id	sid	tid	token	lemma	pos
gs-1672	1	1	georgian	georgian	ADJ
gs-1672	1	2	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1672	1	3	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1672	1	4	ტ.	ტ.	VERB
gs-1672	1	5	5	5	NUM
gs-1672	1	6	n	n	PRON
gs-1672	1	7	2	2	NUM
gs-1672	1	8	,	,	PUNCT
gs-1672	1	9	2023	2023	NUM
gs-1672	1	10	41	41	NUM
gs-1672	1	11	georgian	georgian	PROPN
gs-1672	1	12	scientists	scientist	NOUN
gs-1672	1	13	ქართველი	ქართველი	ADJ
gs-1672	1	14	მეცნიერები	მეცნიერები	PROPN
gs-1672	1	15	vol	vol	NOUN
gs-1672	1	16	.	.	PUNCT
gs-1672	2	1	5	5	NUM
gs-1672	2	2	issue	issue	NOUN
gs-1672	2	3	2	2	NUM
gs-1672	2	4	,	,	PUNCT
gs-1672	2	5	2023	2023	NUM
gs-1672	2	6	https://doi.org/10.52340/gs.2023.05.02.06	https://doi.org/10.52340/gs.2023.05.02.06	NUM
gs-1672	2	7	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1672	2	8	დასხივების	დასხივების	VERB
gs-1672	2	9	გავლენა	გავლენა	PROPN
gs-1672	2	10	სტრუქტურულ	სტრუქტურულ	PROPN
gs-1672	2	11	ფაზურ	ფაზურ	VERB
gs-1672	2	12	გარდაქმნებზე	გარდაქმნებზე	PROPN
gs-1672	2	13	n	n	CCONJ
gs-1672	2	14	-	-	PUNCT
gs-1672	2	15	siის	siის	PROPN
gs-1672	2	16	მიკროინდენტირების	მიკროინდენტირების	PROPN
gs-1672	2	17	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-1672	2	18	გიორგი	გიორგი	VERB
gs-1672	2	19	დარსაველიძე	დარსაველიძე	ADV
gs-1672	2	20	,	,	PUNCT
gs-1672	2	21	ავთანდილ	ავთანდილ	VERB
gs-1672	2	22	სიჭინავა	სიჭინავა	PROPN
gs-1672	2	23	,	,	PUNCT
gs-1672	2	24	კახაბერ	კახაბერ	ADJ
gs-1672	2	25	შამათავა	შამათავა	PROPN
gs-1672	2	26	,	,	PUNCT
gs-1672	2	27	მარინა	მარინა	NOUN
gs-1672	2	28	ქადარია	ქადარია	NOUN
gs-1672	2	29	,	,	PUNCT
gs-1672	2	30	რომან	რომან	PROPN
gs-1672	2	31	აბრამიშვილი	აბრამიშვილი	PROPN
gs-1672	2	32	სოხუმის	სოხუმის	PROPN
gs-1672	2	33	ილია	ილია	VERB
gs-1672	2	34	ვეკუას	ვეკუას	ADJ
gs-1672	2	35	ფიზიკა-ტექნიკის	ფიზიკა-ტექნიკის	ADJ
gs-1672	2	36	ინსტიტუტი	ინსტიტუტი	NOUN
gs-1672	2	37	,	,	PUNCT
gs-1672	2	38	თბილისი	თბილისი	PROPN
gs-1672	2	39	,	,	PUNCT
gs-1672	2	40	საქართველო	საქართველო	PROPN
gs-1672	2	41	ანოტაცია.	ანოტაცია.	VERB
gs-1672	2	42	შესწავლილია	შესწავლილია	ADJ
gs-1672	2	43	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-1672	2	44	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1672	2	45	დასხივების	დასხივების	ADJ
gs-1672	2	46	გავლენა	გავლენა	ADJ
gs-1672	2	47	(	(	PUNCT
gs-1672	2	48	111	111	NUM
gs-1672	2	49	)	)	PUNCT
gs-1672	2	50	ორიენტაციის	ორიენტაციის	PROPN
gs-1672	2	51	n	n	CCONJ
gs-1672	2	52	-	-	PUNCT
gs-1672	2	53	si-ის	si-ის	PROPN
gs-1672	2	54	სტრუქტურულ	სტრუქტურულ	PROPN
gs-1672	2	55	ცვლილებებზე	ცვლილებებზე	PROPN
gs-1672	2	56	ვიკერსის	ვიკერსის	PROPN
gs-1672	2	57	მეთოდით	მეთოდით	PROPN
gs-1672	2	58	მიკროინდენტირების	მიკროინდენტირების	PROPN
gs-1672	2	59	პროცესში.	პროცესში.	PROPN
gs-1672	2	60	ნაჩვენებია	ნაჩვენებია	NOUN
gs-1672	2	61	,	,	PUNCT
gs-1672	2	62	რომ	რომ	PROPN
gs-1672	2	63	1.1013	1.1013	NUM
gs-1672	2	64	სმ-2	სმ-2	VERB
gs-1672	2	65	ფლუენსის	ფლუენსის	PROPN
gs-1672	2	66	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1672	2	67	დასხივება	დასხივება	ADJ
gs-1672	2	68	იწვევს	იწვევს	PROPN
gs-1672	2	69	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-1672	2	70	მოდულისა	მოდულისა	PROPN
gs-1672	2	71	და	და	PROPN
gs-1672	2	72	პლასტიკური	პლასტიკური	PROPN
gs-1672	2	73	დეფორმაციის	დეფორმაციის	PROPN
gs-1672	2	74	გამომწვევი	გამომწვევი	NOUN
gs-1672	2	75	საშუალო	საშუალო	NOUN
gs-1672	2	76	საკონტაქო	საკონტაქო	NOUN
gs-1672	2	77	წნევის	წნევის	DET
gs-1672	2	78	სუსტად	სუსტად	ADJ
gs-1672	2	79	ზრდას.	ზრდას.	NOUN
gs-1672	2	80	ინდენტორის	ინდენტორის	X
gs-1672	2	81	დატვირთვა-გადაადგილების	დატვირთვა-გადაადგილების	ADJ
gs-1672	2	82	ფუნქციონალურ	ფუნქციონალურ	ADJ
gs-1672	2	83	დამოკიდებულებების	დამოკიდებულებების	ADJ
gs-1672	2	84	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1672	2	85	უბანზე	უბანზე	NOUN
gs-1672	2	86	ერთდროულად	ერთდროულად	VERB
gs-1672	2	87	გამოვლენილია	გამოვლენილია	VERB
gs-1672	2	88	ბაქანი	ბაქანი	NOUN
gs-1672	2	89	და	და	PROPN
gs-1672	2	90	დახრილობის	დახრილობის	PROPN
gs-1672	2	91	თანდათანობითი	თანდათანობითი	PROPN
gs-1672	2	92	ცვლილება.	ცვლილება.	PROPN
gs-1672	2	93	აღნიშნული	აღნიშნული	NOUN
gs-1672	2	94	ცვლილებები	ცვლილებები	NOUN
gs-1672	2	95	დამახასიათებელია	დამახასიათებელია	VERB
gs-1672	2	96	ნაწილობრივი	ნაწილობრივი	ADJ
gs-1672	2	97	ამორფიზაციისა	ამორფიზაციისა	ADJ
gs-1672	2	98	და	და	NOUN
gs-1672	2	99	სტრუქტურული	სტრუქტურული	NOUN
gs-1672	2	100	გარდაქმნებისათვის	გარდაქმნებისათვის	PROPN
gs-1672	3	1	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-1672	3	2	მეტასტაბილურ	მეტასტაბილურ	PROPN
gs-1672	3	3	ფაზებში.	ფაზებში.	ADJ
gs-1672	3	4	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1672	3	5	დასხივება	დასხივება	PROPN
gs-1672	3	6	ავლენს	ავლენს	PROPN
gs-1672	3	7	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1672	3	8	გარდაქმნების	გარდაქმნების	PROPN
gs-1672	3	9	კრიტიკული	კრიტიკული	PROPN
gs-1672	3	10	წნევების	წნევების	PROPN
gs-1672	3	11	ამაღლების	ამაღლების	PROPN
gs-1672	3	12	ტენდენციას	ტენდენციას	PROPN
gs-1672	3	13	საშუალო	საშუალო	VERB
gs-1672	3	14	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1672	3	15	წნევის	წნევის	PRON
gs-1672	4	1	45,5	45,5	PROPN
gs-1672	4	2	გპა	გპა	PROPN
gs-1672	4	3	დიაპაზონში.	დიაპაზონში.	VERB
gs-1672	4	4	საკვანძო	საკვანძო	PROPN
gs-1672	4	5	სიტყვები	სიტყვები	PROPN
gs-1672	4	6	:	:	PUNCT
gs-1672	4	7	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-1672	4	8	სილიციუმი	სილიციუმი	PROPN
gs-1672	4	9	,	,	PUNCT
gs-1672	4	10	ვიკერსის	ვიკერსის	ADJ
gs-1672	4	11	ინდენტორი	ინდენტორი	NOUN
gs-1672	4	12	,	,	PUNCT
gs-1672	4	13	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1672	4	14	დასხივება	დასხივება	ADJ
gs-1672	4	15	,	,	PUNCT
gs-1672	4	16	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1672	4	17	წნევა	წნევა	PROPN
gs-1672	4	18	,	,	PUNCT
gs-1672	4	19	დრეკადობის	დრეკადობის	VERB
gs-1672	4	20	მოდული	მოდული	ADJ
gs-1672	4	21	შესავალი	შესავალი	NOUN
gs-1672	4	22	უკანასკნელი	უკანასკნელი	NOUN
gs-1672	4	23	10	10	NUM
gs-1672	4	24	-	-	SYM
gs-1672	4	25	15	15	NUM
gs-1672	4	26	წლის	წლის	NOUN
gs-1672	4	27	განმავლობაში	განმავლობაში	NOUN
gs-1672	4	28	მიმდინარეობს	მიმდინარეობს	NOUN
gs-1672	4	29	ნახევარგამტარულ	ნახევარგამტარულ	PROPN
gs-1672	4	30	სილიციუმზე	სილიციუმზე	PROPN
gs-1672	4	31	დაფუძნებული	დაფუძნებული	PROPN
gs-1672	4	32	მასალების	მასალების	PROPN
gs-1672	4	33	ინტენსიური	ინტენსიური	PROPN
gs-1672	4	34	კვლევა	კვლევა	PROPN
gs-1672	4	35	,	,	PUNCT
gs-1672	4	36	რაც	რაც	VERB
gs-1672	4	37	განპირობებულია	განპირობებულია	VERB
gs-1672	4	38	მათი	მათი	PROPN
gs-1672	4	39	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-1672	4	40	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-1672	4	41	,	,	PUNCT
gs-1672	4	42	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	ADJ
gs-1672	5	1	და	და	PROPN
gs-1672	5	2	ფიზიკურ-ქიმიური	ფიზიკურ-ქიმიური	NOUN
gs-1672	5	3	თვისებების	თვისებების	NOUN
gs-1672	5	4	გამოვლინებით	გამოვლინებით	PROPN
gs-1672	5	5	ძლიერად	ძლიერად	PROPN
gs-1672	5	6	ლოკალიზებული	ლოკალიზებული	PROPN
gs-1672	5	7	ზემაღალი	ზემაღალი	PROPN
gs-1672	5	8	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-1672	5	9	ძაბვების	ძაბვების	PROPN
gs-1672	5	10	მოქმედების	მოქმედების	PROPN
gs-1672	5	11	პირობებში.	პირობებში.	PROPN
gs-1672	5	12	ჰიდროსტატიკური	ჰიდროსტატიკური	NOUN
gs-1672	5	13	წნევების	წნევების	NOUN
gs-1672	5	14	9	9	NUM
gs-1672	5	15	-	-	SYM
gs-1672	5	16	16	16	NUM
gs-1672	5	17	გპა	გპა	PROPN
gs-1672	5	18	დიაპაზონში	დიაპაზონში	PROPN
gs-1672	5	19	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-1672	5	20	სილიციუმი	სილიციუმი	PROPN
gs-1672	5	21	განიცდის	განიცდის	ADJ
gs-1672	5	22	ფაზურ	ფაზურ	PROPN
gs-1672	5	23	გარდაქმნებს.	გარდაქმნებს.	PROPN
gs-1672	5	24	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-1672	5	25	ტიპის	ტიპის	NOUN
gs-1672	6	1	si	si	PROPN
gs-1672	6	2	-	-	PUNCT
gs-1672	6	3	i	i	PRON
gs-1672	6	4	ფაზა	ფაზა	PROPN
gs-1672	6	5	გარდაიქმნება	გარდაიქმნება	PROPN
gs-1672	6	6	მაღალი	მაღალი	NOUN
gs-1672	6	7	სიმკვრივის	სიმკვრივის	PROPN
gs-1672	6	8	β	β	PROPN
gs-1672	6	9	-	-	ADJ
gs-1672	6	10	sn	sn	ADJ
gs-1672	6	11	ტიპის	ტიპის	NOUN
gs-1672	6	12	მეტალურ	მეტალურ	VERB
gs-1672	6	13	si	si	PROPN
gs-1672	6	14	-	-	PUNCT
gs-1672	6	15	ii	ii	NOUN
gs-1672	6	16	(	(	PUNCT
gs-1672	6	17	si	si	NOUN
gs-1672	6	18	-	-	ADJ
gs-1672	6	19	i	i	NOUN
gs-1672	6	20	→	→	SYM
gs-1672	6	21	si	si	PROPN
gs-1672	6	22	-	-	PUNCT
gs-1672	6	23	ii	ii	PROPN
gs-1672	6	24	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1672	6	25	გარდაქმნა	გარდაქმნა	ADV
gs-1672	6	26	იწვევს	იწვევს	PROPN
gs-1672	6	27	მოცულობის	მოცულობის	ADJ
gs-1672	6	28	~20	~20	ADP
gs-1672	6	29	%	%	NOUN
gs-1672	6	30	ით	ით	NOUN
gs-1672	6	31	შემცირებას	შემცირებას	NOUN
gs-1672	6	32	)	)	PUNCT
gs-1672	6	33	georgian	georgian	PROPN
gs-1672	6	34	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1672	6	35	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1672	6	36	ტ.	ტ.	VERB
gs-1672	6	37	5	5	NUM
gs-1672	6	38	n	n	DET
gs-1672	6	39	2	2	NUM
gs-1672	6	40	,	,	PUNCT
gs-1672	6	41	2023	2023	NUM
gs-1672	6	42	42	42	NUM
gs-1672	6	43	ფაზად	ფაზად	NOUN
gs-1672	7	1	[	[	X
gs-1672	7	2	1,2	1,2	NUM
gs-1672	7	3	]	]	PUNCT
gs-1672	7	4	.	.	PUNCT
gs-1672	8	1	ჰიდროსტატიკური	ჰიდროსტატიკური	PROPN
gs-1672	8	2	წნევებით	წნევებით	PROPN
gs-1672	8	3	განხორციელებული	განხორციელებული	VERB
gs-1672	8	4	si	si	PROPN
gs-1672	8	5	-	-	INTJ
gs-1672	8	6	i	i	INTJ
gs-1672	8	7	→	→	SYM
gs-1672	8	8	si	si	PROPN
