id	sid	eid	entity	type
gs-1672	1	1	georgian	NORP
gs-1672	1	2	მეცნიერები	GPE
gs-1672	1	3	5	CARDINAL
gs-1672	1	4	2023	CARDINAL
gs-1672	1	5	41	CARDINAL
gs-1672	1	6	georgian	NORP
gs-1672	1	7	მეცნიერები	GPE
gs-1672	2	1	5	CARDINAL
gs-1672	2	2	2	CARDINAL
gs-1672	2	3	2023	CARDINAL
gs-1672	2	4	გავლენა	GPE
gs-1672	2	5	გავლენა	GPE
gs-1672	2	6	111	CARDINAL
gs-1672	2	7	1.1013	CARDINAL
gs-1672	2	8	მოდულისა	GPE
gs-1672	2	9	ინდენტორის	GPE
gs-1672	2	10	უბანზე	PERSON
gs-1672	2	11	ნაწილობრივი ამორფიზაციისა	GPE
gs-1672	3	1	მეტასტაბილურ	DATE
gs-1672	3	2	ტენდენციას საშუალო საკონტაქტო წნევის	PERSON
gs-1672	4	1	მონოკრისტალური სილიციუმი	GPE
gs-1672	4	2	10-15	CARDINAL
gs-1672	4	3	განმავლობაში	GPE
gs-1672	4	4	ელექტროფიზიკური	PERSON
gs-1672	5	1	9	CARDINAL
gs-1672	6	1	si-ii	ORG
gs-1672	6	2	~20%	PERCENT
gs-1672	6	3	georgian	GPE
gs-1672	6	4	მეცნიერები	GPE
gs-1672	6	5	5	CARDINAL
gs-1672	6	6	2023 42	CARDINAL
gs-1672	7	1	1,2	CARDINAL
gs-1672	8	1	წნევებით განხორციელებული si-i → si-ii	PERSON
gs-1672	9	1	3,4	CARDINAL
gs-1672	10	1	si-ii	PERSON
gs-1672	10	2	ფაზა შესაძლებელია გარდაიქმნას si-i-საგან	PERSON
gs-1672	10	3	მდგომარეობა მნიშვნელოვნადაა	GPE
gs-1672	10	4	10-16	CARDINAL
gs-1672	10	5	დიაპაზონის	NORP
gs-1672	10	6	სიჩქარით	GPE
gs-1672	10	7	12	CARDINAL
gs-1672	10	8	ინტერვალში si-ii	PERSON
gs-1672	11	1	si-ii	PERSON
gs-1672	11	2	9%-ით	CARDINAL
gs-1672	12	1	5	CARDINAL
gs-1672	13	1	გარეშე	DATE
gs-1672	14	1	6	CARDINAL
gs-1672	15	1	მდგომარეობაში	GPE
gs-1672	16	1	7	CARDINAL
gs-1672	17	1	სტრუქტურაში	GPE
gs-1672	17	2	არის	FAC
gs-1672	17	3	8,9	CARDINAL
gs-1672	17	4	si-ii	PERSON
gs-1672	17	5	asi	ORG
gs-1672	18	1	განტვირთვისას შესაძლებელია ინდენტორის ქვეშ	ORG
gs-1672	18	2	si-iii	PERSON
gs-1672	18	3	si-iii ფაზური	PERSON
gs-1672	18	4	bcc	ORG
gs-1672	19	1	ამჟამად არსებული მონოკრისტალური სილიციუმის	ORG
gs-1672	19	2	გავლენა	GPE
gs-1672	19	3	ფიზიკური	DATE
gs-1672	20	1	ფოსფორით	PERSON
gs-1672	20	2	111	CARDINAL
gs-1672	20	3	ორმხრივ პოლირებული ფირფიტები სისქით	PERSON
gs-1672	20	4	≈ 500	CARDINAL
gs-1672	20	5	111	CARDINAL
gs-1672	20	6	5 georgian scientists/ქართველი	PERCENT
gs-1672	20	7	მეცნიერები	GPE
gs-1672	20	8	5	CARDINAL
gs-1672	20	9	2023 43 6ნმ-ს.	DATE
gs-1672	20	10	12მევ	CARDINAL
