id	sid	tid	token	lemma	pos
gs-1952	1	1	georgian	georgian	ADJ
gs-1952	1	2	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1952	1	3	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1952	1	4	ტ.	ტ.	VERB
gs-1952	1	5	5	5	NUM
gs-1952	1	6	n	n	PRON
gs-1952	1	7	2	2	NUM
gs-1952	1	8	,	,	PUNCT
gs-1952	1	9	2023	2023	NUM
gs-1952	1	10	43	43	NUM
gs-1952	1	11	georgian	georgian	PROPN
gs-1952	1	12	scientists	scientist	NOUN
gs-1952	1	13	ქართველი	ქართველი	ADJ
gs-1952	1	14	მეცნიერები	მეცნიერები	PROPN
gs-1952	1	15	vol	vol	NOUN
gs-1952	1	16	.	.	PUNCT
gs-1952	2	1	5	5	NUM
gs-1952	2	2	issue	issue	NOUN
gs-1952	2	3	3	3	NUM
gs-1952	2	4	,	,	PUNCT
gs-1952	2	5	2023	2023	NUM
gs-1952	2	6	https://doi.org/10.52340/gs.2023.05.03.06	https://doi.org/10.52340/gs.2023.05.03.06	NOUN
gs-1952	2	7	ინდენტირებით	ინდენტირებით	PROPN
gs-1952	2	8	ინდუცირებული	ინდუცირებული	PROPN
gs-1952	2	9	სტრუქტურული	სტრუქტურული	NOUN
gs-1952	2	10	ცვლილებები	ცვლილებები	NOUN
gs-1952	2	11	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	2	12	დასხივებულ	დასხივებულ	NOUN
gs-1952	2	13	ბორით	ბორით	PROPN
gs-1952	2	14	დოპირებულ	დოპირებულ	PROPN
gs-1952	2	15	სილიციუმში	სილიციუმში	VERB
gs-1952	2	16	გიორგი	გიორგი	PROPN
gs-1952	2	17	დარსაველიძე1	დარსაველიძე1	NOUN
gs-1952	2	18	,	,	PUNCT
gs-1952	2	19	კახაბერ	კახაბერ	PROPN
gs-1952	2	20	შამათავა1,2	შამათავა1,2	PROPN
gs-1952	2	21	,	,	PUNCT
gs-1952	2	22	ავთანდილ	ავთანდილ	PROPN
gs-1952	2	23	სიჭინავა1	სიჭინავა1	PROPN
gs-1952	2	24	,	,	PUNCT
gs-1952	2	25	მარინა	მარინა	ADJ
gs-1952	2	26	ქადარია1	ქადარია1	NOUN
gs-1952	2	27	,	,	PUNCT
gs-1952	2	28	რომან	რომან	ADJ
gs-1952	2	29	აბრამიშვილი1	აბრამიშვილი1	NOUN
gs-1952	2	30	1	1	X
gs-1952	2	31	.	.	PUNCT
gs-1952	2	32	სოხუმის	სოხუმის	PROPN
gs-1952	2	33	ილია	ილია	VERB
gs-1952	2	34	ვეკუას	ვეკუას	ADJ
gs-1952	2	35	ფიზიკა-ტექნიკის	ფიზიკა-ტექნიკის	ADJ
gs-1952	2	36	ინსტიტუტი	ინსტიტუტი	NOUN
gs-1952	2	37	2	2	NUM
gs-1952	2	38	.	.	PUNCT
gs-1952	2	39	სოხუმის	სოხუმის	ADJ
gs-1952	2	40	სახელმწიფო	სახელმწიფო	NOUN
gs-1952	2	41	უნივერსიტეტი	უნივერსიტეტი	PROPN
gs-1952	2	42	აბსტრაქტი	აბსტრაქტი	NOUN
gs-1952	2	43	განხორციელებულია	განხორციელებულია	ADJ
gs-1952	2	44	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-1952	2	45	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	3	1	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-1952	3	2	ბორით	ბორით	VERB
gs-1952	3	3	ლეგირებული	ლეგირებული	PROPN
gs-1952	3	4	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	INTJ
gs-1952	3	5	სილიციუმის	სილიციუმის	ADJ
gs-1952	3	6	(	(	PUNCT
gs-1952	3	7	111	111	NUM
gs-1952	3	8	)	)	PUNCT
gs-1952	3	9	კრისტალოგრაფიული	კრისტალოგრაფიული	NOUN
gs-1952	3	10	ორიენტაციის	ორიენტაციის	PROPN
gs-1952	3	11	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	PROPN
gs-1952	3	12	მიკროსტრუქტურის	მიკროსტრუქტურის	PROPN
gs-1952	3	13	,	,	PUNCT
gs-1952	3	14	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	PROPN
gs-1952	3	15	თვისებებისა	თვისებებისა	VERB
gs-1952	3	16	და	და	PROPN
gs-1952	3	17	ულტრამიკროინდენტირების	ულტრამიკროინდენტირების	ADJ
gs-1952	3	18	პროცესებში	პროცესებში	NOUN
gs-1952	3	19	სტრუქტურული	სტრუქტურული	PROPN
gs-1952	3	20	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1952	3	21	გარდაქმნების	გარდაქმნების	PROPN
gs-1952	3	22	კომპლექსური	კომპლექსური	PROPN
gs-1952	3	23	კვლევა.	კვლევა.	PROPN
gs-1952	3	24	ნაჩვენებია	ნაჩვენებია	NOUN
gs-1952	3	25	,	,	PUNCT
gs-1952	3	26	რომ	რომ	PROPN
gs-1952	3	27	p	p	PROPN
gs-1952	3	28	-	-	PUNCT
gs-1952	3	29	si-ის	si-ის	NOUN
gs-1952	3	30	(	(	PUNCT
gs-1952	3	31	111	111	NUM
gs-1952	3	32	)	)	PUNCT
gs-1952	3	33	სიბრტყეებზე	სიბრტყეებზე	NOUN
gs-1952	3	34	≈1013	≈1013	PROPN
gs-1952	3	35	სმ-2	სმ-2	VERB
gs-1952	3	36	ფლუენსის	ფლუენსის	PROPN
gs-1952	3	37	12მევ	12მევ	PROPN
gs-1952	3	38	ენერგიის	ენერგიის	PROPN
gs-1952	3	39	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	3	40	დასხივება	დასხივება	ADJ
gs-1952	3	41	იწვევს	იწვევს	PROPN
gs-1952	3	42	კუთრი	კუთრი	PROPN
gs-1952	3	43	ელექტროწინაღობის	ელექტროწინაღობის	PROPN
gs-1952	3	44	~3	~3	NOUN
gs-1952	3	45	-ჯერ	-ჯერ	PUNCT
gs-1952	3	46	და	და	NOUN
gs-1952	3	47	დენის	დენის	NOUN
gs-1952	3	48	მატარებელი	მატარებელი	VERB
gs-1952	3	49	ხვრელების	ხვრელების	NOUN
gs-1952	3	50	ძვრადობის	ძვრადობის	ADJ
gs-1952	3	51	20%-ით	20%-ით	NUM
gs-1952	3	52	შემცირებას.	შემცირებას.	NOUN
gs-1952	3	53	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	NOUN
gs-1952	3	54	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	3	55	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-1952	3	56	ნიმუშების	ნიმუშების	VERB
gs-1952	3	57	ინფრაწითელი	ინფრაწითელი	NOUN
gs-1952	3	58	გამოსხივების	გამოსხივების	NOUN
gs-1952	3	59	შთანთქმის	შთანთქმის	NOUN
gs-1952	3	60	სპექტრში	სპექტრში	NOUN
gs-1952	3	61	გამოვლენილია	გამოვლენილია	VERB
gs-1952	3	62	ჟანგბადისა	ჟანგბადისა	NOUN
gs-1952	3	63	და	და	NOUN
gs-1952	3	64	ნახშირბადის	ნახშირბადის	ADJ
gs-1952	3	65	კონცენტრაციის	კონცენტრაციის	ADJ
gs-1952	3	66	2.5	2.5	NUM
gs-1952	3	67	-	-	PUNCT
gs-1952	3	68	3-ჯერ	3-ჯერ	NUM
gs-1952	3	69	შემცირება.	შემცირება.	NOUN
gs-1952	3	70	საკვლევი	საკვლევი	PROPN
gs-1952	3	71	ნიმუშების	ნიმუშების	PROPN
gs-1952	3	72	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	3	73	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-1952	3	74	(	(	PUNCT
gs-1952	3	75	111	111	NUM
gs-1952	3	76	)	)	PUNCT
gs-1952	3	77	სიბრტყეებზე	სიბრტყეებზე	NOUN
gs-1952	3	78	ვიკერსის	ვიკერსის	NUM
gs-1952	3	79	ინდენტორით	ინდენტორით	ADV
gs-1952	3	80	ინდენტირების	ინდენტირების	ADJ
gs-1952	3	81	პროცესებში	პროცესებში	NOUN
gs-1952	3	82	დატვირთვა-გადაადგილების	დატვირთვა-გადაადგილების	ADJ
gs-1952	3	83	გაზომვებით	გაზომვებით	PROPN
gs-1952	3	84	ნაჩვენებია	ნაჩვენებია	PROPN
gs-1952	3	85	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-1952	3	86	მოდულისა	მოდულისა	PROPN
gs-1952	3	87	და	და	PROPN
gs-1952	3	88	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-1952	3	89	არასტაბილურ	არასტაბილურ	PROPN
gs-1952	3	90	ფაზებში	ფაზებში	PROPN
gs-1952	3	91	გარდაქმნების	გარდაქმნების	ADV
gs-1952	3	92	მახასიათებელი	მახასიათებელი	VERB
gs-1952	3	93	საშუალო	საშუალო	ADJ
gs-1952	3	94	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	4	1	წნევის	წნევის	DET
gs-1952	4	2	სუსტი	სუსტი	PROPN
gs-1952	4	3	ზრდა.	ზრდა.	NOUN
gs-1952	4	4	განხილულია	განხილულია	VERB
gs-1952	4	5	ბორით	ბორით	ADP
gs-1952	4	6	დოპირებულ	დოპირებულ	PROPN
gs-1952	4	7	სილიციუმში	სილიციუმში	PROPN
gs-1952	4	8	ელექტრონული	ელექტრონული	NUM
gs-1952	4	9	რადიაციით	რადიაციით	ADJ
gs-1952	4	10	მოდიფიცირებული	მოდიფიცირებული	PROPN
gs-1952	4	11	დისლოკაციების	დისლოკაციების	PROPN
gs-1952	4	12	ატმოსფეროების	ატმოსფეროების	ADV
gs-1952	4	13	წვლილი	წვლილი	PROPN
gs-1952	4	14	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	PROPN
gs-1952	4	15	თვისებებისა	თვისებებისა	VERB
gs-1952	4	16	და	და	PROPN
gs-1952	4	17	ინდენტაციის	ინდენტაციის	NOUN
gs-1952	4	18	პროცესებში	პროცესებში	NOUN
gs-1952	4	19	განხორციელებულ	განხორციელებულ	PROPN
gs-1952	4	20	სტრუქტურულ-ფაზური	სტრუქტურულ-ფაზური	PROPN
gs-1952	4	21	ცვლილებების	ცვლილებების	PROPN
gs-1952	4	22	მახასიათებლებში.	მახასიათებლებში.	VERB
gs-1952	4	23	გაანალიზებულია	გაანალიზებულია	VERB
gs-1952	4	24	მონოკრისტალურ	მონოკრისტალურ	CCONJ
gs-1952	5	1	p	p	X
gs-1952	5	2	-	-	PUNCT
gs-1952	5	3	si	si	NOUN
gs-1952	5	4	:	:	PUNCT
gs-1952	5	5	b	b	NOUN
gs-1952	5	6	ნიმუშებში	ნიმუშებში	NOUN
gs-1952	5	7	ელექტრონების	ელექტრონების	ADJ
gs-1952	5	8	რადიაციით	რადიაციით	ADJ
gs-1952	5	9	ინდუცირებული	ინდუცირებული	PROPN
gs-1952	5	10	დისლოკაციური	დისლოკაციური	CCONJ
gs-1952	5	11	სტრუქტურის	სტრუქტურის	NOUN
gs-1952	5	12	ატმოსფეროების	ატმოსფეროების	ADV
gs-1952	5	13	მოდიფიცირებასთან	მოდიფიცირებასთან	ADV
gs-1952	5	14	georgian	georgian	ADJ
gs-1952	5	15	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1952	5	16	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1952	5	17	ტ.	ტ.	VERB
gs-1952	5	18	5	5	NUM
gs-1952	5	19	n	n	PRON
gs-1952	5	20	2	2	NUM
gs-1952	5	21	,	,	PUNCT
gs-1952	5	22	2023	2023	NUM
gs-1952	5	23	44	44	NUM
gs-1952	5	24	დაკავშირებული	დაკავშირებული	NOUN
gs-1952	5	25	დინამიური	დინამიური	PROPN
gs-1952	5	26	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-1952	5	27	და	და	PROPN
gs-1952	5	28	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	PROPN
gs-1952	5	29	თვისებების	თვისებების	PROPN
gs-1952	5	30	ვარიაციის	ვარიაციის	PRON
gs-1952	5	31	მიზეზები.	მიზეზები.	NOUN
gs-1952	5	32	საკვანძო	საკვანძო	PROPN
gs-1952	5	33	სიტყვები	სიტყვები	NOUN
gs-1952	5	34	:	:	PUNCT
gs-1952	5	35	p-ტიპის	p-ტიპის	PROPN
gs-1952	5	36	სილიციუმი	სილიციუმი	VERB
gs-1952	5	37	,	,	PUNCT
gs-1952	5	38	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	NOUN
gs-1952	5	39	ელექტრონები	ელექტრონები	NOUN
gs-1952	5	40	,	,	PUNCT
gs-1952	5	41	ვიკერსის	ვიკერსის	ADJ
gs-1952	5	42	ინდენტორი	ინდენტორი	NOUN
gs-1952	5	43	,	,	PUNCT
gs-1952	5	44	დრეკადობის	დრეკადობის	NOUN
gs-1952	5	45	მოდული	მოდული	PROPN
gs-1952	5	46	,	,	PUNCT
gs-1952	5	47	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	5	48	წნევა	წნევა	NOUN
gs-1952	5	49	,	,	PUNCT
gs-1952	5	50	ელექტროწინაღობა	ელექტროწინაღობა	NOUN
gs-1952	5	51	,	,	PUNCT
gs-1952	5	52	ხვრელების	ხვრელების	NOUN
gs-1952	5	53	ძვ	ძვ	ADP
gs-1952	5	54	შესავალი	შესავალი	PROPN
gs-1952	5	55	p-ტიპის	p-ტიპის	PROPN
gs-1952	5	56	სილიციუმის	სილიციუმის	ADJ
gs-1952	5	57	კომპლექსური	კომპლექსური	PROPN
gs-1952	5	58	კვლევების	კვლევების	PROPN
gs-1952	5	59	მიზანშეწონილობას	მიზანშეწონილობას	PROPN
gs-1952	5	60	განაპირობებს	განაპირობებს	PROPN
gs-1952	5	61	თანამედროვე	თანამედროვე	PROPN
gs-1952	5	62	ნახევარგამტარულ	ნახევარგამტარულ	PROPN
gs-1952	5	63	ხელსაწყოებში	ხელსაწყოებში	PROPN
gs-1952	6	1	მათი	მათი	PROPN
gs-1952	6	2	ფართოდ	ფართოდ	PROPN
gs-1952	6	3	გამოყენება.	გამოყენება.	PROPN
gs-1952	6	4	კონცენტრაციის	კონცენტრაციის	PROPN
gs-1952	6	5	ფართო	ფართო	PROPN
gs-1952	6	6	დიაპაზონში	დიაპაზონში	PROPN
gs-1952	6	7	ბორით	ბორით	ADP
gs-1952	6	8	დოპირებული	დოპირებული	PROPN
gs-1952	6	9	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-1952	6	10	სილიციუმი	სილიციუმი	PROPN
gs-1952	6	11	გამოიყენება	გამოიყენება	PROPN
gs-1952	6	12	p	p	PROPN
gs-1952	6	13	/	/	SYM
gs-1952	6	14	p+	p+	NOUN
gs-1952	6	15	ეპიტაქსიური	ეპიტაქსიური	PROPN
gs-1952	6	16	ფენების	ფენების	PROPN
gs-1952	6	17	ფუძეშრეებად	ფუძეშრეებად	PROPN
gs-1952	6	18	დიდი	დიდი	NOUN
gs-1952	6	19	ინტეგრალური	ინტეგრალური	PROPN
gs-1952	6	20	სქემების	სქემების	PROPN
gs-1952	6	21	ხელსაწყოებში	ხელსაწყოებში	NOUN
gs-1952	6	22	,	,	PUNCT
gs-1952	6	23	აგრეთვე	აგრეთვე	NOUN
gs-1952	6	24	მოწამვლის	მოწამვლის	NOUN
gs-1952	6	25	ჩამკეტად	ჩამკეტად	NOUN
gs-1952	6	26	(	(	PUNCT
gs-1952	6	27	as	as	ADP
gs-1952	6	28	etch	etch	NOUN
gs-1952	6	29	stop	stop	NOUN
gs-1952	6	30	)	)	PUNCT
gs-1952	6	31	მიკროტექნიკური	მიკროტექნიკური	PROPN
gs-1952	6	32	ხელსაწყოების	ხელსაწყოების	PROPN
gs-1952	6	33	წარმოებაში	წარმოებაში	NOUN
gs-1952	7	1	[	[	X
gs-1952	7	2	1	1	NUM
gs-1952	7	3	]	]	PUNCT
gs-1952	7	4	.	.	PUNCT
gs-1952	8	1	ბორით	ბორით	PROPN
gs-1952	8	2	დოპირება	დოპირება	PROPN
gs-1952	8	3	ეფექტურად	ეფექტურად	PROPN
gs-1952	8	4	აბრკოლებს	აბრკოლებს	PROPN
gs-1952	8	5	დისლოკაციების	დისლოკაციების	PROPN
gs-1952	8	6	აქტიურობას	აქტიურობას	PROPN