gs-1672	8	9	-	-	PUNCT
gs-1672	8	10	ii	ii	PROPN
gs-1672	8	11	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1672	8	12	გარდაქმნა	გარდაქმნა	PROPN
gs-1672	8	13	არ	არ	INTJ
gs-1672	8	14	არის	არის	PROPN
gs-1672	8	15	შექცევადი	შექცევადი	PROPN
gs-1672	8	16	ხასიათის	ხასიათის	PROPN
gs-1672	9	1	[	[	X
gs-1672	9	2	3,4	3,4	NUM
gs-1672	9	3	]	]	PUNCT
gs-1672	9	4	.	.	PUNCT
gs-1672	10	1	si	si	AUX
gs-1672	10	2	-	-	PUNCT
gs-1672	10	3	ii	ii	PROPN
gs-1672	10	4	ფაზა	ფაზა	PROPN
gs-1672	10	5	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-1672	10	6	გარდაიქმნას	გარდაიქმნას	ADJ
gs-1672	10	7	si	si	ADJ
gs-1672	10	8	-	-	PUNCT
gs-1672	10	9	i-საგან	i-საგან	PROPN
gs-1672	10	10	განსხვავებულ	განსხვავებულ	PROPN
gs-1672	10	11	ფაზად	ფაზად	PROPN
gs-1672	10	12	,	,	PUNCT
gs-1672	10	13	რომლის	რომლის	PROPN
gs-1672	10	14	სტრუქტურული	სტრუქტურული	VERB
gs-1672	10	15	მდგომარეობა	მდგომარეობა	PROPN
gs-1672	10	16	მნიშვნელოვნადაა	მნიშვნელოვნადაა	PROPN
gs-1672	10	17	დამოკიდებული	დამოკიდებული	PROPN
gs-1672	10	18	თავდაპირველი	თავდაპირველი	PROPN
gs-1672	10	19	მაღალი	მაღალი	PRON
gs-1672	10	20	წნევის	წნევის	DET
gs-1672	10	21	შემცირების	შემცირების	ADJ
gs-1672	10	22	სიჩქარეზე.	სიჩქარეზე.	NOUN
gs-1672	10	23	მონოკრისტალურ	მონოკრისტალურ	X
gs-1672	10	24	სილიციუმზე	სილიციუმზე	NOUN
gs-1672	10	25	მოქმედი	მოქმედი	VERB
gs-1672	10	26	10	10	NUM
gs-1672	10	27	-	-	SYM
gs-1672	10	28	16	16	NUM
gs-1672	10	29	გპა	გპა	PROPN
gs-1672	10	30	დიაპაზონის	დიაპაზონის	NOUN
gs-1672	10	31	წნევის	წნევის	DET
gs-1672	10	32	დაბალი	დაბალი	ADJ
gs-1672	10	33	სიჩქარით	სიჩქარით	ADV
gs-1672	10	34	შემცირების	შემცირების	ADJ
gs-1672	10	35	პროცესში	პროცესში	NOUN
gs-1672	10	36	12	12	NUM
gs-1672	10	37	-	-	SYM
gs-1672	10	38	10	10	NUM
gs-1672	10	39	გპა	გპა	PROPN
gs-1672	10	40	ინტერვალში	ინტერვალში	VERB
gs-1672	10	41	si	si	PROPN
gs-1672	10	42	-	-	PUNCT
gs-1672	10	43	ii	ii	PROPN
gs-1672	10	44	ფაზა	ფაზა	PROPN
gs-1672	10	45	გარდაიქმნება	გარდაიქმნება	ADJ
gs-1672	10	46	si	si	PROPN
gs-1672	10	47	-	-	PROPN
gs-1672	10	48	xii	xii	PROPN
gs-1672	10	49	ანუ	ანუ	PROPN
gs-1672	10	50	r8	r8	PROPN
gs-1672	10	51	რომბოედრულ	რომბოედრულ	NOUN
gs-1672	10	52	ფაზად.	ფაზად.	NOUN
gs-1672	11	1	si	si	PROPN
gs-1672	11	2	-	-	PROPN
gs-1672	11	3	ii	ii	ADJ
gs-1672	11	4	---	---	PUNCT
gs-1672	11	5	si	si	PROPN
gs-1672	11	6	-	-	PUNCT
gs-1672	11	7	xii	xii	PROPN
gs-1672	11	8	ფაზური	ფაზური	NOUN
gs-1672	11	9	გარდაქმნა	გარდაქმნა	ADV
gs-1672	11	10	ხასიათდება	ხასიათდება	VERB
gs-1672	11	11	მოცულობის	მოცულობის	ADV
gs-1672	11	12	~	~	PUNCT
gs-1672	11	13	9%-ით	9%-ით	NUM
gs-1672	11	14	შემცირებით.	შემცირებით.	NOUN
gs-1672	11	15	წნევების	წნევების	VERB
gs-1672	11	16	შემცირების	შემცირების	PROPN
gs-1672	11	17	მაღალი	მაღალი	NOUN
gs-1672	11	18	სიჩქარეების	სიჩქარეების	ADJ
gs-1672	11	19	შემთხვევაში	შემთხვევაში	NOUN
gs-1672	11	20	უპირატესად	უპირატესად	VERB
gs-1672	11	21	ფორმირდება	ფორმირდება	PROPN
gs-1672	11	22	a	a	PROPN
gs-1672	11	23	-	-	PUNCT
gs-1672	11	24	si	si	NOUN
gs-1672	11	25	ამორფული	ამორფული	NOUN
gs-1672	11	26	ფაზა	ფაზა	PUNCT
gs-1672	12	1	[	[	X
gs-1672	12	2	5	5	NUM
gs-1672	12	3	]	]	PUNCT
gs-1672	12	4	.	.	PUNCT
gs-1672	13	1	გარეშე	გარეშე	PROPN
gs-1672	13	2	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-1672	13	3	წნევებისა	წნევებისა	VERB
gs-1672	13	4	და	და	PROPN
gs-1672	13	5	si	si	PROPN
gs-1672	13	6	-	-	PUNCT
gs-1672	13	7	i	i	PRON
gs-1672	13	8	ფაზის	ფაზის	NOUN
gs-1672	13	9	რეალურ	რეალურ	ADV
gs-1672	13	10	სტუქტურებში	სტუქტურებში	PROPN
gs-1672	13	11	ლოკალიზებული	ლოკალიზებული	ADV
gs-1672	13	12	ძაბვების	ძაბვების	NOUN
gs-1672	13	13	ერთდროული	ერთდროული	ADV
gs-1672	13	14	რეგულირებით	რეგულირებით	PROPN
gs-1672	13	15	მოსალოდნელია	მოსალოდნელია	VERB
gs-1672	13	16	სხვადასხვა	სხვადასხვა	PROPN
gs-1672	13	17	მოდიფიკაციის	მოდიფიკაციის	PROPN
gs-1672	13	18	მეტასტაბილური	მეტასტაბილური	PROPN
gs-1672	13	19	ფაზის	ფაზის	NOUN
gs-1672	13	20	წარმოქმნა	წარმოქმნა	PROPN
gs-1672	14	1	[	[	X
gs-1672	14	2	6	6	NUM
gs-1672	14	3	]	]	PUNCT
gs-1672	14	4	.	.	PUNCT
gs-1672	15	1	აღსანიშნავია	აღსანიშნავია	ADV
gs-1672	15	2	,	,	PUNCT
gs-1672	15	3	რომ	რომ	PROPN
gs-1672	15	4	წნევისაგან	წნევისაგან	PROPN
gs-1672	15	5	განტვირთულ	განტვირთულ	PROPN
gs-1672	15	6	მდგომარეობაში	მდგომარეობაში	PROPN
gs-1672	15	7	ნორმალური	ნორმალური	PROPN
gs-1672	15	8	წნევისა	წნევისა	PROPN
gs-1672	15	9	და	და	PROPN
gs-1672	15	10	ოთახის	ოთახის	ADJ
gs-1672	15	11	ტემპერატურის	ტემპერატურის	PROPN
gs-1672	15	12	პირობებში	პირობებში	NOUN
gs-1672	15	13	si	si	PROPN
gs-1672	15	14	-	-	PUNCT
gs-1672	15	15	xii	xii	NOUN
gs-1672	15	16	და	და	NOUN
gs-1672	15	17	ამორფული	ამორფული	NOUN
gs-1672	15	18	a	a	DET
gs-1672	15	19	-	-	PUNCT
gs-1672	15	20	si-ის	si-ის	NOUN
gs-1672	15	21	ფაზები	ფაზები	NOUN
gs-1672	15	22	სტრუქტურულად	სტრუქტურულად	NOUN
gs-1672	15	23	მდგრადია	მდგრადია	PROPN
gs-1672	16	1	[	[	X
gs-1672	16	2	7	7	NUM
gs-1672	16	3	]	]	SYM
gs-1672	16	4	.	.	PUNCT
gs-1672	17	1	მიკროინდენტირების	მიკროინდენტირების	PROPN
gs-1672	17	2	პროცესებში	პროცესებში	PROPN
gs-1672	17	3	ძლიერად	ძლიერად	PROPN
gs-1672	17	4	ლოკალიზებული	ლოკალიზებული	PROPN
gs-1672	17	5	წნევების	წნევების	PROPN
gs-1672	17	6	ზემოქმედებით	ზემოქმედებით	PROPN
gs-1672	17	7	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-1672	17	8	სტრუქტურაში	სტრუქტურაში	PROPN
gs-1672	17	9	დაიმზირება	დაიმზირება	PROPN
gs-1672	17	10	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1672	17	11	გარდაქმნები	გარდაქმნები	NOUN
gs-1672	17	12	,	,	PUNCT
gs-1672	17	13	რაც	რაც	NOUN
gs-1672	17	14	მნიშვნელოვნად	მნიშვნელოვნად	VERB
gs-1672	17	15	არის	არის	NOUN
gs-1672	17	16	დამოკიდებული	დამოკიდებული	PROPN
gs-1672	17	17	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-1672	17	18	მიყენებული	მიყენებული	PROPN
gs-1672	17	19	წნევების	წნევების	NOUN
gs-1672	17	20	სიდიდეებსა	სიდიდეებსა	NOUN
gs-1672	17	21	და	და	VERB
gs-1672	17	22	შემდგომში	შემდგომში	ADJ
gs-1672	17	23	დატვირთვა-განტვირთვის	დატვირთვა-განტვირთვის	ADJ
gs-1672	17	24	სიჩქარეზე.	სიჩქარეზე.	NOUN
gs-1672	17	25	დადგენილია	დადგენილია	VERB
gs-1672	17	26	[	[	X
gs-1672	17	27	8,9	8,9	NUM
gs-1672	17	28	]	]	PUNCT
gs-1672	17	29	,	,	PUNCT
gs-1672	17	30	რომ	რომ	PROPN
gs-1672	17	31	ინდენტორის	ინდენტორის	PROPN
gs-1672	17	32	სწრაფი	სწრაფი	PROPN
gs-1672	17	33	განტვირთვის	განტვირთვის	PROPN
gs-1672	17	34	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-1672	17	35	უმთავრესად	უმთავრესად	VERB
gs-1672	17	36	si	si	PROPN
gs-1672	17	37	-	-	PUNCT
gs-1672	17	38	ii	ii	PROPN
gs-1672	17	39	ფაზიდან	ფაზიდან	NOUN
gs-1672	17	40	წარმოიქმნება	წარმოიქმნება	NOUN
gs-1672	17	41	ამორფული	ამორფული	PROPN
gs-1672	17	42	მდგენელი	მდგენელი	PROPN
gs-1672	17	43	asi	asi	PROPN
gs-1672	17	44	,	,	PUNCT
gs-1672	18	1	ხოლო	ხოლო	NOUN
gs-1672	18	2	შენელებული	შენელებული	NOUN
gs-1672	18	3	სიჩქარით	სიჩქარით	ADV
gs-1672	18	4	განტვირთვისას	განტვირთვისას	NOUN
gs-1672	18	5	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-1672	18	6	ინდენტორის	ინდენტორის	NOUN
gs-1672	18	7	ქვეშ	ქვეშ	NOUN
gs-1672	18	8	ჩაისახოს	ჩაისახოს	NOUN
gs-1672	18	9	si	si	PROPN
gs-1672	18	10	-	-	ADJ
gs-1672	18	11	iii	iii	VERB
gs-1672	18	12	და	და	ADJ
gs-1672	18	13	si	si	PROPN
gs-1672	18	14	-	-	PUNCT
gs-1672	18	15	xii	xii	PROPN
gs-1672	18	16	ფაზების	ფაზების	NOUN
gs-1672	18	17	ნარევი.	ნარევი.	VERB
gs-1672	18	18	si	si	PROPN
gs-1672	18	19	-	-	PUNCT
gs-1672	18	20	iii	iii	PROPN
gs-1672	18	21	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1672	18	22	მდგენელი	მდგენელი	NOUN
gs-1672	18	23	წარმოადგენს	წარმოადგენს	PROPN
gs-1672	18	24	bcc	bcc	PROPN
gs-1672	18	25	მოცულობით	მოცულობით	PROPN
gs-1672	18	26	ცენტრირებულ	ცენტრირებულ	PROPN
gs-1672	18	27	კუბურ	კუბურ	PROPN
gs-1672	18	28	სტრუქტურას.	სტრუქტურას.	PROPN
gs-1672	19	1	ამჟამად	ამჟამად	PROPN
gs-1672	19	2	არსებული	არსებული	PROPN
gs-1672	19	3	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-1672	19	4	სილიციუმის	სილიციუმის	ADJ
gs-1672	19	5	ნანოინდენტირებისადმი	ნანოინდენტირებისადმი	NOUN
gs-1672	19	6	მიძღვნილი	მიძღვნილი	NOUN
gs-1672	19	7	მრავალრიცხოვანი	მრავალრიცხოვანი	NOUN
gs-1672	19	8	სამეცნიერო	სამეცნიერო	NOUN
gs-1672	19	9	შრომების	შრომების	VERB
gs-1672	19	10	ანალიზი	ანალიზი	NOUN
gs-1672	19	11	ცხადყოფს	ცხადყოფს	NOUN
gs-1672	19	12	,	,	PUNCT
gs-1672	19	13	რომ	რომ	PROPN
gs-1672	19	14	პრაქტიკულად	პრაქტიკულად	PROPN
gs-1672	19	15	შეუსწავლელია	შეუსწავლელია	VERB
gs-1672	19	16	ლეგირებისა	ლეგირებისა	NOUN
gs-1672	19	17	და	და	NOUN
gs-1672	19	18	თერმული	თერმული	NOUN
gs-1672	19	19	,	,	PUNCT
gs-1672	19	20	მექანიკური	მექანიკური	PRON
gs-1672	19	21	და	და	PROPN
gs-1672	19	22	რადიაციული	რადიაციული	PROPN
gs-1672	19	23	ზემოქმედების	ზემოქმედების	ADP
gs-1672	19	24	გავლენა	გავლენა	PROPN
gs-1672	19	25	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1672	19	26	გარდაქმნებისა	გარდაქმნებისა	VERB
gs-1672	19	27	და	და	PROPN
gs-1672	19	28	სტრუქტურული	სტრუქტურული	VERB
gs-1672	19	29	დეფექტების	დეფექტების	ADJ
gs-1672	19	30	ქვესისტემის	ქვესისტემის	PROPN
gs-1672	19	31	ცვლილებებთან	ცვლილებებთან	PROPN
gs-1672	19	32	დაკავშირებულ	დაკავშირებულ	PROPN
gs-1672	19	33	დეფორმაციის	დეფორმაციის	PROPN
gs-1672	19	34	მექანიზმებსა	მექანიზმებსა	PROPN
gs-1672	19	35	და	და	PROPN
gs-1672	19	36	მათი	მათი	PROPN
gs-1672	19	37	წვლილზე	წვლილზე	PROPN
gs-1672	19	38	ფიზიკური	ფიზიკური	PROPN
gs-1672	19	39	თვისებების	თვისებების	PROPN
gs-1672	19	40	მოდიფიცირებაში.	მოდიფიცირებაში.	ADJ
gs-1672	19	41	წინამდებარე	წინამდებარე	NOUN
gs-1672	19	42	ნაშრომში	ნაშრომში	VERB
gs-1672	19	43	წარმოდგენილია	წარმოდგენილია	VERB