gs-1672	21	1	დინამიურ ულტრა	PERSON
gs-1672	21	2	ინდენტორზე დატვირთვისა	ORG
gs-1672	22	1	ყოველ მაქსიმალურ დატვირთვაზე	ORG
gs-1672	22	2	10წმ	DATE
gs-1672	22	3	5წმ.	CARDINAL
gs-1672	22	4	ფიქსირებულ მაქსიმალურ დატვირთვებზე დინამიურ	ORG
gs-1672	23	1	გრაფიკებზე	GPE
gs-1672	24	1	შორის განისაზღვრება	PERSON
gs-1672	24	2	ინდენტორზე დატვირთვა	PERSON
gs-1672	25	1	≈ 24.5	CARDINAL
gs-1672	25	2	სადაც	PERSON
gs-1672	26	1	დრეკადი	ORG
gs-1672	27	1	სადაც	PERSON
gs-1672	27	2	𝑃𝑚𝑎𝑥 𝑆	PERSON
gs-1672	27	3	0.75	CARDINAL
gs-1672	27	4	საცდელ ნიმუშზე	PERSON
gs-1672	27	5	განისაზღვრება ნიმუშზე განტვირთვის	PERSON
gs-1672	28	1	10	CARDINAL
gs-1672	29	1	2	CARDINAL
gs-1672	29	2	0.5	CARDINAL
gs-1672	29	3	1	CARDINAL
gs-1672	31	1	1𝜐𝑖	ORDINAL
gs-1672	31	2	2	CARDINAL
gs-1672	32	1	11	CARDINAL
gs-1672	32	2	მოდულისა და	ORG
gs-1672	32	3	სადაც გამოყენებულია	PERSON
gs-1672	32	4	მნიშვნელობები	ORG
gs-1672	33	1	1140	CARDINAL
gs-1672	33	2	0.07	CARDINAL
gs-1672	34	1	130	CARDINAL
gs-1672	34	2	0.28	CARDINAL
gs-1672	34	3	100	CARDINAL
gs-1672	35	1	12	CARDINAL
gs-1672	36	1	მაღალი ხარისხით	ORG
gs-1672	36	2	პოლირებული სილიციუმის	PERSON
gs-1672	36	3	100	CARDINAL
gs-1672	37	1	0.5	CARDINAL
gs-1672	37	2	hms-3000	DATE
gs-1672	38	1	ხელსაწყოზე. საწყის	GPE
gs-1672	38	2	მდგომარეობაში ნიმუშები ხასიათდებიან	EVENT
gs-1672	38	3	104	CARDINAL
gs-1672	38	4	4.5	CARDINAL
gs-1672	39	1	georgian	NORP
gs-1672	39	2	მეცნიერები	GPE
gs-1672	39	3	5	CARDINAL
gs-1672	39	4	2023 44	DATE
gs-1672	39	5	მონიკრისტალური n-si-ის	PERSON
gs-1672	39	6	100მნ.	CARDINAL
gs-1672	39	7	50მნ	ORDINAL
gs-1672	40	1	ინდენტორის	NORP
gs-1672	40	2	100	CARDINAL
gs-1672	40	3	ინდენტორის ნიმუშის სიღრმეში	ORG
gs-1672	40	4	რაც მიუთითებს	PERSON
gs-1672	40	5	მაქსიმალური დატვირთვის	GPE
gs-1672	40	6	100	CARDINAL
gs-1672	40	7	ინდენტორის განტვირთვის შემდეგ ნარჩენი	PERSON
gs-1672	40	8	უწყვეტი დატვირთვის	GPE
gs-1672	40	9	არის	LOC
gs-1672	40	10	მაქსიმალური დატვირთვაზე. ამავე	PERSON
gs-1672	40	11	უბანზე გრაფიკებზე	PERSON
gs-1672	40	12	ცვლილება	DATE
gs-1672	40	13	მიანიშნებს ინდენტორზე განვითარებული	ORG
gs-1672	41	1	13,14	CARDINAL
gs-1672	41	2	ინდენტორზე დატვირთვის	GPE
gs-1672	41	3	სიჩქარის მეტად დაბალი	WORK_OF_ART
gs-1672	41	4	საწყის	NORP
gs-1672	41	5	ეტაპზე გრაფიკებზე	PERSON
