id	sid	eid	entity	type
gs-1688	1	1	georgian	NORP
gs-1688	1	2	მეცნიერები	GPE
gs-1688	1	3	5	CARDINAL
gs-1688	1	4	2023 63	DATE
gs-1688	1	5	georgian	NORP
gs-1688	1	6	მეცნიერები	GPE
gs-1688	2	1	5	CARDINAL
gs-1688	2	2	2	CARDINAL
gs-1688	2	3	2023	CARDINAL
gs-1688	2	4	გავლენა p-sige	ORG
gs-1688	2	5	ნაწილაკებით	GPE
gs-1688	2	6	გავლენა p-sige	ORG
gs-1688	2	7	111	CARDINAL
gs-1688	2	8	დინამიურ მექანიკურ	ORG
gs-1688	2	9	დენის	GPE
gs-1688	2	10	მატარებელი	DATE
gs-1688	2	11	კონცენტრაციის	NORP
gs-1688	2	12	მეტად გამოვლინება	PERSON
gs-1688	2	13	ნაწილაკებით დასხივებულ	PERSON
gs-1688	2	14	კრიტიკული ამპლიტუდური დეფორმაციისა	ORG
gs-1688	2	15	ზღვრის	NORP
gs-1688	2	16	1,5-1,8-ჯერ	CARDINAL
gs-1688	2	17	ძვრის დინამიური	LOC
gs-1688	2	18	მოდულის	DATE
gs-1688	2	19	აბსოლუტური	TIME
gs-1688	2	20	მესერში ქმნიან	ORG
gs-1688	2	21	დამამუხრუჭებელ დამატებით ცენტრებს	PERSON
gs-1688	2	22	იწვევენ რადიაციული	ORG
gs-1688	2	23	მეტად არის	PERSON
gs-1688	2	24	სილიციუმი	GPE
gs-1688	2	25	ძვრის მოდული	GPE
gs-1688	2	26	georgian	NORP
gs-1688	2	27	მეცნიერები	GPE
gs-1688	2	28	5	CARDINAL
gs-1688	2	29	2023 64	DATE
gs-1688	2	30	10-15	CARDINAL
gs-1688	2	31	განმავლობაში	ORG
gs-1688	2	32	ფართო	NORP
gs-1688	3	1	იზოვალენტური გერმანიუმით	PERSON
gs-1688	3	2	აუმჯობესებს სილიციუმის	PERSON
gs-1688	4	1	1	CARDINAL
gs-1688	5	1	აღნიშნულიდან	PERSON
gs-1688	5	2	გამომდინარე	GPE
gs-1688	5	3	მუდმივი	NORP
gs-1688	5	4	ინტერესი სილიციუმისა	GPE
gs-1688	5	5	საფუძველზე	DATE
gs-1688	5	6	ტექნოლოგიებში გერმანიუმითა	PERSON
gs-1688	5	7	ერთობლივად დოპირებული სილიციუმის	PERSON
gs-1688	6	1	2	CARDINAL
gs-1688	7	1	1016	CARDINAL
gs-1688	7	2	დოპირება იწვევს მონოკრისტალურ si	ORG
gs-1688	7	3	ამცირებს	CARDINAL
gs-1688	8	1	3	CARDINAL
gs-1688	10	1	4	CARDINAL
gs-1688	10	2	4-9)1019	DATE
gs-1688	10	3	თვისებებს.	CARDINAL
gs-1688	10	4	si და sige	ORG
gs-1688	10	5	sige	DATE
gs-1688	10	6	p-si+2ატ.%ge	ORG
gs-1688	10	7	ელექტროფიზიკური	PERSON
gs-1688	10	8	111	CARDINAL
gs-1688	10	9	5.1012სმ-2	CARDINAL
gs-1688	10	10	ნაწილაკებით	GPE
gs-1688	10	11	მესერში წარმოქმნის	ORG
gs-1688	10	12	ci	PERSON
gs-1688	10	13	sii	PERSON
gs-1688	12	1	5	CARDINAL
gs-1688	12	2	დეფექტები თერმულად მდგრადია	ORG
gs-1688	12	3	5	CARDINAL
gs-1688	12	4	ელექტროფიზიკური მახასიათებლების	PERSON
gs-1688	12	5	დენის	PERSON
gs-1688	12	6	მნიშვნელობები	ORG
gs-1688	12	7	hms-3000	DATE
gs-1688	12	8	განხორციელდა ოპტიკურ მიკროსკოპზე nmm-80rf	ORG
gs-1688	13	1	სიხშირის 0,5-5,0	ORG