gs-1672	19	44	საწყისი	საწყისი	NOUN
gs-1672	19	45	და	და	NOUN
gs-1672	19	46	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	NOUN
gs-1672	19	47	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1672	19	48	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-1672	19	49	n	n	CCONJ
gs-1672	19	50	-	-	PUNCT
gs-1672	19	51	si-ის	si-ის	PROPN
gs-1672	19	52	დატვირთვა-განტვირთვის	დატვირთვა-განტვირთვის	ADJ
gs-1672	19	53	რეჟიმში	რეჟიმში	ADJ
gs-1672	19	54	ინდენტირების	ინდენტირების	PROPN
gs-1672	19	55	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1672	19	56	მდგომარეობებისა	მდგომარეობებისა	PROPN
gs-1672	20	1	და	და	PROPN
gs-1672	20	2	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-1672	20	3	თვისებების	თვისებების	PROPN
gs-1672	20	4	მახასიათებლების	მახასიათებლების	PROPN
gs-1672	20	5	ექსპერიმენტული	ექსპერიმენტული	NOUN
gs-1672	20	6	კვლევის	კვლევის	NOUN
gs-1672	20	7	შედეგები.	შედეგები.	PROPN
gs-1672	20	8	კვლევის	კვლევის	PROPN
gs-1672	20	9	ობიექტი	ობიექტი	PROPN
gs-1672	20	10	და	და	PROPN
gs-1672	20	11	მეთოდოლოგია	მეთოდოლოგია	PROPN
gs-1672	20	12	კვლევის	კვლევის	PROPN
gs-1672	20	13	ობიექტს	ობიექტს	PROPN
gs-1672	20	14	წარმოადგენს	წარმოადგენს	PROPN
gs-1672	20	15	ჩოხრალსკის	ჩოხრალსკის	PROPN
gs-1672	20	16	მეთოდით	მეთოდით	NOUN
gs-1672	20	17	მიღებული	მიღებული	NOUN
gs-1672	20	18	ფოსფორით	ფოსფორით	ADV
gs-1672	20	19	(	(	PUNCT
gs-1672	20	20	≈1013სმ-3	≈1013სმ-3	NOUN
gs-1672	20	21	)	)	PUNCT
gs-1672	20	22	დოპირებული	დოპირებული	PROPN
gs-1672	20	23	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-1672	20	24	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-1672	20	25	(	(	PUNCT
gs-1672	20	26	111	111	NUM
gs-1672	20	27	)	)	PUNCT
gs-1672	20	28	ორიენტაციის	ორიენტაციის	NOUN
gs-1672	20	29	ორმხრივ	ორმხრივ	PROPN
gs-1672	20	30	პოლირებული	პოლირებული	PROPN
gs-1672	20	31	ფირფიტები	ფირფიტები	VERB
gs-1672	20	32	სისქით	სისქით	NOUN
gs-1672	20	33	≈	≈	PROPN
gs-1672	20	34	500	500	NUM
gs-1672	20	35	მკმ.	მკმ.	NOUN
gs-1672	20	36	სტანდარტული	სტანდარტული	VERB
gs-1672	20	37	მექანიკური	მექანიკური	CCONJ
gs-1672	20	38	და	და	NOUN
gs-1672	20	39	ფიზიკურ-ქიმიური	ფიზიკურ-ქიმიური	ADJ
gs-1672	20	40	მეთოდებით.	მეთოდებით.	NOUN
gs-1672	20	41	პოლირებული	პოლირებული	PROPN
gs-1672	20	42	ნიმუშების	ნიმუშების	PROPN
gs-1672	20	43	(	(	PUNCT
gs-1672	20	44	111	111	NUM
gs-1672	20	45	)	)	PUNCT
gs-1672	20	46	ორიენტაციის	ორიენტაციის	NOUN
gs-1672	20	47	ზედაპირების	ზედაპირების	NOUN
gs-1672	20	48	სიმქისე	სიმქისე	PROPN
gs-1672	20	49	შეადგენს	შეადგენს	VERB
gs-1672	20	50	5	5	NUM
gs-1672	20	51	georgian	georgian	PROPN
gs-1672	20	52	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1672	20	53	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1672	20	54	ტ.	ტ.	VERB
gs-1672	20	55	5	5	NUM
gs-1672	20	56	n	n	PRON
gs-1672	20	57	2	2	NUM
gs-1672	20	58	,	,	PUNCT
gs-1672	20	59	2023	2023	NUM
gs-1672	20	60	43	43	NUM
gs-1672	20	61	6ნმ-ს.	6ნმ-ს.	PROPN
gs-1672	20	62	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-1672	20	63	ნიმუშების	ნიმუშების	ADJ
gs-1672	20	64	დასხივება	დასხივება	ADJ
gs-1672	20	65	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-1672	20	66	(	(	PUNCT
gs-1672	20	67	12მევ	12მევ	NOUN
gs-1672	20	68	)	)	PUNCT
gs-1672	20	69	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1672	20	70	განხორციელდა	განხორციელდა	PROPN
gs-1672	20	71	varian-ის	varian-ის	PROPN
gs-1672	20	72	სისტემის	სისტემის	PROPN
gs-1672	20	73	clinac	clinac	PROPN
gs-1672	20	74	2100ix	2100ix	PROPN
gs-1672	20	75	დანადგარზე.	დანადგარზე.	PROPN
gs-1672	21	1	დასხივების	დასხივების	PROPN
gs-1672	21	2	ფლუენსი	ფლუენსი	PROPN
gs-1672	21	3	≈8∙1013სმ-2-ია.	≈8∙1013სმ-2-ია.	PROPN
gs-1672	21	4	ინდენტირება	ინდენტირება	PROPN
gs-1672	21	5	სრულდებოდა	სრულდებოდა	PROPN
gs-1672	21	6	ჰაერზე	ჰაერზე	PROPN
gs-1672	21	7	ოთახის	ოთახის	PROPN
gs-1672	21	8	ტემპერატურაზე	ტემპერატურაზე	PROPN
gs-1672	21	9	shimadzu	shimadzu	PROPN
gs-1672	21	10	duh211s	duh211s	PROPN
gs-1672	21	11	დინამიურ	დინამიურ	PROPN
gs-1672	21	12	ულტრა	ულტრა	PROPN
gs-1672	21	13	მიკროსისალის	მიკროსისალის	PROPN
gs-1672	21	14	ტესტერზე	ტესტერზე	PROPN
gs-1672	21	15	დატვირთვა-განტვირთვის	დატვირთვა-განტვირთვის	PROPN
gs-1672	21	16	რეჟიმში	რეჟიმში	VERB
gs-1672	21	17	ვიკერსის	ვიკერსის	PROPN
gs-1672	21	18	მეთოდით.	მეთოდით.	PROPN
gs-1672	21	19	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-1672	21	20	დატვირთვისა	დატვირთვისა	VERB
gs-1672	21	21	და	და	PROPN
gs-1672	21	22	კრისტალში	კრისტალში	PROPN
gs-1672	21	23	შეღწევის	შეღწევის	PROPN
gs-1672	21	24	სიღრმის	სიღრმის	PROPN
gs-1672	21	25	სიდიდეების	სიდიდეების	VERB
gs-1672	21	26	რეგისტრაცია	რეგისტრაცია	PROPN
gs-1672	22	1	ტარდებოდა	ტარდებოდა	VERB
gs-1672	22	2	დატვირთვა-განტვირთვის	დატვირთვა-განტვირთვის	ADJ
gs-1672	22	3	პროცესებში.	პროცესებში.	VERB
gs-1672	22	4	ყოველ	ყოველ	NOUN
gs-1672	22	5	მაქსიმალურ	მაქსიმალურ	PROPN
gs-1672	22	6	დატვირთვაზე	დატვირთვაზე	PROPN
gs-1672	22	7	დაყოვნების	დაყოვნების	ADV
gs-1672	22	8	დრო	დრო	VERB
gs-1672	22	9	შეადგენდა	შეადგენდა	ADJ
gs-1672	22	10	10წმ	10წმ	NOUN
gs-1672	22	11	,	,	PUNCT
gs-1672	22	12	ხოლო	ხოლო	NOUN
gs-1672	22	13	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1672	22	14	ბოლო	ბოლო	NOUN
gs-1672	22	15	სტადიაზე	სტადიაზე	VERB
gs-1672	22	16	დაყოვნება	დაყოვნება	PROPN
gs-1672	22	17	შეადგენდა	შეადგენდა	NOUN
gs-1672	22	18	5წმ.	5წმ.	NUM
gs-1672	22	19	ინდენტირების	ინდენტირების	ADJ
gs-1672	22	20	ფიქსირებულ	ფიქსირებულ	PROPN
gs-1672	22	21	მაქსიმალურ	მაქსიმალურ	PROPN
gs-1672	22	22	დატვირთვებზე	დატვირთვებზე	PROPN
gs-1672	22	23	დინამიურ	დინამიურ	PROPN
gs-1672	22	24	რეჟიმში	რეჟიმში	VERB
gs-1672	22	25	განხორციელებულ	განხორციელებულ	NOUN
gs-1672	22	26	დატვირთვა-შეღწევის	დატვირთვა-შეღწევის	NOUN
gs-1672	23	1	სრული	სრული	PROPN
gs-1672	23	2	ციკლის	ციკლის	VERB
gs-1672	23	3	გრაფიკებზე	გრაფიკებზე	PROPN
gs-1672	23	4	ვლინდება	ვლინდება	PROPN
gs-1672	23	5	სტრუქტურულ	სტრუქტურულ	PROPN
gs-1672	23	6	ცვლილებებთან	ცვლილებებთან	PROPN
gs-1672	23	7	დაკავშირებული	დაკავშირებული	NOUN
gs-1672	23	8	ე.წ.	ე.წ.	PUNCT
gs-1672	24	1	pop	pop	VERB
gs-1672	24	2	-	-	PUNCT
gs-1672	24	3	in	in	ADP
gs-1672	24	4	და	და	NOUN
gs-1672	24	5	pop	pop	VERB
gs-1672	24	6	-	-	PUNCT
gs-1672	24	7	out	out	ADP
gs-1672	24	8	შემთხვევები	შემთხვევები	NOUN
gs-1672	24	9	ფუნქციის	ფუნქციის	PROPN
gs-1672	24	10	წყვეტის	წყვეტის	NOUN
gs-1672	24	11	,	,	PUNCT
gs-1672	24	12	ღუნვის	ღუნვის	PROPN
gs-1672	24	13	ან	ან	AUX
gs-1672	24	14	პლატოს	პლატოს	PROPN
gs-1672	24	15	ფორმით.	ფორმით.	PROPN
gs-1672	24	16	მათი	მათი	PROPN
gs-1672	24	17	შესაბამისი	შესაბამისი	PROPN
gs-1672	24	18	საშუალო	საშუალო	NOUN
gs-1672	24	19	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1672	24	20	წნევა	წნევა	VERB
gs-1672	24	21	ერთ-ერთი	ერთ-ერთი	ADJ
gs-1672	24	22	მნიშვნელოვანი	მნიშვნელოვანი	NOUN
gs-1672	24	23	პარამეტრია	პარამეტრია	VERB
gs-1672	24	24	ინდენტირებით	ინდენტირებით	PROPN
gs-1672	24	25	ფორმირებული	ფორმირებული	PROPN
gs-1672	24	26	ფაზების	ფაზების	PROPN
gs-1672	24	27	ანალიზში.	ანალიზში.	VERB
gs-1672	24	28	საშუალო	საშუალო	ADJ
gs-1672	24	29	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1672	24	30	წნევა	წნევა	NOUN
gs-1672	24	31	ინდენტორსა	ინდენტორსა	NOUN
gs-1672	24	32	და	და	NOUN
gs-1672	24	33	საცდელ	საცდელ	PROPN
gs-1672	24	34	ნიმუშს	ნიმუშს	NOUN
gs-1672	24	35	შორის	შორის	PROPN
gs-1672	24	36	განისაზღვრება	განისაზღვრება	PROPN
gs-1672	24	37	ფორმულით	ფორმულით	VERB
gs-1672	24	38	𝜎𝑖=	𝜎𝑖=	PROPN
gs-1672	24	39	𝑃𝑖	𝑃𝑖	ADP
gs-1672	24	40	𝐴𝑖	𝐴𝑖	PROPN
gs-1672	24	41	,	,	PUNCT
gs-1672	24	42	𝑃𝑖	𝑃𝑖	ADP
gs-1672	24	43	არის	არის	NOUN
gs-1672	24	44	ინდენტორზე	ინდენტორზე	NOUN
gs-1672	24	45	დატვირთვა	დატვირთვა	ADJ
gs-1672	24	46	,	,	PUNCT
gs-1672	24	47	ხოლო	ხოლო	NOUN
gs-1672	25	1	𝐴𝑖	𝐴𝑖	ADV
gs-1672	25	2	არის	არის	NOUN
gs-1672	25	3	შესაბამისი	შესაბამისი	PROPN
gs-1672	25	4	პროექცირებული	პროექცირებული	PROPN
gs-1672	25	5	კონტაქტის	კონტაქტის	NOUN
gs-1672	25	6	ფართობი.	ფართობი.	NOUN
gs-1672	25	7	ვიკერსის	ვიკერსის	PROPN
gs-1672	25	8	ინდენტორისათვის	ინდენტორისათვის	NOUN
gs-1672	25	9	𝐴𝑖	𝐴𝑖	PROPN
gs-1672	25	10	≈	≈	PROPN
gs-1672	25	11	24.5	24.5	NUM
gs-1672	25	12	(	(	PUNCT
gs-1672	25	13	hc)i2	hc)i2	PROPN
gs-1672	25	14	,	,	PUNCT
gs-1672	25	15	სადაც	სადაც	NOUN
gs-1672	25	16	(	(	PUNCT
gs-1672	25	17	hc)i	hc)i	PROPN
gs-1672	25	18	=	=	SYM
gs-1672	25	19	hi	hi	INTJ
gs-1672	25	20	–	–	PUNCT
gs-1672	25	21	(	(	PUNCT
gs-1672	25	22	hs)i	hs)i	INTJ
gs-1672	25	23	,	,	PUNCT
gs-1672	25	24	hi	hi	INTJ
gs-1672	25	25	ინდენტორის	ინდენტორის	PROPN
gs-1672	25	26	გაზომვის	გაზომვის	PROPN
gs-1672	25	27	რომელიღაც	რომელიღაც	NOUN
gs-1672	26	1	i	i	PRON
gs-1672	26	2	წერტილში.	წერტილში.	VERB
gs-1672	26	3	ამავე	ამავე	NOUN
gs-1672	26	4	წერტილში	წერტილში	PROPN
gs-1672	26	5	დრეკადი	დრეკადი	PROPN
gs-1672	26	6	გადახრა	გადახრა	NOUN
gs-1672	26	7	(	(	PUNCT
gs-1672	26	8	hs)i	hs)i	PROPN
gs-1672	26	9	განისაზღვრება	განისაზღვრება	VERB
gs-1672	26	10	როგორც	როგორც	PROPN
gs-1672	26	11	(	(	PUNCT
gs-1672	26	12	hs)i	hs)i	PROPN
gs-1672	26	13	=	=	SYM
gs-1672	26	14	(	(	PUNCT
gs-1672	26	15	hs)max	hs)max	ADP
gs-1672	26	16	√	√	VERB
gs-1672	27	1	𝑃𝑖	𝑃𝑖	ADP
gs-1672	27	2	𝑃𝑚𝑎𝑥	𝑃𝑚𝑎𝑥	PROPN
gs-1672	27	3	,	,	PUNCT
gs-1672	27	4	სადაც	სადაც	NOUN
gs-1672	27	5	(	(	PUNCT
gs-1672	27	6	hs)max	hs)max	VERB
gs-1672	27	7	=	=	SYM
gs-1672	27	8	ε	ε	PROPN
gs-1672	27	9	𝑃𝑚𝑎𝑥	𝑃𝑚𝑎𝑥	PROPN
gs-1672	27	10	𝑆	𝑆	PROPN
gs-1672	27	11	;	;	PUNCT
gs-1672	27	12	ε	ε	PROPN
gs-1672	27	13	=	=	SYM
gs-1672	27	14	0.75	0.75	NUM
gs-1672	27	15	,	,	PUNCT
