id	sid	eid	entity	type
gs-2308	1	1	microsoft	ORG
gs-2308	1	2	fullpdf05042023 georgian	PERSON
gs-2308	1	3	მეცნიერები	GPE
gs-2308	1	4	5	CARDINAL
gs-2308	1	5	2023 170	CARDINAL
gs-2308	1	6	georgian	NORP
gs-2308	1	7	მეცნიერები	GPE
gs-2308	2	1	5	CARDINAL
gs-2308	2	2	4	CARDINAL
gs-2308	2	3	2023	CARDINAL
gs-2308	2	4	ენერგიის	GPE
gs-2308	2	5	გავლენა	GPE
gs-2308	2	6	1სოხუმის	CARDINAL
gs-2308	2	7	2სოხუმის სახელმწიფო	DATE
gs-2308	2	8	მეტად მნიშვნელოვანია მიკროელექტრომექანიკური	PRODUCT
gs-2308	2	9	მიუხედავად	GPE
gs-2308	2	10	ამისა დღეისათვის არსებობს მწირი	ORG
gs-2308	3	1	მაქსიმალური დატვირთვის ფართო	GPE
gs-2308	3	2	12	CARDINAL
gs-2308	3	3	ენერგიის ელექტრონებით	GPE
gs-2308	3	4	მონოკრისტალური n-si	PERSON
gs-2308	3	5	100	CARDINAL
gs-2308	3	6	111	CARDINAL
gs-2308	3	7	p-si+2ატ.%ge	ORG
gs-2308	3	8	111	CARDINAL
gs-2308	3	9	მოდულის	DATE
gs-2308	3	10	საწყის	NORP
gs-2308	3	11	მდგომარეობაში	GPE
gs-2308	3	12	111	CARDINAL
gs-2308	3	13	ორიენტაციის p-si	ORG
gs-2308	4	1	სამივე ნიმუშის მექანიკური მახასიათებლების ამაღლებას	ORG
gs-2308	4	2	რაც მეტად არის	PERSON
gs-2308	4	3	გასწვრივ გავრცელებული ბზარების სიგრძის	ORG
gs-2308	4	4	განსაზღვრის საფუძველზე	ORG
gs-2308	4	5	ნიმუშის ზედაპირზე	ORG
gs-2308	7	1	ახასიათებს	DATE
gs-2308	7	2	111) სიბრტყეებზე.	DATE
gs-2308	7	3	აუმჯობესებს p-si -ის	PERSON
gs-2308	7	4	111	CARDINAL
gs-2308	7	5	ზრდით ელექტრონებით	ORG
gs-2308	7	6	მდგომარეობაში.	GPE
gs-2308	7	7	georgian	NORP
gs-2308	7	8	მეცნიერები	GPE
gs-2308	7	9	5	CARDINAL
gs-2308	7	10	2023 171	CARDINAL
gs-2308	7	11	განსაზღვრავს ორი	ORG
gs-2308	7	12	ატომური	DATE
gs-2308	8	1	გარდაქმნის პროცესში მეტი რაოდენობით მაღალი სიმტკიცის	ORG
gs-2308	8	2	მონოკრისტალური si	PERSON
gs-2308	8	3	sige შენადნობი	PERSON
gs-2308	8	4	მიკროსისალე	ORG
gs-2308	8	5	საიმედო	GPE
gs-2308	8	6	nems სისტემების	ORG
gs-2308	9	1	1,2	CARDINAL
gs-2308	9	2	გვერდითი	NORP
gs-2308	9	3	აღდგენით	GPE
gs-2308	9	4	მათი განშტოებების	ORG
gs-2308	9	5	ანაბეჭდის ცენტრიდან	PERSON
gs-2308	9	6	საზღვრავენ ოლივერ-ფარის მეთოდით	FAC
gs-2308	9	7	3	CARDINAL
gs-2308	10	1	გამოყენებით განისაზღვრება	PERSON
gs-2308	10	2	4,5	CARDINAL
gs-2308	10	3	k = k ∙	PERSON
gs-2308	10	4	სადაც	GPE
gs-2308	10	5	6	CARDINAL