gs-1952	8	7	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-1952	8	8	კრისტალურ	კრისტალურ	VERB
gs-1952	8	9	მესერში.	მესერში.	PROPN
gs-1952	8	10	შესაბამისად	შესაბამისად	NOUN
gs-1952	8	11	მაღლდება	მაღლდება	PROPN
gs-1952	8	12	მასალის	მასალის	PROPN
gs-1952	8	13	მედეგობა	მედეგობა	PROPN
gs-1952	8	14	დიდი	დიდი	PROPN
gs-1952	8	15	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-1952	8	16	ძაბვების	ძაბვების	ADJ
gs-1952	8	17	მიმართ	მიმართ	PROPN
gs-1952	8	18	დისლოკაციების	დისლოკაციების	PROPN
gs-1952	8	19	გენერაციის	გენერაციის	PROPN
gs-1952	8	20	წინა	წინა	PROPN
gs-1952	9	1	პერიოდში	პერიოდში	PROPN
gs-1952	10	1	[	[	X
gs-1952	10	2	2	2	NUM
gs-1952	10	3	]	]	PUNCT
gs-1952	10	4	.	.	PUNCT
gs-1952	11	1	უკანასკნელი	უკანასკნელი	PROPN
gs-1952	11	2	ორი	ორი	PROPN
gs-1952	11	3	ათწლეული	ათწლეული	PROPN
gs-1952	11	4	ხასიათდება	ხასიათდება	NOUN
gs-1952	11	5	მონოკრისტალურ	მონოკრისტალურ	CCONJ
gs-1952	11	6	სილიციუმში	სილიციუმში	VERB
gs-1952	11	7	მიკრო/ნანო	მიკრო/ნანო	NOUN
gs-1952	11	8	ინდენტაციით	ინდენტაციით	VERB
gs-1952	11	9	ინდუცირებული	ინდუცირებული	PROPN
gs-1952	11	10	სტრუქტურული	სტრუქტურული	PROPN
gs-1952	11	11	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1952	11	12	გარდაქმნების	გარდაქმნების	PROPN
gs-1952	11	13	ინტენსიური	ინტენსიური	PROPN
gs-1952	11	14	ექსპერიმენტული	ექსპერიმენტული	PROPN
gs-1952	11	15	და	და	PROPN
gs-1952	11	16	თეორიული	თეორიული	PROPN
gs-1952	11	17	კვლევებით.	კვლევებით.	PROPN
gs-1952	11	18	განხორციელდა	განხორციელდა	PROPN
gs-1952	11	19	მრავალმხრივი	მრავალმხრივი	PROPN
gs-1952	11	20	კვლევითი	კვლევითი	NOUN
gs-1952	11	21	სამუშაოები	სამუშაოები	VERB
gs-1952	11	22	ინდენტირების	ინდენტირების	ADV
gs-1952	11	23	პროცესებში	პროცესებში	NOUN
gs-1952	11	24	დატვირთვა-გადაადგილების	დატვირთვა-გადაადგილების	ADJ
gs-1952	11	25	დამოკიდებულებებზე	დამოკიდებულებებზე	NOUN
gs-1952	11	26	სტრუქტურულ	სტრუქტურულ	PROPN
gs-1952	11	27	ცვლილებებთან	ცვლილებებთან	PROPN
gs-1952	11	28	დაკავშირებული	დაკავშირებული	PUNCT
gs-1952	11	29	გადახრების	გადახრების	NOUN
gs-1952	11	30	გამოვლენისა	გამოვლენისა	VERB
gs-1952	11	31	და	და	NOUN
gs-1952	11	32	მართვისათვის	მართვისათვის	NOUN
gs-1952	11	33	[	[	X
gs-1952	11	34	3	3	NUM
gs-1952	11	35	]	]	PUNCT
gs-1952	11	36	.	.	PUNCT
gs-1952	12	1	სისტემატურმა	სისტემატურმა	PROPN
gs-1952	12	2	ექსპერიმენტულმა	ექსპერიმენტულმა	PROPN
gs-1952	12	3	კვლევებმა	კვლევებმა	ADJ
gs-1952	12	4	აჩვენეს	აჩვენეს	NOUN
gs-1952	12	5	,	,	PUNCT
gs-1952	12	6	რომ	რომ	PROPN
gs-1952	12	7	მეტად	მეტად	NOUN
gs-1952	12	8	წამახული	წამახული	PROPN
gs-1952	12	9	ვიკერსისა	ვიკერსისა	ADP
gs-1952	12	10	და	და	NOUN
gs-1952	12	11	ბერკოვიჩის	ბერკოვიჩის	NOUN
gs-1952	12	12	ინდენტორებით	ინდენტორებით	PRON
gs-1952	12	13	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1952	12	14	პროცესში	პროცესში	NOUN
gs-1952	12	15	ე.წ.	ე.წ.	PUNCT
gs-1952	13	1	“	"	PUNCT
gs-1952	13	2	pop	pop	VERB
gs-1952	13	3	-	-	PUNCT
gs-1952	13	4	in	in	ADP
gs-1952	13	5	”	"	PUNCT
gs-1952	13	6	შემთხვევების	შემთხვევების	ADJ
gs-1952	13	7	გამოვლინება	გამოვლინება	PROPN
gs-1952	13	8	იშვიათად	იშვიათად	ADJ
gs-1952	13	9	ხდება.	ხდება.	PROPN
gs-1952	13	10	მეტად	მეტად	NOUN
gs-1952	13	11	სპეციფიკურ	სპეციფიკურ	VERB
gs-1952	13	12	პირობებში	პირობებში	NOUN
gs-1952	13	13	(	(	PUNCT
gs-1952	13	14	ინდენტორზე	ინდენტორზე	ADJ
gs-1952	13	15	მაღალი	მაღალი	ADJ
gs-1952	13	16	დატვირთვა	დატვირთვა	NOUN
gs-1952	13	17	,	,	PUNCT
gs-1952	13	18	დატვირთვის	დატვირთვის	VERB
gs-1952	13	19	ცვლილების	ცვლილების	VERB
gs-1952	13	20	დაბალი	დაბალი	ADJ
gs-1952	13	21	სიჩქარე	სიჩქარე	NOUN
gs-1952	13	22	)	)	PUNCT
gs-1952	13	23	შესაძლებელი	შესაძლებელი	PROPN
gs-1952	13	24	შეიქმნა	შეიქმნა	PROPN
gs-1952	13	25	სილიციუმსა	სილიციუმსა	ADP
gs-1952	13	26	და	და	PROPN
gs-1952	13	27	გერმანიუმში	გერმანიუმში	VERB
gs-1952	13	28	ფაზურ	ფაზურ	VERB
gs-1952	13	29	გარდაქმნებთან	გარდაქმნებთან	ADJ
gs-1952	13	30	დაკავშირებული“pop	დაკავშირებული“pop	NOUN
gs-1952	13	31	-	-	PUNCT
gs-1952	13	32	in	in	ADP
gs-1952	13	33	”	"	PUNCT
gs-1952	13	34	შემთხვევების	შემთხვევების	NOUN
gs-1952	13	35	გამოვლინება	გამოვლინება	NOUN
gs-1952	14	1	[	[	X
gs-1952	14	2	4,5	4,5	NUM
gs-1952	14	3	]	]	PUNCT
gs-1952	14	4	.	.	PUNCT
gs-1952	15	1	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-1952	15	2	ინდენტირების	ინდენტირების	PROPN
gs-1952	15	3	განტვირთვის	განტვირთვის	PROPN
gs-1952	15	4	ეტაპზე	ეტაპზე	PROPN
gs-1952	15	5	ე.წ.	ე.წ.	PUNCT
gs-1952	16	1	“	"	PUNCT
gs-1952	16	2	pop	pop	VERB
gs-1952	16	3	-	-	PUNCT
gs-1952	16	4	out	out	ADP
gs-1952	16	5	”	"	PUNCT
gs-1952	16	6	შემთხვევების	შემთხვევების	NOUN
gs-1952	16	7	გამოვლინება	გამოვლინება	PROPN
gs-1952	16	8	მიანიშნებს	მიანიშნებს	PROPN
gs-1952	16	9	si	si	PROPN
gs-1952	16	10	-	-	NOUN
gs-1952	16	11	ii	ii	NOUN
gs-1952	16	12	→	→	SYM
gs-1952	16	13	si	si	PROPN
gs-1952	16	14	-	-	PUNCT
gs-1952	16	15	iii	iii	VERB
gs-1952	16	16	/	/	SYM
gs-1952	16	17	si	si	NOUN
gs-1952	16	18	-	-	ADJ
gs-1952	16	19	xii	xii	PROPN
gs-1952	16	20	ფაზური	ფაზური	NOUN
gs-1952	16	21	გარდაქმნის	გარდაქმნის	NOUN
gs-1952	16	22	დასაწყისზე	დასაწყისზე	NOUN
gs-1952	17	1	[	[	X
gs-1952	17	2	5	5	NUM
gs-1952	17	3	]	]	PUNCT
gs-1952	17	4	.	.	PUNCT
gs-1952	18	1	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1952	18	2	გარდაქმნების	გარდაქმნების	PROPN
gs-1952	18	3	მარშრუტი	მარშრუტი	PROPN
gs-1952	18	4	მნიშვნელოვნად	მნიშვნელოვნად	PROPN
gs-1952	18	5	განისაზღვრება	განისაზღვრება	PROPN
gs-1952	18	6	ინდენტორის	ინდენტორის	VERB
gs-1952	18	7	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1952	18	8	სიჩქარით	სიჩქარით	ADV
gs-1952	19	1	[	[	X
gs-1952	19	2	2	2	NUM
gs-1952	19	3	]	]	PUNCT
gs-1952	19	4	.	.	PUNCT
gs-1952	20	1	“	"	PUNCT
gs-1952	20	2	pop	pop	VERB
gs-1952	20	3	-	-	PUNCT
gs-1952	20	4	out	out	ADP
gs-1952	20	5	”	"	PUNCT
gs-1952	20	6	შემთხვევების	შემთხვევების	NOUN
gs-1952	20	7	მახასიათებელი	მახასიათებელი	PROPN
gs-1952	20	8	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	20	9	წნევა	წნევა	VERB
gs-1952	20	10	სილიციუმისათვის	სილიციუმისათვის	PROPN
gs-1952	20	11	მერყეობს	მერყეობს	NOUN
gs-1952	20	12	ფართო	ფართო	PROPN
gs-1952	20	13	საზღვრებში	საზღვრებში	NOUN
gs-1952	20	14	(	(	PUNCT
gs-1952	20	15	3.5	3.5	NUM
gs-1952	20	16	-	-	SYM
gs-1952	20	17	12	12	NUM
gs-1952	20	18	კპა	კპა	NOUN
gs-1952	20	19	)	)	PUNCT
gs-1952	20	20	.	.	PUNCT
gs-1952	21	1	მასზე	მასზე	PROPN
gs-1952	21	2	გავლენას	გავლენას	PROPN
gs-1952	21	3	ახდენს	ახდენს	PROPN
gs-1952	21	4	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-1952	21	5	სტრუქტურის	სტრუქტურის	PROPN
gs-1952	21	6	დეფორმაცია	დეფორმაცია	PROPN
gs-1952	21	7	,	,	PUNCT
gs-1952	21	8	ატომთაშორისი	ატომთაშორისი	PROPN
gs-1952	21	9	სავალენტო	სავალენტო	PROPN
gs-1952	21	10	კავშირების	კავშირების	ADJ
gs-1952	21	11	რღვევა	რღვევა	NOUN
gs-1952	21	12	,	,	PUNCT
gs-1952	21	13	სტრუქტურული	სტრუქტურული	VERB
gs-1952	21	14	დეფექტების	დეფექტების	ADJ
gs-1952	21	15	კონცენტრაცია	კონცენტრაცია	NOUN
gs-1952	21	16	და	და	NOUN
gs-1952	21	17	განაწილება	განაწილება	NOUN
gs-1952	21	18	კრისტალურ	კრისტალურ	VERB
gs-1952	21	19	მესერში	მესერში	NOUN
gs-1952	21	20	[	[	X
gs-1952	21	21	3,5	3,5	NUM
gs-1952	21	22	]	]	PUNCT
gs-1952	21	23	.	.	PUNCT
gs-1952	22	1	სილიციუმში	სილიციუმში	PROPN
gs-1952	22	2	კოვალენტური	კოვალენტური	PROPN
gs-1952	22	3	კავშირების	კავშირების	PROPN
gs-1952	22	4	რღვევა	რღვევა	NOUN
gs-1952	22	5	ეფექტურად	ეფექტურად	PROPN
gs-1952	22	6	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-1952	22	7	განხორციელდეს	განხორციელდეს	PRON
gs-1952	22	8	ბორით	ბორით	ADV
gs-1952	22	9	ლეგირების	ლეგირების	NOUN
gs-1952	22	10	შემთხვევაში.	შემთხვევაში.	VERB
gs-1952	22	11	si	si	NOUN
gs-1952	22	12	:	:	PUNCT
gs-1952	22	13	b	b	ADJ
gs-1952	23	1	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-1952	23	2	სტრუქტურაში	სტრუქტურაში	PROPN
gs-1952	23	3	დენის	დენის	PROPN
gs-1952	23	4	მატარებელი	მატარებელი	NOUN
gs-1952	23	5	ხვრელების	ხვრელების	PROPN
gs-1952	23	6	ფორმირება	ფორმირება	PROPN
gs-1952	23	7	ატომთაშორისი	ატომთაშორისი	NOUN
gs-1952	23	8	კავშირების	კავშირების	ADJ
gs-1952	23	9	გაწყვეტით	გაწყვეტით	NOUN
gs-1952	23	10	სრულდება	სრულდება	NOUN
gs-1952	24	1	[	[	X
gs-1952	24	2	6	6	NUM
gs-1952	24	3	]	]	PUNCT
gs-1952	24	4	.	.	PUNCT
gs-1952	25	1	ატომთაშორისი	ატომთაშორისი	PROPN
gs-1952	25	2	სავალენტო	სავალენტო	PROPN
gs-1952	25	3	ბმების	ბმების	PROPN
gs-1952	25	4	ნაწილობრივი	ნაწილობრივი	PROPN
gs-1952	25	5	რღვევა	რღვევა	PROPN
gs-1952	25	6	გავლენას	გავლენას	PROPN
gs-1952	25	7	ახდენს	ახდენს	PROPN
gs-1952	25	8	სტრუქტურული	სტრუქტურული	VERB
gs-1952	25	9	დეფექტების	დეფექტების	ADJ
gs-1952	25	10	ჩასახვისა	ჩასახვისა	NOUN
gs-1952	25	11	და	და	PROPN
gs-1952	25	12	მოძრაობის	მოძრაობის	PROPN
gs-1952	25	13	აქტივაციის	აქტივაციის	PROPN
gs-1952	25	14	პირობებზე.	პირობებზე.	PROPN
gs-1952	25	15	მათი	მათი	PROPN
gs-1952	25	16	მიზანმიმართული	მიზანმიმართული	PROPN
gs-1952	25	17	ცვლილებებით	ცვლილებებით	PROPN
gs-1952	25	18	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-1952	25	19	georgian	georgian	ADJ
gs-1952	25	20	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1952	25	21	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1952	25	22	ტ.	ტ.	VERB
gs-1952	25	23	5	5	NUM
gs-1952	26	1	n	n	DET
gs-1952	26	2	2	2	NUM
gs-1952	26	3	,	,	PUNCT
gs-1952	26	4	2023	2023	NUM
gs-1952	26	5	45	45	NUM
gs-1952	26	6	სტრუქტურულად	სტრუქტურულად	NOUN
gs-1952	26	7	მგრძნობიარე	მგრძნობიარე	PROPN
gs-1952	26	8	ფიზიკურ-მექანიკური	ფიზიკურ-მექანიკური	NOUN
gs-1952	26	9	თვისებების	თვისებების	NOUN
gs-1952	26	10	მართვა	მართვა	PROPN
gs-1952	26	11	და	და	PROPN
gs-1952	26	12	პროგნოზირება.	პროგნოზირება.	PROPN
gs-1952	26	13	ნაშრომში	ნაშრომში	ADJ
gs-1952	26	14	შესწავლილა	შესწავლილა	NOUN
gs-1952	26	15	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-1952	26	16	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	26	17	დასხივების	დასხივების	VERB
gs-1952	26	18	გავლენა	გავლენა	PROPN
gs-1952	26	19	ვიკერსის	ვიკერსის	ADJ
gs-1952	26	20	მეთოდით	მეთოდით	NOUN
gs-1952	26	21	ინდენტირებით	ინდენტირებით	PROPN
gs-1952	26	22	ინდუცირებულ	ინდუცირებულ	PROPN
gs-1952	26	23	სტრუქტურულ	სტრუქტურულ	PROPN
gs-1952	26	24	ფაზურ	ფაზურ	VERB
gs-1952	26	25	გარდაქმნებზე	გარდაქმნებზე	PROPN
gs-1952	26	26	(	(	PUNCT
gs-1952	26	27	111	111	NUM
gs-1952	26	28	)	)	PUNCT
gs-1952	26	29	ორიენტაციის	ორიენტაციის	NOUN
gs-1952	27	1	ბორით	ბორით	PROPN
gs-1952	27	2	დოპირებულ	დოპირებულ	PROPN
gs-1952	27	3	მონოკრისტალურ	მონოკრისტალურ	PROPN
gs-1952	27	4	სილიციუმში.	სილიციუმში.	ADJ
gs-1952	27	5	კვლევის	კვლევის	PROPN
gs-1952	27	6	ობიექტი	ობიექტი	PROPN
gs-1952	27	7	და	და	PROPN
gs-1952	27	8	მეთოდი	მეთოდი	PROPN
gs-1952	27	9	კვლევის	კვლევის	PROPN
gs-1952	27	10	ობიექტს	ობიექტს	PROPN
gs-1952	27	11	წარმოადგენს	წარმოადგენს	PROPN
gs-1952	27	12	ჩოხრალსკის	ჩოხრალსკის	PROPN
gs-1952	27	13	მეთოდით	მეთოდით	NOUN
gs-1952	27	14	მიღებული	მიღებული	VERB
gs-1952	27	15	1015სმ-3	1015სმ-3	NUM
gs-1952	27	16	კონცენტრაციის	კონცენტრაციის	NOUN
gs-1952	27	17	ბორით	ბორით	ADP
gs-1952	27	18	დოპირებული	დოპირებული	PROPN
gs-1952	27	19	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-1952	27	20	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-1952	27	21	(	(	PUNCT
gs-1952	27	22	111	111	NUM
gs-1952	27	23	)	)	PUNCT