gs-1672	27	16	pmax	pmax	ADJ
gs-1672	27	17	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1672	27	18	დატვირთვა	დატვირთვა	PROPN
gs-1672	27	19	საცდელ	საცდელ	PROPN
gs-1672	27	20	ნიმუშზე	ნიმუშზე	PROPN
gs-1672	27	21	,	,	PUNCT
gs-1672	27	22	s	s	PART
gs-1672	27	23	არის	არის	NOUN
gs-1672	27	24	სიხისტე	სიხისტე	NOUN
gs-1672	27	25	,	,	PUNCT
gs-1672	27	26	ის	ის	PROPN
gs-1672	27	27	განისაზღვრება	განისაზღვრება	PROPN
gs-1672	27	28	ნიმუშზე	ნიმუშზე	PROPN
gs-1672	27	29	განტვირთვის	განტვირთვის	PROPN
gs-1672	27	30	დასაწყისში	დასაწყისში	NOUN
gs-1672	28	1	[	[	X
gs-1672	28	2	10	10	NUM
gs-1672	28	3	]	]	PUNCT
gs-1672	28	4	.	.	PUNCT
gs-1672	29	1	ექსპერიმენტულად	ექსპერიმენტულად	VERB
gs-1672	29	2	განსაზღვრული	განსაზღვრული	PROPN
gs-1672	29	3	ინდენტორი-ნიმუშის	ინდენტორი-ნიმუშის	ADJ
gs-1672	29	4	სისტემის	სისტემის	NOUN
gs-1672	29	5	ეფექტური	ეფექტური	NOUN
gs-1672	29	6	er	er	INTJ
gs-1672	29	7	მოდულით	მოდულით	PROPN
gs-1672	29	8	განისაზღვრება	განისაზღვრება	PROPN
gs-1672	29	9	s	s	PART
gs-1672	29	10	სიდიდე	სიდიდე	NOUN
gs-1672	29	11	:	:	PUNCT
gs-1672	29	12	s	s	NOUN
gs-1672	29	13	=	=	SYM
gs-1672	29	14	2	2	NUM
gs-1672	29	15	𝐸𝑟𝐴𝑒	𝐸𝑟𝐴𝑒	PROPN
gs-1672	29	16	0.5	0.5	NUM
gs-1672	29	17	𝜋0.5	𝜋0.5	NOUN
gs-1672	29	18	,	,	PUNCT
gs-1672	29	19	სადაც	სადაც	NOUN
gs-1672	29	20	1	1	NUM
gs-1672	30	1	𝐸𝑟	𝐸𝑟	ADV
gs-1672	30	2	=	=	SYM
gs-1672	30	3	(	(	PUNCT
gs-1672	30	4	1	1	NUM
gs-1672	30	5	-	-	SYM
gs-1672	30	6	υ2)/	υ2)/	NUM
gs-1672	30	7	eit	eit	NOUN
gs-1672	31	1	+	+	CCONJ
gs-1672	31	2	(	(	PUNCT
gs-1672	31	3	1𝜐𝑖	1𝜐𝑖	ADJ
gs-1672	31	4	2	2	NUM
gs-1672	31	5	)	)	PUNCT
gs-1672	31	6	/	/	PUNCT
gs-1672	31	7	ei	ei	X
gs-1672	32	1	[	[	X
gs-1672	32	2	11	11	NUM
gs-1672	32	3	]	]	PUNCT
gs-1672	32	4	,	,	PUNCT
gs-1672	32	5	eit	eit	PROPN
gs-1672	32	6	,	,	PUNCT
gs-1672	32	7	υ	υ	PRON
gs-1672	32	8	და	და	NOUN
gs-1672	32	9	ei	ei	PROPN
gs-1672	32	10	,	,	PUNCT
gs-1672	32	11	υi	υi	PROPN
gs-1672	32	12	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-1672	32	13	ინდენტორისა	ინდენტორისა	VERB
gs-1672	32	14	და	და	PROPN
gs-1672	32	15	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-1672	32	16	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-1672	32	17	მოდულისა	მოდულისა	PROPN
gs-1672	32	18	და	და	PROPN
gs-1672	32	19	პუასონის	პუასონის	PROPN
gs-1672	32	20	კოეფიციენტის	კოეფიციენტის	PROPN
gs-1672	32	21	სიდიდეებია.	სიდიდეებია.	PROPN
gs-1672	32	22	ზემოთ	ზემოთ	PROPN
gs-1672	32	23	აღწერილი	აღწერილი	PROPN
gs-1672	32	24	თანმიმდევრობა	თანმიმდევრობა	PROPN
gs-1672	32	25	დამუშავებული	დამუშავებული	VERB
gs-1672	32	26	იქნა	იქნა	NOUN
gs-1672	32	27	პროგრამულად	პროგრამულად	VERB
gs-1672	32	28	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1672	32	29	წნევების	წნევების	PROPN
gs-1672	32	30	გამოანგარიშებისათვის	გამოანგარიშებისათვის	NOUN
gs-1672	32	31	,	,	PUNCT
gs-1672	32	32	სადაც	სადაც	PROPN
gs-1672	32	33	გამოყენებულია	გამოყენებულია	PROPN
gs-1672	32	34	შემდეგი	შემდეგი	PROPN
gs-1672	32	35	რიცხვითი	რიცხვითი	NOUN
gs-1672	32	36	მნიშვნელობები	მნიშვნელობები	VERB
gs-1672	32	37	ინდენტორისათვის	ინდენტორისათვის	NOUN
gs-1672	32	38	eit	eit	NOUN
gs-1672	33	1	=	=	SYM
gs-1672	33	2	1140	1140	NUM
gs-1672	33	3	გპა	გპა	PROPN
gs-1672	33	4	,	,	PUNCT
gs-1672	33	5	v	v	NOUN
gs-1672	33	6	=	=	SYM
gs-1672	33	7	0.07	0.07	NUM
gs-1672	33	8	.	.	PUNCT
gs-1672	34	1	სილიციუმისათვის	სილიციუმისათვის	NOUN
gs-1672	34	2	ei	ei	NOUN
gs-1672	34	3	=	=	SYM
gs-1672	34	4	130	130	NUM
gs-1672	34	5	გპა	გპა	PROPN
gs-1672	34	6	,	,	PUNCT
gs-1672	34	7	vi	vi	X
gs-1672	34	8	=	=	SYM
gs-1672	34	9	0.28	0.28	NUM
gs-1672	34	10	(	(	PUNCT
gs-1672	34	11	100	100	NUM
gs-1672	34	12	)	)	PUNCT
gs-1672	34	13	ორიენტაციისათვის	ორიენტაციისათვის	NOUN
gs-1672	35	1	[	[	X
gs-1672	35	2	12	12	NUM
gs-1672	35	3	]	]	PUNCT
gs-1672	35	4	.	.	PUNCT
gs-1672	36	1	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-1672	36	2	ხარისხით	ხარისხით	PROPN
gs-1672	36	3	პოლირებული	პოლირებული	PROPN
gs-1672	36	4	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-1672	36	5	(	(	PUNCT
gs-1672	36	6	100	100	NUM
gs-1672	36	7	)	)	PUNCT
gs-1672	36	8	ზედაპირებზე	ზედაპირებზე	PROPN
gs-1672	36	9	დისლოკაციების	დისლოკაციების	PROPN
gs-1672	36	10	განაწილების	განაწილების	PROPN
gs-1672	36	11	ხასიათისა	ხასიათისა	AUX
gs-1672	36	12	და	და	NOUN
gs-1672	36	13	სიმკვრივის	სიმკვრივის	PROPN
gs-1672	36	14	კვლევა	კვლევა	PROPN
gs-1672	36	15	შესრულდა	შესრულდა	PROPN
gs-1672	36	16	ოპტიკურ	ოპტიკურ	PROPN
gs-1672	36	17	მიკროსკოპზე	მიკროსკოპზე	PROPN
gs-1672	36	18	nmm80rf	nmm80rf	ADV
gs-1672	36	19	/	/	SYM
gs-1672	36	20	trt	trt	PROPN
gs-1672	36	21	.	.	PUNCT
gs-1672	37	1	ოთახის	ოთახის	PROPN
gs-1672	37	2	ტემპერატურაზე	ტემპერატურაზე	PROPN
gs-1672	37	3	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	PROPN
gs-1672	37	4	მახასიათებლები	მახასიათებლები	PROPN
gs-1672	37	5	იზომებოდა	იზომებოდა	NOUN
gs-1672	37	6	ჰოლის	ჰოლის	PROPN
gs-1672	37	7	ეფექტის	ეფექტის	ADJ
gs-1672	37	8	რეგისტრაციით	რეგისტრაციით	PROPN
gs-1672	37	9	0.5	0.5	NUM
gs-1672	37	10	ტესლა	ტესლა	PROPN
gs-1672	37	11	ინდუქციის	ინდუქციის	PROPN
gs-1672	37	12	მუდმივ	მუდმივ	PROPN
gs-1672	37	13	მაგნიტურ	მაგნიტურ	PROPN
gs-1672	37	14	ველში	ველში	PROPN
gs-1672	37	15	ვან	ვან	PROPN
gs-1672	37	16	დერ	დერ	X
gs-1672	37	17	პაუს	პაუს	PROPN
gs-1672	37	18	მეთოდით	მეთოდით	PROPN
gs-1672	37	19	hms-3000	hms-3000	PROPN
gs-1672	38	1	სისტემის	სისტემის	PROPN
gs-1672	38	2	ხელსაწყოზე.	ხელსაწყოზე.	PROPN
gs-1672	38	3	საწყის	საწყის	PROPN
gs-1672	38	4	მდგომარეობაში	მდგომარეობაში	PROPN
gs-1672	38	5	ნიმუშები	ნიმუშები	PROPN
gs-1672	38	6	ხასიათდებიან	ხასიათდებიან	PROPN
gs-1672	38	7	დისლოკაციების	დისლოკაციების	PROPN
gs-1672	38	8	სიმკვრივით	სიმკვრივით	PROPN
gs-1672	38	9	~	~	PUNCT
gs-1672	38	10	104	104	NUM
gs-1672	38	11	სმ	სმ	NOUN
gs-1672	38	12	-2	-2	INTJ
gs-1672	38	13	და	და	PROPN
gs-1672	38	14	კუთრი	კუთრი	ADJ
gs-1672	38	15	ელექტროწინაღობით	ელექტროწინაღობით	NOUN
gs-1672	38	16	4.5	4.5	NUM
gs-1672	38	17	ომი	ომი	NOUN
gs-1672	38	18	სმ.	სმ.	NOUN
gs-1672	39	1	georgian	georgian	ADJ
gs-1672	39	2	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1672	39	3	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1672	39	4	ტ.	ტ.	VERB
gs-1672	39	5	5	5	NUM
gs-1672	39	6	n	n	PRON
gs-1672	39	7	2	2	NUM
gs-1672	39	8	,	,	PUNCT
gs-1672	39	9	2023	2023	NUM
gs-1672	39	10	44	44	NUM
gs-1672	39	11	ექსპერიმენტული	ექსპერიმენტული	NOUN
gs-1672	39	12	შედეგები	შედეგები	NOUN
gs-1672	39	13	და	და	PROPN
gs-1672	39	14	განსჯა	განსჯა	PROPN
gs-1672	39	15	ნახ.	ნახ.	VERB
gs-1672	39	16	1	1	NUM
gs-1672	39	17	.	.	PUNCT
gs-1672	39	18	მონიკრისტალური	მონიკრისტალური	NOUN
gs-1672	39	19	n	n	CCONJ
gs-1672	39	20	-	-	PUNCT
gs-1672	39	21	si-ის	si-ის	NOUN
gs-1672	39	22	ინდენტირების	ინდენტირების	ADJ
gs-1672	39	23	დატვირთვა-გადაადგილების	დატვირთვა-გადაადგილების	SCONJ
gs-1672	39	24	დამოკიდებულებები.	დამოკიდებულებები.	VERB
gs-1672	39	25	----	----	PUNCT
gs-1672	39	26	●	●	PROPN
gs-1672	39	27	---	---	PUNCT
gs-1672	39	28	მაქსიმალური	მაქსიმალური	NOUN
gs-1672	39	29	დატვირთვა	დატვირთვა	ADJ
gs-1672	39	30	100მნ.	100მნ.	PROPN
gs-1672	39	31	----∗---მაქსიმალური	----∗---მაქსიმალური	SYM
gs-1672	39	32	დატვირთვა	დატვირთვა	PROPN
gs-1672	39	33	50მნ	50მნ	NOUN
gs-1672	39	34	ნახ.	ნახ.	NOUN
gs-1672	40	1	1-ზე	1-ზე	PROPN
gs-1672	40	2	ნაჩვენებია	ნაჩვენებია	PROPN
gs-1672	40	3	ინდენტორის	ინდენტორის	PROPN
gs-1672	40	4	დატვირთვა	დატვირთვა	PROPN
gs-1672	40	5	შეღწევის	შეღწევის	PROPN
gs-1672	40	6	გრაფიკული	გრაფიკული	PROPN
gs-1672	40	7	წარმოდგენა	წარმოდგენა	PROPN
gs-1672	40	8	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-1672	40	9	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1672	40	10	დატვირთვის	დატვირთვის	VERB
gs-1672	40	11	50	50	NUM
gs-1672	40	12	მნ	მნ	NOUN
gs-1672	40	13	და	და	PROPN
gs-1672	40	14	100	100	NUM
gs-1672	40	15	მნ	მნ	PROPN
gs-1672	40	16	პირობებში.	პირობებში.	VERB
gs-1672	40	17	ინდენტორის	ინდენტორის	PROPN
gs-1672	40	18	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-1672	40	19	სიღრმეში	სიღრმეში	PROPN
gs-1672	40	20	შეღწევისა	შეღწევისა	PROPN
gs-1672	40	21	და	და	NOUN
gs-1672	40	22	უკუსვლის	უკუსვლის	NOUN
gs-1672	40	23	ეტაპებზე	ეტაპებზე	NOUN
gs-1672	40	24	გრაფიკის	გრაფიკის	VERB
gs-1672	40	25	შტოების	შტოების	ADJ
gs-1672	40	26	ცვლილებები	ცვლილებები	NOUN
gs-1672	40	27	ერთმანეთისაგან	ერთმანეთისაგან	PROPN
gs-1672	40	28	განსხვავებული	განსხვავებული	VERB
gs-1672	40	29	კანონზომიერებით	კანონზომიერებით	PROPN
gs-1672	40	30	ხასიათდებიან.	ხასიათდებიან.	PROPN
gs-1672	40	31	რაც	რაც	VERB
gs-1672	40	32	მიუთითებს	მიუთითებს	PROPN
gs-1672	40	33	დატვირთვა-განტვირთვის	დატვირთვა-განტვირთვის	ADJ
gs-1672	40	34	სრულ	სრულ	NOUN
gs-1672	40	35	ციკლში	ციკლში	NOUN
gs-1672	40	36	დრეკად	დრეკად	VERB
gs-1672	40	37	და	და	PROPN
gs-1672	40	38	არადრეკად	არადრეკად	ADJ
gs-1672	40	39	დეფორმაციაზე	დეფორმაციაზე	NOUN
gs-1672	40	40	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-1672	40	41	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-1672	40	42	ინდენტორის	ინდენტორის	PROPN
gs-1672	40	43	ქვეშ	ქვეშ	PROPN
gs-1672	40	44	არსებულ	არსებულ	PROPN
gs-1672	40	45	ზონაში.	ზონაში.	VERB
gs-1672	40	46	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-1672	40	47	მოდებული	მოდებული	PROPN
gs-1672	40	48	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1672	40	49	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1672	40	50	გაზრდით	გაზრდით	NOUN
gs-1672	40	51	100	100	NUM
gs-1672	40	52	მნ-მდე	მნ-მდე	NUM
gs-1672	40	53	იზრდება	იზრდება	PROPN
