id	sid	tid	token	lemma	pos
gs-2308	1	1	microsoft	microsoft	PROPN
gs-2308	1	2	word	word	NOUN
gs-2308	1	3	fullpdf05042023	fullpdf05042023	PROPN
gs-2308	1	4	georgian	georgian	ADJ
gs-2308	1	5	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-2308	1	6	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-2308	1	7	ტ.	ტ.	VERB
gs-2308	1	8	5	5	NUM
gs-2308	1	9	n	n	PRON
gs-2308	1	10	4	4	NUM
gs-2308	1	11	,	,	PUNCT
gs-2308	1	12	2023	2023	NUM
gs-2308	1	13	170	170	NUM
gs-2308	1	14	georgian	georgian	PROPN
gs-2308	1	15	scientists	scientist	NOUN
gs-2308	1	16	ქართველი	ქართველი	ADJ
gs-2308	1	17	მეცნიერები	მეცნიერები	PROPN
gs-2308	1	18	vol	vol	NOUN
gs-2308	1	19	.	.	PUNCT
gs-2308	2	1	5	5	NUM
gs-2308	2	2	issue	issue	NOUN
gs-2308	2	3	4	4	NUM
gs-2308	2	4	,	,	PUNCT
gs-2308	2	5	2023	2023	NUM
gs-2308	2	6	https://doi.org/10.52340/gs.2023.05.04.15	https://doi.org/10.52340/gs.2023.05.04.15	NUM
gs-2308	2	7	მაღალი	მაღალი	NOUN
gs-2308	2	8	ენერგიის	ენერგიის	PROPN
gs-2308	2	9	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	2	10	დასხივების	დასხივების	VERB
gs-2308	2	11	გავლენა	გავლენა	PROPN
gs-2308	2	12	si-ისა	si-ისა	ADP
gs-2308	2	13	და	და	PROPN
gs-2308	2	14	si+2ატ%ge	si+2ატ%ge	PROPN
gs-2308	2	15	შენადნობის	შენადნობის	PROPN
gs-2308	2	16	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	ADJ
gs-2308	2	17	ბლანტი	ბლანტი	NOUN
gs-2308	2	18	მსხვრევის	მსხვრევის	NOUN
gs-2308	2	19	მახასიათებლებზე	მახასიათებლებზე	NOUN
gs-2308	2	20	გიორგი	გიორგი	VERB
gs-2308	2	21	დარსაველიძე	დარსაველიძე	ADV
gs-2308	2	22	,	,	PUNCT
gs-2308	2	23	კახაბერ	კახაბერ	PROPN
gs-2308	2	24	შამათავა	შამათავა	PROPN
gs-2308	2	25	,	,	PUNCT
gs-2308	2	26	ავთანდილ	ავთანდილ	VERB
gs-2308	2	27	სიჭინავა	სიჭინავა	PROPN
gs-2308	2	28	,	,	PUNCT
gs-2308	2	29	ია	ია	ADP
gs-2308	2	30	ყურაშვილი	ყურაშვილი	NOUN
gs-2308	2	31	,	,	PUNCT
gs-2308	2	32	მარინა	მარინა	NOUN
gs-2308	2	33	ქადარია	ქადარია	NOUN
gs-2308	2	34	1სოხუმის	1სოხუმის	NUM
gs-2308	2	35	ილია	ილია	ADJ
gs-2308	2	36	ვეკუას	ვეკუას	ADJ
gs-2308	2	37	ფიზიკა-ტექნიკის	ფიზიკა-ტექნიკის	ADJ
gs-2308	2	38	ინსტიტუტი	ინსტიტუტი	NOUN
gs-2308	2	39	,	,	PUNCT
gs-2308	2	40	2სოხუმის	2სოხუმის	NUM
gs-2308	2	41	სახელმწიფო	სახელმწიფო	NOUN
gs-2308	2	42	უნივერსიტეტი	უნივერსიტეტი	NOUN
gs-2308	2	43	აბსტრაქტი	აბსტრაქტი	NOUN
gs-2308	2	44	სილიციუმის	სილიციუმის	VERB
gs-2308	2	45	ფუძის	ფუძის	PROPN
gs-2308	2	46	ნახევარგამტარულ	ნახევარგამტარულ	PROPN
gs-2308	2	47	მასალებში	მასალებში	PROPN
gs-2308	2	48	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	2	49	წარმოქმნისადმი	წარმოქმნისადმი	PROPN
gs-2308	2	50	მედეგობის	მედეგობის	PROPN
