id	author	title	date	pages	extension	mime	words	sentence	flesch	summary	cache	txt
gs-736	Kurashvili, Ia; Melashvili, Tatiana ; Gogolashvili, Nargiza; Chubinidze, George; Kadaria, Marina; David Mkheidze ; George Darsavelidze	Influence of mechanical polishing on the physical-mechanical properties of monocrystalline p-SiGe substrates	2022	8	.pdf	application/pdf	1681	55	73	Georgian Scientists/ქართველი მეცნიერები ტ. 4 N 1, 2022 65 Georgian Scientists ქართველი მეცნიერები Vol. 4 Issue 1, 2022 https://doi.org/10.52340/gs.2022.04.01.07 მექანიკური პოლირების გავლენა მონოკრისტალური p-SiGe ფუძეშრეების ფიზიკურ-მექანიკური თვისებებზე ია ყურაშვილი1, ტატიანა მელაშვილი, ნარგიზა გოგოლაშვილი, გიორგი ჩუბინიძე, მარინა ქადარია, დავით მხეიძე, გიორგი დარსაველიძე სოხუმის ილია ვეკუას ფიზიკა-ტექნიკის ინსტიტუტი, თბილისი, საქართველო 1ელ-ფოსტა: iakurashvili80@gmail.com; https://orcid.org/0000-0003-4175-1946 ანოტაცია. შესწავლილია მექანიკური პოლირების გავლენა მონოკრისტალური p-SiGe შენადნობების ფუძეშრეების სტრუქტურულად-მგრძნობიარე ფიზიკურ თვისებებზე. ნაჩვენებია სხვადასხვა დისპერსულობის ალმასის ნაწილაკების შემცველი მაპოლირებელი კომპოზიციით დამუშავებული SiGe ფუძეშრეების (111) ორიენტაციის ზედაპირებზე ელექტრული მახასიათებლების, ინფრაწითელი გამოსხივების ოპტიკური შთანთქმის სპექტრების, შინაგანი ხახუნისა და ძვრის მოდულის მნიშვნელობების არამონოტონური ცვლილებები. პოლირების პროცესში წარმოქმნილი დეფექტები ურთიერთქმედებენ მალეგირებელი ბორისა და ტექნოლოგიური წარმოშობის ჟანგბადისა და ნახშირბადის ატომებთან. ოთახის ტემპერატურის პირობებში მექანიკური დამუშავების პროცესში მიმდინარეობს დეფორმაციული წარმოშობის დეფექტების ფორმირება. ინფრაწითელი გამოსხივების შთანთქმის სპექტრებში გამოვლენილია კრისტალურ მესერში არსებული ნახშირბადისა და ჟანგბადის ატომების კონცენტრაციის შემცირება და Ci-Cs, Ci-Oi, V-O დეფექტები. ნავარაუდევია, რომ SiGe ფუძეშრეების (111) სიბრტყეებზე ელექტროფიზიკური და ფიზიკურ- რხევების მილევის ლოგარითმული დეკრემენტისა და სიხშირის რეგისტრაციით განსაზღვრულია სხვადასხვა ხარისხით პოლირებული ნიმუშების შინაგანი ხახუნის ინტენსივობისა და ძვრის დინამიური მოდულის სიდიდეები. ელექტრული მახასიათებლების დადგენის მიზნით ჰოლის ეფექტის რეგისტრაცია განხორციელდა Ecopia HMS-3000 სისტემის დანადგარზე. ნახ.1-ზე წარმოდგენილია (111) ორიენტაციის სხვადასხვა შედგენილობის p-SiGe შენადნობების 0,5 მმ სისქის ფირების დენის მატარებლების კონცენტრაციის დამოკიდებულება მაპოლირებელი ალმასის პასტების დისპერსულობაზე. Georgian Scientists/ქართველი მეცნიერები ტ. 4 N 1, 2022 67 ნახ.1.	cache/gs-736.pdf	txt/gs-736.txt