gs-1952	27	24	ორიენტაციის	ორიენტაციის	PROPN
gs-1952	27	25	ფუძეშრეები.	ფუძეშრეები.	PROPN
gs-1952	27	26	მათი	მათი	PROPN
gs-1952	27	27	ორმხრივი	ორმხრივი	PROPN
gs-1952	27	28	პოლირების	პოლირების	PROPN
gs-1952	27	29	ბოლო	ბოლო	NOUN
gs-1952	27	30	ეტაპზე	ეტაპზე	VERB
gs-1952	27	31	განხორციელდა	განხორციელდა	PROPN
gs-1952	27	32	ულტრაბგერით	ულტრაბგერით	PROPN
gs-1952	27	33	დამუშავება	დამუშავება	NOUN
gs-1952	27	34	აცეტონში	აცეტონში	ADV
gs-1952	27	35	20	20	NUM
gs-1952	27	36	წთ-ის	წთ-ის	NUM
gs-1952	27	37	განმავლობაში.	განმავლობაში.	VERB
gs-1952	27	38	ამის	ამის	NOUN
gs-1952	27	39	შემდეგ	შემდეგ	NOUN
gs-1952	27	40	ნიმუშები	ნიმუშები	PROPN
gs-1952	27	41	30წთ	30წთ	PROPN
gs-1952	27	42	დაყოვნდა	დაყოვნდა	NOUN
gs-1952	27	43	5%hf-ში	5%hf-ში	NUM
gs-1952	27	44	ზედაპირებზე	ზედაპირებზე	NOUN
gs-1952	27	45	ოქსიდური	ოქსიდური	PROPN
gs-1952	27	46	ფენების	ფენების	VERB
gs-1952	27	47	მოსაშორებლად	მოსაშორებლად	ADJ
gs-1952	27	48	,	,	PUNCT
gs-1952	27	49	ბოლო	ბოლო	NOUN
gs-1952	27	50	ეტაპზე	ეტაპზე	PROPN
gs-1952	27	51	ნიმუშები	ნიმუშები	NOUN
gs-1952	27	52	გაირეცხა	გაირეცხა	VERB
gs-1952	27	53	დეიონიზებულ	დეიონიზებულ	PROPN
gs-1952	27	54	წყალში.	წყალში.	PROPN
gs-1952	27	55	მიკროსტრუქტურის	მიკროსტრუქტურის	PROPN
gs-1952	27	56	კვლევა	კვლევა	PROPN
gs-1952	27	57	შესრულდა	შესრულდა	ADJ
gs-1952	27	58	nmm-80	nmm-80	NUM
gs-1952	27	59	rf	rf	NOUN
gs-1952	27	60	/	/	SYM
gs-1952	27	61	trf	trf	PROPN
gs-1952	27	62	სისტემის	სისტემის	NOUN
gs-1952	27	63	მეტალოგრაფიულ	მეტალოგრაფიულ	PROPN
gs-1952	27	64	მიკროსკოპზე.	მიკროსკოპზე.	PROPN
gs-1952	27	65	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	PROPN
gs-1952	28	1	მახასიათებლები	მახასიათებლები	PROPN
gs-1952	28	2	განისაზღვრა	განისაზღვრა	PROPN
gs-1952	28	3	ვან	ვან	PROPN
gs-1952	28	4	დერ	დერ	NOUN
gs-1952	28	5	პოს	პოს	PROPN
gs-1952	28	6	მეთოდით	მეთოდით	NOUN
gs-1952	28	7	0.5	0.5	NUM
gs-1952	28	8	ტესლა	ტესლა	PROPN
gs-1952	28	9	ინდუქციის	ინდუქციის	PROPN
gs-1952	28	10	მუდმივ	მუდმივ	PROPN
gs-1952	28	11	მაგნიტურ	მაგნიტურ	PROPN
gs-1952	28	12	ველში	ველში	PROPN
gs-1952	28	13	ecopia	ecopia	PROPN
gs-1952	28	14	hms-3500	hms-3500	PROPN
gs-1952	28	15	სისტემის	სისტემის	PROPN
gs-1952	28	16	დანადგარზე.	დანადგარზე.	PROPN
gs-1952	28	17	ინფრაწითელი	ინფრაწითელი	PROPN
gs-1952	28	18	გამოსხივების	გამოსხივების	NOUN
gs-1952	28	19	ტალღის	ტალღის	ADV
gs-1952	28	20	სიგრძის	სიგრძის	VERB
gs-1952	28	21	3	3	NUM
gs-1952	28	22	-	-	SYM
gs-1952	28	23	28	28	NUM
gs-1952	28	24	მკმ	მკმ	NOUN
gs-1952	28	25	დიაპაზონში	დიაპაზონში	PROPN
gs-1952	28	26	,	,	PUNCT
gs-1952	28	27	ოპტიკური	ოპტიკური	PROPN
gs-1952	28	28	შთანთქმის	შთანთქმის	PROPN
gs-1952	28	29	სპექტრების	სპექტრების	PROPN
gs-1952	28	30	მიღება	მიღება	PROPN
gs-1952	28	31	განხორციელდა	განხორციელდა	PROPN
gs-1952	28	32	cary	cary	PROPN
gs-1952	28	33	600	600	NUM
gs-1952	28	34	ftir	ftir	PROPN
gs-1952	28	35	სპექტრომეტრზე.	სპექტრომეტრზე.	PROPN
gs-1952	28	36	ინდენტირების	ინდენტირების	PROPN
gs-1952	28	37	ექსპერიმენტები	ექსპერიმენტები	NOUN
gs-1952	28	38	შესრულდა	შესრულდა	VERB
gs-1952	28	39	ვიკერსის	ვიკერსის	ADJ
gs-1952	28	40	მეთოდით	მეთოდით	NOUN
gs-1952	28	41	shimadzu	shimadzu	NOUN
gs-1952	28	42	duh	duh	NOUN
gs-1952	28	43	–	–	PUNCT
gs-1952	28	44	211s	211s	NOUN
gs-1952	28	45	ულტრამიკროტესტერზე	ულტრამიკროტესტერზე	PROPN
gs-1952	28	46	ჰაერის	ჰაერის	PROPN
gs-1952	28	47	ნორმალური	ნორმალური	PROPN
gs-1952	28	48	წნევისა	წნევისა	PROPN
gs-1952	28	49	და	და	PROPN
gs-1952	28	50	ოთახის	ოთახის	ADJ
gs-1952	28	51	ტემპერატურის	ტემპერატურის	PROPN
gs-1952	28	52	პირობებში.	პირობებში.	VERB
gs-1952	28	53	ინდენტორის	ინდენტორის	NOUN
gs-1952	28	54	დატვირთვისა	დატვირთვისა	VERB
gs-1952	28	55	და	და	PROPN
gs-1952	28	56	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-1952	28	57	სიღრმეში	სიღრმეში	PROPN
gs-1952	28	58	შეღწევის	შეღწევის	PROPN
gs-1952	28	59	რეგისტრაცია	რეგისტრაცია	PROPN
gs-1952	28	60	სრულდებოდა	სრულდებოდა	PROPN
gs-1952	28	61	დატვირთვა-განტვირთვის	დატვირთვა-განტვირთვის	ADJ
gs-1952	28	62	პროცესებში.	პროცესებში.	VERB
gs-1952	28	63	ყოველ	ყოველ	NOUN
gs-1952	28	64	მაქსიმალურ	მაქსიმალურ	PROPN
gs-1952	28	65	დატვირთვაზე	დატვირთვაზე	PROPN
gs-1952	28	66	დაყოვნების	დაყოვნების	ADV
gs-1952	28	67	დრო	დრო	VERB
gs-1952	28	68	შეადგენდა	შეადგენდა	NOUN
gs-1952	28	69	10	10	NUM
gs-1952	28	70	წმ.	წმ.	NOUN
gs-1952	28	71	ინდენტორის	ინდენტორის	NOUN
gs-1952	28	72	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1952	28	73	ბოლო	ბოლო	NOUN
gs-1952	28	74	სტადიაზე	სტადიაზე	VERB
gs-1952	28	75	დატვირთულ	დატვირთულ	PROPN
gs-1952	28	76	მდგომარეობაში	მდგომარეობაში	PROPN
gs-1952	28	77	დაყოვნება	დაყოვნება	PROPN
gs-1952	28	78	შეადგენდა	შეადგენდა	PROPN
gs-1952	28	79	5	5	NUM
gs-1952	28	80	წმ.	წმ.	NOUN
gs-1952	28	81	ინდენტირებით	ინდენტირებით	PROPN
gs-1952	28	82	აღძრული	აღძრული	PROPN
gs-1952	28	83	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	29	1	წნევის	წნევის	PRON
gs-1952	29	2	საშუალო	საშუალო	NOUN
gs-1952	29	3	მნიშვნელობები	მნიშვნელობები	NOUN
gs-1952	29	4	განისაზღვრა	განისაზღვრა	ADJ
gs-1952	29	5	მეთოდით	მეთოდით	NOUN
gs-1952	29	6	[	[	X
gs-1952	29	7	8	8	NUM
gs-1952	29	8	]	]	PUNCT
gs-1952	29	9	,	,	PUNCT
gs-1952	29	10	რომელიც	რომელიც	PROPN
gs-1952	29	11	დამუშავებულია	დამუშავებულია	ADJ
gs-1952	29	12	დრეკადი	დრეკადი	PROPN
gs-1952	29	13	აღდგენის	აღდგენის	PROPN
gs-1952	29	14	კონტაქტის	კონტაქტის	NOUN
gs-1952	29	15	მექანიკის	მექანიკის	PROPN
gs-1952	29	16	თეორიული	თეორიული	PROPN
gs-1952	29	17	მოდელების	მოდელების	NOUN
gs-1952	29	18	საფუძველზე	საფუძველზე	PROPN
gs-1952	30	1	[	[	X
gs-1952	30	2	9	9	NUM
gs-1952	30	3	]	]	SYM
gs-1952	30	4	.	.	PUNCT
gs-1952	31	1	12	12	NUM
gs-1952	31	2	მევ	მევ	PROPN
gs-1952	31	3	ენერგიის	ენერგიის	PROPN
gs-1952	31	4	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	31	5	დასხივება	დასხივება	PROPN
gs-1952	31	6	განხორციელდა	განხორციელდა	PROPN
gs-1952	31	7	varian-ის	varian-ის	PROPN
gs-1952	31	8	სისტემის	სისტემის	PROPN
gs-1952	31	9	clinac	clinac	PROPN
gs-1952	31	10	2100ix	2100ix	PROPN
gs-1952	31	11	დანადგარზე.	დანადგარზე.	PROPN
gs-1952	31	12	ექსპერიმენტული	ექსპერიმენტული	PROPN
gs-1952	31	13	შედეგები	შედეგები	PROPN
gs-1952	31	14	და	და	PROPN
gs-1952	31	15	განსჯა	განსჯა	VERB
gs-1952	31	16	საწყის	საწყის	PROPN
gs-1952	31	17	მდგომარეობაში	მდგომარეობაში	PROPN
gs-1952	31	18	p	p	PROPN
gs-1952	31	19	-	-	PUNCT
gs-1952	31	20	si-ის	si-ის	NOUN
gs-1952	31	21	(	(	PUNCT
gs-1952	31	22	111	111	NUM
gs-1952	31	23	)	)	PUNCT
gs-1952	31	24	ორიენტაციის	ორიენტაციის	PROPN
gs-1952	31	25	ფუძეშრეები	ფუძეშრეები	PROPN
gs-1952	31	26	ხასიათდებიან	ხასიათდებიან	PROPN
gs-1952	31	27	ერთგვაროვნად	ერთგვაროვნად	PROPN
gs-1952	31	28	განაწილებული	განაწილებული	VERB
gs-1952	31	29	ერთნაირი	ერთნაირი	ADJ
gs-1952	31	30	ზომების	ზომების	ADJ
gs-1952	31	31	მოწამვლის	მოწამვლის	NOUN
gs-1952	31	32	დისლოკაციური	დისლოკაციური	ADP
gs-1952	31	33	ფიგურებით.	ფიგურებით.	NOUN
gs-1952	31	34	მათი	მათი	PROPN
gs-1952	31	35	სიმკვრივე	სიმკვრივე	PROPN
gs-1952	31	36	იცვლება	იცვლება	PROPN
gs-1952	31	37	(	(	PUNCT
gs-1952	31	38	1∙103	1∙103	NUM
gs-1952	31	39	5∙103	5∙103	NUM
gs-1952	31	40	)	)	PUNCT
gs-1952	31	41	სმ-2	სმ-2	VERB
gs-1952	31	42	საზღვრებში.	საზღვრებში.	VERB
gs-1952	31	43	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-1952	31	44	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	31	45	დასხივება	დასხივება	ADJ
gs-1952	31	46	პრაქტიკულად	პრაქტიკულად	PROPN
gs-1952	31	47	გავლენას	გავლენას	PROPN
gs-1952	31	48	არ	არ	AUX
gs-1952	31	49	ახდენს	ახდენს	PROPN
gs-1952	31	50	დისლოკაციების	დისლოკაციების	PROPN
gs-1952	31	51	განაწილების	განაწილების	PROPN
gs-1952	31	52	ხასიათსა	ხასიათსა	VERB
gs-1952	31	53	და	და	NOUN
gs-1952	31	54	სიმკვრივეზე.	სიმკვრივეზე.	NOUN
gs-1952	31	55	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	31	56	დასხივებული	დასხივებული	NOUN
gs-1952	31	57	(	(	PUNCT
gs-1952	31	58	111	111	NUM
gs-1952	31	59	)	)	PUNCT
gs-1952	31	60	სიბრტყეებზე	სიბრტყეებზე	NOUN
gs-1952	31	61	შეიმჩნევა	შეიმჩნევა	PROPN
gs-1952	31	62	მცირე	მცირე	PROPN
gs-1952	31	63	კონცენტრაციის	კონცენტრაციის	PROPN
gs-1952	31	64	შედარებით	შედარებით	PROPN
gs-1952	31	65	დიდი	დიდი	VERB
gs-1952	31	66	ზომების	ზომების	ADJ
gs-1952	31	67	დისლოკაციური	დისლოკაციური	CCONJ
gs-1952	31	68	ფიგურები.	ფიგურები.	ADJ
gs-1952	31	69	მათი	მათი	PROPN
gs-1952	31	70	ფორმირება	ფორმირება	PROPN
gs-1952	31	71	ხდება	ხდება	PROPN
gs-1952	31	72	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-1952	31	73	კრისტალური	კრისტალური	PROPN
gs-1952	31	74	მესრის	მესრის	PROPN
gs-1952	31	75	დაძაბულ	დაძაბულ	PROPN
gs-1952	31	76	არეებში	არეებში	PROPN
gs-1952	31	77	რადიაციული	რადიაციული	VERB
gs-1952	31	78	დეფექტების	დეფექტების	ADJ
gs-1952	31	79	მახლობლობაში.	მახლობლობაში.	ADJ
gs-1952	31	80	georgian	georgian	ADJ
gs-1952	31	81	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1952	31	82	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1952	31	83	ტ.	ტ.	VERB
gs-1952	31	84	5	5	NUM
gs-1952	31	85	n	n	DET
gs-1952	31	86	2	2	NUM
gs-1952	31	87	,	,	PUNCT
gs-1952	31	88	2023	2023	NUM
gs-1952	31	89	46	46	NUM
gs-1952	32	1	ინფრაწითელი	ინფრაწითელი	NOUN
gs-1952	32	2	გამოსხივების	გამოსხივების	NOUN
gs-1952	32	3	ოპტიკური	ოპტიკური	PROPN
gs-1952	32	4	შთანთქმისა	შთანთქმისა	PROPN
gs-1952	32	5	და	და	PROPN
gs-1952	32	6	განჭოლვის	განჭოლვის	PROPN
gs-1952	32	7	სპექტრების	სპექტრების	VERB
gs-1952	32	8	ანალიზმა	ანალიზმა	ADJ
gs-1952	32	9	აჩვენა	აჩვენა	PROPN
gs-1952	32	10	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	32	11	დასხივებულ	დასხივებულ	NOUN
gs-1952	32	12	ნიმუშებში	ნიმუშებში	PROPN
gs-1952	32	13	ტექნოლოგიური	ტექნოლოგიური	PROPN
gs-1952	32	14	მინარევების	მინარევების	PROPN
gs-1952	33	1	ჟანგბადისა	ჟანგბადისა	PROPN
gs-1952	33	2	და	და	NOUN
gs-1952	34	1	ნახშირბადის	ნახშირბადის	ADJ
gs-1952	34	2	ატომების	ატომების	PROPN
gs-1952	34	3	კონცენტრაციების	კონცენტრაციების	PROPN
gs-1952	34	4	შემცირება	შემცირება	PROPN
gs-1952	34	5	ჩანერგვისა	ჩანერგვისა	PROPN
gs-1952	34	6	(	(	PUNCT
gs-1952	34	7	oi	oi	INTJ
gs-1952	34	8	)	)	PUNCT
gs-1952	34	9	და	და	NOUN
gs-1952	34	10	ჩანაცვლების	ჩანაცვლების	NOUN
gs-1952	34	11	(	(	PUNCT
gs-1952	34	12	cs	cs	ADJ
gs-1952	34	13	)	)	PUNCT
gs-1952	34	14	პოზიციებში.	პოზიციებში.	NOUN
gs-1952	34	15	ეს	ეს	PRON
gs-1952	34	16	გარემოება	გარემოება	VERB
gs-1952	34	17	განპირობებულია	განპირობებულია	VERB
gs-1952	34	18	ორივე	ორივე	ADP
gs-1952	34	19	მინარევის	მინარევის	PROPN
gs-1952	34	20	ატომების	ატომების	PROPN
gs-1952	34	21	ურთიერთქმედებით	ურთიერთქმედებით	PROPN
gs-1952	34	22	პირველად	პირველად	NOUN
gs-1952	34	23	რადიაციულ	რადიაციულ	ADP
gs-1952	34	24	დეფექტებთან	დეფექტებთან	NOUN
gs-1952	34	25	(	(	PUNCT
gs-1952	34	26	ვაკანსია	ვაკანსია	PROPN
gs-1952	34	27	,	,	PUNCT
gs-1952	34	28	ჩანერგვის	ჩანერგვის	NOUN
gs-1952	34	29	პოზიციაში	პოზიციაში	NOUN
gs-1952	34	30	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-1952	34	31	ატომი	ატომი	PROPN
gs-1952	34	32	sii	sii	PROPN
gs-1952	34	33	)	)	PUNCT
gs-1952	34	34	.	.	PUNCT
gs-1952	35	1	ოთახის	ოთახის	PROPN
gs-1952	35	2	ტემპერატურის	ტემპერატურის	PROPN
gs-1952	35	3	პირობებში	პირობებში	PROPN
gs-1952	35	4	ინტენსიურად	ინტენსიურად	NOUN
gs-1952	35	5	მიმდინარეობს	მიმდინარეობს	NOUN
gs-1952	35	6	რადიაციული	რადიაციული	VERB
gs-1952	35	7	დეფექტების	დეფექტების	ADJ