gs-2308	11	1	დატვირთვას ინდენტორზე	PERSON
gs-2308	11	2	ბზარის	NORP
gs-2308	11	3	მამოძრავებელი	NORP
gs-2308	11	4	კრიტიკული ძალა	ORG
gs-2308	11	5	რღვევის ენერგია განისაზღვრება	ORG
gs-2308	12	1	4	CARDINAL
gs-2308	13	1	კოეფიციენტი	GPE
gs-2308	13	2	kic ასახავს	PERSON
gs-2308	13	3	ანაბეჭდის ირგვლივ არსებული	ORG
gs-2308	13	4	აგრეთვე	ORG
gs-2308	13	5	გარეშე მექანიკური	PERSON
gs-2308	13	6	სტრუქტურაში	GPE
gs-2308	13	7	კონცენტრაციის georgian scientists/ქართველი	GPE
gs-2308	13	8	მეცნიერები	GPE
gs-2308	13	9	5	CARDINAL
gs-2308	13	10	2023 172	CARDINAL
gs-2308	13	11	როლს ასრულებენ ბზარების	ORG
gs-2308	13	12	მიმართულებით. ნაშრომში წარმოდგენილია მაღალენერგეტიკული	ORG
gs-2308	15	1	მონოკრისტალური სილიციუმისა	GPE
gs-2308	15	2	sige	GPE
gs-2308	15	3	ორმხრივ პოლირებული	GPE
gs-2308	15	4	5	CARDINAL
gs-2308	15	5	დენის	PERSON
gs-2308	15	6	1014-1015	CARDINAL
gs-2308	15	7	გავლენას ახდენს. ბზარმედეგობაზე შესაძლებელია	ORG
gs-2308	15	8	გავლენა მოახდინოს	ORG
gs-2308	15	9	ატომური	DATE
gs-2308	15	10	გერმანიუმით	NORP
gs-2308	15	11	ასეთ	ORDINAL
gs-2308	15	12	სტრუქტურაში	GPE
gs-2308	15	13	საზღვრებზე. sige	GPE
gs-2308	15	14	სტრუქტურაში	GPE
gs-2308	16	1	რადიაციას	GPE
gs-2308	17	1	ერთიმეორესთან	GPE
gs-2308	17	2	მატრიცაში	GPE
gs-2308	17	3	არსებულ დეფექტებთან.	PERSON
gs-2308	17	4	ინდენტორზე მოდებულ მაქსიმალურ დატვირთვაზე. 1	ORG
gs-2308	18	1	111	CARDINAL
gs-2308	18	2	2	CARDINAL
gs-2308	18	3	100	CARDINAL
gs-2308	18	4	3	CARDINAL
gs-2308	19	1	111	CARDINAL
gs-2308	19	2	მაქსიმალური georgian scientists/ქართველი	GPE
gs-2308	19	3	მეცნიერები	GPE
gs-2308	19	4	5	CARDINAL
gs-2308	19	5	2023 173	CARDINAL
gs-2308	19	6	100-1250	CARDINAL
gs-2308	20	1	ნახ.1–დან	DATE
gs-2308	20	2	n-si–ის	ORG
gs-2308	20	3	n-si–ის	ORG
gs-2308	20	4	სხვადასხვა ორიენტაციის ბზარების	ORG
gs-2308	20	5	ბლოკირებაში	GPE
gs-2308	20	6	შემცირება ინდენტირებით	GPE
gs-2308	20	7	ინდენტორზე მოდებულ მაღალ მაქსიმალურ დატვირთვებზე	ORG
gs-2308	20	8	n-si–ის	ORG
gs-2308	20	9	დაახლოებით ერთნაირი	GPE
gs-2308	21	1	შემცირებაში	GPE
gs-2308	21	2	განსაზღვრის	NORP
gs-2308	21	3	ანაბეჭდებზე	DATE
gs-2308	21	4	წრფივი კანონზომიერებისაგან	PERSON
gs-2308	22	1	სხვადასხვა ორიენტაციის	ORG
gs-2308	22	2	ურთიერთქმედება განაპირობებს ბზარების	ORG