gs-2308	2	51	კვლევა	კვლევა	PROPN
gs-2308	2	52	მეტად	მეტად	PROPN
gs-2308	2	53	მნიშვნელოვანია	მნიშვნელოვანია	PROPN
gs-2308	2	54	მიკროელექტრომექანიკური	მიკროელექტრომექანიკური	PROPN
gs-2308	2	55	სისტემების	სისტემების	VERB
gs-2308	2	56	ტექნოლოგიების	ტექნოლოგიების	ADJ
gs-2308	2	57	დამუშავებაში.	დამუშავებაში.	PROPN
gs-2308	2	58	მიუხედავად	მიუხედავად	PROPN
gs-2308	2	59	ამისა	ამისა	VERB
gs-2308	2	60	დღეისათვის	დღეისათვის	PROPN
gs-2308	2	61	არსებობს	არსებობს	ADJ
gs-2308	2	62	მწირი	მწირი	PROPN
gs-2308	2	63	ინფორმაცია	ინფორმაცია	PROPN
gs-2308	2	64	ნახევარგამტარული	ნახევარგამტარული	PROPN
gs-2308	2	65	მასალების	მასალების	PROPN
gs-2308	2	66	ინდენტირების	ინდენტირების	PROPN
gs-2308	2	67	პროცესებში	პროცესებში	PROPN
gs-2308	2	68	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	2	69	წარმოქმნა	წარმოქმნა	PROPN
gs-2308	2	70	გავრცელებისა	გავრცელებისა	PROPN
gs-2308	2	71	და	და	PROPN
gs-2308	2	72	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	2	73	დეფორმაციის	დეფორმაციის	PROPN
gs-2308	2	74	მექანიზმების	მექანიზმების	PROPN
gs-2308	2	75	შესახებ.	შესახებ.	PROPN
gs-2308	2	76	ნაშრომში	ნაშრომში	VERB
gs-2308	2	77	წარმოდგენილია	წარმოდგენილია	VERB
gs-2308	3	1	ვიკერსის	ვიკერსის	NUM
gs-2308	3	2	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-2308	3	3	მოდებული	მოდებული	PROPN
gs-2308	3	4	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-2308	3	5	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-2308	3	6	ფართო	ფართო	PROPN
gs-2308	3	7	დიაპაზონში	დიაპაზონში	ADJ
gs-2308	3	8	საწყისი	საწყისი	PROPN
gs-2308	3	9	და	და	PROPN
gs-2308	3	10	12	12	NUM
gs-2308	3	11	მევ	მევ	NOUN
gs-2308	3	12	ენერგიის	ენერგიის	PROPN
gs-2308	3	13	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	3	14	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-2308	3	15	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-2308	3	16	n	n	CCONJ
gs-2308	3	17	-	-	PUNCT
gs-2308	3	18	si	si	X
gs-2308	3	19	(	(	PUNCT
gs-2308	3	20	100	100	NUM
gs-2308	3	21	)	)	PUNCT
gs-2308	3	22	,	,	PUNCT
gs-2308	3	23	p	p	NOUN
gs-2308	3	24	-	-	PUNCT
gs-2308	3	25	si	si	X
gs-2308	3	26	(	(	PUNCT
gs-2308	3	27	111	111	NUM
gs-2308	3	28	)	)	PUNCT
gs-2308	3	29	და	და	NOUN
gs-2308	3	30	p	p	NOUN
gs-2308	3	31	-	-	PUNCT
gs-2308	3	32	si+2ატ.%ge	si+2ატ.%ge	NOUN
gs-2308	3	33	(	(	PUNCT
gs-2308	3	34	111	111	NUM
gs-2308	3	35	)	)	PUNCT
gs-2308	3	36	ნიმუშების	ნიმუშების	PROPN
gs-2308	3	37	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-2308	3	38	მოდულის	მოდულის	PROPN
gs-2308	3	39	,	,	PUNCT
gs-2308	3	40	მიკროსისალისა	მიკროსისალისა	ADP
gs-2308	3	41	და	და	PROPN