gs-1952	35	8	მარტივი	მარტივი	NOUN
gs-1952	35	9	კომპლექსების	კომპლექსების	ADJ
gs-1952	35	10	ფორმირება	ფორმირება	NOUN
gs-1952	35	11	(	(	PUNCT
gs-1952	35	12	vo	vo	NOUN
gs-1952	35	13	,	,	PUNCT
gs-1952	35	14	cics	cic	NOUN
gs-1952	35	15	,	,	PUNCT
gs-1952	35	16	cioi	cioi	PROPN
gs-1952	35	17	)	)	PUNCT
gs-1952	35	18	,	,	PUNCT
gs-1952	35	19	რომლებიც	რომლებიც	PROPN
gs-1952	35	20	იწვევენ	იწვევენ	PROPN
gs-1952	35	21	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	PROPN
gs-1952	35	22	მახასიათებლების	მახასიათებლების	PROPN
gs-1952	35	23	ცვლილებებს.	ცვლილებებს.	PROPN
gs-1952	35	24	1013სმ-2	1013სმ-2	NUM
gs-1952	35	25	ფლუენსის	ფლუენსის	PROPN
gs-1952	35	26	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-1952	35	27	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	35	28	დასხივებამ	დასხივებამ	ADJ
gs-1952	35	29	გამოიწვია	გამოიწვია	PROPN
gs-1952	35	30	p	p	PROPN
gs-1952	35	31	-	-	PUNCT
gs-1952	35	32	si-ის	si-ის	NOUN
gs-1952	35	33	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	ADJ
gs-1952	35	34	კუთრი	კუთრი	ADJ
gs-1952	35	35	ელექტროწინაღობისა	ელექტროწინაღობისა	NOUN
gs-1952	35	36	და	და	NOUN
gs-1952	35	37	დენის	დენის	NOUN
gs-1952	35	38	მატარებელი	მატარებელი	NOUN
gs-1952	35	39	ხვრელების	ხვრელების	PROPN
gs-1952	35	40	კონცენტრაციის	კონცენტრაციის	NOUN
gs-1952	35	41	შესამჩნევი	შესამჩნევი	PROPN
gs-1952	35	42	ცვლილებები.	ცვლილებები.	NOUN
gs-1952	35	43	ამაღლებული	ამაღლებული	NOUN
gs-1952	35	44	კონცენტრაციის	კონცენტრაციის	NOUN
gs-1952	35	45	ხვრელები	ხვრელები	NOUN
gs-1952	35	46	ინტენსიურად	ინტენსიურად	VERB
gs-1952	35	47	განიბნევიან	განიბნევიან	ADJ
gs-1952	35	48	ელექტრულად	ელექტრულად	ADJ
gs-1952	35	49	აქტიურ	აქტიურ	NOUN
gs-1952	35	50	რადიაციულ	რადიაციულ	PROPN
gs-1952	35	51	დეფექტებზე	დეფექტებზე	PROPN
gs-1952	35	52	,	,	PUNCT
gs-1952	35	53	რამაც	რამაც	PROPN
gs-1952	35	54	გამოიწვია	გამოიწვია	PROPN
gs-1952	35	55	ძვრადობის	ძვრადობის	PROPN
gs-1952	35	56	20%-მდე	20%-მდე	X
gs-1952	35	57	შემცირება.	შემცირება.	NOUN
gs-1952	35	58	ელექტრონების	ელექტრონების	VERB
gs-1952	35	59	დასხივების	დასხივების	ADJ
gs-1952	35	60	გავლენა	გავლენა	ADJ
gs-1952	35	61	p	p	PROPN
gs-1952	35	62	-	-	PUNCT
gs-1952	35	63	si-ის	si-ის	PROPN
gs-1952	35	64	ელექტროფიზიკურ	ელექტროფიზიკურ	PROPN
gs-1952	35	65	და	და	PROPN
gs-1952	35	66	ოპტიკურ	ოპტიკურ	ADV
gs-1952	35	67	მახასიათებლებზე	მახასიათებლებზე	PROPN
gs-1952	35	68	ასახულია	ასახულია	VERB
gs-1952	35	69	ცხრ.	ცხრ.	PROPN
gs-1952	36	1	1-ში.	1-ში.	NUM
gs-1952	36	2	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-1952	36	3	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-1952	36	4	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	PROPN
gs-1952	36	5	მახასიათებლები	მახასიათებლები	VERB
gs-1952	36	6	ცხრ.1	ცხრ.1	PROPN
gs-1952	36	7	p	p	NOUN
gs-1952	36	8	-	-	PUNCT
gs-1952	36	9	si	si	X
gs-1952	36	10	(	(	PUNCT
gs-1952	36	11	100	100	NUM
gs-1952	36	12	)	)	PUNCT
gs-1952	36	13	დისლოკაციე	დისლოკაციე	NOUN
gs-1952	36	14	ბის	ბის	PROPN
gs-1952	36	15	სიმკვრივე	სიმკვრივე	PROPN
gs-1952	36	16	,	,	PUNCT
gs-1952	36	17	სმ-2	სმ-2	VERB
gs-1952	36	18	კუთრი	კუთრი	ADJ
gs-1952	36	19	ელექტრ	ელექტრ	NOUN
gs-1952	36	20	ოწინაღობ	ოწინაღობ	NOUN
gs-1952	36	21	ა	ა	NOUN
gs-1952	36	22	,	,	PUNCT
gs-1952	36	23	ომი∙სმ	ომი∙სმ	ADJ
gs-1952	36	24	ხვრელების	ხვრელების	ADJ
gs-1952	36	25	კონცენტრა	კონცენტრა	NOUN
gs-1952	36	26	ცია	ცია	NOUN
gs-1952	36	27	,	,	PUNCT
gs-1952	36	28	სმ-3	სმ-3	NUM
gs-1952	36	29	ძვრადო	ძვრადო	NOUN
gs-1952	36	30	ბა	ბა	NOUN
gs-1952	36	31	,	,	PUNCT
gs-1952	36	32	სმ2∙ვ1∙წმ-1	სმ2∙ვ1∙წმ-1	ADJ
gs-1952	36	33	ჟანგბადის	ჟანგბადის	ADJ
gs-1952	36	34	კონცენტრა	კონცენტრა	NOUN
gs-1952	36	35	ცია	ცია	NOUN
gs-1952	36	36	,	,	PUNCT
gs-1952	36	37	სმ-3	სმ-3	NOUN
gs-1952	36	38	ნახშირბადი	ნახშირბადი	PROPN
gs-1952	36	39	ს	ს	ADP
gs-1952	36	40	კონცენტრა	კონცენტრა	NOUN
gs-1952	36	41	ცია	ცია	NOUN
gs-1952	36	42	,	,	PUNCT
gs-1952	36	43	სმ-3	სმ-3	NOUN
gs-1952	36	44	საწყისი	საწყისი	VERB
gs-1952	36	45	3∙103	3∙103	NUM
gs-1952	36	46	9,6	9,6	NUM
gs-1952	36	47	1∙1015	1∙1015	NUM
gs-1952	36	48	650	650	NUM
gs-1952	36	49	2∙1018	2∙1018	NUM
gs-1952	36	50	7∙1016	7∙1016	NUM
gs-1952	36	51	ელექტრონებ	ელექტრონებ	NOUN
gs-1952	36	52	ით	ით	PROPN
gs-1952	36	53	დასხივებუ	დასხივებუ	VERB
gs-1952	36	54	ლი	ლი	ADP
gs-1952	36	55	4∙103	4∙103	NUM
gs-1952	36	56	3,5	3,5	NUM
gs-1952	36	57	4∙1015	4∙1015	NUM
gs-1952	36	58	520	520	NUM
gs-1952	36	59	8∙1017	8∙1017	NUM
gs-1952	37	1	3∙1016	3∙1016	NUM
gs-1952	37	2	ნახ.1ზე	ნახ.1ზე	PROPN
gs-1952	37	3	წარმოდგენილია	წარმოდგენილია	VERB
gs-1952	37	4	საწყის	საწყის	ADJ
gs-1952	37	5	ნიმუშზე	ნიმუშზე	NOUN
gs-1952	37	6	ინდენტორის	ინდენტორის	NOUN
gs-1952	37	7	დატვირთვა-გადაადგილების	დატვირთვა-გადაადგილების	NOUN
gs-1952	37	8	გრაფიკები	გრაფიკები	VERB
gs-1952	37	9	50	50	NUM
gs-1952	37	10	და	და	NOUN
gs-1952	37	11	100	100	NUM
gs-1952	37	12	მნ	მნ	PROPN
gs-1952	37	13	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1952	37	14	დატვირთვისას.	დატვირთვისას.	VERB
gs-1952	38	1	50	50	NUM
gs-1952	38	2	მნ	მნ	NOUN
gs-1952	38	3	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1952	38	4	შემთხვევაში	შემთხვევაში	NOUN
gs-1952	38	5	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1952	38	6	შტოზე	შტოზე	NOUN
gs-1952	38	7	გამოვლენილია	გამოვლენილია	VERB
gs-1952	38	8	დახრილობის	დახრილობის	ADJ
gs-1952	38	9	მდორე	მდორე	NOUN
gs-1952	38	10	,	,	PUNCT
gs-1952	38	11	თანდათანობითი	თანდათანობითი	NOUN
gs-1952	38	12	ცვლილება	ცვლილება	ADJ
gs-1952	38	13	,	,	PUNCT
gs-1952	38	14	რაც	რაც	VERB
gs-1952	38	15	ვრცელდება	ვრცელდება	PROPN
gs-1952	38	16	ინდენტორის	ინდენტორის	X
gs-1952	38	17	გადაადგილების	გადაადგილების	PROPN
gs-1952	38	18	ფართო	ფართო	PROPN
gs-1952	38	19	დიაპაზონში	დიაპაზონში	PROPN
gs-1952	38	20	განტვირთვის	განტვირთვის	PROPN
gs-1952	38	21	პროცესის	პროცესის	NOUN
gs-1952	38	22	დასრულებამდე	დასრულებამდე	NOUN
gs-1952	38	23	(	(	PUNCT
gs-1952	38	24	ნახ.	ნახ.	NOUN
gs-1952	38	25	1	1	NUM
gs-1952	38	26	)	)	PUNCT
gs-1952	38	27	.	.	PUNCT
gs-1952	39	1	georgian	georgian	ADJ
gs-1952	39	2	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	PROPN
gs-1952	39	3	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1952	39	4	ტ.	ტ.	VERB
gs-1952	39	5	5	5	NUM
gs-1952	39	6	n	n	DET
gs-1952	39	7	2	2	NUM
gs-1952	39	8	,	,	PUNCT
gs-1952	39	9	2023	2023	NUM
gs-1952	39	10	47	47	NUM
gs-1952	39	11	ნახ.	ნახ.	NOUN
gs-1952	39	12	1	1	NUM
gs-1952	39	13	.	.	PUNCT
gs-1952	39	14	საწყისი	საწყისი	NOUN
gs-1952	39	15	მონიკრისტალური	მონიკრისტალური	PROPN
gs-1952	40	1	p	p	NOUN
gs-1952	40	2	-	-	PUNCT
gs-1952	40	3	si	si	NOUN
gs-1952	40	4	:	:	PUNCT
gs-1952	40	5	b	b	NOUN
gs-1952	40	6	ფუძეშრის	ფუძეშრის	NOUN
gs-1952	40	7	დატვირთვა-გადაადგილების	დატვირთვა-გადაადგილების	VERB
gs-1952	40	8	დამოკიდებულება.	დამოკიდებულება.	NOUN
gs-1952	40	9	----	----	PUNCT
gs-1952	40	10	●	●	PROPN
gs-1952	40	11	---	---	PUNCT
gs-1952	40	12	მაქსიმალური	მაქსიმალური	NOUN
gs-1952	40	13	დატვირთვა	დატვირთვა	ADJ
gs-1952	40	14	100მნ.	100მნ.	PROPN
gs-1952	40	15	----∗---მაქსიმალური	----∗---მაქსიმალური	SYM
gs-1952	40	16	დატვირთვა	დატვირთვა	PROPN
gs-1952	40	17	50მნ	50მნ	ADJ
gs-1952	40	18	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-1952	40	19	მოდებული	მოდებული	PROPN
gs-1952	40	20	100მნ	100მნ	PROPN
gs-1952	40	21	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1952	40	22	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1952	40	23	შემთხვევაში	შემთხვევაში	NOUN
gs-1952	40	24	დატვირთვაგადაადგილების	დატვირთვაგადაადგილების	NOUN
gs-1952	40	25	გრაფიკის	გრაფიკის	NOUN
gs-1952	40	26	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1952	40	27	შტოზე	შტოზე	PROPN
gs-1952	40	28	ჩნდება	ჩნდება	PROPN
gs-1952	40	29	დახრილი	დახრილი	PROPN
gs-1952	40	30	ბაქანის	ბაქანის	NOUN
gs-1952	40	31	ფორმის	ფორმის	NOUN
gs-1952	40	32	დამატებითი	დამატებითი	NOUN
gs-1952	40	33	გამრუდება.	გამრუდება.	VERB
gs-1952	40	34	100	100	NUM
gs-1952	40	35	მნ	მნ	PROPN
gs-1952	40	36	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1952	40	37	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1952	40	38	პირობებში	პირობებში	NOUN
gs-1952	40	39	იზრდება	იზრდება	PROPN
gs-1952	40	40	კრიტიკული	კრიტიკული	PROPN
gs-1952	40	41	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1952	40	42	მნიშვნელობა	მნიშვნელობა	NOUN
gs-1952	40	43	,	,	PUNCT
gs-1952	40	44	რომელზედაც	რომელზედაც	PROPN
gs-1952	40	45	ვლინდება	ვლინდება	ADJ
gs-1952	40	46	დატვირთვაგადაადგილების	დატვირთვაგადაადგილების	ADJ
gs-1952	40	47	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1952	40	48	შტოზე	შტოზე	NOUN
gs-1952	40	49	გამრუდება	გამრუდება	NOUN
gs-1952	40	50	თანმიმდევრულად	თანმიმდევრულად	ADJ
gs-1952	40	51	განთავსებული	განთავსებული	NOUN
gs-1952	40	52	გადახრითა	გადახრითა	VERB
gs-1952	40	53	და	და	NOUN
gs-1952	40	54	ბაქანის	ბაქანის	NOUN
gs-1952	40	55	ფორმით.	ფორმით.	NOUN
gs-1952	40	56	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-1952	40	57	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	40	58	დასხივებულ	დასხივებულ	NOUN
gs-1952	40	59	si	si	NOUN
gs-1952	40	60	:	:	PUNCT
gs-1952	40	61	b	b	NOUN
gs-1952	40	62	ფუძეშრის	ფუძეშრის	PRON
gs-1952	40	63	ინდენტირების	ინდენტირების	ADV
gs-1952	40	64	პროცესების	პროცესების	VERB
gs-1952	40	65	მახასიათებელ	მახასიათებელ	PROPN
gs-1952	40	66	დატვირთვა-გადაადგილების	დატვირთვა-გადაადგილების	ADJ
gs-1952	40	67	გრაფიკების	გრაფიკების	ADJ
gs-1952	40	68	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1952	40	69	შტოებზე	შტოებზე	PROPN
gs-1952	40	70	შეინიშნება	შეინიშნება	PROPN
gs-1952	40	71	გამრუდების	გამრუდების	PROPN
gs-1952	40	72	გაზრდა	გაზრდა	ADJ
gs-1952	40	73	და	და	NOUN
gs-1952	40	74	ბაქანის	ბაქანის	NOUN
gs-1952	40	75	მიდამოში	მიდამოში	NOUN
gs-1952	40	76	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1952	40	77	კრიტიკული	კრიტიკული	NOUN
gs-1952	40	78	მნიშვნელობის	მნიშვნელობის	ADP
gs-1952	40	79	სუსტი	სუსტი	PROPN
gs-1952	40	80	ამაღლება.	ამაღლება.	PROPN
gs-1952	40	81	ეფექტი	ეფექტი	PROPN
gs-1952	40	82	უფრო	უფრო	PROPN
gs-1952	40	83	მკაფიოდ	მკაფიოდ	PROPN
gs-1952	40	84	ჩნდება	ჩნდება	PROPN
gs-1952	40	85	100	100	NUM
gs-1952	40	86	მნ	მნ	PROPN
gs-1952	40	87	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1952	40	88	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1952	40	89	შემთხვევაში.	შემთხვევაში.	VERB
gs-1952	40	90	georgian	georgian	ADJ
gs-1952	40	91	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1952	40	92	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1952	40	93	ტ.	ტ.	VERB
gs-1952	40	94	5	5	NUM
gs-1952	40	95	n	n	DET
gs-1952	40	96	2	2	NUM
gs-1952	40	97	,	,	PUNCT
gs-1952	40	98	2023	2023	NUM
gs-1952	40	99	48	48	NUM
gs-1952	40	100	ნახ.	ნახ.	NOUN
gs-1952	40	101	2	2	NUM
gs-1952	40	102	.	.	PUNCT
gs-1952	40	103	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-1952	41	1	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	42	1	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-1952	42	2	p	p	NOUN
gs-1952	42	3	-	-	PUNCT
gs-1952	42	4	si	si	NOUN
gs-1952	42	5	:	:	PUNCT
gs-1952	42	6	b	b	NOUN
gs-1952	42	7	ფუძეშრის	ფუძეშრის	NOUN
gs-1952	42	8	დატვირთვა	დატვირთვა	VERB
gs-1952	42	9	გადაადგილების	გადაადგილების	ADJ