gs-1688	13	2	ხახუნის ფონის შეფასება ამპლიტუდური დეფორმაციის	ORG
gs-1688	13	3	10-5-5.10-3	CARDINAL
gs-1688	13	4	georgian	NORP
gs-1688	13	5	მეცნიერები	GPE
gs-1688	13	6	5	CARDINAL
gs-1688	13	7	2023 65	DATE
gs-1688	13	8	მოდულის	DATE
gs-1688	13	9	აბსოლუტური სიდიდე	PERSON
gs-1688	13	10	სადაც g0	PERSON
gs-1688	13	11	ვანადიუმი	GPE
gs-1688	13	12	ძვრის მოდულისა	GPE
gs-1688	13	13	ძვრის მოდულისა	GPE
gs-1688	13	14	სიხშირის	GPE
gs-1688	13	15	საფუძველზე	DATE
gs-1688	13	16	𝜎	CARDINAL
gs-1688	13	17	არის	LANGUAGE
gs-1688	14	1	10	CARDINAL
gs-1688	15	1	მდგომარეობაში	GPE
gs-1688	15	2	1	CARDINAL
gs-1688	17	1	შემცველობის p-sige შენადნობში უფრო	ORG
gs-1688	17	2	სტრუქტურაში	GPE
gs-1688	17	3	დიაპაზონის	ORG
gs-1688	17	4	სპექტრში გამოვლენილია	GPE
gs-1688	17	5	სითბური რხევებითა	ORG
gs-1688	17	6	ci	PERSON
gs-1688	17	7	sii ცენტრებთან	ORG
gs-1688	17	8	დეფექტებს	ORG
gs-1688	17	9	830	CARDINAL
gs-1688	17	10	885	CARDINAL
gs-1688	17	11	546	CARDINAL
gs-1688	17	12	cics	ORG
gs-1688	17	13	ci	PERSON
gs-1688	17	14	860-862	CARDINAL
gs-1688	17	15	ჩანერგილი ci	PERSON
gs-1688	17	16	936	CARDINAL
gs-1688	18	1	ერთობლივად 1020	EVENT
gs-1688	18	2	შთანთქმის ფარდობითი უნარიანობისა	ORG
gs-1688	19	1	5.1012სმ-2	CARDINAL
gs-1688	19	2	ნაწილაკებით	GPE
gs-1688	19	3	შესამჩნევად ამცირებს	PERSON
gs-1688	19	4	ჩანერგვვის პოზიციებში არსებული ჟანგბადის	ORG
gs-1688	19	5	1	CARDINAL
gs-1688	20	1	georgian	NORP
gs-1688	20	2	მეცნიერები	GPE
gs-1688	20	3	5	CARDINAL
gs-1688	20	4	2023 66	DATE
gs-1688	20	5	1	CARDINAL
gs-1688	21	1	ელექტროფიზიკური	PERSON
gs-1688	25	1	2	CARDINAL
gs-1688	28	1	9 2.1015	CARDINAL
gs-1688	28	2	19	CARDINAL
gs-1688	28	3	8.1014 365	PERCENT
gs-1688	29	1	7	CARDINAL
gs-1688	29	2	4.1015 230	QUANTITY
gs-1688	29	3	5.1016	MONEY
gs-1688	29	4	17,5	CARDINAL
gs-1688	29	5	1.1015 360 7.1017 3.1016	MONEY
gs-1688	29	6	მოძრაობის	CARDINAL
gs-1688	29	7	ექსპერიმენტულად შესწავლილია p-sige	ORG
gs-1688	29	8	ძვრის	NORP
gs-1688	29	9	დაუსხივებელ მდგომარეობაში ნიმუშების მექანიკური მახასიათებლები. მეტალოგრაფიული კვლევების	ORG
gs-1688	29	10	ნიმუშებში დისლოკაციების სიმკვრივე 103104	ORG
gs-1688	29	11	სმ-2	GPE
gs-1688	29	12	შუალედში იცვლება. ასეთ	PERSON
gs-1688	29	13	შემთხვევებში დისლოკაციების ბირთვებს შორის	ORG
gs-1688	29	14	5	CARDINAL
gs-1688	29	15	მეტად ამცირებს	PERSON
gs-1688	30	1	ასეთი სიმკვრივის დისლოკაციების	ORG
gs-1688	30	2	წვლილი შესაძლებელია გამოვლინდეს თერმული	ORG
gs-1688	30	3	დიფუზიის სიჩქარეები	ORG
gs-1688	30	4	5.1012სმ-2	CARDINAL