gs-1672	40	54	კრისტალში	კრისტალში	PROPN
gs-1672	40	55	შეღწევის	შეღწევის	PROPN
gs-1672	40	56	სიდიდე	სიდიდე	NOUN
gs-1672	40	57	,	,	PUNCT
gs-1672	40	58	ასევე	ასევე	PROPN
gs-1672	40	59	მაღლდება	მაღლდება	PROPN
gs-1672	40	60	ინდენტორის	ინდენტორის	PROPN
gs-1672	40	61	განტვირთვის	განტვირთვის	PROPN
gs-1672	40	62	შემდეგ	შემდეგ	NOUN
gs-1672	40	63	ნარჩენი	ნარჩენი	PROPN
gs-1672	40	64	სიღრმე.	სიღრმე.	ADJ
gs-1672	40	65	უწყვეტი	უწყვეტი	NOUN
gs-1672	40	66	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1672	40	67	ზრდის	ზრდის	ADJ
gs-1672	40	68	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-1672	40	69	შესაბამისი	შესაბამისი	PROPN
gs-1672	40	70	გრაფიკის	გრაფიკის	PROPN
gs-1672	40	71	ფორმა	ფორმა	PROPN
gs-1672	40	72	დამოკიდებული	დამოკიდებული	PROPN
gs-1672	40	73	არ	არ	ADP
gs-1672	40	74	არის	არის	PROPN
gs-1672	40	75	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-1672	40	76	მოდებული	მოდებული	PROPN
gs-1672	40	77	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1672	40	78	დატვირთვაზე.	დატვირთვაზე.	NOUN
gs-1672	40	79	ამავე	ამავე	PROPN
gs-1672	40	80	უბანზე	უბანზე	PROPN
gs-1672	40	81	გრაფიკებზე	გრაფიკებზე	PROPN
gs-1672	40	82	არ	არ	PROPN
gs-1672	40	83	ფიქსირდება	ფიქსირდება	PROPN
gs-1672	40	84	რაიმე	რაიმე	PROPN
gs-1672	40	85	თავისებურება	თავისებურება	PROPN
gs-1672	40	86	(	(	PUNCT
gs-1672	40	87	წყვეტა	წყვეტა	ADJ
gs-1672	40	88	,	,	PUNCT
gs-1672	40	89	დახრილობის	დახრილობის	PROPN
gs-1672	40	90	ცვლილება	ცვლილება	PROPN
gs-1672	40	91	,	,	PUNCT
gs-1672	40	92	ღუნვა	ღუნვა	NOUN
gs-1672	40	93	,	,	PUNCT
gs-1672	40	94	პლატო	პლატო	PROPN
gs-1672	40	95	)	)	PUNCT
gs-1672	40	96	,	,	PUNCT
gs-1672	40	97	ეს	ეს	PROPN
gs-1672	40	98	მიანიშნებს	მიანიშნებს	PROPN
gs-1672	40	99	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-1672	40	100	განვითარებული	განვითარებული	PROPN
gs-1672	40	101	მაღალი	მაღალი	NOUN
gs-1672	40	102	წნევის	წნევის	DET
gs-1672	40	103	გავლენით	გავლენით	NOUN
gs-1672	40	104	მოსალოდნელ	მოსალოდნელ	PROPN
gs-1672	40	105	ფაზურ	ფაზურ	VERB
gs-1672	40	106	გარდაქმნებზე	გარდაქმნებზე	PROPN
gs-1672	40	107	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-1672	40	108	nsi-ის	nsi-ის	PROPN
gs-1672	40	109	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-1672	40	110	ტიპის	ტიპის	NOUN
gs-1672	40	111	სტრუქტურაში.	სტრუქტურაში.	VERB
gs-1672	40	112	ლიტერატურული	ლიტერატურული	PROPN
gs-1672	40	113	წყაროების	წყაროების	NOUN
gs-1672	40	114	თანახმად	თანახმად	NOUN
gs-1672	41	1	[	[	X
gs-1672	41	2	13,14	13,14	NUM
gs-1672	41	3	]	]	X
gs-1672	41	4	ვიკერსის	ვიკერსის	ADJ
gs-1672	41	5	ინდენტორზე	ინდენტორზე	ADJ
gs-1672	41	6	დატვირთვის	დატვირთვის	VERB
gs-1672	41	7	ზრდის	ზრდის	ADJ
gs-1672	41	8	პირობებში	პირობებში	NOUN
gs-1672	41	9	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1672	41	10	გარდაქმნების	გარდაქმნების	PROPN
gs-1672	41	11	გამოვლენა	გამოვლენა	PROPN
gs-1672	41	12	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-1672	41	13	მხოლოდ	მხოლოდ	NOUN
gs-1672	41	14	იშვიათად	იშვიათად	NOUN
gs-1672	41	15	,	,	PUNCT
gs-1672	41	16	ინდენტორზე	ინდენტორზე	ADJ
gs-1672	41	17	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1672	41	18	დროში	დროში	ADJ
gs-1672	41	19	ცვლილების	ცვლილების	NOUN
gs-1672	41	20	სიჩქარის	სიჩქარის	NOUN
gs-1672	41	21	მეტად	მეტად	NOUN
gs-1672	41	22	დაბალი	დაბალი	ADJ
gs-1672	41	23	მნიშვნელობებისათვის.	მნიშვნელობებისათვის.	NOUN
gs-1672	41	24	განტვირთვის	განტვირთვის	PROPN
gs-1672	41	25	საწყის	საწყის	PROPN
gs-1672	41	26	ეტაპზე	ეტაპზე	PROPN
gs-1672	41	27	გრაფიკებზე	გრაფიკებზე	PROPN
gs-1672	41	28	შეინიშნება	შეინიშნება	PROPN
gs-1672	41	29	მაჩვენებლიანი	მაჩვენებლიანი	NOUN
gs-1672	41	30	ფუნქციის	ფუნქციის	PRON
gs-1672	41	31	ანალოგიური	ანალოგიური	PROPN
gs-1672	41	32	ცვლილებები	ცვლილებები	VERB
gs-1672	41	33	,	,	PUNCT
gs-1672	41	34	რაც	რაც	PROPN
gs-1672	41	35	ადასტურებს	ადასტურებს	PROPN
gs-1672	41	36	განტვირთვის	განტვირთვის	PROPN
gs-1672	41	37	დეფორმაციის	დეფორმაციის	PROPN
gs-1672	41	38	დრეკად	დრეკად	NOUN
gs-1672	41	39	ბუნებას.	ბუნებას.	NOUN
gs-1672	41	40	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-1672	41	41	მოდებული	მოდებული	PROPN
gs-1672	41	42	100მნ	100მნ	PROPN
gs-1672	41	43	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1672	41	44	დატვირთვისას	დატვირთვისას	PROPN
gs-1672	41	45	დატვირთვაგანტვირთვის	დატვირთვაგანტვირთვის	PROPN
gs-1672	41	46	გრაფიკის	გრაფიკის	PROPN
gs-1672	41	47	უკუსვლის	უკუსვლის	NOUN
gs-1672	41	48	შტოზე	შტოზე	PROPN
gs-1672	41	49	25	25	NUM
gs-1672	41	50	მნ	მნ	VERB
gs-1672	41	51	სიდიდის	სიდიდის	ADJ
gs-1672	41	52	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1672	41	53	მახლობლობაში	მახლობლობაში	NOUN
gs-1672	41	54	გამოვლინდა	გამოვლინდა	NOUN
gs-1672	41	55	პლატო	პლატო	NOUN
gs-1672	41	56	,	,	PUNCT
gs-1672	41	57	რაც	რაც	PROPN
gs-1672	41	58	მიუთითებს	მიუთითებს	PROPN
gs-1672	41	59	დეფორმაციის	დეფორმაციის	PROPN
gs-1672	41	60	არადრეკადი	არადრეკადი	PROPN
gs-1672	41	61	მდგენელის	მდგენელის	PROPN
gs-1672	41	62	განვითარებას.	განვითარებას.	PROPN
gs-1672	41	63	თანახმად	თანახმად	ADJ
gs-1672	41	64	georgian	georgian	ADJ
gs-1672	41	65	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1672	41	66	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1672	41	67	ტ.	ტ.	VERB
gs-1672	41	68	5	5	NUM
gs-1672	41	69	n	n	PRON
gs-1672	41	70	2	2	NUM
gs-1672	41	71	,	,	PUNCT
gs-1672	41	72	2023	2023	NUM
gs-1672	41	73	45	45	NUM
gs-1672	41	74	ლიტერატურული	ლიტერატურული	NOUN
gs-1672	41	75	მონაცემებისა	მონაცემებისა	VERB
gs-1672	41	76	[	[	PUNCT
gs-1672	41	77	15	15	NUM
gs-1672	41	78	]	]	PUNCT
gs-1672	41	79	განტვირთვა-უკუსვლის	განტვირთვა-უკუსვლის	NOUN
gs-1672	41	80	,	,	PUNCT
gs-1672	41	81	გრაფიკზე	გრაფიკზე	NOUN
gs-1672	41	82	პლატო	პლატო	VERB
gs-1672	41	83	მიეწერება	მიეწერება	PROPN
gs-1672	41	84	ფაზურ	ფაზურ	VERB
gs-1672	41	85	გარდაქმნებთან	გარდაქმნებთან	PROPN
gs-1672	41	86	დაკავშირებულ	დაკავშირებულ	PROPN
gs-1672	41	87	პლასტიკურ	პლასტიკურ	PROPN
gs-1672	41	88	დეფორმაციას	დეფორმაციას	PROPN
gs-1672	41	89	,	,	PUNCT
gs-1672	41	90	ინდენტორის	ინდენტორის	PROPN
gs-1672	41	91	ქვეშ	ქვეშ	PROPN
gs-1672	41	92	განვითარებული	განვითარებული	PROPN
gs-1672	42	1	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-1672	43	1	წნევის	წნევის	PROPN
gs-1672	43	2	გავლენით.	გავლენით.	NOUN
gs-1672	43	3	დეფორმაციის	დეფორმაციის	PROPN
gs-1672	43	4	შესახებ	შესახებ	VERB
gs-1672	43	5	ინფორმაციის	ინფორმაციის	PROPN
gs-1672	43	6	მიღების	მიღების	PROPN
gs-1672	43	7	მიზნით	მიზნით	NOUN
gs-1672	43	8	გაანალიზებულია	გაანალიზებულია	VERB
gs-1672	43	9	50	50	NUM
gs-1672	43	10	მნ	მნ	PROPN
gs-1672	43	11	და	და	VERB
gs-1672	43	12	100	100	NUM
gs-1672	43	13	მნ	მნ	NOUN
gs-1672	43	14	დატვირთვებით	დატვირთვებით	PROPN
gs-1672	43	15	წარმოქმნილი	წარმოქმნილი	VERB
gs-1672	43	16	ინდენტირების	ინდენტირების	ADV
gs-1672	43	17	ანაბეჭდების	ანაბეჭდების	PROPN
gs-1672	43	18	ოპტიკური	ოპტიკური	PROPN
gs-1672	43	19	მეტალოგრაფიული	მეტალოგრაფიული	PROPN
gs-1672	43	20	გამოსახულებები.	გამოსახულებები.	PROPN
gs-1672	43	21	ორივე	ორივე	PROPN
gs-1672	43	22	შემთხვევაში	შემთხვევაში	PROPN
gs-1672	43	23	ოპტიკურ	ოპტიკურ	PROPN
gs-1672	44	1	გამოსახულებებზე	გამოსახულებებზე	PROPN
gs-1672	44	2	არ	არ	PROPN
gs-1672	44	3	ფიქსირდება	ფიქსირდება	PROPN
gs-1672	44	4	ბზარწარმოქმნა	ბზარწარმოქმნა	NOUN
gs-1672	44	5	და	და	PROPN
gs-1672	44	6	დეფორმაცია	დეფორმაცია	PROPN
gs-1672	44	7	მსხვრევით.	მსხვრევით.	NOUN
gs-1672	44	8	პრაქტიკულად	პრაქტიკულად	PROPN
gs-1672	44	9	არ	არ	ADP
gs-1672	44	10	იქნა	იქნა	NOUN
gs-1672	44	11	გამოვლენილი	გამოვლენილი	NOUN
gs-1672	44	12	დისლოკაციური	დისლოკაციური	ADV
gs-1672	44	13	სრიალის	სრიალის	PROPN
gs-1672	44	14	ნაკვალევი.	ნაკვალევი.	PROPN
gs-1672	44	15	მაშასადამე	მაშასადამე	PROPN
gs-1672	44	16	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-1672	44	17	ვივარაუდოთ	ვივარაუდოთ	NOUN
gs-1672	44	18	,	,	PUNCT
gs-1672	44	19	რომ	რომ	PROPN
gs-1672	44	20	განტვირთვა-უკუსვლის	განტვირთვა-უკუსვლის	PROPN
gs-1672	44	21	შტოზე	შტოზე	PROPN
gs-1672	44	22	არსებული	არსებული	PROPN
gs-1672	44	23	პლატო	პლატო	VERB
gs-1672	44	24	განპირობებულია	განპირობებულია	PROPN
gs-1672	44	25	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1672	44	26	გარდაქმნებით	გარდაქმნებით	PROPN
gs-1672	44	27	ძლიერ	ძლიერ	VERB
gs-1672	44	28	ლოკალიზებულ	ლოკალიზებულ	PROPN
gs-1672	44	29	არეში	არეში	PROPN
gs-1672	44	30	ინდენტორის	ინდენტორის	PROPN
gs-1672	44	31	წვეროს	წვეროს	ADJ
gs-1672	44	32	ქვეშ.	ქვეშ.	NOUN
gs-1672	44	33	~	~	PUNCT
gs-1672	44	34	1014	1014	NUM
gs-1672	44	35	ფლუენსის	ფლუენსის	PROPN
gs-1672	44	36	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-1672	44	37	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1672	44	38	დასხივება	დასხივება	ADJ
gs-1672	44	39	,	,	PUNCT
gs-1672	44	40	რომლის	რომლის	NOUN
gs-1672	44	41	შედეგად	შედეგად	NOUN
gs-1672	44	42	n	n	CCONJ
gs-1672	44	43	-	-	PUNCT
gs-1672	44	44	siს	siს	NOUN
gs-1672	44	45	კრისტალურ	კრისტალურ	VERB
gs-1672	44	46	მესერში	მესერში	PROPN
gs-1672	44	47	ფორმირდება	ფორმირდება	PROPN
gs-1672	44	48	წერტილოვანი	წერტილოვანი	PROPN
gs-1672	44	49	რადიაციული	რადიაციული	PROPN
gs-1672	44	50	დეფექტები	დეფექტები	NOUN
gs-1672	44	51	,	,	PUNCT
gs-1672	44	52	იწვევს	იწვევს	X
gs-1672	44	53	დატვირთვა-შეღწევის	დატვირთვა-შეღწევის	ADJ
gs-1672	44	54	გრაფიკების	გრაფიკების	NOUN
gs-1672	44	55	დახრილობის	დახრილობის	PROPN
gs-1672	44	56	სუსტ	სუსტ	VERB
gs-1672	44	57	ცვლილებას	ცვლილებას	ADJ
gs-1672	44	58	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1672	44	59	ზრდის	ზრდის	ADV