gs-1952	42	10	დამოკიდებულება.	დამოკიდებულება.	NOUN
gs-1952	42	11	----	----	PUNCT
gs-1952	42	12	●	●	PROPN
gs-1952	42	13	---	---	PUNCT
gs-1952	42	14	მაქსიმალური	მაქსიმალური	NOUN
gs-1952	42	15	დატვირთვა	დატვირთვა	ADJ
gs-1952	42	16	100მნ.	100მნ.	PROPN
gs-1952	42	17	----∗---მაქსიმალური	----∗---მაქსიმალური	SYM
gs-1952	42	18	დატვირთვა	დატვირთვა	NOUN
gs-1952	42	19	50მნ	50მნ	ADJ
gs-1952	42	20	საშუალო	საშუალო	NOUN
gs-1952	42	21	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	42	22	წნევის	წნევის	DET
gs-1952	42	23	სიდიდეები	სიდიდეები	PROPN
gs-1952	42	24	ყოველი	ყოველი	VERB
gs-1952	42	25	ექსპერიმენტული	ექსპერიმენტული	PROPN
gs-1952	42	26	დატვირთვისათვის	დატვირთვისათვის	PROPN
gs-1952	42	27	განისაზღვრა	განისაზღვრა	PROPN
gs-1952	42	28	სტანდატული	სტანდატული	VERB
gs-1952	42	29	მეთოდით	მეთოდით	NOUN
gs-1952	42	30	[	[	X
gs-1952	42	31	7	7	NUM
gs-1952	42	32	]	]	PUNCT
gs-1952	42	33	.	.	PUNCT
gs-1952	43	1	გაანგარიშებით	გაანგარიშებით	PROPN
gs-1952	43	2	მიღებული	მიღებული	VERB
gs-1952	43	3	საშუალო	საშუალო	ADJ
gs-1952	43	4	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	43	5	წნევაგადაადგილების	წნევაგადაადგილების	ADJ
gs-1952	43	6	დამოკიდებულებების	დამოკიდებულებების	NOUN
gs-1952	43	7	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1952	43	8	უბანზე	უბანზე	NOUN
gs-1952	43	9	50	50	NUM
gs-1952	43	10	მნ	მნ	PROPN
gs-1952	43	11	მაქსიმალურ	მაქსიმალურ	PROPN
gs-1952	43	12	დატვირთვაზე	დატვირთვაზე	PROPN
gs-1952	43	13	არადრეკადი	არადრეკადი	PROPN
gs-1952	43	14	დეფორმაციის	დეფორმაციის	PROPN
gs-1952	43	15	ეფექტი	ეფექტი	PROPN
gs-1952	43	16	წარმოჩენილია	წარმოჩენილია	ADJ
gs-1952	43	17	იდენტორის	იდენტორის	NOUN
gs-1952	43	18	გადაადგილების	გადაადგილების	ADJ
gs-1952	43	19	0.25	0.25	NUM
gs-1952	43	20	-	-	SYM
gs-1952	43	21	0.40	0.40	NUM
gs-1952	43	22	მკმ	მკმ	NOUN
gs-1952	43	23	დიაპაზონში	დიაპაზონში	PROPN
gs-1952	43	24	,	,	PUNCT
gs-1952	43	25	რომელსაც	რომელსაც	NOUN
gs-1952	43	26	შეესაბამება	შეესაბამება	PROPN
gs-1952	43	27	საშუალო	საშუალო	NOUN
gs-1952	43	28	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	43	29	წნევის	წნევის	PRON
gs-1952	43	30	ცვლილება	ცვლილება	VERB
gs-1952	43	31	3,5	3,5	NUM
gs-1952	43	32	-	-	SYM
gs-1952	43	33	4,0	4,0	NUM
gs-1952	43	34	გპა	გპა	PROPN
gs-1952	43	35	დიაპაზონში.	დიაპაზონში.	VERB
gs-1952	43	36	georgian	georgian	ADJ
gs-1952	43	37	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1952	43	38	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1952	43	39	ტ.	ტ.	VERB
gs-1952	43	40	5	5	NUM
gs-1952	43	41	n	n	DET
gs-1952	43	42	2	2	NUM
gs-1952	43	43	,	,	PUNCT
gs-1952	43	44	2023	2023	NUM
gs-1952	43	45	49	49	NUM
gs-1952	44	1	ნახ	ნახ	NUM
gs-1952	44	2	3	3	NUM
gs-1952	44	3	.	.	PUNCT
gs-1952	44	4	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-1952	44	5	p	p	PROPN
gs-1952	44	6	-	-	PUNCT
gs-1952	44	7	si-ის	si-ის	NOUN
gs-1952	44	8	საშუალი	საშუალი	ADJ
gs-1952	44	9	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	44	10	წნევის	წნევის	DET
gs-1952	44	11	კონტაქტის	კონტაქტის	NOUN
gs-1952	44	12	სიღრმეზე	სიღრმეზე	NOUN
gs-1952	44	13	დამოკიდებულება.	დამოკიდებულება.	NOUN
gs-1952	44	14	----	----	PUNCT
gs-1952	44	15	●	●	PROPN
gs-1952	44	16	---	---	PUNCT
gs-1952	44	17	მაქსიმალური	მაქსიმალური	NOUN
gs-1952	44	18	დატვირთვა	დატვირთვა	ADJ
gs-1952	44	19	100მნ.	100მნ.	PROPN
gs-1952	44	20	----∗---მაქსიმალური	----∗---მაქსიმალური	SYM
gs-1952	44	21	დატვირთვა	დატვირთვა	PROPN
gs-1952	44	22	50მნ.	50მნ.	NUM
gs-1952	44	23	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-1952	44	24	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-1952	44	25	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	44	26	დასხივების	დასხივების	PROPN
gs-1952	44	27	შემდეგ	შემდეგ	PROPN
gs-1952	44	28	100	100	NUM
gs-1952	44	29	მნ	მნ	PROPN
gs-1952	44	30	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1952	44	31	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1952	44	32	პირობებში	პირობებში	NOUN
gs-1952	44	33	შეიმჩნევა	შეიმჩნევა	PROPN
gs-1952	44	34	არადრეკადი	არადრეკადი	PROPN
gs-1952	44	35	დეფორმაციის	დეფორმაციის	PROPN
gs-1952	44	36	არეში	არეში	ADJ
gs-1952	44	37	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1952	44	38	კრიტიკული	კრიტიკული	NOUN
gs-1952	44	39	მნიშვნელობისა	მნიშვნელობისა	VERB
gs-1952	44	40	და	და	PROPN
gs-1952	44	41	საშუალო	საშუალო	PROPN
gs-1952	44	42	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	45	1	წნევის	წნევის	PRON
gs-1952	45	2	სუსტი	სუსტი	PROPN
gs-1952	45	3	მატება	მატება	PROPN
gs-1952	45	4	(	(	PUNCT
gs-1952	45	5	ნახ.4	ნახ.4	PROPN
gs-1952	45	6	)	)	PUNCT
gs-1952	45	7	.	.	PUNCT
gs-1952	46	1	georgian	georgian	ADJ
gs-1952	46	2	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	PROPN
gs-1952	46	3	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1952	46	4	ტ.	ტ.	VERB
gs-1952	46	5	5	5	NUM
gs-1952	46	6	n	n	PRON
gs-1952	46	7	2	2	NUM
gs-1952	46	8	,	,	PUNCT
gs-1952	46	9	2023	2023	NUM
gs-1952	46	10	50	50	NUM
gs-1952	46	11	ნახ	ნახ	NUM
gs-1952	46	12	4	4	NUM
gs-1952	46	13	.	.	X
gs-1952	46	14	12	12	NUM
gs-1952	46	15	მევ	მევ	PROPN
gs-1952	46	16	ენერგიის	ენერგიის	PROPN
gs-1952	46	17	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	46	18	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-1952	46	19	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-1952	46	20	p	p	PROPN
gs-1952	46	21	-	-	PUNCT
gs-1952	46	22	si-ის	si-ის	PROPN
gs-1952	46	23	ინდენტირების	ინდენტირების	PROPN
gs-1952	46	24	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-1952	46	25	საშუალო	საშუალო	ADJ
gs-1952	46	26	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	47	1	წნევის	წნევის	DET
gs-1952	47	2	კონტაქტის	კონტაქტის	NOUN
gs-1952	47	3	სიღრმეზე	სიღრმეზე	NOUN
gs-1952	47	4	დამოკიდებულება.	დამოკიდებულება.	NOUN
gs-1952	47	5	----	----	PUNCT
gs-1952	47	6	●	●	PROPN
gs-1952	47	7	---	---	PUNCT
gs-1952	47	8	მაქსიმალური	მაქსიმალური	NOUN
gs-1952	47	9	დატვირთვა	დატვირთვა	ADJ
gs-1952	47	10	100მნ.	100მნ.	PROPN
gs-1952	47	11	----∗---მაქსიმალური	----∗---მაქსიმალური	SYM
gs-1952	47	12	დატვირთვა	დატვირთვა	PROPN
gs-1952	47	13	50მნ.	50მნ.	NUM
gs-1952	47	14	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	NOUN
gs-1952	47	15	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	47	16	დასხივებას	დასხივებას	VERB
gs-1952	47	17	შეუძლია	შეუძლია	PROPN
gs-1952	47	18	გამოიწვიოს	გამოიწვიოს	PROPN
gs-1952	47	19	სტრუქტურაში	სტრუქტურაში	PROPN
gs-1952	47	20	არსებული	არსებული	PROPN
gs-1952	47	21	დისლოკაციური	დისლოკაციური	CCONJ
gs-1952	47	22	წარმოშობისა	წარმოშობისა	ADP
gs-1952	47	23	და	და	PROPN
gs-1952	47	24	რადიაციული	რადიაციული	PROPN
gs-1952	47	25	დეფექტების	დეფექტების	PROPN
gs-1952	47	26	ურთიერთქმედების	ურთიერთქმედების	NOUN
gs-1952	47	27	ძალისა	ძალისა	VERB
gs-1952	47	28	და	და	NOUN
gs-1952	48	1	ძვრადობის	ძვრადობის	ADV
gs-1952	48	2	ცვლილებები.	ცვლილებები.	NOUN
gs-1952	49	1	ეს	ეს	PRON
gs-1952	49	2	გარემოება	გარემოება	VERB
gs-1952	49	3	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-1952	49	4	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-1952	49	5	ინდენტირების	ინდენტირების	PROPN
gs-1952	49	6	პროცესებზე	პროცესებზე	PROPN
gs-1952	49	7	100	100	NUM
gs-1952	49	8	მნ	მნ	PROPN
gs-1952	49	9	მაქსიმალურ	მაქსიმალურ	PROPN
gs-1952	49	10	დატვირთვაზე	დატვირთვაზე	PROPN
gs-1952	49	11	წარმოდგენილია	წარმოდგენილია	VERB
gs-1952	49	12	ბაქანითა	ბაქანითა	NOUN
gs-1952	49	13	და	და	PROPN
gs-1952	49	14	ასევე	ასევე	PROPN
gs-1952	49	15	ზუსტად	ზუსტად	PROPN
gs-1952	49	16	ამაღლებული	ამაღლებული	NOUN
gs-1952	49	17	დატვირთვისა	დატვირთვისა	VERB
gs-1952	49	18	და	და	NOUN
gs-1952	49	19	საშუალო	საშუალო	ADJ
gs-1952	49	20	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	49	21	წნევის	წნევის	PRON
gs-1952	49	22	კრიტიკული	კრიტიკული	PROPN
gs-1952	49	23	მნიშვნელობებით.	მნიშვნელობებით.	PROPN
gs-1952	49	24	ექსპერიმენტულად	ექსპერიმენტულად	VERB
gs-1952	49	25	დადგინდა	დადგინდა	PROPN
gs-1952	49	26	,	,	PUNCT
gs-1952	49	27	რომ	რომ	PROPN
gs-1952	49	28	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-1952	49	29	ნიმუშების	ნიმუშების	PROPN
gs-1952	49	30	(	(	PUNCT
gs-1952	49	31	111	111	NUM
gs-1952	49	32	)	)	PUNCT
gs-1952	49	33	ზედაპირზე	ზედაპირზე	PROPN
gs-1952	49	34	დრეკადობის	დრეკადობის	VERB
gs-1952	49	35	მოდული	მოდული	ADJ
gs-1952	49	36	სუსტად	სუსტად	ADJ
gs-1952	49	37	მცირდება	მცირდება	PROPN
gs-1952	49	38	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-1952	49	39	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1952	49	40	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1952	49	41	ამაღლებით	ამაღლებით	PROPN
gs-1952	49	42	50	50	NUM
gs-1952	49	43	დან	დან	NOUN
gs-1952	49	44	100	100	NUM
gs-1952	49	45	მნ-მდე.	მნ-მდე.	PUNCT
gs-1952	49	46	მაღალ	მაღალ	PRON
gs-1952	49	47	ენერგეტიკული	ენერგეტიკული	NOUN
gs-1952	49	48	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	49	49	დასხივება	დასხივება	ADJ
gs-1952	49	50	იწვევს	იწვევს	PROPN
gs-1952	49	51	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-1952	49	52	მოდულის	მოდულის	PROPN
gs-1952	49	53	სუსტად	სუსტად	PROPN
gs-1952	49	54	მატებას	მატებას	PROPN
gs-1952	49	55	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1952	49	56	დატვირთვის	დატვირთვის	VERB
gs-1952	49	57	ორივე	ორივე	NOUN
gs-1952	49	58	შემთხვევაში.	შემთხვევაში.	VERB
gs-1952	49	59	აღსანიშნავია	აღსანიშნავია	ADV
gs-1952	49	60	,	,	PUNCT
gs-1952	49	61	რომ	რომ	PROPN
gs-1952	49	62	ბორით	ბორით	PROPN
gs-1952	49	63	ლეგირებული	ლეგირებული	PROPN
gs-1952	49	64	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	INTJ
gs-1952	50	1	si-ის	si-ის	INTJ
gs-1952	50	2	დრეკადობის	დრეკადობის	VERB
gs-1952	50	3	მოდული	მოდული	PROPN
gs-1952	50	4	~10%-ით	~10%-ით	PROPN
gs-1952	50	5	ნაკლებია	ნაკლებია	PROPN
gs-1952	50	6	არალეგირებული	არალეგირებული	PROPN
gs-1952	50	7	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-1952	50	8	სილიციუმის	სილიციუმის	VERB
gs-1952	50	9	ასეთივე	ასეთივე	PROPN
gs-1952	50	10	მექანიკურ	მექანიკურ	PROPN
gs-1952	50	11	მახასიათებლებზე	მახასიათებლებზე	AUX
gs-1952	50	12	პრაქტიკულად	პრაქტიკულად	PROPN
gs-1952	50	13	ნებისმიერი	ნებისმიერი	PROPN
gs-1952	50	14	კრისტალოგრაფიული	კრისტალოგრაფიული	PROPN
gs-1952	50	15	ორიენტაციისათვის	ორიენტაციისათვის	NOUN
gs-1952	51	1	[	[	X
gs-1952	51	2	10	10	NUM
gs-1952	51	3	]	]	PUNCT
gs-1952	51	4	.	.	PUNCT
gs-1952	52	1	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-1952	52	2	p	p	PROPN
gs-1952	52	3	-	-	PUNCT
gs-1952	52	4	si	si	NOUN
gs-1952	52	5	ნიმუშების	ნიმუშების	NOUN
gs-1952	52	6	სტრუქტურა	სტრუქტურა	NOUN
gs-1952	52	7	შეიცავს	შეიცავს	NOUN
gs-1952	52	8	104	104	NUM
gs-1952	52	9	-	-	SYM
gs-1952	52	10	5∙104	5∙104	NUM
gs-1952	52	11	სმ-2	სმ-2	VERB
gs-1952	52	12	სიმკვრივის	სიმკვრივის	NOUN
gs-1952	52	13	დისლოკაციებს	დისლოკაციებს	NOUN
gs-1952	52	14	,	,	PUNCT
gs-1952	52	15	რითაც	რითაც	PROPN
gs-1952	52	16	სუსტდება	სუსტდება	PROPN
gs-1952	52	17	კრისტალურ	კრისტალურ	PROPN
gs-1952	52	18	მესერში	მესერში	PROPN
gs-1952	52	19	ატომთაშორისი	ატომთაშორისი	PROPN
gs-1952	52	20	კავშირის	კავშირის	NOUN
gs-1952	52	21	ძალები	ძალები	ADP
gs-1952	52	22	და	და	NOUN
gs-1952	52	23	იქმნება	იქმნება	PROPN
gs-1952	52	24	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-1952	52	25	მოდულის	მოდულის	PROPN