gs-2308	3	42	ბზარ-წარმოქმნის	ბზარ-წარმოქმნის	NOUN
gs-2308	3	43	მახასიათებლების	მახასიათებლების	ADJ
gs-2308	3	44	კვლევის	კვლევის	NOUN
gs-2308	3	45	შედეგები.	შედეგები.	PROPN
gs-2308	3	46	გაზომვები	გაზომვები	PROPN
gs-2308	3	47	სრულდებოდა	სრულდებოდა	PROPN
gs-2308	3	48	ვიკერსის	ვიკერსის	ADJ
gs-2308	3	49	მეთოდით	მეთოდით	VERB
gs-2308	3	50	shimadzu	shimadzu	NOUN
gs-2308	3	51	duh-211s	duh-211s	NUM
gs-2308	3	52	სისტემის	სისტემის	NOUN
gs-2308	3	53	ულტრამიკროტესტერზე	ულტრამიკროტესტერზე	PROPN
gs-2308	3	54	ოთახის	ოთახის	PROPN
gs-2308	3	55	ტემპერატურის	ტემპერატურის	PROPN
gs-2308	3	56	პირობებში.	პირობებში.	PROPN
gs-2308	3	57	ნაჩვენებია	ნაჩვენებია	NOUN
gs-2308	3	58	,	,	PUNCT
gs-2308	3	59	რომ	რომ	PROPN
gs-2308	3	60	საწყის	საწყის	PROPN
gs-2308	3	61	მდგომარეობაში	მდგომარეობაში	NOUN
gs-2308	3	62	(	(	PUNCT
gs-2308	3	63	111	111	NUM
gs-2308	3	64	)	)	PUNCT
gs-2308	3	65	ორიენტაციის	ორიენტაციის	NOUN
gs-2308	3	66	p	p	PROPN
gs-2308	3	67	-	-	PUNCT
gs-2308	3	68	si	si	PROPN
gs-2308	3	69	ფუძეშრეები	ფუძეშრეები	PROPN
gs-2308	3	70	ხასიათდებიან	ხასიათდებიან	PROPN
gs-2308	3	71	შედარებით	შედარებით	PROPN
gs-2308	4	1	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-2308	4	2	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-2308	4	3	მოდულითა	მოდულითა	PROPN
gs-2308	4	4	და	და	NOUN
gs-2308	4	5	მიკროსისალით.	მიკროსისალით.	PROPN
gs-2308	4	6	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-2308	4	7	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	4	8	დასხივება	დასხივება	PROPN
gs-2308	4	9	იწვევს	იწვევს	PROPN
gs-2308	4	10	სამივე	სამივე	PROPN
gs-2308	4	11	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-2308	4	12	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-2308	4	13	მახასიათებლების	მახასიათებლების	ADJ
gs-2308	4	14	ამაღლებას	ამაღლებას	NOUN
gs-2308	4	15	,	,	PUNCT
gs-2308	4	16	რაც	რაც	AUX
gs-2308	4	17	მეტად	მეტად	NOUN
gs-2308	4	18	არის	არის	NOUN
gs-2308	4	19	გამოსახული	გამოსახული	PROPN
gs-2308	4	20	p-ტიპის	p-ტიპის	PROPN
gs-2308	4	21	მონოკრისტალურ	მონოკრისტალურ	AUX
gs-2308	4	22	სილიციუმში.	სილიციუმში.	VERB
gs-2308	4	23	ინდენტირების	ინდენტირების	ADV
gs-2308	4	24	ანაბეჭდების	ანაბეჭდების	PROPN
gs-2308	4	25	დიაგონალების	დიაგონალების	ADJ
gs-2308	4	26	გასწვრივ	გასწვრივ	PROPN
gs-2308	4	27	გავრცელებული	გავრცელებული	PROPN
gs-2308	4	28	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	4	29	სიგრძის	სიგრძის	PROPN
gs-2308	4	30	განსაზღვრის	განსაზღვრის	PROPN
gs-2308	4	31	საფუძველზე	საფუძველზე	PROPN
gs-2308	4	32	შეფასებულია	შეფასებულია	PROPN
gs-2308	4	33	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-2308	4	34	ზედაპირზე	ზედაპირზე	PROPN