gs-1672	44	60	ეტაპზე.	ეტაპზე.	NOUN
gs-1672	44	61	განტვირთვის	განტვირთვის	PROPN
gs-1672	44	62	ეტაპზე	ეტაპზე	PROPN
gs-1672	45	1	ვლინდება	ვლინდება	ADJ
gs-1672	45	2	გაგანიერებული	გაგანიერებული	NOUN
gs-1672	45	3	ბაქანი	ბაქანი	NOUN
gs-1672	45	4	და	და	VERB
gs-1672	45	5	შემდგომში	შემდგომში	ADJ
gs-1672	45	6	გრაფიკის	გრაფიკის	PROPN
gs-1672	45	7	სიმრუდის	სიმრუდის	ADV
gs-1672	45	8	ცვლილება.	ცვლილება.	PROPN
gs-1672	45	9	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1672	46	1	დასხივებულ	დასხივებულ	PROPN
gs-1672	46	2	ნიმუშებში	ნიმუშებში	VERB
gs-1672	46	3	მკაფიოდ	მკაფიოდ	PROPN
gs-1672	46	4	იზრდება	იზრდება	PROPN
gs-1672	46	5	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-1672	46	6	მოდებული	მოდებული	PROPN
gs-1672	46	7	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1672	46	8	სიდიდე	სიდიდე	NOUN
gs-1672	46	9	ბაქანის	ბაქანის	NOUN
gs-1672	46	10	მახლობლობაში	მახლობლობაში	PROPN
gs-1672	46	11	100მნ	100მნ	PROPN
gs-1672	46	12	მაქსიმალურ	მაქსიმალურ	PROPN
gs-1672	46	13	დატვირთვაზე.	დატვირთვაზე.	PROPN
gs-1672	47	1	[	[	X
gs-1672	47	2	ნახ	ნახ	NOUN
gs-1672	47	3	2	2	NUM
gs-1672	47	4	]	]	PUNCT
gs-1672	47	5	.	.	PUNCT
gs-1672	48	1	ნახ.2	ნახ.2	NUM
gs-1672	48	2	.	.	PUNCT
gs-1672	49	1	12	12	NUM
gs-1672	49	2	მევ	მევ	PROPN
gs-1672	49	3	ენერგიის	ენერგიის	PROPN
gs-1672	49	4	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1672	49	5	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-1672	49	6	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-1672	49	7	n	n	CCONJ
gs-1672	49	8	-	-	PUNCT
gs-1672	49	9	si-ის	si-ის	NOUN
gs-1672	49	10	ინდენტირების	ინდენტირების	ADV
gs-1672	49	11	დატვირთვა-გადაადგილების	დატვირთვა-გადაადგილების	SCONJ
gs-1672	49	12	დამოკიდებულებები.	დამოკიდებულებები.	VERB
gs-1672	49	13	----	----	PUNCT
gs-1672	49	14	●	●	PROPN
gs-1672	49	15	---	---	PUNCT
gs-1672	49	16	მაქსიმალური	მაქსიმალური	NOUN
gs-1672	49	17	დატვირთვა	დატვირთვა	ADJ
gs-1672	49	18	100მნ.	100მნ.	PROPN
gs-1672	49	19	----∗---მაქსიმალური	----∗---მაქსიმალური	SYM
gs-1672	49	20	დატვირთვა	დატვირთვა	PROPN
gs-1672	49	21	50მნ.	50მნ.	NUM
gs-1672	49	22	ინდენტირებით	ინდენტირებით	NOUN
gs-1672	49	23	ინდუცირებული	ინდუცირებული	PROPN
gs-1672	49	24	ფაზების	ფაზების	PROPN
gs-1672	49	25	იდენტიფიკაციაში	იდენტიფიკაციაში	PROPN
gs-1672	49	26	უმთავრესად	უმთავრესად	ADJ
gs-1672	49	27	იყენებენ	იყენებენ	NOUN
gs-1672	49	28	საშუალო	საშუალო	ADJ
gs-1672	49	29	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1672	50	1	წნევის	წნევის	DET
gs-1672	50	2	მნიშვნელობებს	მნიშვნელობებს	ADJ
gs-1672	50	3	,	,	PUNCT
gs-1672	50	4	რომელიც	რომელიც	ADJ
gs-1672	50	5	უმნიშვნელოდ	უმნიშვნელოდ	PROPN
gs-1672	50	6	იცვლება	იცვლება	PROPN
gs-1672	50	7	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1672	50	8	სიდიდისა	სიდიდისა	NOUN
gs-1672	50	9	და	და	NOUN
gs-1672	50	10	ცვლილების	ცვლილების	NOUN
gs-1672	50	11	სიჩქარის	სიჩქარის	NOUN
gs-1672	50	12	ფართო	ფართო	PROPN
gs-1672	50	13	დიაპაზონებში.	დიაპაზონებში.	VERB
gs-1672	50	14	georgian	georgian	ADJ
gs-1672	50	15	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1672	50	16	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1672	50	17	ტ.	ტ.	VERB
gs-1672	50	18	5	5	NUM
gs-1672	50	19	n	n	PRON
gs-1672	50	20	2	2	NUM
gs-1672	50	21	,	,	PUNCT
gs-1672	50	22	2023	2023	NUM
gs-1672	50	23	46	46	NUM
gs-1672	50	24	ნახ	ნახ	PROPN
gs-1672	50	25	3	3	NUM
gs-1672	50	26	.	.	PUNCT
gs-1672	50	27	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-1672	50	28	n	n	CCONJ
gs-1672	50	29	-	-	PUNCT
gs-1672	50	30	si-ის	si-ის	PROPN
gs-1672	50	31	საშუალი	საშუალი	ADJ
gs-1672	50	32	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1672	50	33	წნევის	წნევის	DET
gs-1672	50	34	კონტაქტის	კონტაქტის	NOUN
gs-1672	50	35	სიღრმეზე	სიღრმეზე	NOUN
gs-1672	50	36	დამოკიდებულებები.	დამოკიდებულებები.	VERB
gs-1672	51	1	----	----	PUNCT
gs-1672	52	1	●	●	PROPN
gs-1672	52	2	---	---	PUNCT
gs-1672	52	3	მაქსიმალური	მაქსიმალური	NOUN
gs-1672	52	4	დატვირთვა	დატვირთვა	ADJ
gs-1672	52	5	100მნ.	100მნ.	PROPN
gs-1672	52	6	----∗---მაქსიმალური	----∗---მაქსიმალური	SYM
gs-1672	52	7	დატვირთვა	დატვირთვა	PROPN
gs-1672	52	8	50მნ.	50მნ.	NUM
gs-1672	52	9	ნახ	ნახ	ADJ
gs-1672	52	10	3-ზე	3-ზე	NUM
gs-1672	52	11	წარმოდგენილია	წარმოდგენილია	VERB
gs-1672	52	12	საშუალო	საშუალო	ADJ
gs-1672	52	13	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1672	52	14	წნევებისა	წნევებისა	VERB
gs-1672	52	15	და	და	NOUN
gs-1672	52	16	ინდენტორის	ინდენტორის	NOUN
gs-1672	52	17	კრისტალში	კრისტალში	AUX
gs-1672	52	18	გადაადგილების	გადაადგილების	ADJ
gs-1672	52	19	გრაფიკები	გრაფიკები	NOUN
gs-1672	52	20	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1672	52	21	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1672	52	22	50მნ	50მნ	NOUN
gs-1672	52	23	და	და	PROPN
gs-1672	52	24	100მნ	100მნ	PROPN
gs-1672	52	25	მნიშვნელობებისათვის.	მნიშვნელობებისათვის.	PROPN
gs-1672	52	26	ჩანს	ჩანს	PROPN
gs-1672	52	27	,	,	PUNCT
gs-1672	52	28	რომ	რომ	PROPN
gs-1672	52	29	განტვირთვის	განტვირთვის	PROPN
gs-1672	52	30	დროს	დროს	VERB
gs-1672	52	31	გამოვლენილი	გამოვლენილი	NOUN
gs-1672	52	32	გადახრები	გადახრები	NOUN
gs-1672	52	33	დაიმზირებიან	დაიმზირებიან	VERB
gs-1672	52	34	საშუალო	საშუალო	NOUN
gs-1672	52	35	წნევის	წნევის	DET
gs-1672	52	36	5	5	NUM
gs-1672	52	37	-	-	SYM
gs-1672	52	38	5.5	5.5	NUM
gs-1672	52	39	გპა	გპა	PROPN
gs-1672	52	40	შუალედში.	შუალედში.	VERB
gs-1672	52	41	~	~	PUNCT
gs-1672	52	42	1014	1014	NUM
gs-1672	52	43	სმ-2	სმ-2	VERB
gs-1672	52	44	ფლუენსის	ფლუენსის	PROPN
gs-1672	52	45	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-1672	52	46	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1672	52	47	დასხივება	დასხივება	PROPN
gs-1672	52	48	პრაქტიკულად	პრაქტიკულად	PROPN
gs-1672	52	49	არ	არ	AUX
gs-1672	52	50	იწვევს	იწვევს	PROPN
gs-1672	52	51	არსებით	არსებით	PROPN
gs-1672	52	52	ცვლილებებს	ცვლილებებს	PROPN
gs-1672	52	53	ინდენტორზე	ინდენტორზე	ADJ
gs-1672	52	54	დატვირთვა-განტვირთვის	დატვირთვა-განტვირთვის	ADJ
gs-1672	52	55	ფუნქციონალურ	ფუნქციონალურ	ADJ
gs-1672	52	56	დამოკიდებულებებში.	დამოკიდებულებებში.	VERB
gs-1672	52	57	დაუსხივებელ	დაუსხივებელ	VERB
gs-1672	52	58	მდგომარეობასთან	მდგომარეობასთან	ADV
gs-1672	52	59	შედარებით	შედარებით	PROPN
gs-1672	52	60	შეიმჩნევა	შეიმჩნევა	PROPN
gs-1672	52	61	საშუალო	საშუალო	PROPN
gs-1672	52	62	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1672	53	1	წნევის	წნევის	PRON
gs-1672	53	2	სუსტი	სუსტი	PROPN
gs-1672	53	3	მატება	მატება	PROPN
gs-1672	53	4	(	(	PUNCT
gs-1672	53	5	ნახ.4	ნახ.4	PROPN
gs-1672	53	6	)	)	PUNCT
gs-1672	53	7	.	.	PUNCT
gs-1672	54	1	ნახ	ნახ	PROPN
gs-1672	54	2	4	4	NUM
gs-1672	54	3	.	.	NUM
gs-1672	54	4	12	12	NUM
gs-1672	54	5	მევ	მევ	PROPN
gs-1672	54	6	ენერგიის	ენერგიის	PROPN
gs-1672	54	7	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1672	54	8	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-1672	54	9	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-1672	54	10	n	n	CCONJ
gs-1672	54	11	-	-	PUNCT
gs-1672	54	12	si-ის	si-ის	PROPN
gs-1672	54	13	ინდენტირების	ინდენტირების	PROPN
gs-1672	54	14	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-1672	54	15	საშუალო	საშუალო	ADJ
gs-1672	54	16	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1672	55	1	წნევის	წნევის	DET
gs-1672	55	2	კონტაქტის	კონტაქტის	NOUN
gs-1672	55	3	სიღრმეზე	სიღრმეზე	NOUN
gs-1672	55	4	დამოკიდებულებები.	დამოკიდებულებები.	VERB
gs-1672	55	5	----	----	PUNCT
gs-1672	55	6	●	●	PROPN
gs-1672	55	7	---	---	PUNCT
gs-1672	55	8	მაქსიმალური	მაქსიმალური	NOUN
gs-1672	55	9	დატვირთვა	დატვირთვა	ADJ
gs-1672	55	10	100მნ.	100მნ.	PROPN
gs-1672	55	11	----∗---მაქსიმალური	----∗---მაქსიმალური	SYM
gs-1672	55	12	დატვირთვა	დატვირთვა	ADJ
gs-1672	55	13	50მნ.	50მნ.	NUM
gs-1672	55	14	georgian	georgian	ADJ
gs-1672	55	15	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1672	55	16	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1672	55	17	ტ.	ტ.	VERB
gs-1672	55	18	5	5	NUM
gs-1672	55	19	n	n	PRON
gs-1672	55	20	2	2	NUM
gs-1672	55	21	,	,	PUNCT
gs-1672	55	22	2023	2023	NUM
gs-1672	55	23	47	47	NUM
gs-1672	55	24	საწყისი	საწყისი	NOUN
gs-1672	55	25	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-1672	55	26	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-1672	55	27	მოდულის	მოდულის	PROPN
gs-1672	55	28	(	(	PUNCT
gs-1672	55	29	e	e	NOUN
gs-1672	55	30	)	)	PUNCT
gs-1672	55	31	გამოანგარიშებით	გამოანგარიშებით	PROPN
gs-1672	55	32	მიღებულია	მიღებულია	ADJ
gs-1672	55	33	შემდეგი	შემდეგი	PROPN
gs-1672	55	34	მნიშვნელობები	მნიშვნელობები	NOUN
gs-1672	55	35	:	:	PUNCT
gs-1672	55	36	50	50	NUM
gs-1672	55	37	მნ	მნ	NUM
gs-1672	55	38	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1672	55	39	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1672	55	40	შემთხვევაში	შემთხვევაში	PROPN
gs-1672	55	41	e=186.0	e=186.0	PROPN
gs-1672	55	42	გპა	გპა	PROPN
gs-1672	55	43	,	,	PUNCT
gs-1672	55	44	ხოლო	ხოლო	NOUN
gs-1672	55	45	100	100	NUM
gs-1672	55	46	მნ	მნ	PROPN
gs-1672	55	47	მაქსიმალურ	მაქსიმალურ	PROPN
gs-1672	55	48	დატვირთვაზე	დატვირთვაზე	PROPN
gs-1672	55	49	e=185.8	e=185.8	PROPN
gs-1672	55	50	გპა.	გპა.	VERB
gs-1672	55	51	~1013სმ-2	~1013სმ-2	NUM
gs-1672	55	52	ფლუენსით	ფლუენსით	NOUN
gs-1672	55	53	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	ADJ
gs-1672	55	54	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1672	55	55	დასხივება	დასხივება	ADJ
gs-1672	55	56	იწვევს	იწვევს	PROPN
gs-1672	55	57	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-1672	55	58	მოდულის	მოდულის	PROPN