gs-1672	41	6	25	CARDINAL
gs-1672	41	7	მახლობლობაში გამოვლინდა პლატო	ORG
gs-1672	41	8	მიუთითებს დეფორმაციის არადრეკადი მდგენელის განვითარებას.	ORG
gs-1672	41	9	georgian	NORP
gs-1672	41	10	მეცნიერები	GPE
gs-1672	41	11	5	CARDINAL
gs-1672	41	12	2023 45	DATE
gs-1672	41	13	15	CARDINAL
gs-1672	41	14	გრაფიკზე	GPE
gs-1672	41	15	მიეწერება ფაზურ გარდაქმნებთან	ORG
gs-1672	41	16	დაკავშირებულ პლასტიკურ დეფორმაციას	ORG
gs-1672	41	17	ინდენტორის ქვეშ	ORG
gs-1672	43	1	50	CARDINAL
gs-1672	43	2	100	CARDINAL
gs-1672	43	3	დატვირთვებით წარმოქმნილი	PERSON
gs-1672	44	1	გარდაქმნებით	PERSON
gs-1672	44	2	ლოკალიზებულ არეში	PERSON
gs-1672	44	3	1014	CARDINAL
gs-1672	47	1	2	CARDINAL
gs-1672	49	1	12	CARDINAL
gs-1672	49	2	ენერგიის ელექტრონებით	GPE
gs-1672	49	3	მონოკრისტალური n	PERSON
gs-1672	49	4	100მნ.	CARDINAL
gs-1672	49	5	50მნ.	CARDINAL
gs-1672	49	6	იდენტიფიკაციაში	GPE
gs-1672	50	1	რომელიც უმნიშვნელოდ იცვლება	PERSON
gs-1672	50	2	სიჩქარის	GPE
gs-1672	50	3	georgian	NORP
gs-1672	50	4	მეცნიერები	GPE
gs-1672	50	5	5	CARDINAL
gs-1672	50	6	2023 46	DATE
gs-1672	50	7	3	CARDINAL
gs-1672	50	8	მონოკრისტალური n-si-ის	PERSON
gs-1672	52	1	100მნ.	CARDINAL
gs-1672	52	2	50მნ.	CARDINAL
gs-1672	52	3	3-ზე	CARDINAL
gs-1672	52	4	ინდენტორის	GPE
gs-1672	52	5	5-5.5	CARDINAL
gs-1672	52	6	1014	CARDINAL
gs-1672	52	7	არსებით	PERSON
gs-1672	53	1	სუსტი	GPE
gs-1672	54	1	4	CARDINAL
gs-1672	54	2	12	CARDINAL
gs-1672	54	3	ენერგიის ელექტრონებით	GPE
gs-1672	54	4	მონოკრისტალური n	PERSON
gs-1672	55	1	100მნ.	CARDINAL
gs-1672	55	2	50მნ.	CARDINAL
gs-1672	55	3	georgian	NORP
gs-1672	55	4	მეცნიერები	GPE
gs-1672	55	5	5	CARDINAL
gs-1672	55	6	2023 47	DATE
gs-1672	55	7	მოდულის	DATE
gs-1672	55	8	გამოანგარიშებით მიღებულია	GPE
gs-1672	55	9	50	CARDINAL
gs-1672	55	10	მაქსიმალური დატვირთვის შემთხვევაში	ORG
gs-1672	55	11	e=185.8	ORG
gs-1672	55	12	~1013სმ-2	PRODUCT
gs-1672	55	13	მოდულის	DATE
gs-1672	55	14	50	CARDINAL
gs-1672	55	15	დატვირთვაზე ის	ORG
gs-1672	55	16	190.2 გპა.	MONEY
gs-1672	55	17	მოდულის	DATE
gs-1672	55	18	დაბალი ფლუენსით. ექსპერიმენტულად	ORG
gs-1672	55	19	ელექტროფიზიკური	PERSON
gs-1672	55	20	განსაკუთრებით	GPE
gs-1672	55	21	სტრუქტურულად მგრძნობიარე	PERSON
gs-1672	55	22	რამანის სპექტროსკოპიის მეთოდებით. ლიტერატურა 1	ORG
