic hl-g103	PERSON
fcis-4147	114	1	4mm	QUANTITY
fcis-4147	114	2	28mm	QUANTITY
fcis-4147	114	3	32mm	QUANTITY
fcis-4147	114	4	200μs	WORK_OF_ART
fcis-4147	115	1	z	ORG
fcis-4147	117	1	300mm	QUANTITY
fcis-4147	117	2	0.01mm	QUANTITY
fcis-4147	117	3	±0.01mm	PERSON
fcis-4147	119	1	one	CARDINAL
fcis-4147	120	1	140 mm~260 mm	QUANTITY
fcis-4147	122	1	4.1.1	CARDINAL
fcis-4147	122	2	ccd	ORG
fcis-4147	123	1	180°	QUANTITY
fcis-4147	124	1	𝑅0	LOC
fcis-4147	124	2	2	CARDINAL
fcis-4147	125	1	2𝑅0	CARDINAL
fcis-4147	125	2	two	CARDINAL
fcis-4147	125	3	𝐴(𝑥𝑚𝑎𝑥	ORDINAL
fcis-4147	125	4	𝑦𝑚𝑎𝑥	GPE
fcis-4147	125	5	𝑥𝑚𝑎𝑥	EVENT
fcis-4147	125	6	∗ cos 𝜃1 𝑦𝑚𝑎𝑥	ORG
fcis-4147	125	7	∗	CARDINAL
fcis-4147	125	8	79	CARDINAL
fcis-4147	125	9	∗ cos	ORG
fcis-4147	125	10	2	CARDINAL
fcis-4147	125	11	∗	CARDINAL
fcis-4147	125	12	2	CARDINAL
fcis-4147	125	13	2	CARDINAL
fcis-4147	125	14	⃗	ORG
fcis-4147	126	1	0	CARDINAL
fcis-4147	126	2	0r	CARDINAL
fcis-4147	127	1	4.1.2	CARDINAL
fcis-4147	127	2	z	ORG
fcis-4147	128	1	240mm	QUANTITY
fcis-4147	128	2	10mm	QUANTITY
fcis-4147	128	3	20	CARDINAL
fcis-4147	129	1	3r	CARDINAL
fcis-4147	129	2	100,000	CARDINAL
fcis-4147	132	1	2𝜋	CARDINAL
fcis-4147	132	2	first	ORDINAL
fcis-4147	133	1	4.1.3	CARDINAL
fcis-4147	134	1	the nth row	DATE
fcis-4147	134	2	𝑦𝑁𝑖	GPE
fcis-4147	134	3	∗ cos	ORG
fcis-4147	134	4	𝑦𝑁𝑖	GPE
fcis-4147	134	5	∗	CARDINAL
fcis-4147	134	6	240	CARDINAL
fcis-4147	134	7	10𝑁	ORDINAL
fcis-4147	134	8	𝑦𝑁𝑖	GPE
fcis-4147	134	9	1	CARDINAL
fcis-4147	134	10	2	DATE
fcis-4147	134	11	3	DATE
fcis-4147	134	12	1	CARDINAL
fcis-4147	134	13	2	DATE
fcis-4147	134	14	3	DATE
fcis-4147	134	15	4.2	CARDINAL
fcis-4147	135	1	20	CARDINAL
fcis-4147	136	1	8	CARDINAL
fcis-4147	138	1	fig.	DATE
fcis-4147	139	1	9	CARDINAL
fcis-4147	140	1	1149.9129-149.675710.2372	DATE
fcis-4147	142	1	8	CARDINAL
fcis-4147	142	2	2 4 6 8	DATE
fcis-4147	142	3	149.65	CARDINAL
fcis-4147	142	4	149.7	CARDINAL
fcis-4147	142	5	149.8	CARDINAL
fcis-4147	142	6	149.85	CARDINAL
fcis-4147	142	7	section 149.9129 149.6757	LAW
fcis-4147	143	1	9	CARDINAL
fcis-4147	143	2	5	CARDINAL
fcis-4147	145	1	70-800mm	QUANTITY
fcis-4147	145	2	30-350mm	QUANTITY
fcis-4147	146	1	80	CARDINAL
fcis-4147	146	2	china	GPE
fcis-4147	146	3	2020yfb1314203	CARDINAL
fcis-4147	146	4	2020yfb1314103	CARDINAL
fcis-4147	146	5	klce2021-05	PERSON
fcis-4147	146	6	jiangxi provincial department of education	ORG
fcis-4147	146	7	gjj210639	GPE
fcis-4147	146	8	the ministry of education	ORG
fcis-4147	146	9	20220100621	DATE
fcis-4147	146	10	anhui university of science	ORG
fcis-4147	146	11	2021cx2050	CARDINAL
fcis-4147	147	1	1	CARDINAL
fcis-4147	149	1	1992	DATE
fcis-4147	149	2	32(1-2):247253	DATE
fcis-4147	150	1	2	CARDINAL
fcis-4147	150	2	liu w	PERSON