gs-1688	30	5	დინამიური მექანიკური	GPE
gs-1688	30	6	georgian	NORP
gs-1688	30	7	მეცნიერები	GPE
gs-1688	30	8	5	CARDINAL
gs-1688	30	9	2023 67	CARDINAL
gs-1688	30	10	2	CARDINAL
gs-1688	31	1	საწყის	NORP
gs-1688	31	2	მდგომარეობაში	GPE
gs-1688	31	3	რეგისტრირებულია მექანიკური მახასიათებლების შემცირება	ORG
gs-1688	31	4	ge	ORG
gs-1688	31	5	მესრის	ORG
gs-1688	31	6	ატომური	DATE
gs-1688	32	1	მდგომარეობაში	GPE
gs-1688	32	2	საგრძნობლად იზრდება.	PERSON
gs-1688	32	3	სტიმულირდება	ORG
gs-1688	32	4	დიფუზია დისლოკაციების ბირთვების მიმართულებით.	ORG
gs-1688	32	5	ასეთ	GPE
gs-1688	32	6	უშუალოდ	ORG
gs-1688	32	7	ასეთ	GPE
gs-1688	32	8	დინამიური მექანიკური	PERSON
gs-1688	33	1	გამოწვეულია	GPE
gs-1688	33	2	დეკორირებით	PERSON
gs-1688	34	1	o	DATE
gs-1688	34	2	პოზიციაში	TIME
gs-1688	35	1	ci ატომებს.	PERSON
gs-1688	35	2	სმ-2	GPE
gs-1688	35	3	ძვრის მოდული	ORG
gs-1688	35	4	დრეკადობ	DATE
gs-1688	35	5	კგ/მმ2 p-si+0,25%ge	GPE
gs-1688	35	6	5.103 4750 20	CARDINAL
gs-1688	35	7	0.95	CARDINAL
gs-1688	35	8	5.103	CARDINAL
gs-1688	35	9	35 1.70	CARDINAL
gs-1688	35	10	1.104	CARDINAL
gs-1688	35	11	0.61	CARDINAL
gs-1688	35	12	3.104	CARDINAL
gs-1688	35	13	1.20	CARDINAL
gs-1688	35	14	georgian	NORP
gs-1688	35	15	მეცნიერები	GPE
gs-1688	35	16	5	CARDINAL
gs-1688	35	17	2023 68	DATE
gs-1688	36	1	sige	PERSON
gs-1688	36	2	ძვრის მოდულისა	GPE
gs-1688	36	3	1,2	CARDINAL
gs-1688	36	4	1’,2	CARDINAL
gs-1688	36	5	ამპლიტუდური	PERSON
gs-1688	36	6	1,1’p-si+0,25%ge	DATE
gs-1688	36	7	2,2’p-si+2%ge	CARDINAL
gs-1688	36	8	სტრუქტურაში არსებული დისლოკაციები	ORG
gs-1688	36	9	დეფექტები წარმოადგენენ	FAC
gs-1688	37	1	დრეკადი დეფორმაციის	PERSON
gs-1688	37	2	დინამიური მოდულისა	GPE
gs-1688	37	3	სიხშირის 0,55,0	ORG
gs-1688	39	1	დიაპაზონის	NORP
gs-1688	39	2	ხახუნის ამპლიტუდური დამოკიდებულებები ავლენენ კრიტიკული ამპლიტუდური დეფომაციის	ORG
gs-1688	39	3	იცვლებიან.	DATE
gs-1688	39	4	1-ის	CARDINAL
gs-1688	39	5	დეფორმაციის დაბალ დიაპაზონში ინარჩუნებენ	ORG
gs-1688	39	6	მოდულისა	GPE
gs-1688	39	7	დეფორმაციებზე იწყება	ORG
gs-1688	39	8	წრფივად	NORP
gs-1688	39	9	მცირდება	DATE
gs-1688	39	10	ძვრის მოდული	PERSON
gs-1688	39	11	განიცდის წრფივად	PERSON
gs-1688	39	12	ამაღლებას.	GPE
gs-1688	40	1	კრიტიკული ამპლიტუდური დეფორმაციისა	ORG
gs-1688	40	2	ძვრის დინამიური მოდულის	LOC
gs-1688	40	3	კავშირის	ORG
gs-1688	40	4	კრიტიკული ამპლიტუდური	ORG
gs-1688	40	5	მესერში არსებობს	LOC
gs-1688	40	6	რომელიც ურთიერთქმედებს	PERSON
gs-1688	40	7	georgian	NORP