gs-1952	52	26	შემცირების	შემცირების	PROPN
gs-1952	52	27	პირობები.	პირობები.	PROPN
gs-1952	52	28	ეს	ეს	PROPN
gs-1952	52	29	გარემოება	გარემოება	PROPN
gs-1952	52	30	ნათლად	ნათლად	ADJ
gs-1952	52	31	არის	არის	PROPN
gs-1952	52	32	ასახული	ასახული	PROPN
gs-1952	52	33	ცხრ.	ცხრ.	PROPN
gs-1952	53	1	2ში.	2ში.	NUM
gs-1952	53	2	ბორით	ბორით	NOUN
gs-1952	53	3	დოპირებული	დოპირებული	PROPN
gs-1952	53	4	სილიციუმის	სილიციუმის	VERB
gs-1952	53	5	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-1952	53	6	მახასიათებლები	მახასიათებლები	NOUN
gs-1952	53	7	ინდენტორის	ინდენტორის	PROPN
gs-1952	53	8	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1952	53	9	პროცესებში	პროცესებში	NOUN
gs-1952	53	10	ცხრ.	ცხრ.	NOUN
gs-1952	53	11	2	2	NUM
gs-1952	53	12	p	p	NOUN
gs-1952	53	13	-	-	PUNCT
gs-1952	53	14	si	si	X
gs-1952	53	15	(	(	PUNCT
gs-1952	53	16	111	111	NUM
gs-1952	53	17	)	)	PUNCT
gs-1952	53	18	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1952	53	19	დატვირთვა	დატვირთვა	NOUN
gs-1952	53	20	,	,	PUNCT
gs-1952	53	21	მნ	მნ	PROPN
gs-1952	53	22	დატვირთვა	დატვირთვა	PROPN
gs-1952	53	23	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1952	53	24	სიჩქარე	სიჩქარე	NOUN
gs-1952	53	25	,	,	PUNCT
gs-1952	53	26	მნ/წმ	მნ/წმ	NUM
gs-1952	53	27	კრიტიკული	კრიტიკული	NOUN
gs-1952	53	28	დატვირთვა	დატვირთვა	NOUN
gs-1952	53	29	,	,	PUNCT
gs-1952	53	30	მნ	მნ	PROPN
gs-1952	53	31	საშუალო	საშუალო	PROPN
gs-1952	53	32	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	53	33	წნევა	წნევა	NOUN
gs-1952	53	34	,	,	PUNCT
gs-1952	53	35	გპა	გპა	PROPN
gs-1952	53	36	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-1952	53	37	მოდული	მოდული	PROPN
gs-1952	53	38	,	,	PUNCT
gs-1952	53	39	გპა	გპა	PROPN
gs-1952	53	40	საწყისი	საწყისი	VERB
gs-1952	53	41	50	50	NUM
gs-1952	53	42	13.24	13.24	NUM
gs-1952	53	43	8	8	NUM
gs-1952	53	44	-	-	SYM
gs-1952	53	45	10	10	NUM
gs-1952	53	46	3.5	3.5	NUM
gs-1952	53	47	-	-	SYM
gs-1952	53	48	4.0	4.0	NUM
gs-1952	53	49	1.76	1.76	NUM
gs-1952	53	50	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	53	51	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-1952	53	52	13.24	13.24	NUM
gs-1952	53	53	12	12	NUM
gs-1952	53	54	3.5	3.5	NUM
gs-1952	53	55	-	-	SYM
gs-1952	53	56	4.5	4.5	NUM
gs-1952	53	57	1.83	1.83	NUM
gs-1952	53	58	საწყისი	საწყისი	NOUN
gs-1952	53	59	100	100	NUM
gs-1952	53	60	13.24	13.24	NUM
gs-1952	53	61	20	20	NUM
gs-1952	53	62	-	-	SYM
gs-1952	53	63	25	25	NUM
gs-1952	53	64	4.0	4.0	NUM
gs-1952	53	65	-	-	SYM
gs-1952	53	66	4.5	4.5	NUM
gs-1952	53	67	1.73	1.73	NUM
gs-1952	53	68	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	53	69	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-1952	53	70	13.24	13.24	NUM
gs-1952	53	71	25	25	NUM
gs-1952	53	72	-	-	SYM
gs-1952	53	73	30	30	NUM
gs-1952	53	74	4.5	4.5	NUM
gs-1952	53	75	1.79	1.79	NUM
gs-1952	53	76	georgian	georgian	ADJ
gs-1952	53	77	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1952	53	78	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1952	53	79	ტ.	ტ.	VERB
gs-1952	53	80	5	5	NUM
gs-1952	53	81	n	n	PRON
gs-1952	53	82	2	2	NUM
gs-1952	53	83	,	,	PUNCT
gs-1952	53	84	2023	2023	NUM
gs-1952	53	85	51	51	NUM
gs-1952	53	86	ჩოხრალსკის	ჩოხრალსკის	VERB
gs-1952	53	87	მეთოდით	მეთოდით	NOUN
gs-1952	53	88	მიღებულ	მიღებულ	PROPN
gs-1952	53	89	მონოკრისტალურ	მონოკრისტალურ	PROPN
gs-1952	53	90	სილიციუმში	სილიციუმში	PROPN
gs-1952	53	91	მაღალია	მაღალია	PROPN
gs-1952	53	92	ტექნოლოგიური	ტექნოლოგიური	PROPN
gs-1952	53	93	с	с	PROPN
gs-1952	53	94	და	და	PROPN
gs-1952	53	95	o	o	PROPN
gs-1952	53	96	მინარევების	მინარევების	NOUN
gs-1952	53	97	ატომების	ატომების	NOUN
gs-1952	53	98	კონცენტრაცია.	კონცენტრაცია.	PROPN
gs-1952	53	99	ორივე	ორივე	PROPN
gs-1952	53	100	მინარევი	მინარევი	PROPN
gs-1952	53	101	გავლენას	გავლენას	PROPN
gs-1952	53	102	ახდენს	ახდენს	PROPN
gs-1952	53	103	დისლოკაციების	დისლოკაციების	PROPN
gs-1952	53	104	ძვრადობაზე.	ძვრადობაზე.	PROPN
gs-1952	53	105	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-1952	53	106	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	53	107	დასხივება	დასხივება	ADJ
gs-1952	53	108	იწვევს	იწვევს	PROPN
gs-1952	53	109	რადიაციული	რადიაციული	PROPN
gs-1952	53	110	დეფექტებით	დეფექტებით	PROPN
gs-1952	53	111	დისლოკაციების	დისლოკაციების	PROPN
gs-1952	53	112	გარშემო	გარშემო	NOUN
gs-1952	53	113	არსებული	არსებული	PROPN
gs-1952	53	114	ატმოსფეროების	ატმოსფეროების	ADV
gs-1952	53	115	გამდიდრებას	გამდიდრებას	VERB
gs-1952	53	116	,	,	PUNCT
gs-1952	53	117	რითაც	რითაც	ADJ
gs-1952	53	118	ხორციელდება	ხორციელდება	NOUN
gs-1952	53	119	დისლოკაციური	დისლოკაციური	CCONJ
gs-1952	53	120	სტრუქტურის	სტრუქტურის	NOUN
gs-1952	53	121	ბლოკირება	ბლოკირება	VERB
gs-1952	53	122	და	და	PROPN
gs-1952	53	123	რადიაციული	რადიაციული	PROPN
gs-1952	53	124	განმტკიცება.	განმტკიცება.	PROPN
gs-1952	53	125	ექსპერიმენტული	ექსპერიმენტული	PROPN
gs-1952	53	126	გაზომვების	გაზომვების	PROPN
gs-1952	53	127	თანახმად	თანახმად	PROPN
gs-1952	53	128	ტექნოლოგიური	ტექნოლოგიური	PROPN
gs-1952	53	129	с	с	PROPN
gs-1952	53	130	და	და	PROPN
gs-1952	53	131	o	o	PROPN
gs-1952	53	132	მინარევების	მინარევების	NOUN
gs-1952	53	133	ატომები	ატომები	PROPN
gs-1952	53	134	და	და	PROPN
gs-1952	53	135	რადიაციით	რადიაციით	ADJ
gs-1952	53	136	მოდიფიცირებული	მოდიფიცირებული	PROPN
gs-1952	53	137	დისლოკაციური	დისლოკაციური	ADV
gs-1952	53	138	სტრუქტურა	სტრუქტურა	PROPN
gs-1952	53	139	იწვევენ	იწვევენ	PROPN
gs-1952	53	140	ინდენტირების	ინდენტირების	PROPN
gs-1952	53	141	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-1952	53	142	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-1952	53	143	მოდულის	მოდულის	PROPN
gs-1952	53	144	უმნიშვნელო	უმნიშვნელო	PROPN
gs-1952	53	145	ცვლილებებს.	ცვლილებებს.	PROPN
gs-1952	53	146	ინდეტორის	ინდეტორის	PROPN
gs-1952	53	147	განტვირთვის	განტვირთვის	PROPN
gs-1952	53	148	პროცესებში	პროცესებში	NOUN
gs-1952	53	149	დატვირთვა-გადაადგილების	დატვირთვა-გადაადგილების	ADP
gs-1952	53	150	გრაფიკებზე	გრაფიკებზე	PROPN
gs-1952	53	151	გამოვლენილი	გამოვლენილი	PROPN
gs-1952	53	152	მდორე	მდორე	NOUN
gs-1952	53	153	გამრუდება	გამრუდება	NOUN
gs-1952	53	154	და	და	PROPN
gs-1952	53	155	ბაქანი	ბაქანი	VERB
gs-1952	53	156	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-1952	53	157	ალბათობით	ალბათობით	PROPN
gs-1952	53	158	განპირობებულია	განპირობებულია	VERB
gs-1952	53	159	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1952	53	160	გარდაქმნებით	გარდაქმნებით	PROPN
gs-1952	53	161	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-1952	53	162	ნიმუშების	ნიმუშების	PROPN
gs-1952	53	163	სტრუქტურაში.	სტრუქტურაში.	PROPN
gs-1952	53	164	ექსპერიმენტული	ექსპერიმენტული	PROPN
gs-1952	53	165	მონაცემების	მონაცემების	PROPN
gs-1952	53	166	თანახმად	თანახმად	ADJ
gs-1952	53	167	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-1952	53	168	მოდებული	მოდებული	PROPN
gs-1952	53	169	50	50	NUM
gs-1952	53	170	მნ	მნ	NOUN
gs-1952	53	171	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-1952	53	172	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-1952	53	173	პირობებში	პირობებში	NOUN
gs-1952	53	174	დატვირთვა-გადაადგილების	დატვირთვა-გადაადგილების	ADJ
gs-1952	53	175	დამოკიდებულებების	დამოკიდებულებების	ADJ
gs-1952	53	176	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1952	53	177	შტოებზე	შტოებზე	NOUN
gs-1952	53	178	ვლინდება	ვლინდება	PROPN
gs-1952	53	179	მხოლოდ	მხოლოდ	NOUN
gs-1952	53	180	მდორე	მდორე	NOUN
gs-1952	53	181	გამრუდება	გამრუდება	NOUN
gs-1952	53	182	,	,	PUNCT
gs-1952	53	183	რომელიც	რომელიც	PROPN
gs-1952	53	184	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-1952	53	185	დაკავშირებულია	დაკავშირებულია	ADJ
gs-1952	53	186	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-1952	53	187	β-კალის	β-კალის	PROPN
gs-1952	53	188	მოდიფიკაციიდან	მოდიფიკაციიდან	PROPN
gs-1952	53	189	ამორფული	ამორფული	PROPN
gs-1952	53	190	ფაზური	ფაზური	NOUN
gs-1952	53	191	მდგენელის	მდგენელის	X
gs-1952	53	192	ფორმირებასთან	ფორმირებასთან	ADJ
gs-1952	54	1	[	[	X
gs-1952	54	2	5	5	NUM
gs-1952	54	3	]	]	PUNCT
gs-1952	54	4	.	.	PUNCT
gs-1952	54	5	საწყის	საწყის	PROPN
gs-1952	54	6	მდგომარეობაში	მდგომარეობაში	PROPN
gs-1952	54	7	და	და	PROPN
gs-1952	54	8	,	,	PUNCT
gs-1952	54	9	განსაკუთრებით	განსაკუთრებით	PROPN
gs-1952	54	10	,	,	PUNCT
gs-1952	54	11	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-1952	54	12	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	54	13	დასხივების	დასხივების	PROPN
gs-1952	54	14	შემდეგ	შემდეგ	PROPN
gs-1952	54	15	,	,	PUNCT
gs-1952	54	16	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1952	54	17	შტოზე	შტოზე	NOUN
gs-1952	54	18	ჩნდება	ჩნდება	PROPN
gs-1952	54	19	ბაქანი.	ბაქანი.	NOUN
gs-1952	54	20	ცნობილი	ცნობილი	PROPN
gs-1952	54	21	მოსაზრებების	მოსაზრებების	PROPN
gs-1952	54	22	თანახმად	თანახმად	PROPN
gs-1952	55	1	[	[	PUNCT
gs-1952	55	2	11	11	NUM
gs-1952	55	3	]	]	PUNCT
gs-1952	55	4	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1952	55	5	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-1952	55	6	ბაქანის	ბაქანის	PROPN
gs-1952	55	7	გამოვლინება	გამოვლინება	PROPN
gs-1952	55	8	დაკავშირებულია	დაკავშირებულია	VERB
gs-1952	55	9	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-1952	55	10	β-კალის	β-კალის	PROPN
gs-1952	55	11	ფაზის	ფაზის	PROPN
gs-1952	55	12	გარდაქმნასთან	გარდაქმნასთან	PROPN
gs-1952	55	13	განსაზღვრული	განსაზღვრული	PROPN
gs-1952	55	14	რაოდენობით	რაოდენობით	NOUN
gs-1952	55	15	si	si	PROPN
gs-1952	55	16	-	-	ADJ
gs-1952	55	17	iii	iii	VERB
gs-1952	55	18	და	და	NOUN
gs-1952	55	19	si	si	PROPN
gs-1952	55	20	-	-	PROPN
gs-1952	55	21	xii	xii	NOUN
gs-1952	55	22	კრისტალურ	კრისტალურ	NOUN
gs-1952	55	23	ფაზებად.	ფაზებად.	NOUN
gs-1952	55	24	მეორე	მეორე	NOUN
gs-1952	55	25	ცხრილიდან	ცხრილიდან	ADP
gs-1952	55	26	ჩანს	ჩანს	NOUN
gs-1952	55	27	,	,	PUNCT
gs-1952	55	28	რომ	რომ	PROPN
gs-1952	55	29	განტვირთვის	განტვირთვის	NOUN
gs-1952	55	30	გრაფიკზე	გრაფიკზე	NOUN
gs-1952	55	31	გამოვლენილი	გამოვლენილი	AUX
gs-1952	55	32	გადახრების	გადახრების	ADJ
gs-1952	55	33	კრიტიკული	კრიტიკული	NOUN
gs-1952	55	34	საშუალო	საშუალო	PROPN
gs-1952	55	35	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	55	36	წნევების	წნევების	NOUN
gs-1952	55	37	მნიშვნელობები	მნიშვნელობები	VERB
gs-1952	55	38	შედარებით	შედარებით	PROPN
gs-1952	55	39	მცირეა	მცირეა	NOUN
gs-1952	55	40	,	,	PUNCT
gs-1952	55	41	მაგრამ	მაგრამ	VERB
gs-1952	55	42	იმავე	იმავე	PROPN
gs-1952	55	43	რიგისაა	რიგისაა	NOUN
gs-1952	55	44	,	,	PUNCT
gs-1952	55	45	რაც	რაც	NOUN
gs-1952	55	46	წარმოდგენილია	წარმოდგენილია	VERB
gs-1952	55	47	ნაშრომში	ნაშრომში	ADJ
gs-1952	55	48	[	[	X
gs-1952	55	49	12	12	NUM
gs-1952	55	50	]	]	PUNCT
gs-1952	55	51	.	.	PUNCT
gs-1952	56	1	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	56	2	წნევის	წნევის	DET
gs-1952	56	3	შემცირება	შემცირება	PROPN
gs-1952	56	4	მნიშვნელოვნად	მნიშვნელოვნად	PROPN
gs-1952	56	5	განპირობებულია	განპირობებულია	VERB
gs-1952	56	6	ბორით	ბორით	ADV
gs-1952	56	7	დოპირებით	დოპირებით	NOUN
gs-1952	56	8	,	,	PUNCT
gs-1952	56	9	რომლითაც	რომლითაც	PROPN
gs-1952	56	10	მნიშვნელოვნად	მნიშვნელოვნად	NOUN
gs-1952	56	11	სტიმულირდება	სტიმულირდება	PROPN