gs-2308	22	3	გადახრებს	PERSON
gs-2308	22	4	წრფივი	DATE
gs-2308	23	1	დაბალ	GPE
gs-2308	23	2	მაქსიმალურ დატვირთვებზე	PERSON
gs-2308	23	3	მაღალ მაქსიმალურ	ORG
gs-2308	23	4	რადიალური ბზარების სიგრძე იზრდება	ORG
gs-2308	23	5	ძირითადი მიმართულებიდან	ORG
gs-2308	23	6	აგრეთვე ბზარის ნაკვალევზე ღუნვებისა	ORG
gs-2308	23	7	ზონაში იზრდება	GPE
gs-2308	24	1	მდგომარეობაში	GPE
gs-2308	25	1	si–სა	ORG
gs-2308	25	2	დაახლოებით ერთნაირი	GPE
gs-2308	25	3	გარეშე	DATE
gs-2308	25	4	ანაბეჭდებზე	DATE
gs-2308	25	5	ფიქსირებული ბზარების ზიგზაგისებური ფორმა განპირობებულია	ORG
gs-2308	25	6	პროცესში შესაძლებელია	ORG
gs-2308	27	1	georgian	GPE
gs-2308	27	2	მეცნიერები	GPE
gs-2308	27	3	5	CARDINAL
gs-2308	27	4	2023 174	CARDINAL
gs-2308	27	5	ავტორთა	ORG
gs-2308	27	6	იქნება	DATE
gs-2308	27	7	110	CARDINAL
gs-2308	27	8	110	CARDINAL
gs-2308	27	9	111	CARDINAL
gs-2308	27	10	ექსპერიმენტულმა გაზომვებმა	PERSON
gs-2308	27	11	1014სმ-2	CARDINAL
gs-2308	27	12	მოდულისა	GPE
gs-2308	27	13	მიკროსისალის	GPE
gs-2308	27	14	სუსტი	GPE
gs-2308	27	15	მაქსიმალური დატვირთვის	DATE
gs-2308	27	16	100-1250	CARDINAL
gs-2308	27	17	მოდულისა	GPE
gs-2308	27	18	მიკროსისალის	DATE
gs-2308	27	19	მეტად	NORP
gs-2308	27	20	მეტალური si-ii	PERSON
gs-2308	27	21	ინდენტორის წვეროსა	WORK_OF_ART
gs-2308	27	22	მატრიცის გამყოფ საზღვარზე.	FAC
gs-2308	29	1	მეტალური si-ii	PERSON
gs-2308	30	1	სტრუქტურულად–მგრძნობიარე	GPE
gs-2308	30	2	ინტენსიური პლასტიკური	DATE
gs-2308	32	1	ინდენტორზე მოდებულ მაქსიმალურ დატვირთვაზე. 1	ORG
gs-2308	33	1	111	CARDINAL
gs-2308	33	2	2	CARDINAL
gs-2308	33	3	100	CARDINAL
gs-2308	33	4	3	CARDINAL
gs-2308	34	1	111	CARDINAL
gs-2308	35	1	si–ის	NORP
gs-2308	35	2	ნარევში მაღალი სიმტკიცის β–კალის მოდიფიკაციის	ORG
gs-2308	35	3	sige შენადნობში მცირდება ბზარების	ORG
gs-2308	35	4	წარმოქმნისადმი georgian	GPE
gs-2308	35	5	მეცნიერები	GPE
gs-2308	35	6	5	CARDINAL
gs-2308	35	7	2023 175	DATE
gs-2308	35	8	ასეთ	GPE
gs-2308	35	9	მდგომარეობაში	GPE
gs-2308	35	10	მაღალენერგეტიკული ელექტრონებით	GPE
gs-2308	38	1	111	CARDINAL
gs-2308	38	2	მოდულისა	GPE
gs-2308	38	3	მიკროსისალის სიდიდეები	DATE
gs-2308	38	4	დატვირთვის 100-1250	CARDINAL
gs-2308	39	1	ამაღლებს მექანიკური თვისებების მახასიათებლებს.	PERSON