gs-1688	40	8	მეცნიერები	GPE
gs-1688	40	9	5	CARDINAL
gs-1688	40	10	2023 69	DATE
gs-1688	40	11	ძვრის მოდულისა	GPE
gs-1688	40	12	1,2	CARDINAL
gs-1688	40	13	1’,2	CARDINAL
gs-1688	40	14	ამპლიტუდური	PERSON
gs-1688	40	15	1,1’p-si+0,25%ge	DATE
gs-1688	40	16	2,2’p-si+2%ge	CARDINAL
gs-1688	41	1	განსხვავებული დონის ენერგეტიკულ	ORG
gs-1688	41	2	დისლოკაციებისათვის.	CARDINAL
gs-1688	41	3	სტრქუტურის	ORG
gs-1688	41	4	ძვრადობა. sige	PERSON
gs-1688	41	5	ნაწილაკებით დასხივებულ	GPE
gs-1688	41	6	მდგომარეობაში	GPE
gs-1688	42	1	ორივე ნიმუში	PERSON
gs-1688	42	2	ძვრის მოდულისა	GPE
gs-1688	42	3	პრაქტიკულად ერთნაირი	GPE
gs-1688	42	4	განმასხვავებელ ნიშნად წარმოჩენილია	ORG
gs-1688	42	5	კრიტიკული ამპლიტუდური დეფორმაციის ამაღლებული მნიშვნელობები	ORG
gs-1688	42	6	შემცველობის sige შენადნობისათვის.	ORG
gs-1688	42	7	მონოკრისტალური sige	ORG
gs-1688	42	8	მათი ძვრადობისა	ORG
gs-1688	42	9	როგორც შესრულებლუმა	PERSON
gs-1688	42	10	georgian	GPE
gs-1688	42	11	მეცნიერები	GPE
gs-1688	42	12	5	CARDINAL
gs-1688	42	13	2023	CARDINAL
gs-1688	42	14	70	CARDINAL
gs-1688	42	15	1	CARDINAL
gs-1688	42	16	r.f. cook	PERSON
gs-1688	42	17	m.g. reitsma	PERSON
gs-1688	42	18	williams	PERSON
gs-1688	46	1	23	CARDINAL
gs-1688	46	2	2	MONEY
gs-1688	46	3	297-301 2	QUANTITY
gs-1688	47	1	10	CARDINAL
gs-1688	47	2	1999	DATE
gs-1688	47	3	329	CARDINAL
gs-1688	48	1	3	CARDINAL
gs-1688	48	2	d.yang, x.yu, x.ma	PERSON
gs-1688	48	3	l. li	PERSON
gs-1688	48	4	d.que.	GPE
gs-1688	49	1	j. cryst	PERSON
gs-1688	50	1	243	CARDINAL
gs-1688	50	2	2002	DATE
gs-1688	50	3	371	CARDINAL
gs-1688	51	1	j.chen	PERSON
gs-1688	51	2	d.yang.	PERSON
gs-1688	52	1	x.ma	GPE
gs-1688	52	2	z.zeng	GPE
gs-1688	53	1	l.li	GPE
gs-1688	53	2	d. que	PERSON
gs-1688	53	3	l.gong.	GPE
gs-1688	55	1	phys.	PERSON
gs-1688	55	2	103	CARDINAL
gs-1688	55	3	2008	DATE
gs-1688	55	4	1235211-123521	DATE
gs-1688	55	5	c.a.londos	ORG
gs-1688	55	6	a. andrianakis	PERSON
gs-1688	55	7	e.n. sgorou, v.emtsev	ORG
gs-1688	56	1	j. applied phys	ORG
gs-1688	56	2	107	CARDINAL
gs-1688	56	3	2010)093520-1093520-7	DATE
gs-1688	56	4	ia	GPE
gs-1688	56	5	kakhaber shamatava	PERSON
gs-1688	56	6	ekaterine sanaia	PERSON
gs-1688	56	7	giorgi chubinidze	PERSON
gs-1688	56	8	ilia vekua sukhumi institute of physics	PERSON
gs-1688	56	9	tbilisi	GPE
gs-1688	56	10	georgia	GPE
gs-1688	57	1	111	CARDINAL
gs-1688	58	1	ge	ORG
gs-1688	59	1	1.5-1.8	CARDINAL
gs-1688	59	2	15 %	PERCENT
gs-1688	60	1	p-sige	ORG