gs-1672	55	59	სუსტად	სუსტად	PROPN
gs-1672	55	60	ზრდას	ზრდას	NOUN
gs-1672	55	61	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1672	55	62	დატვირთვის	დატვირთვის	VERB
gs-1672	55	63	ორივე	ორივე	NOUN
gs-1672	55	64	მნიშვნელობაზე.	მნიშვნელობაზე.	PROPN
gs-1672	55	65	როდესაც	როდესაც	PROPN
gs-1672	55	66	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1672	55	67	დატვირთვა	დატვირთვა	ADJ
gs-1672	55	68	არის	არის	NOUN
gs-1672	55	69	50	50	NUM
gs-1672	55	70	მნ	მნ	NOUN
gs-1672	55	71	,	,	PUNCT
gs-1672	55	72	მაშინ	მაშინ	PROPN
gs-1672	55	73	e=201.4	e=201.4	PROPN
gs-1672	55	74	გპა	გპა	PROPN
gs-1672	55	75	,	,	PUNCT
gs-1672	55	76	ხოლო	ხოლო	NOUN
gs-1672	55	77	მაქსიმალურ	მაქსიმალურ	NOUN
gs-1672	55	78	100	100	NUM
gs-1672	55	79	მნ	მნ	PROPN
gs-1672	55	80	დატვირთვაზე	დატვირთვაზე	PROPN
gs-1672	55	81	ის	ის	NOUN
gs-1672	55	82	შეადგენს	შეადგენს	PROPN
gs-1672	55	83	190.2	190.2	NUM
gs-1672	55	84	გპა.	გპა.	X
gs-1672	55	85	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-1672	55	86	მოდულის	მოდულის	PROPN
gs-1672	55	87	ცვლილებებში	ცვლილებებში	PROPN
gs-1672	55	88	რადიაციული	რადიაციული	PROPN
gs-1672	55	89	განმტკიცების	განმტკიცების	PROPN
gs-1672	55	90	სუსტად	სუსტად	ADJ
gs-1672	55	91	გამოვლინება	გამოვლინება	PROPN
gs-1672	55	92	განპირობებულია	განპირობებულია	VERB
gs-1672	55	93	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	NOUN
gs-1672	55	94	ელექტრონების	ელექტრონების	VERB
gs-1672	55	95	დაბალი	დაბალი	ADJ
gs-1672	55	96	ფლუენსით.	ფლუენსით.	NOUN
gs-1672	55	97	ექსპერიმენტულად	ექსპერიმენტულად	VERB
gs-1672	55	98	დადგენილი	დადგენილი	PROPN
gs-1672	55	99	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	PROPN
gs-1672	55	100	და	და	PROPN
gs-1672	55	101	დინამიური	დინამიური	PROPN
gs-1672	55	102	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-1672	55	103	თვისებების	თვისებების	ADJ
gs-1672	55	104	სპეციფიკური	სპეციფიკური	PROPN
gs-1672	55	105	ცვლილებები	ცვლილებები	NOUN
gs-1672	55	106	გამოწვეული	გამოწვეული	NOUN
gs-1672	55	107	ელექტრონების	ელექტრონების	NOUN
gs-1672	55	108	რადიაციისა	რადიაციისა	VERB
gs-1672	55	109	და	და	PROPN
gs-1672	55	110	განსაკუთრებით	განსაკუთრებით	NOUN
gs-1672	55	111	,	,	PUNCT
gs-1672	55	112	ინდენტირების	ინდენტირების	ADJ
gs-1672	55	113	პროცესებში	პროცესებში	NOUN
gs-1672	55	114	განვითარებული	განვითარებული	PROPN
gs-1672	55	115	სტრუქტურული	სტრუქტურული	VERB
gs-1672	55	116	გარდაქმნებით	გარდაქმნებით	PROPN
gs-1672	55	117	,	,	PUNCT
gs-1672	55	118	მათი	მათი	NOUN
gs-1672	55	119	იდენტიფიკაციისას	იდენტიფიკაციისას	ADJ
gs-1672	55	120	და	და	PROPN
gs-1672	55	121	შესაბამისად	შესაბამისად	PROPN
gs-1672	55	122	სტრუქტურულად	სტრუქტურულად	PROPN
gs-1672	55	123	მგრძნობიარე	მგრძნობიარე	PROPN
gs-1672	55	124	თვისებების	თვისებების	PROPN
gs-1672	55	125	ცვლილებათა	ცვლილებათა	ADJ
gs-1672	55	126	მექანიზმების	მექანიზმების	PROPN
gs-1672	55	127	დასადგენად	დასადგენად	PROPN
gs-1672	55	128	,	,	PUNCT
gs-1672	55	129	აუცილებელია	აუცილებელია	ADJ
gs-1672	55	130	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1672	55	131	შედგენილობისა	შედგენილობისა	PROPN
gs-1672	55	132	და	და	PROPN
gs-1672	55	133	მდგრადობის	მდგრადობის	PROPN
gs-1672	55	134	კვლევა	კვლევა	PROPN
gs-1672	55	135	ელექტრონული	ელექტრონული	PROPN
gs-1672	55	136	დიფრაქციისა	დიფრაქციისა	VERB
gs-1672	55	137	და	და	PROPN
gs-1672	55	138	რამანის	რამანის	NOUN
gs-1672	55	139	სპექტროსკოპიის	სპექტროსკოპიის	NOUN
gs-1672	55	140	მეთოდებით.	მეთოდებით.	NOUN
gs-1672	55	141	ლიტერატურა	ლიტერატურა	NOUN
gs-1672	55	142	1	1	NUM
gs-1672	55	143	.	.	PUNCT
gs-1672	56	1	j.c	j.c	PROPN
gs-1672	56	2	jamieson	jamieson	PROPN
gs-1672	56	3	j.science	j.science	PROPN
gs-1672	56	4	,	,	PUNCT
gs-1672	56	5	139	139	NUM
gs-1672	56	6	(	(	PUNCT
gs-1672	56	7	1963	1963	NUM
gs-1672	56	8	)	)	PUNCT
gs-1672	56	9	,	,	PUNCT
gs-1672	56	10	762	762	NUM
gs-1672	56	11	-	-	SYM
gs-1672	56	12	766	766	NUM
gs-1672	56	13	.	.	NOUN
gs-1672	56	14	2	2	NUM
gs-1672	56	15	.	.	X
gs-1672	56	16	j.z.hu	j.z.hu	PROPN
gs-1672	56	17	,	,	PUNCT
gs-1672	56	18	l.d.merkle	l.d.merkle	ADJ
gs-1672	56	19	,	,	PUNCT
gs-1672	56	20	c.s.menoni	c.s.menoni	ADJ
gs-1672	56	21	and	and	CCONJ
gs-1672	56	22	j.l.spain	j.l.spain	ADJ
gs-1672	56	23	.	.	PUNCT
gs-1672	57	1	j.phys	j.phy	NOUN
gs-1672	57	2	.	.	PUNCT
gs-1672	58	1	rev	rev	PROPN
gs-1672	58	2	.	.	PROPN
gs-1672	58	3	,	,	PUNCT
gs-1672	58	4	b34	b34	PROPN
gs-1672	58	5	u.t(1986	u.t(1986	PROPN
gs-1672	58	6	)	)	PUNCT
gs-1672	58	7	,	,	PUNCT
gs-1672	58	8	4679	4679	NUM
gs-1672	58	9	-	-	SYM
gs-1672	58	10	4683	4683	NUM
gs-1672	58	11	.	.	PUNCT
gs-1672	59	1	3	3	X
gs-1672	59	2	.	.	X
gs-1672	59	3	j.crain	j.crain	PROPN
gs-1672	59	4	,	,	PUNCT
gs-1672	59	5	g.j.ackland	g.j.ackland	NOUN
gs-1672	59	6	,	,	PUNCT
gs-1672	59	7	j.r.maclean	j.r.maclean	ADJ
gs-1672	59	8	,	,	PUNCT
gs-1672	59	9	r.o.piltz	r.o.piltz	ADJ
gs-1672	59	10	,	,	PUNCT
gs-1672	59	11	p.d.hatton	p.d.hatton	NOUN
gs-1672	59	12	and	and	CCONJ
gs-1672	59	13	g.s.pawley	g.s.pawley	PROPN
gs-1672	59	14	j.phys	j.phys	PROPN
gs-1672	59	15	rev	rev	VERB
gs-1672	59	16	.	.	PROPN
gs-1672	59	17	,	,	PUNCT
gs-1672	59	18	b50	b50	PROPN
gs-1672	59	19	(	(	PUNCT
gs-1672	59	20	1994	1994	NUM
gs-1672	59	21	)	)	PUNCT
gs-1672	59	22	,	,	PUNCT
gs-1672	59	23	1304313047	1304313047	NUM
gs-1672	59	24	.	.	PUNCT
gs-1672	60	1	4	4	X
gs-1672	60	2	.	.	X
gs-1672	60	3	r.o.piltz	r.o.piltz	ADJ
gs-1672	60	4	,	,	PUNCT
gs-1672	60	5	j.r.macklean	j.r.macklean	ADJ
gs-1672	60	6	,	,	PUNCT
gs-1672	60	7	s.j.clark	s.j.clark	PROPN
gs-1672	60	8	,	,	PUNCT
gs-1672	60	9	g.j.ackland	g.j.ackland	PROPN
gs-1672	60	10	,	,	PUNCT
gs-1672	60	11	p.d.hatton	p.d.hatton	NOUN
gs-1672	60	12	and	and	CCONJ
gs-1672	60	13	j.grain	j.grain	VERB
gs-1672	60	14	j.phys	j.phy	NOUN
gs-1672	60	15	.	.	PUNCT
gs-1672	61	1	rev	rev	PROPN
gs-1672	61	2	.	.	PROPN
gs-1672	61	3	,	,	PUNCT
gs-1672	61	4	b52	b52	PROPN
gs-1672	61	5	(	(	PUNCT
gs-1672	61	6	1995	1995	NUM
gs-1672	61	7	)	)	PUNCT
gs-1672	61	8	,	,	PUNCT
gs-1672	61	9	4072	4072	NUM
gs-1672	61	10	-	-	SYM
gs-1672	61	11	4076	4076	NUM
gs-1672	61	12	.	.	PUNCT
gs-1672	62	1	5	5	NUM
gs-1672	62	2	.	.	X
gs-1672	62	3	a.kailer	a.kailer	PROPN
gs-1672	62	4	,	,	PUNCT
gs-1672	62	5	y.g.gogotsi	y.g.gogotsi	PROPN
gs-1672	62	6	and	and	CCONJ
gs-1672	62	7	k.g.nickel	k.g.nickel	PROPN
gs-1672	62	8	.	.	PUNCT
gs-1672	63	1	i.appl	i.appl	NOUN
gs-1672	63	2	.	.	PUNCT
gs-1672	64	1	phys	phy	NOUN
gs-1672	64	2	.	.	PUNCT
gs-1672	64	3	,	,	PUNCT
gs-1672	64	4	81	81	NUM
gs-1672	64	5	(	(	PUNCT
gs-1672	64	6	1997	1997	NUM
gs-1672	64	7	)	)	PUNCT
gs-1672	64	8	,	,	PUNCT
gs-1672	64	9	3057	3057	NUM
gs-1672	64	10	-	-	SYM
gs-1672	64	11	3064	3064	NUM
gs-1672	64	12	.	.	PUNCT
gs-1672	65	1	6	6	NUM
gs-1672	65	2	.	.	PUNCT
gs-1672	66	1	u.t.yin	u.t.yin	PROPN
gs-1672	66	2	and	and	CCONJ
gs-1672	66	3	u.l.cohen.i.phys.rev	u.l.cohen.i.phys.rev	PRON
gs-1672	66	4	.	.	PROPN
gs-1672	66	5	,	,	PUNCT
gs-1672	66	6	b26	b26	X
gs-1672	66	7	(	(	PUNCT
gs-1672	66	8	1982	1982	NUM
gs-1672	66	9	)	)	PUNCT
gs-1672	66	10	,	,	PUNCT
gs-1672	66	11	5668	5668	NUM
gs-1672	66	12	-	-	SYM
gs-1672	66	13	5674	5674	NUM
gs-1672	66	14	.	.	PUNCT
gs-1672	67	1	7	7	X
gs-1672	67	2	.	.	NUM
gs-1672	67	3	i.s.kasper	i.s.kasper	NOUN
gs-1672	67	4	and	and	CCONJ
gs-1672	67	5	s.h.richards	s.h.richard	NOUN
gs-1672	67	6	.	.	PUNCT
gs-1672	68	1	i.acta	i.acta	PROPN
gs-1672	68	2	crystall	crystall	PROPN
gs-1672	68	3	.	.	PUNCT
gs-1672	68	4	,	,	PUNCT
gs-1672	68	5	17	17	NUM
gs-1672	68	6	(	(	PUNCT
gs-1672	68	7	1964	1964	NUM
gs-1672	68	8	)	)	PUNCT
gs-1672	68	9	,	,	PUNCT
gs-1672	68	10	752	752	NUM
gs-1672	68	11	-	-	SYM
gs-1672	68	12	757	757	NOUN
gs-1672	68	13	.	.	PUNCT
gs-1672	69	1	8	8	NUM
gs-1672	69	2	.	.	X
gs-1672	69	3	v.domnich	v.domnich	NOUN
gs-1672	69	4	and	and	CCONJ
gs-1672	69	5	y.gogotsi	y.gogotsi	NOUN
gs-1672	69	6	.	.	PUNCT
gs-1672	70	1	i.rev.adv.mater.sci	i.rev.adv.mater.sci	PROPN
gs-1672	70	2	.	.	PUNCT
gs-1672	71	1	,	,	PUNCT
gs-1672	71	2	3	3	NUM
gs-1672	71	3	(	(	PUNCT
gs-1672	71	4	2002	2002	NUM
gs-1672	71	5	)	)	PUNCT
gs-1672	71	6	,	,	PUNCT
gs-1672	71	7	1	1	NUM
gs-1672	71	8	-	-	SYM
gs-1672	71	9	36	36	NUM
gs-1672	71	10	.	.	PUNCT
gs-1672	72	1	9	9	NUM
gs-1672	72	2	.	.	X
gs-1672	73	1	a.d.sidiropoulos	a.d.sidiropoulos	PROPN
gs-1672	73	2	,	,	PUNCT
gs-1672	73	3	e.harea	e.harea	PROPN
gs-1672	73	4	,	,	PUNCT
gs-1672	73	5	a.a.konstantinidis	a.a.konstantinidis	PROPN
gs-1672	73	6	and	and	CCONJ
gs-1672	73	7	e.c.aifantis	e.c.aifantis	PROPN
gs-1672	73	8	i.mech	i.mech	PROPN
gs-1672	73	9	.	.	PUNCT
gs-1672	74	1	behau	behau	NOUN
gs-1672	74	2	mater	mater	PROPN
gs-1672	74	3	.	.	PUNCT
gs-1672	74	4	,	,	PUNCT
gs-1672	74	5	26(12),(2017	26(12),(2017	NUM
gs-1672	74	6	)	)	PUNCT
gs-1672	74	7	,	,	PUNCT
gs-1672	74	8	65	65	NUM
gs-1672	74	9	-	-	SYM
gs-1672	74	10	71	71	NUM
gs-1672	74	11	.	.	PUNCT
gs-1672	74	12	10	10	NUM
gs-1672	74	13	.	.	PUNCT
gs-1672	75	1	t.juliano	t.juliano	NOUN
gs-1672	75	2	,	,	PUNCT
gs-1672	75	3	y.gogotsi	y.gogotsi	NOUN
gs-1672	75	4	,	,	PUNCT
gs-1672	75	5	and	and	CCONJ
gs-1672	75	6	v.domnich	v.domnich	X
gs-1672	75	7	.	.	PUNCT
gs-1672	76	1	j.mater.res	j.mater.re	NOUN
gs-1672	76	2	.	.	PROPN
gs-1672	76	3	,	,	PUNCT
gs-1672	76	4	vol.18,n5,2003	vol.18,n5,2003	PROPN
gs-1672	76	5	,	,	PUNCT
gs-1672	76	6	1192	1192	NUM
gs-1672	76	7	-	-	SYM
gs-1672	76	8	1201	1201	NUM
gs-1672	76	9	.	.	PUNCT
gs-1672	77	1	11	11	NUM
gs-1672	77	2	.	.	X
gs-1672	78	1	u.zelenak	u.zelenak	NOUN