gs-1672	56	1	j.c jamieson	PERSON
gs-1672	56	2	139	CARDINAL
gs-1672	56	3	1963	DATE
gs-1672	56	4	762-766	CARDINAL
gs-1672	56	5	2	CARDINAL
gs-1672	56	6	j.z.hu	GPE
gs-1672	58	1	4679-4683	DATE
gs-1672	59	1	3	CARDINAL
gs-1672	59	2	j.crain	NORP
gs-1672	59	3	1994	DATE
gs-1672	59	4	1304313047	DATE
gs-1672	60	1	4	CARDINAL
gs-1672	60	2	j.r.macklean	NORP
gs-1672	60	3	s.j.clark	GPE
gs-1672	61	1	b52	ORG
gs-1672	61	2	1995	DATE
gs-1672	61	3	4072-4076	QUANTITY
gs-1672	62	1	y.g.gogotsi	PERSON
gs-1672	64	1	81	DATE
gs-1672	64	2	1997	DATE
gs-1672	64	3	3057-3064	CARDINAL
gs-1672	65	1	6	CARDINAL
gs-1672	66	1	1982	DATE
gs-1672	66	2	5668-5674	DATE
gs-1672	67	1	7	CARDINAL
gs-1672	68	1	17 (1964	DATE
gs-1672	68	2	752-757	QUANTITY
gs-1672	69	1	8	CARDINAL
gs-1672	69	2	y.gogotsi	DATE
gs-1672	70	1	i.rev.adv.mater.sci	DATE
gs-1672	71	1	3 (2002	DATE
gs-1672	71	2	1-36	DATE
gs-1672	72	1	9	CARDINAL
gs-1672	74	1	behau mater.	PERSON
gs-1672	74	2	26(12),(2017	CARDINAL
gs-1672	74	3	65	CARDINAL
gs-1672	74	4	10	CARDINAL
gs-1672	76	1	1192	CARDINAL
gs-1672	77	1	11	CARDINAL
gs-1672	78	1	51,3,2012	CARDINAL
gs-1672	78	2	309	CARDINAL
gs-1672	79	1	georgian	NORP
gs-1672	79	2	მეცნიერები	GPE
gs-1672	79	3	5	CARDINAL
gs-1672	79	4	2023 48 12	DATE
gs-1672	80	1	c.r.das	PRODUCT
gs-1672	82	1	96,2010	CARDINAL
gs-1672	82	2	253113-1253113-3	DATE
gs-1672	82	3	li chang	PERSON
gs-1672	82	4	liangehi zhang	PERSON
gs-1672	82	5	2009	DATE
gs-1672	82	6	125	CARDINAL
gs-1672	83	1	14	CARDINAL
gs-1672	85	1	118	CARDINAL
gs-1672	85	2	2017	DATE
gs-1672	85	3	095502-1-095502-5	DATE
gs-1672	85	4	15	CARDINAL
gs-1672	86	1	lin wang	PERSON
gs-1672	86	2	k.ma	PERSON
gs-1672	86	3	deren yang	PERSON
gs-1672	86	4	materialla	PERSON
gs-1672	86	5	64	DATE
gs-1672	86	6	2014	DATE
gs-1672	86	7	832	CARDINAL
gs-1672	87	1	n-si giorgi darsavelidze	ORG
gs-1672	87	2	avtandil sichinava	PERSON
gs-1672	87	3	kakhaber shamatava	PERSON
gs-1672	87	4	marina kadaria	PERSON
gs-1672	87	5	roman abramishvili	PERSON
gs-1672	87	6	ilia vekua sukhumi institute of physics	PERSON
gs-1672	87	7	tbilisi	GPE
gs-1672	87	8	georgia	GPE
gs-1672	87	9	111	CARDINAL
gs-1672	88	1	1.1013	CARDINAL
gs-1672	91	1	4-5.5 gpa	MONEY
gs-1672	92	1	vickers indenter	ORG