gs-1952	56	12	ინდენტაციის	ინდენტაციის	NOUN
gs-1952	56	13	პროცესებში	პროცესებში	NOUN
gs-1952	56	14	ამორფული	ამორფული	NOUN
gs-1952	56	15	ფაზის	ფაზის	NOUN
gs-1952	56	16	ფორმირება.	ფორმირება.	VERB
gs-1952	56	17	საკვლევი	საკვლევი	PROPN
gs-1952	56	18	p	p	PROPN
gs-1952	56	19	-	-	PUNCT
gs-1952	56	20	si	si	PROPN
gs-1952	56	21	ნიმუშები	ნიმუშები	NOUN
gs-1952	56	22	სუსტად	სუსტად	PROPN
gs-1952	56	23	არიან	არიან	PROPN
gs-1952	56	24	დოპირებული	დოპირებული	PROPN
gs-1952	56	25	ბორით.	ბორით.	VERB
gs-1952	56	26	ამის	ამის	NOUN
gs-1952	56	27	გამო	გამო	NOUN
gs-1952	56	28	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-1952	56	29	მოდულისა	მოდულისა	NOUN
gs-1952	56	30	და	და	NOUN
gs-1952	56	31	საშუალო	საშუალო	NOUN
gs-1952	56	32	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	56	33	წნევის	წნევის	DET
gs-1952	56	34	შემცირება	შემცირება	PROPN
gs-1952	56	35	პრაქტიკულად	პრაქტიკულად	PROPN
gs-1952	56	36	არ	არ	AUX
gs-1952	56	37	არიან	არიან	PROPN
gs-1952	56	38	დამოკიდებული	დამოკიდებული	PROPN
gs-1952	56	39	დენის	დენის	NOUN
gs-1952	56	40	მატარებელი	მატარებელი	NOUN
gs-1952	56	41	ხვრელების	ხვრელების	NOUN
gs-1952	56	42	კონცენტრაციაზე.	კონცენტრაციაზე.	PROPN
gs-1952	56	43	არსებითი	არსებითი	NOUN
gs-1952	56	44	მნიშვნელობა	მნიშვნელობა	NOUN
gs-1952	56	45	აქვს	აქვს	NOUN
gs-1952	56	46	si-ისა	si-ისა	ADP
gs-1952	56	47	და	და	PROPN
gs-1952	56	48	b-ის	b-ის	ADP
gs-1952	56	49	ატომებს	ატომებს	NOUN
gs-1952	56	50	შორის	შორის	NOUN
gs-1952	56	51	არსებულ	არსებულ	PROPN
gs-1952	56	52	დიდ	დიდ	NOUN
gs-1952	56	53	განსხვავებას	განსხვავებას	VERB
gs-1952	56	54	(	(	PUNCT
gs-1952	56	55	~28	~28	NUM
gs-1952	56	56	%	%	NOUN
gs-1952	56	57	)	)	PUNCT
gs-1952	56	58	და	და	PROPN
gs-1952	56	59	ლოკალიზებულ	ლოკალიზებულ	PROPN
gs-1952	56	60	დეფორმაციას	დეფორმაციას	NOUN
gs-1952	56	61	b-ის	b-ის	ADP
gs-1952	56	62	ატომების	ატომების	NOUN
gs-1952	56	63	მახლობლობაში	მახლობლობაში	NOUN
gs-1952	56	64	,	,	PUNCT
gs-1952	56	65	სადაც	სადაც	NOUN
gs-1952	56	66	მცირდება	მცირდება	PROPN
gs-1952	57	1	si-ის	si-ის	PROPN
gs-1952	57	2	კრისტალური	კრისტალური	PROPN
gs-1952	57	3	მესრის	მესრის	PROPN
gs-1952	57	4	დრეკადი	დრეკადი	PROPN
gs-1952	57	5	დეფორმაცია	დეფორმაცია	NOUN
gs-1952	57	6	და	და	NOUN
gs-1952	57	7	იქმნება	იქმნება	NOUN
gs-1952	57	8	ამორფული	ამორფული	NOUN
gs-1952	57	9	ფაზის	ფაზის	NOUN
gs-1952	57	10	ჩასახვის	ჩასახვის	NOUN
gs-1952	57	11	პირობები.	პირობები.	NOUN
gs-1952	57	12	ექსპერიმენტებმა	ექსპერიმენტებმა	ADJ
gs-1952	57	13	აჩვენეს	აჩვენეს	NOUN
gs-1952	57	14	,	,	PUNCT
gs-1952	57	15	რომ	რომ	PROPN
gs-1952	57	16	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-1952	57	17	p	p	NOUN
gs-1952	57	18	-	-	PUNCT
gs-1952	57	19	si	si	NOUN
gs-1952	57	20	:	:	PUNCT
gs-1952	57	21	b	b	ADJ
gs-1952	57	22	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	ADJ
gs-1952	57	23	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-1952	57	24	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-1952	57	25	დასხივება	დასხივება	PROPN
gs-1952	57	26	იწვევს	იწვევს	PROPN
gs-1952	58	1	რადიაციულ	რადიაციულ	PROPN
gs-1952	58	2	განმტკიცებას	განმტკიცებას	PROPN
gs-1952	58	3	და	და	PROPN
gs-1952	58	4	საკონტაქტო	საკონტაქტო	PROPN
gs-1952	58	5	წნევის	წნევის	PRON
gs-1952	58	6	სუსტად	სუსტად	ADJ
gs-1952	58	7	ზრდას.	ზრდას.	NOUN
gs-1952	58	8	ასეთ	ასეთ	PROPN
gs-1952	58	9	პირობებში	პირობებში	PROPN
gs-1952	58	10	მოსალოდნელია	მოსალოდნელია	PROPN
gs-1952	58	11	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1952	58	12	გარდაქმნების	გარდაქმნების	PROPN
gs-1952	58	13	პოტენციალური	პოტენციალური	PROPN
gs-1952	59	1	ბარიერის	ბარიერის	PROPN
gs-1952	59	2	ამაღლება.	ამაღლება.	PROPN
gs-1952	59	3	აღნიშნული	აღნიშნული	PROPN
gs-1952	59	4	ცვლილებები	ცვლილებები	NOUN
gs-1952	59	5	განპირობებულია	განპირობებულია	VERB
gs-1952	59	6	დეფექტების	დეფექტების	ADJ
gs-1952	59	7	ქვესისტემაში	ქვესისტემაში	VERB
gs-1952	59	8	ურთიერთბლოკირების	ურთიერთბლოკირების	ADJ
gs-1952	59	9	გაძლიერებით.	გაძლიერებით.	NOUN
gs-1952	59	10	ეს	ეს	PROPN
gs-1952	59	11	გარემოება	გარემოება	VERB
gs-1952	59	12	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-1952	59	13	გამოყენებული	გამოყენებული	PROPN
gs-1952	59	14	იქნას	იქნას	NOUN
gs-1952	59	15	ინდენტირების	ინდენტირების	PROPN
gs-1952	59	16	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-1952	60	1	si-ის	si-ის	PROPN
gs-1952	60	2	სტრუქტურაში	სტრუქტურაში	PROPN
gs-1952	60	3	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-1952	60	4	გარდაქმნების	გარდაქმნების	PROPN
gs-1952	60	5	მართვის	მართვის	PROPN
gs-1952	60	6	შესაძლებლობების	შესაძლებლობების	VERB
gs-1952	60	7	დასადგენად.	დასადგენად.	NOUN
gs-1952	60	8	georgian	georgian	ADJ
gs-1952	60	9	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1952	60	10	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1952	60	11	ტ.	ტ.	VERB
gs-1952	60	12	5	5	NUM
gs-1952	60	13	n	n	DET
gs-1952	60	14	2	2	NUM
gs-1952	60	15	,	,	PUNCT
gs-1952	60	16	2023	2023	NUM
gs-1952	60	17	52	52	NUM
gs-1952	60	18	ლიტერატურა	ლიტერატურა	NOUN
gs-1952	60	19	1	1	NUM
gs-1952	60	20	.	.	PUNCT
gs-1952	61	1	g.ge	g.ge	INTJ
gs-1952	61	2	.	.	PROPN
gs-1952	61	3	,	,	PUNCT
gs-1952	61	4	v.domnich	v.domnich	ADP
gs-1952	61	5	.	.	PUNCT
gs-1952	62	1	,	,	PUNCT
gs-1952	62	2	y.	y.	PROPN
gs-1952	62	3	gogotsi	gogotsi	PROPN
gs-1952	62	4	j.appl	j.appl	NOUN
gs-1952	62	5	phys	phy	NOUN
gs-1952	62	6	.	.	PUNCT
gs-1952	62	7	,	,	PUNCT
gs-1952	62	8	93	93	NUM
gs-1952	62	9	,	,	PUNCT
gs-1952	62	10	[	[	X
gs-1952	62	11	2003	2003	NUM
gs-1952	62	12	]	]	PUNCT
gs-1952	62	13	,	,	PUNCT
gs-1952	62	14	2418	2418	NUM
gs-1952	62	15	-	-	SYM
gs-1952	62	16	2423	2423	NUM
gs-1952	62	17	2	2	NUM
gs-1952	62	18	.	.	PUNCT
gs-1952	62	19	li	li	PROPN
gs-1952	62	20	chang	chang	PROPN
gs-1952	62	21	,	,	PUNCT
gs-1952	62	22	liangchi	liangchi	PROPN
gs-1952	62	23	zhang	zhang	PROPN
gs-1952	62	24	.	.	PUNCT
gs-1952	63	1	j.	j.	PROPN
gs-1952	63	2	mater	mater	PROPN
gs-1952	63	3	sci	sci	PROPN
gs-1952	63	4	.	.	PROPN
gs-1952	63	5	and	and	CCONJ
gs-1952	63	6	engineering	engineering	NOUN
gs-1952	63	7	,	,	PUNCT
gs-1952	63	8	a506	a506	PROPN
gs-1952	63	9	(	(	PUNCT
gs-1952	63	10	2009	2009	NUM
gs-1952	63	11	)	)	PUNCT
gs-1952	63	12	,	,	PUNCT
gs-1952	63	13	125	125	NUM
gs-1952	63	14	-	-	SYM
gs-1952	63	15	129	129	NUM
gs-1952	63	16	.	.	PUNCT
gs-1952	64	1	3	3	X
gs-1952	64	2	.	.	X
gs-1952	65	1	c.r.das	c.r.das	PROPN
gs-1952	65	2	,	,	PUNCT
gs-1952	65	3	s.dhara	s.dhara	NOUN
gs-1952	65	4	,	,	PUNCT
gs-1952	65	5	yeau	yeau	PROPN
gs-1952	65	6	-	-	PUNCT
gs-1952	65	7	ren	ren	PROPN
gs-1952	65	8	yeng	yeng	PROPN
gs-1952	65	9	,	,	PUNCT
gs-1952	65	10	j.appl	j.appl	NOUN
gs-1952	65	11	.	.	PUNCT
gs-1952	66	1	phys	phy	NOUN
gs-1952	66	2	.	.	PUNCT
gs-1952	67	1	letters	letter	NOUN
gs-1952	67	2	,	,	PUNCT
gs-1952	67	3	96	96	NUM
gs-1952	67	4	.	.	PUNCT
gs-1952	68	1	(	(	PUNCT
gs-1952	68	2	2010	2010	NUM
gs-1952	68	3	)	)	PUNCT
gs-1952	68	4	,	,	PUNCT
gs-1952	68	5	253113	253113	NUM
gs-1952	68	6	-	-	SYM
gs-1952	68	7	1	1	NUM
gs-1952	68	8	-	-	NUM
gs-1952	68	9	25313	25313	NUM
gs-1952	68	10	4	4	NUM
gs-1952	68	11	.	.	PUNCT
gs-1952	69	1	a.kailer	a.kailer	NUM
gs-1952	69	2	,	,	PUNCT
gs-1952	69	3	y.g.gogotsi	y.g.gogotsi	PROPN
gs-1952	69	4	,	,	PUNCT
gs-1952	69	5	and	and	CCONJ
gs-1952	69	6	k.g.nickel	k.g.nickel	PROPN
gs-1952	69	7	.	.	PUNCT
gs-1952	70	1	j.appl	j.appl	NOUN
gs-1952	70	2	.	.	PUNCT
gs-1952	71	1	phys	phy	NOUN
gs-1952	71	2	.	.	PUNCT
gs-1952	72	1	81,7	81,7	NOUN
gs-1952	72	2	,	,	PUNCT
gs-1952	72	3	(	(	PUNCT
gs-1952	72	4	1997	1997	NUM
gs-1952	72	5	)	)	PUNCT
gs-1952	72	6	,	,	PUNCT
gs-1952	72	7	3057	3057	NUM
gs-1952	72	8	-	-	SYM
gs-1952	72	9	3063	3063	NUM
gs-1952	72	10	.	.	PUNCT
gs-1952	73	1	5	5	NUM
gs-1952	73	2	.	.	X
gs-1952	74	1	t.juliano	t.juliano	NOUN
gs-1952	74	2	,	,	PUNCT
gs-1952	74	3	v.domnich	v.domnich	ADV
gs-1952	74	4	,	,	PUNCT
gs-1952	74	5	and	and	CCONJ
gs-1952	74	6	y.gogotsi	y.gogotsi	NOUN
gs-1952	74	7	,	,	PUNCT
gs-1952	74	8	j.mater	j.mater	ADV
gs-1952	74	9	res	re	NOUN
gs-1952	74	10	.	.	PROPN
gs-1952	74	11	,	,	PUNCT
gs-1952	74	12	vol	vol	NOUN
gs-1952	74	13	.	.	PROPN
gs-1952	74	14	19	19	NUM
gs-1952	74	15	,	,	PUNCT
gs-1952	74	16	no	no	DET
gs-1952	74	17	10	10	NUM
gs-1952	74	18	(	(	PUNCT
gs-1952	74	19	2004	2004	NUM
gs-1952	74	20	)	)	PUNCT
gs-1952	74	21	,	,	PUNCT
gs-1952	74	22	3099	3099	NUM
gs-1952	74	23	-	-	SYM
gs-1952	74	24	3108	3108	NUM
gs-1952	74	25	.	.	PUNCT
gs-1952	75	1	6	6	NUM
gs-1952	75	2	.	.	X
gs-1952	75	3	l.chang	l.chang	PROPN
gs-1952	75	4	,	,	PUNCT
gs-1952	75	5	l.c.zhang	l.c.zhang	PROPN
gs-1952	75	6	.	.	PUNCT
gs-1952	76	1	j.acta	j.acta	PROPN
gs-1952	76	2	materialia	materialia	PROPN
gs-1952	76	3	,	,	PUNCT
gs-1952	76	4	57	57	NUM
gs-1952	76	5	(	(	PUNCT
gs-1952	76	6	2009	2009	NUM
gs-1952	76	7	)	)	PUNCT
gs-1952	76	8	,	,	PUNCT
gs-1952	76	9	2148	2148	NUM
gs-1952	76	10	-	-	SYM
gs-1952	76	11	2153	2153	NUM
gs-1952	76	12	.	.	PUNCT
gs-1952	77	1	7	7	X
gs-1952	77	2	.	.	X
gs-1952	78	1	t.juliano	t.juliano	NOUN
gs-1952	78	2	,	,	PUNCT
gs-1952	78	3	y.gogotsi	y.gogotsi	NOUN
gs-1952	78	4	,	,	PUNCT
gs-1952	78	5	and	and	CCONJ
gs-1952	78	6	v.domnich	v.domnich	X
gs-1952	78	7	.	.	PUNCT
gs-1952	79	1	j.mater	j.mat	ADJ
gs-1952	79	2	res	res	PROPN
gs-1952	79	3	.	.	PROPN
gs-1952	79	4	,	,	PUNCT
gs-1952	79	5	vol.18	vol.18	PROPN
gs-1952	79	6	,	,	PUNCT
gs-1952	79	7	no5	no5	PROPN
gs-1952	79	8	(	(	PUNCT
gs-1952	79	9	2003	2003	NUM
gs-1952	79	10	)	)	PUNCT
gs-1952	79	11	,	,	PUNCT
gs-1952	79	12	1192	1192	NUM
gs-1952	79	13	-	-	SYM
gs-1952	79	14	1201	1201	NUM
gs-1952	79	15	.	.	PUNCT
gs-1952	80	1	8	8	X
gs-1952	80	2	.	.	X
gs-1952	80	3	w.c.oliver	w.c.oliver	NOUN
gs-1952	80	4	and	and	CCONJ
gs-1952	80	5	g.m.pharr	g.m.pharr	NOUN
gs-1952	80	6	.	.	PUNCT
gs-1952	81	1	j.mater	j.mater	NOUN
gs-1952	81	2	.	.	PUNCT
gs-1952	82	1	res	re	NOUN
gs-1952	82	2	.	.	PROPN
gs-1952	82	3	,	,	PUNCT
gs-1952	82	4	7	7	X
gs-1952	82	5	.	.	PUNCT
gs-1952	82	6	(	(	PUNCT
gs-1952	82	7	1992	1992	NUM
gs-1952	82	8	)	)	PUNCT
gs-1952	82	9	,	,	PUNCT
gs-1952	82	10	1564	1564	NUM
gs-1952	82	11	-	-	SYM
gs-1952	82	12	1583	1583	NUM
gs-1952	82	13	.	.	PUNCT
gs-1952	83	1	9	9	X
gs-1952	83	2	.	.	X
gs-1952	83	3	n.v.novikov	n.v.novikov	PROPN
gs-1952	83	4	,	,	PUNCT
gs-1952	83	5	s.n.dub	s.n.dub	PROPN
gs-1952	83	6	,	,	PUNCT
gs-1952	83	7	y.v.milman	y.v.milman	NOUN
gs-1952	83	8	,	,	PUNCT
gs-1952	83	9	y.v.gridneva	y.v.gridneva	PROPN
gs-1952	83	10	,	,	PUNCT
gs-1952	83	11	and	and	CCONJ
gs-1952	83	12	s	s	PROPN
gs-1952	83	13	,	,	PUNCT
gs-1952	83	14	y.chugunova	y.chugunova	PROPN
gs-1952	83	15	.	.	PUNCT
gs-1952	84	1	j.superhard	j.superhard	ADJ
gs-1952	84	2	.	.	PUNCT
gs-1952	85	1	mater	mater	PROPN
gs-1952	85	2	,	,	PUNCT
gs-1952	85	3	vol.18	vol.18	NOUN
gs-1952	85	4	,	,	PUNCT
gs-1952	85	5	no	no	DET
gs-1952	85	6	32	32	NUM
gs-1952	85	7	(	(	PUNCT
gs-1952	85	8	19960	19960	NUM
gs-1952	85	9	,	,	PUNCT
gs-1952	85	10	1009	1009	NUM
gs-1952	85	11	-	-	SYM
gs-1952	85	12	1017	1017	NUM
gs-1952	85	13	.	.	PUNCT
gs-1952	86	1	10	10	NUM
gs-1952	86	2	.	.	PUNCT
gs-1952	86	3	r.f.cook	r.f.cook	NOUN
gs-1952	86	4	.	.	PUNCT
gs-1952	87	1	j.mater.sci	j.mater.sci	PROPN
gs-1952	87	2	.	.	PROPN
gs-1952	87	3	41	41	NUM
gs-1952	87	4	(	(	PUNCT