gs-2308	4	35	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	5	1	წარმოქმნის	წარმოქმნის	PROPN
gs-2308	5	2	კრიტიკული	კრიტიკული	PROPN
gs-2308	5	3	ძაბვის	ძაბვის	VERB
gs-2308	5	4	ინტენსივობის	ინტენსივობის	ADP
gs-2308	5	5	ფაქტორი	ფაქტორი	NOUN
gs-2308	5	6	(	(	PUNCT
gs-2308	5	7	ბლანტი	ბლანტი	PROPN
gs-2308	6	1	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	6	2	კოეფიციენტი	კოეფიციენტი	PROPN
gs-2308	6	3	ანუ	ანუ	PROPN
gs-2308	6	4	ბზარმედეგობა	ბზარმედეგობა	NOUN
gs-2308	6	5	)	)	PUNCT
gs-2308	6	6	და	და	NOUN
gs-2308	6	7	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	6	8	ეფექტური	ეფექტური	PROPN
gs-2308	6	9	ენერგია.	ენერგია.	PROPN
gs-2308	6	10	ბლანტი	ბლანტი	PROPN
gs-2308	6	11	რღვევისადმი	რღვევისადმი	PROPN
gs-2308	7	1	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-2308	7	2	მედეგობა	მედეგობა	PROPN
gs-2308	7	3	ახასიათებს	ახასიათებს	PROPN
gs-2308	7	4	p	p	PROPN
gs-2308	7	5	-	-	PUNCT
gs-2308	7	6	si	si	NOUN
gs-2308	7	7	-ის	-ის	PUNCT
gs-2308	7	8	ფუძეშრეებს	ფუძეშრეებს	PROPN
gs-2308	7	9	(	(	PUNCT
gs-2308	7	10	111	111	NUM
gs-2308	7	11	)	)	PUNCT
gs-2308	7	12	სიბრტყეებზე.	სიბრტყეებზე.	NOUN
gs-2308	7	13	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	7	14	დასხივება	დასხივება	ADJ
gs-2308	7	15	აუმჯობესებს	აუმჯობესებს	PROPN
gs-2308	7	16	p	p	PROPN
gs-2308	7	17	-	-	PUNCT
gs-2308	7	18	si	si	NOUN
gs-2308	7	19	-ის	-ის	NOUN
gs-2308	7	20	ბლანტი	ბლანტი	PROPN
gs-2308	7	21	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	7	22	მახასიათებლებს.	მახასიათებლებს.	PROPN
gs-2308	7	23	psi+2ატ.%ge	psi+2ატ.%ge	PROPN
gs-2308	7	24	შენადნობის	შენადნობის	NOUN
gs-2308	7	25	(	(	PUNCT
gs-2308	7	26	111	111	NUM
gs-2308	7	27	)	)	PUNCT
gs-2308	7	28	ორიენტაციის	ორიენტაციის	NOUN
gs-2308	7	29	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	ADJ
gs-2308	7	30	ბზარმედეგობა	ბზარმედეგობა	PROPN
gs-2308	7	31	ხასიათდება	ხასიათდება	ADJ
gs-2308	7	32	უმნიშვნელო	უმნიშვნელო	PROPN
gs-2308	7	33	ზრდით	ზრდით	PROPN
gs-2308	7	34	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	7	35	დასხივებულ	დასხივებულ	NOUN
gs-2308	7	36	მდგომარეობაში.	მდგომარეობაში.	VERB
gs-2308	7	37	ინდენტირების	ინდენტირების	ADJ
gs-2308	7	38	georgian	georgian	ADJ
gs-2308	7	39	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-2308	7	40	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-2308	7	41	ტ.	ტ.	VERB
gs-2308	7	42	5	5	NUM
gs-2308	7	43	n	n	PRON
gs-2308	7	44	4	4	NUM
gs-2308	7	45	,	,	PUNCT
gs-2308	7	46	2023	2023	NUM
gs-2308	7	47	171	171	NUM
gs-2308	7	48	პროცესებში	პროცესებში	NOUN
gs-2308	7	49	p	p	NOUN