gs-1672	78	2	,	,	PUNCT
gs-1672	78	3	j.valesek	j.valesek	PROPN
gs-1672	78	4	,	,	PUNCT
gs-1672	78	5	s.hloch.i.metallurgiya	s.hloch.i.metallurgiya	NOUN
gs-1672	78	6	,	,	PUNCT
gs-1672	78	7	51,3,2012	51,3,2012	NUM
gs-1672	78	8	,	,	PUNCT
gs-1672	78	9	309	309	NUM
gs-1672	78	10	-	-	SYM
gs-1672	78	11	312	312	NUM
gs-1672	78	12	.	.	PUNCT
gs-1672	79	1	georgian	georgian	ADJ
gs-1672	79	2	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	PROPN
gs-1672	79	3	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1672	79	4	ტ.	ტ.	VERB
gs-1672	79	5	5	5	NUM
gs-1672	79	6	n	n	DET
gs-1672	79	7	2	2	NUM
gs-1672	79	8	,	,	PUNCT
gs-1672	79	9	2023	2023	NUM
gs-1672	79	10	48	48	NUM
gs-1672	79	11	12	12	NUM
gs-1672	79	12	.	.	PUNCT
gs-1672	80	1	c.r.das	c.r.das	PROPN
gs-1672	80	2	,	,	PUNCT
gs-1672	80	3	s.dhara	s.dhara	NOUN
gs-1672	80	4	,	,	PUNCT
gs-1672	80	5	yeau	yeau	PROPN
gs-1672	80	6	-	-	PUNCT
gs-1672	80	7	ren	ren	PROPN
gs-1672	80	8	jeng	jeng	PROPN
gs-1672	80	9	,	,	PUNCT
gs-1672	80	10	h.c.hsu	h.c.hsu	PROPN
gs-1672	80	11	,	,	PUNCT
gs-1672	80	12	k.h.chen	k.h.chen	NOUN
gs-1672	80	13	.	.	PUNCT
gs-1672	81	1	i.appl	i.appl	NOUN
gs-1672	81	2	.	.	PUNCT
gs-1672	82	1	phys.letters	phys.letter	NOUN
gs-1672	82	2	,	,	PUNCT
gs-1672	82	3	96,2010	96,2010	NUM
gs-1672	82	4	,	,	PUNCT
gs-1672	82	5	253113	253113	NUM
gs-1672	82	6	-	-	SYM
gs-1672	82	7	1253113	1253113	NUM
gs-1672	82	8	-	-	SYM
gs-1672	82	9	3	3	NUM
gs-1672	82	10	.	.	NOUN
gs-1672	82	11	13	13	NUM
gs-1672	82	12	.	.	PUNCT
gs-1672	82	13	li	li	PROPN
gs-1672	82	14	chang	chang	PROPN
gs-1672	82	15	,	,	PUNCT
gs-1672	82	16	liangehi	liangehi	PROPN
gs-1672	82	17	zhang	zhang	PROPN
gs-1672	82	18	.	.	PUNCT
gs-1672	82	19	j.materials	j.materials	PROPN
gs-1672	82	20	science	science	NOUN
gs-1672	82	21	and	and	CCONJ
gs-1672	82	22	engineering	engineering	NOUN
gs-1672	82	23	a506	a506	PROPN
gs-1672	82	24	,	,	PUNCT
gs-1672	82	25	2009	2009	NUM
gs-1672	82	26	,	,	PUNCT
gs-1672	82	27	125	125	NUM
gs-1672	82	28	-	-	SYM
gs-1672	82	29	129	129	NUM
gs-1672	82	30	.	.	PUNCT
gs-1672	83	1	14	14	NUM
gs-1672	83	2	.	.	PUNCT
gs-1672	84	1	r.abram	r.abram	NOUN
gs-1672	84	2	,	,	PUNCT
gs-1672	84	3	d.chrobak	d.chrobak	NOUN
gs-1672	84	4	and	and	CCONJ
gs-1672	84	5	r.now	r.now	NOUN
gs-1672	84	6	-	-	PUNCT
gs-1672	84	7	ar	ar	NOUN
gs-1672	84	8	.	.	PUNCT
gs-1672	84	9	j.phys	j.phys	PROPN
gs-1672	84	10	.	.	PUNCT
gs-1672	85	1	rev	rev	PROPN
gs-1672	85	2	.	.	PUNCT
gs-1672	85	3	letters	letter	NOUN
gs-1672	85	4	,	,	PUNCT
gs-1672	85	5	118	118	NUM
gs-1672	85	6	,	,	PUNCT
gs-1672	85	7	2017	2017	NUM
gs-1672	85	8	,	,	PUNCT
gs-1672	85	9	095502	095502	NUM
gs-1672	85	10	-	-	SYM
gs-1672	85	11	1	1	NUM
gs-1672	85	12	-	-	PUNCT
gs-1672	85	13	095502	095502	NUM
gs-1672	85	14	-	-	PUNCT
gs-1672	85	15	5	5	NUM
gs-1672	85	16	.	.	NOUN
gs-1672	85	17	15	15	NUM
gs-1672	85	18	.	.	PUNCT
gs-1672	86	1	z.zeng	z.zeng	NOUN
gs-1672	86	2	,	,	PUNCT
gs-1672	86	3	lin	lin	PROPN
gs-1672	86	4	wang	wang	PROPN
gs-1672	86	5	,	,	PUNCT
gs-1672	86	6	k.ma	k.ma	PROPN
gs-1672	86	7	,	,	PUNCT
gs-1672	86	8	and	and	CCONJ
gs-1672	86	9	deren	deren	PROPN
gs-1672	86	10	yang	yang	PROPN
gs-1672	86	11	.	.	PUNCT
gs-1672	86	12	i.scripta	i.scripta	PROPN
gs-1672	86	13	materialla	materialla	PROPN
gs-1672	86	14	,	,	PUNCT
gs-1672	86	15	64	64	NUM
gs-1672	86	16	,	,	PUNCT
gs-1672	86	17	2014	2014	NUM
gs-1672	86	18	,	,	PUNCT
gs-1672	86	19	832	832	NUM
gs-1672	86	20	-	-	SYM
gs-1672	86	21	835	835	NUM
gs-1672	86	22	.	.	PUNCT
gs-1672	87	1	influence	influence	NOUN
gs-1672	87	2	of	of	ADP
gs-1672	87	3	electron	electron	NOUN
gs-1672	87	4	irradiation	irradiation	NOUN
gs-1672	87	5	on	on	ADP
gs-1672	87	6	structural	structural	ADJ
gs-1672	87	7	phase	phase	NOUN
gs-1672	87	8	transformations	transformation	NOUN
gs-1672	87	9	during	during	ADP
gs-1672	87	10	microindentation	microindentation	NOUN
gs-1672	87	11	of	of	ADP
gs-1672	87	12	n	n	CCONJ
gs-1672	87	13	-	-	PUNCT
gs-1672	87	14	si	si	NOUN
gs-1672	87	15	giorgi	giorgi	PROPN
gs-1672	87	16	darsavelidze	darsavelidze	PROPN
gs-1672	87	17	,	,	PUNCT
gs-1672	87	18	avtandil	avtandil	PROPN
gs-1672	87	19	sichinava	sichinava	PROPN
gs-1672	87	20	,	,	PUNCT
gs-1672	87	21	kakhaber	kakhaber	PROPN
gs-1672	87	22	shamatava	shamatava	NOUN
gs-1672	87	23	,	,	PUNCT
gs-1672	87	24	marina	marina	PROPN
gs-1672	87	25	kadaria	kadaria	PROPN
gs-1672	87	26	,	,	PUNCT
gs-1672	87	27	roman	roman	ADJ
gs-1672	87	28	abramishvili	abramishvili	NOUN
gs-1672	87	29	ilia	ilia	PROPN
gs-1672	87	30	vekua	vekua	PROPN
gs-1672	87	31	sukhumi	sukhumi	PROPN
gs-1672	87	32	institute	institute	PROPN
gs-1672	87	33	of	of	ADP
gs-1672	87	34	physics	physics	PROPN
gs-1672	87	35	and	and	CCONJ
gs-1672	87	36	technology	technology	NOUN
gs-1672	87	37	,	,	PUNCT
gs-1672	87	38	tbilisi	tbilisi	PROPN
gs-1672	87	39	,	,	PUNCT
gs-1672	87	40	georgia	georgia	PROPN
gs-1672	87	41	abstract	abstract	ADJ
gs-1672	87	42	influence	influence	NOUN
gs-1672	87	43	of	of	ADP
gs-1672	87	44	electron	electron	NOUN
gs-1672	87	45	irradiation	irradiation	NOUN
gs-1672	87	46	on	on	ADP
gs-1672	87	47	structural	structural	ADJ
gs-1672	87	48	changes	change	NOUN
gs-1672	87	49	in	in	ADP
gs-1672	87	50	the	the	DET
gs-1672	87	51	process	process	NOUN
gs-1672	87	52	of	of	ADP
gs-1672	87	53	microindentation	microindentation	NOUN
gs-1672	87	54	by	by	ADP
gs-1672	87	55	the	the	DET
gs-1672	87	56	vickers	vicker	NOUN
gs-1672	87	57	method	method	NOUN
gs-1672	87	58	in	in	ADP
gs-1672	87	59	(	(	PUNCT
gs-1672	87	60	111	111	NUM
gs-1672	87	61	)	)	PUNCT
gs-1672	87	62	oriented	orient	VERB
gs-1672	87	63	n	n	CCONJ
gs-1672	87	64	-	-	PUNCT
gs-1672	87	65	si	si	PROPN
gs-1672	87	66	has	have	AUX
gs-1672	87	67	been	be	AUX
gs-1672	87	68	studied	study	VERB
gs-1672	87	69	.	.	PUNCT
gs-1672	88	1	it	it	PRON
gs-1672	88	2	is	be	AUX
gs-1672	88	3	shown	show	VERB
gs-1672	88	4	,	,	PUNCT
gs-1672	88	5	that	that	DET
gs-1672	88	6	electron	electron	NOUN
gs-1672	88	7	irradiation	irradiation	NOUN
gs-1672	88	8	with	with	ADP
gs-1672	88	9	1.1013	1.1013	NUM
gs-1672	88	10	cm-2	cm-2	NOUN
gs-1672	88	11	fluence	fluence	NOUN
gs-1672	88	12	causes	cause	VERB
gs-1672	88	13	weak	weak	ADJ
gs-1672	88	14	increase	increase	NOUN
gs-1672	88	15	of	of	ADP
gs-1672	88	16	elastic	elastic	ADJ
gs-1672	88	17	modulus	modulus	NOUN
gs-1672	88	18	and	and	CCONJ
gs-1672	88	19	average	average	ADJ
gs-1672	88	20	contact	contact	NOUN
gs-1672	88	21	pressure	pressure	NOUN
gs-1672	88	22	causing	cause	VERB
gs-1672	88	23	plastic	plastic	ADJ
gs-1672	88	24	deformation	deformation	NOUN
gs-1672	88	25	.	.	PUNCT
gs-1672	89	1	in	in	ADP
gs-1672	89	2	the	the	DET
gs-1672	89	3	area	area	NOUN
gs-1672	89	4	of	of	ADP
gs-1672	89	5	unloading	unloading	NOUN
gs-1672	89	6	of	of	ADP
gs-1672	89	7	the	the	DET
gs-1672	89	8	functional	functional	ADJ
gs-1672	89	9	dependences	dependence	NOUN
gs-1672	89	10	of	of	ADP
gs-1672	89	11	the	the	DET
gs-1672	89	12	indenter	indenter	NOUN
gs-1672	89	13	load	load	NOUN
gs-1672	89	14	-	-	PUNCT
gs-1672	89	15	displacement	displacement	NOUN
gs-1672	89	16	,	,	PUNCT
gs-1672	89	17	a	a	DET
gs-1672	89	18	plateau	plateau	NOUN
gs-1672	89	19	and	and	CCONJ
gs-1672	89	20	a	a	DET
gs-1672	89	21	gradual	gradual	ADJ
gs-1672	89	22	change	change	NOUN
gs-1672	89	23	in	in	ADP
gs-1672	89	24	the	the	DET
gs-1672	89	25	slope	slope	NOUN
gs-1672	89	26	are	be	AUX
gs-1672	89	27	simultaneously	simultaneously	ADV
gs-1672	89	28	revealed	reveal	VERB
gs-1672	89	29	.	.	PUNCT
gs-1672	90	1	the	the	DET
gs-1672	90	2	mentioned	mention	VERB
gs-1672	90	3	changes	change	NOUN
gs-1672	90	4	are	be	AUX
gs-1672	90	5	characteristic	characteristic	ADJ
gs-1672	90	6	of	of	ADP
gs-1672	90	7	partial	partial	ADJ
gs-1672	90	8	amorphization	amorphization	NOUN
gs-1672	90	9	and	and	CCONJ
gs-1672	90	10	structural	structural	ADJ
gs-1672	90	11	transformations	transformation	NOUN
gs-1672	90	12	in	in	ADP
gs-1672	90	13	the	the	DET
gs-1672	90	14	metastable	metastable	ADJ
gs-1672	90	15	phases	phase	NOUN
gs-1672	90	16	of	of	ADP
gs-1672	90	17	silicon	silicon	NOUN
gs-1672	90	18	.	.	PUNCT
gs-1672	91	1	electron	electron	NOUN
gs-1672	91	2	irradiation	irradiation	NOUN
gs-1672	91	3	reveales	reveal	VERB
gs-1672	91	4	a	a	DET
gs-1672	91	5	tendency	tendency	NOUN
gs-1672	91	6	to	to	PART
gs-1672	91	7	increase	increase	VERB
gs-1672	91	8	the	the	DET
gs-1672	91	9	critical	critical	ADJ
gs-1672	91	10	pressures	pressure	NOUN
gs-1672	91	11	of	of	ADP
gs-1672	91	12	phase	phase	NOUN
gs-1672	91	13	transformations	transformation	NOUN
gs-1672	91	14	in	in	ADP
gs-1672	91	15	the	the	DET
gs-1672	91	16	range	range	NOUN
gs-1672	91	17	of	of	ADP
gs-1672	91	18	4	4	NUM
gs-1672	91	19	-	-	SYM
gs-1672	91	20	5.5	5.5	NUM
gs-1672	91	21	gpa	gpa	NOUN
gs-1672	91	22	of	of	ADP
gs-1672	91	23	average	average	ADJ
gs-1672	91	24	contact	contact	NOUN
gs-1672	91	25	pressure	pressure	NOUN
gs-1672	91	26	.	.	PUNCT
gs-1672	92	1	keywords	keyword	NOUN
gs-1672	92	2	:	:	PUNCT
gs-1672	92	3	monocrystalline	monocrystalline	ADJ
gs-1672	92	4	silicon	silicon	NOUN
gs-1672	92	5	,	,	PUNCT
gs-1672	92	6	vickers	vickers	PROPN
gs-1672	92	7	indenter	indenter	PROPN
gs-1672	92	8	,	,	PUNCT
gs-1672	92	9	electron	electron	NOUN
gs-1672	92	10	irradiation	irradiation	NOUN
gs-1672	92	11	,	,	PUNCT
gs-1672	92	12	contact	contact	NOUN
gs-1672	92	13	pressure	pressure	NOUN
gs-1672	92	14	,	,	PUNCT
gs-1672	92	15	elastic	elastic	ADJ
gs-1672	92	16	modulus	modulus	NOUN