gs-1952	87	5	2006	2006	NUM
gs-1952	87	6	)	)	PUNCT
gs-1952	87	7	,	,	PUNCT
gs-1952	87	8	841	841	NUM
gs-1952	87	9	-	-	SYM
gs-1952	87	10	872	872	NUM
gs-1952	87	11	.	.	PUNCT
gs-1952	87	12	11	11	NUM
gs-1952	87	13	.	.	X
gs-1952	87	14	s.wang	s.wang	PROPN
gs-1952	87	15	,	,	PUNCT
gs-1952	87	16	b.haberl	b.haberl	NOUN
gs-1952	87	17	,	,	PUNCT
gs-1952	87	18	y.s.williams	y.s.william	NOUN
gs-1952	87	19	,	,	PUNCT
gs-1952	87	20	and	and	CCONJ
gs-1952	87	21	i.e.bradby.j.appl.phys.letters	i.e.bradby.j.appl.phys.letter	NOUN
gs-1952	87	22	,	,	PUNCT
gs-1952	87	23	106	106	NUM
gs-1952	87	24	,	,	PUNCT
gs-1952	87	25	252.103	252.103	NUM
gs-1952	87	26	(	(	PUNCT
gs-1952	87	27	2015	2015	NUM
gs-1952	87	28	)	)	PUNCT
gs-1952	87	29	12	12	NUM
gs-1952	87	30	.	.	PUNCT
gs-1952	88	1	v.domnich	v.domnich	NOUN
gs-1952	88	2	and	and	CCONJ
gs-1952	88	3	y.gogotsi	y.gogotsi	NOUN
gs-1952	88	4	.	.	PUNCT
gs-1952	89	1	j	j	PROPN
gs-1952	89	2	app	app	PROPN
gs-1952	89	3	.	.	PUNCT
gs-1952	90	1	phys.letters	phys.letter	NOUN
gs-1952	90	2	,	,	PUNCT
gs-1952	90	3	v.76	v.76	PROPN
gs-1952	90	4	,	,	PUNCT
gs-1952	90	5	n16	n16	X
gs-1952	90	6	(	(	PUNCT
gs-1952	90	7	2000	2000	NUM
gs-1952	90	8	)	)	PUNCT
gs-1952	90	9	,	,	PUNCT
gs-1952	90	10	2214	2214	NUM
gs-1952	90	11	-	-	SYM
gs-1952	90	12	2218	2218	NUM
gs-1952	90	13	georgian	georgian	ADJ
gs-1952	90	14	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-1952	90	15	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-1952	90	16	ტ.	ტ.	VERB
gs-1952	90	17	5	5	NUM
gs-1952	90	18	n	n	PRON
gs-1952	90	19	2	2	NUM
gs-1952	90	20	,	,	PUNCT
gs-1952	90	21	2023	2023	NUM
gs-1952	90	22	53	53	NUM
gs-1952	90	23	indentation	indentation	NOUN
gs-1952	90	24	induced	induce	VERB
gs-1952	90	25	structural	structural	ADJ
gs-1952	90	26	changes	change	NOUN
gs-1952	90	27	in	in	ADP
gs-1952	90	28	boron	boron	NOUN
gs-1952	90	29	-	-	PUNCT
gs-1952	90	30	doped	dope	VERB
gs-1952	90	31	silicon	silicon	NOUN
gs-1952	90	32	irradiated	irradiate	VERB
gs-1952	90	33	with	with	ADP
gs-1952	90	34	electrons	electron	NOUN
gs-1952	90	35	giorgi	giorgi	PROPN
gs-1952	90	36	darsavelidze1	darsavelidze1	PROPN
gs-1952	90	37	,	,	PUNCT
gs-1952	90	38	kakhaber	kakhaber	PROPN
gs-1952	90	39	shamatava1,2	shamatava1,2	PROPN
gs-1952	90	40	,	,	PUNCT
gs-1952	90	41	avtandil	avtandil	PROPN
gs-1952	90	42	sichinava1	sichinava1	PROPN
gs-1952	90	43	,	,	PUNCT
gs-1952	90	44	marina	marina	PROPN
gs-1952	90	45	kadaria1	kadaria1	PROPN
gs-1952	90	46	,	,	PUNCT
gs-1952	90	47	roman	roman	ADJ
gs-1952	90	48	abramishvili1	abramishvili1	NOUN
gs-1952	90	49	1	1	X
gs-1952	90	50	.	.	X
gs-1952	90	51	ilia	ilia	PROPN
gs-1952	90	52	vekua	vekua	PROPN
gs-1952	90	53	sukhumi	sukhumi	PROPN
gs-1952	90	54	institute	institute	PROPN
gs-1952	90	55	of	of	ADP
gs-1952	90	56	physics	physics	PROPN
gs-1952	90	57	and	and	CCONJ
gs-1952	90	58	technology	technology	NOUN
gs-1952	90	59	2	2	NUM
gs-1952	90	60	.	.	PUNCT
gs-1952	90	61	sokhumi	sokhumi	PROPN
gs-1952	90	62	state	state	PROPN
gs-1952	90	63	university	university	PROPN
gs-1952	90	64	abstract	abstract	NOUN
gs-1952	90	65	a	a	DET
gs-1952	90	66	complex	complex	ADJ
gs-1952	90	67	study	study	NOUN
gs-1952	90	68	of	of	ADP
gs-1952	90	69	the	the	DET
gs-1952	90	70	microstructure	microstructure	ADJ
gs-1952	90	71	,	,	PUNCT
gs-1952	90	72	electrophysical	electrophysical	ADJ
gs-1952	90	73	properties	property	NOUN
gs-1952	90	74	,	,	PUNCT
gs-1952	90	75	and	and	CCONJ
gs-1952	90	76	structural	structural	ADJ
gs-1952	90	77	phase	phase	NOUN
gs-1952	90	78	transformations	transformation	NOUN
gs-1952	90	79	in	in	ADP
gs-1952	90	80	the	the	DET
gs-1952	90	81	processes	process	NOUN
gs-1952	90	82	of	of	ADP
gs-1952	90	83	ultramicroindentation	ultramicroindentation	NOUN
gs-1952	90	84	of	of	ADP
gs-1952	90	85	boron	boron	NOUN
gs-1952	90	86	-	-	PUNCT
gs-1952	90	87	doped	dope	VERB
gs-1952	90	88	monocrystalline	monocrystalline	ADJ
gs-1952	90	89	silicon	silicon	NOUN
gs-1952	90	90	substrates	substrate	NOUN
gs-1952	90	91	with	with	ADP
gs-1952	90	92	(	(	PUNCT
gs-1952	90	93	111	111	NUM
gs-1952	90	94	)	)	PUNCT
gs-1952	90	95	crystallographic	crystallographic	ADJ
gs-1952	90	96	orientation	orientation	NOUN
gs-1952	90	97	in	in	ADP
gs-1952	90	98	the	the	DET
gs-1952	90	99	initial	initial	ADJ
gs-1952	90	100	and	and	CCONJ
gs-1952	90	101	irradiated	irradiate	VERB
gs-1952	90	102	state	state	NOUN
gs-1952	90	103	was	be	AUX
gs-1952	90	104	carried	carry	VERB
gs-1952	90	105	out	out	ADP
gs-1952	90	106	.	.	PUNCT
gs-1952	91	1	it	it	PRON
gs-1952	91	2	is	be	AUX
gs-1952	91	3	shown	show	VERB
gs-1952	91	4	,	,	PUNCT
gs-1952	91	5	that	that	DET
gs-1952	91	6	irradiation	irradiation	NOUN
gs-1952	91	7	of	of	ADP
gs-1952	91	8	p	p	NOUN
gs-1952	91	9	-	-	PUNCT
gs-1952	91	10	si	si	NOUN
gs-1952	91	11	samples	sample	NOUN
gs-1952	91	12	by	by	ADP
gs-1952	91	13	12	12	NUM
gs-1952	91	14	mev	mev	PROPN
gs-1952	91	15	energy	energy	NOUN
gs-1952	91	16	electrons	electron	NOUN
gs-1952	91	17	with	with	ADP
gs-1952	91	18	fluences	fluence	NOUN
gs-1952	91	19	≈1013	≈1013	PROPN
gs-1952	91	20	cm-2	cm-2	NOUN
gs-1952	91	21	stipulates	stipulate	VERB
gs-1952	91	22	decrease	decrease	NOUN
gs-1952	91	23	of	of	ADP
gs-1952	91	24	the	the	DET
gs-1952	91	25	specific	specific	ADJ
gs-1952	91	26	electrical	electrical	ADJ
gs-1952	91	27	resistivity	resistivity	NOUN
gs-1952	91	28	by	by	ADP
gs-1952	91	29	3	3	NUM
gs-1952	91	30	times	time	NOUN
gs-1952	91	31	and	and	CCONJ
gs-1952	91	32	holes	hole	VERB
gs-1952	91	33	mobility	mobility	NOUN
gs-1952	91	34	by	by	ADP
gs-1952	91	35	20	20	NUM
gs-1952	91	36	%	%	NOUN
gs-1952	91	37	.	.	PUNCT
gs-1952	92	1	in	in	ADP
gs-1952	92	2	infrared	infrared	ADJ
gs-1952	92	3	absorption	absorption	NOUN
gs-1952	92	4	spectra	spectra	NOUN
gs-1952	92	5	of	of	ADP
gs-1952	92	6	the	the	DET
gs-1952	92	7	electron	electron	NOUN
gs-1952	92	8	irradiated	irradiate	VERB
gs-1952	92	9	samples	sample	NOUN
gs-1952	92	10	,	,	PUNCT
gs-1952	92	11	decrease	decrease	NOUN
gs-1952	92	12	of	of	ADP
gs-1952	92	13	the	the	DET
gs-1952	92	14	oxygen	oxygen	NOUN
gs-1952	92	15	and	and	CCONJ
gs-1952	92	16	carbon	carbon	NOUN
gs-1952	92	17	atoms	atom	NOUN
gs-1952	92	18	concentration	concentration	NOUN
gs-1952	92	19	by	by	ADP
gs-1952	92	20	2,5	2,5	NUM
gs-1952	92	21	-3	-3	PUNCT
gs-1952	92	22	times	time	NOUN
gs-1952	92	23	is	be	AUX
gs-1952	92	24	detected	detect	VERB
gs-1952	92	25	.	.	PUNCT
gs-1952	93	1	by	by	ADP
gs-1952	93	2	load	load	NOUN
gs-1952	93	3	-	-	PUNCT
gs-1952	93	4	displacement	displacement	ADJ
gs-1952	93	5	measurements	measurement	NOUN
gs-1952	93	6	during	during	ADP
gs-1952	93	7	the	the	DET
gs-1952	93	8	indentation	indentation	NOUN
gs-1952	93	9	processes	process	NOUN
gs-1952	93	10	with	with	ADP
gs-1952	93	11	a	a	DET
gs-1952	93	12	vickers	vicker	NOUN
gs-1952	93	13	indenter	indenter	NOUN
gs-1952	93	14	on	on	ADP
gs-1952	93	15	the	the	DET
gs-1952	93	16	(	(	PUNCT
gs-1952	93	17	111	111	NUM
gs-1952	93	18	)	)	PUNCT
gs-1952	93	19	planes	plane	NOUN
gs-1952	93	20	of	of	ADP
gs-1952	93	21	the	the	DET
gs-1952	93	22	research	research	NOUN
gs-1952	93	23	sample	sample	NOUN
gs-1952	93	24	irradiated	irradiate	VERB
gs-1952	93	25	with	with	ADP
gs-1952	93	26	electrons	electron	NOUN
gs-1952	93	27	a	a	DET
gs-1952	93	28	weak	weak	ADJ
gs-1952	93	29	increase	increase	NOUN
gs-1952	93	30	of	of	ADP
gs-1952	93	31	the	the	DET
gs-1952	93	32	elastic	elastic	ADJ
gs-1952	93	33	modulus	modulus	NOUN
gs-1952	93	34	and	and	CCONJ
gs-1952	93	35	the	the	DET
gs-1952	93	36	average	average	ADJ
gs-1952	93	37	contact	contact	NOUN
gs-1952	93	38	pressure	pressure	NOUN
gs-1952	93	39	corresponding	correspond	VERB
gs-1952	93	40	to	to	ADP
gs-1952	93	41	the	the	DET
gs-1952	93	42	transformations	transformation	NOUN
gs-1952	93	43	of	of	ADP
gs-1952	93	44	the	the	DET
gs-1952	93	45	unstable	unstable	ADJ
gs-1952	93	46	phases	phase	NOUN
gs-1952	93	47	of	of	ADP
gs-1952	93	48	silicon	silicon	NOUN
gs-1952	93	49	is	be	AUX
gs-1952	93	50	revealed	reveal	VERB
gs-1952	93	51	.	.	PUNCT
gs-1952	94	1	the	the	DET
gs-1952	94	2	contribution	contribution	NOUN
gs-1952	94	3	of	of	ADP
gs-1952	94	4	electron	electron	NOUN
gs-1952	94	5	irradiation	irradiation	NOUN
gs-1952	94	6	modified	modify	VERB
gs-1952	94	7	dislocation	dislocation	NOUN
gs-1952	94	8	atmospheres	atmosphere	VERB
gs-1952	94	9	in	in	ADP
gs-1952	94	10	the	the	DET
gs-1952	94	11	characteristics	characteristic	NOUN
gs-1952	94	12	of	of	ADP
gs-1952	94	13	electrophysical	electrophysical	ADJ
gs-1952	94	14	properties	property	NOUN
gs-1952	94	15	and	and	CCONJ
gs-1952	94	16	structural	structural	ADJ
gs-1952	94	17	phase	phase	NOUN
gs-1952	94	18	changes	change	NOUN
gs-1952	94	19	carried	carry	VERB
gs-1952	94	20	out	out	ADP
gs-1952	94	21	in	in	ADP
gs-1952	94	22	the	the	DET
gs-1952	94	23	indentation	indentation	NOUN
gs-1952	94	24	processes	process	NOUN
gs-1952	94	25	in	in	ADP
gs-1952	94	26	boron	boron	NOUN
gs-1952	94	27	-	-	PUNCT
gs-1952	94	28	doped	dope	VERB
gs-1952	94	29	silicon	silicon	NOUN
gs-1952	94	30	is	be	AUX
gs-1952	94	31	discussed	discuss	VERB
gs-1952	94	32	.	.	PUNCT
gs-1952	95	1	the	the	DET
gs-1952	95	2	reasons	reason	NOUN
gs-1952	95	3	for	for	ADP
gs-1952	95	4	the	the	DET
gs-1952	95	5	variation	variation	NOUN
gs-1952	95	6	of	of	ADP
gs-1952	95	7	the	the	DET
gs-1952	95	8	dynamic	dynamic	ADJ
gs-1952	95	9	mechanical	mechanical	ADJ
gs-1952	95	10	and	and	CCONJ
gs-1952	95	11	electrophysical	electrophysical	ADJ
gs-1952	95	12	properties	property	NOUN
gs-1952	95	13	related	relate	VERB
gs-1952	95	14	to	to	ADP
gs-1952	95	15	the	the	DET
gs-1952	95	16	modification	modification	NOUN
gs-1952	95	17	of	of	ADP
gs-1952	95	18	dislocation	dislocation	NOUN
gs-1952	95	19	structure	structure	NOUN
gs-1952	95	20	atmospheres	atmosphere	NOUN
gs-1952	95	21	induced	induce	VERB
gs-1952	95	22	by	by	ADP
gs-1952	95	23	electron	electron	NOUN
gs-1952	95	24	irradiation	irradiation	NOUN
gs-1952	95	25	in	in	ADP
gs-1952	95	26	monocrystalline	monocrystalline	ADJ
gs-1952	95	27	p	p	NOUN
gs-1952	95	28	-	-	INTJ
gs-1952	95	29	si	si	NOUN
gs-1952	95	30	:	:	PUNCT
gs-1952	95	31	b	b	NOUN
gs-1952	95	32	samples	sample	NOUN
gs-1952	95	33	are	be	AUX
gs-1952	95	34	analyzed	analyze	VERB
gs-1952	95	35	.	.	PUNCT
gs-1952	96	1	keywords	keyword	NOUN
gs-1952	96	2	:	:	PUNCT
gs-1952	96	3	p	p	X
gs-1952	96	4	-	-	PUNCT
gs-1952	96	5	type	type	NOUN
gs-1952	96	6	silicon	silicon	NOUN
gs-1952	96	7	,	,	PUNCT
gs-1952	96	8	high	high	ADJ
gs-1952	96	9	-	-	PUNCT
gs-1952	96	10	energy	energy	NOUN
gs-1952	96	11	electrons	electron	NOUN
gs-1952	96	12	,	,	PUNCT
gs-1952	96	13	vickers	vickers	PROPN
gs-1952	96	14	indenter	indenter	PROPN
gs-1952	96	15	,	,	PUNCT
gs-1952	96	16	elastic	elastic	ADJ
gs-1952	96	17	modulus	modulus	NOUN
gs-1952	96	18	,	,	PUNCT
gs-1952	96	19	contact	contact	NOUN
gs-1952	96	20	pressure	pressure	NOUN
gs-1952	96	21	,	,	PUNCT
gs-1952	96	22	electrical	electrical	ADJ
gs-1952	96	23	resistivity	resistivity	NOUN
gs-1952	96	24	,	,	PUNCT
gs-1952	96	25	holes	hole	VERB
gs-1952	96	26	mobility	mobility	NOUN
gs-1952	96	27	.	.	PUNCT