fcis-4147	150	3	zhou x	PERSON
fcis-4147	150	4	hu y	PERSON
fcis-4147	151	1	three	CARDINAL
fcis-4147	152	1	2019	DATE
fcis-4147	152	2	59(3	DATE
fcis-4147	153	1	3	CARDINAL
fcis-4147	153	2	yusof y	PERSON
fcis-4147	153	3	latif k	PERSON
fcis-4147	154	1	2022(195-):195	CARDINAL
fcis-4147	155	1	4	CARDINAL
fcis-4147	155	2	zong z	GPE
fcis-4147	155	3	yang j	PERSON
fcis-4147	156	1	2022	CARDINAL
fcis-4147	156	2	169:108641-	CARDINAL
fcis-4147	157	1	5	CARDINAL
fcis-4147	157	2	saif y, yusof y	PERSON
fcis-4147	157	3	latif k	PERSON
fcis-4147	158	1	2022(195-):195	CARDINAL
fcis-4147	159	1	6	CARDINAL
fcis-4147	159	2	gangfeng xiao	PERSON
fcis-4147	159	3	yongting li	PERSON
fcis-4147	160	1	148	CARDINAL
fcis-4147	160	2	2019	CARDINAL
fcis-4147	160	3	106881	DATE
fcis-4147	161	1	7	CARDINAL
fcis-4147	161	2	orte m.	PERSON
fcis-4147	162	1	1999(3):6	CARDINAL
fcis-4147	163	1	8	CARDINAL
fcis-4147	164	1	mechatronics	ORG
fcis-4147	164	2	2002	DATE
fcis-4147	164	3	12(5):713-736	CARDINAL
fcis-4147	165	1	9	CARDINAL
fcis-4147	165	2	chunyu shao	PERSON
fcis-4147	165	3	yongmeng liu	PERSON
fcis-4147	165	4	ruirui li	PERSON
fcis-4147	165	5	2022	CARDINAL
fcis-4147	165	6	four-degree-of	QUANTITY
fcis-4147	166	1	33:9	CARDINAL
fcis-4147	166	2	26-may2022	MONEY
fcis-4147	167	1	10	CARDINAL
fcis-4147	167	2	m. kühnel	PERSON
fcis-4147	167	3	v. ullmann	PERSON
fcis-4147	167	4	u. gerhardt	PERSON
fcis-4147	168	1	two	CARDINAL
fcis-4147	169	1	sci	ORG
fcis-4147	169	2	technol	PERSON
fcis-4147	170	1	23	CARDINAL
fcis-4147	170	2	7	CARDINAL
fcis-4147	170	3	2012	DATE
fcis-4147	170	4	074016	DATE
fcis-4147	171	1	11	CARDINAL
fcis-4147	171	2	zhao g	PERSON
fcis-4147	171	3	yu y	PERSON
fcis-4147	174	1	12	CARDINAL
fcis-4147	174	2	jiekang haw	PERSON
fcis-4147	174	3	swee leong	PERSON
fcis-4147	174	4	zhong hong liu	PERSON
fcis-4147	175	1	13	CARDINAL
fcis-4147	175	2	minghui hu	PERSON
fcis-4147	175	3	xinzhi lin	PERSON
fcis-4147	175	4	chinese	NORP
fcis-4147	175	5	2022,7	CARDINAL
fcis-4147	176	1	14	CARDINAL
fcis-4147	176	2	jinfeng liu	PERSON
fcis-4147	176	3	xiaojian wen	PERSON
fcis-4147	176	4	honggen zhou	PERSON
fcis-4147	177	1	54	CARDINAL
fcis-4147	177	2	2022	CARDINAL
fcis-4147	178	1	15	CARDINAL
fcis-4147	178	2	xue yujun	PERSON
fcis-4147	178	3	chang weihang	PERSON
fcis-4147	178	4	lei xianqing	PERSON
fcis-4147	180	1	chinese	NORP
fcis-4147	181	1	16	CARDINAL
fcis-4147	181	2	tao fei	PERSON
fcis-4147	181	3	liu weiran	PERSON
fcis-4147	181	4	zhang meng.	PERSON
fcis-4147	182	1	five	CARDINAL
fcis-4147	182	2	ten	CARDINAL
fcis-4147	183	1	2019	DATE
fcis-4147	183	2	25	DATE
fcis-4147	183	3	01	DATE
fcis-4147	183	4	118	CARDINAL
fcis-4147	184	1	10.13196	CARDINAL
fcis-4147	184	2	carroll ims 2019.01.001	ORG
fcis-4147	185	1	chinese	NORP