gs-2308	39	2	ასევე ბზარების წარმოქმნისადმი მედეგობა.	ORG
gs-2308	40	1	საზღვრის	GPE
gs-2308	40	2	ზონაში დრეკადი	PRODUCT
gs-2308	40	3	რელაქსაციაში დისლოკაციური	PERSON
gs-2308	40	4	ასეთ	GPE
gs-2308	40	5	მეტი ენერგია	FAC
gs-2308	40	6	განსაზღვრული ტიპის ბზარების ჩასახვისა	ORG
gs-2308	40	7	ნიმუშის ზედაპირზე	PERSON
gs-2308	40	8	1	CARDINAL
gs-2308	40	9	d.b. marshall	PERSON
gs-2308	40	10	b.r.	GPE
gs-2308	40	11	a.g.evans j.am.ceram soc.	LOC
gs-2308	40	12	63,(1982	CARDINAL
gs-2308	40	13	561-566 2	QUANTITY
gs-2308	40	14	r.f, cook	PERSON
gs-2308	40	15	g.m. pharr.	PERSON
gs-2308	41	1	73	DATE
gs-2308	41	2	1990	DATE
gs-2308	41	3	787-817 3	CARDINAL
gs-2308	41	4	w.c. oliver	PERSON
gs-2308	41	5	g.m. pharr	PERSON
gs-2308	42	1	7	CARDINAL
gs-2308	42	2	1192	CARDINAL
gs-2308	42	3	1567	DATE
gs-2308	43	1	4	CARDINAL
gs-2308	43	2	b.r.	GPE
gs-2308	43	3	a.g. evans	ORG
gs-2308	43	4	d.b. marshall	ORG
gs-2308	44	1	j. am	PERSON
gs-2308	45	1	ceram soc.	ORG
gs-2308	45	2	63	DATE
gs-2308	45	3	1982	DATE
gs-2308	45	4	1769 5	DATE
gs-2308	45	5	j.s.	PERSON
gs-2308	45	6	m.v. swain	PERSON
gs-2308	45	7	r.d. dukino	PERSON
gs-2308	46	1	j. mater	PERSON
gs-2308	47	1	2003	DATE
gs-2308	47	2	1412-1419	CARDINAL
gs-2308	48	1	6	CARDINAL
gs-2308	48	2	b.r	GPE
gs-2308	49	1	j. am	PERSON
gs-2308	50	1	ceram	PERSON
gs-2308	51	1	1981	DATE
gs-2308	51	2	533-538	CARDINAL
gs-2308	52	1	7	CARDINAL
gs-2308	52	2	f. ebrahimi	PERSON
gs-2308	52	3	l. kalwani	PERSON
gs-2308	52	4	j. materials science	ORG
gs-2308	52	5	1999	DATE
gs-2308	52	6	116	CARDINAL
gs-2308	53	1	georgian	NORP
gs-2308	53	2	მეცნიერები	GPE
gs-2308	53	3	5	CARDINAL
gs-2308	53	4	2023 176	CARDINAL
gs-2308	53	5	kakhaber shamatava	PERSON
gs-2308	53	6	avtandil sichinava	PERSON
gs-2308	53	7	ia kurashvili	PERSON
gs-2308	53	8	marina	LOC
gs-2308	53	9	1ilia	CARDINAL
gs-2308	53	10	institute of physics and technology	ORG
gs-2308	53	11	2sokhumi	CARDINAL
gs-2308	55	1	100	CARDINAL
gs-2308	55	2	111	CARDINAL
gs-2308	55	3	12	CARDINAL
gs-2308	57	1	111	CARDINAL
gs-2308	58	1	three	CARDINAL
gs-2308	60	1	111	CARDINAL
gs-2308	63	1	two	CARDINAL
gs-2308	64	1	monocrystalline si	PERSON
gs-2308	64	2	sige alloys	ORG