gs-2308	7	50	-	-	PUNCT
gs-2308	7	51	si+2ატ.%ge	si+2ატ.%ge	ADJ
gs-2308	7	52	შენადნობის	შენადნობის	NOUN
gs-2308	7	53	მექანიკურ	მექანიკურ	PROPN
gs-2308	7	54	თვისებებს	თვისებებს	NOUN
gs-2308	7	55	,	,	PUNCT
gs-2308	7	56	მათ	მათ	NOUN
gs-2308	7	57	შორის	შორის	NOUN
gs-2308	7	58	ბლანტი	ბლანტი	VERB
gs-2308	7	59	მსხვრევის	მსხვრევის	NOUN
gs-2308	7	60	მახასიათებლებს	მახასიათებლებს	NOUN
gs-2308	7	61	განსაზღვრავს	განსაზღვრავს	PROPN
gs-2308	7	62	ორი	ორი	PROPN
gs-2308	7	63	ურთიერთსაპირისპირო	ურთიერთსაპირისპირო	PROPN
gs-2308	7	64	ფაქტორი	ფაქტორი	NOUN
gs-2308	7	65	:	:	PUNCT
gs-2308	7	66	დარბილება	დარბილება	NOUN
gs-2308	7	67	,	,	PUNCT
gs-2308	7	68	დაკავშირებული	დაკავშირებული	NOUN
gs-2308	7	69	დიდი	დიდი	PROPN
gs-2308	7	70	ატომური	ატომური	PROPN
gs-2308	7	71	რადიუსის	რადიუსის	PROPN
gs-2308	8	1	გერმანიუმის	გერმანიუმის	PROPN
gs-2308	8	2	ატომებთან	ატომებთან	PROPN
gs-2308	8	3	და	და	NOUN
gs-2308	8	4	განმტკიცება	განმტკიცება	NOUN
gs-2308	8	5	,	,	PUNCT
gs-2308	8	6	დაკავშირებული	დაკავშირებული	VERB
gs-2308	8	7	ინდენტირებით	ინდენტირებით	PROPN
gs-2308	8	8	სტიმულირებული	სტიმულირებული	PROPN
gs-2308	8	9	ფაზური	ფაზური	PROPN
gs-2308	8	10	გარდაქმნის	გარდაქმნის	PROPN
gs-2308	8	11	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-2308	8	12	მეტი	მეტი	PROPN
gs-2308	8	13	რაოდენობით	რაოდენობით	PROPN
gs-2308	8	14	მაღალი	მაღალი	PRON
gs-2308	8	15	სიმტკიცის	სიმტკიცის	PROPN
gs-2308	8	16	-კალის	-კალის	PROPN
gs-2308	8	17	მოდიფიკაციის	მოდიფიკაციის	NOUN
gs-2308	8	18	sigeii	sigeii	NOUN
gs-2308	8	19	ფაზის	ფაზის	PROPN
gs-2308	8	20	წარმოქმნასთან.	წარმოქმნასთან.	PROPN
gs-2308	8	21	საკვანძო	საკვანძო	PROPN
gs-2308	8	22	სიტყვები	სიტყვები	PROPN
gs-2308	8	23	:	:	PUNCT
gs-2308	8	24	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-2308	8	25	si	si	PROPN
gs-2308	8	26	,	,	PUNCT
gs-2308	8	27	sige	sige	ADJ
gs-2308	8	28	შენადნობი	შენადნობი	NOUN
gs-2308	8	29	,	,	PUNCT
gs-2308	8	30	ინდენტირება	ინდენტირება	NOUN
gs-2308	8	31	,	,	PUNCT
gs-2308	8	32	ბლანტი	ბლანტი	NOUN
gs-2308	8	33	მსხვრევა	მსხვრევა	NOUN
gs-2308	8	34	,	,	PUNCT
gs-2308	8	35	მიკროსისალე	მიკროსისალე	NOUN
gs-2308	8	36	,	,	PUNCT
gs-2308	8	37	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-2308	8	38	მოდული	მოდული	PROPN
gs-2308	8	39	,	,	PUNCT
gs-2308	8	40	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	8	41	დასხივება.	დასხივება.	VERB
gs-2308	8	42	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-2308	8	43	დატვირთვების	დატვირთვების	PROPN
gs-2308	8	44	პროცესებში	პროცესებში	PROPN
gs-2308	8	45	ნახევარგამტარული	ნახევარგამტარული	PROPN
gs-2308	8	46	მასალების	მასალების	PROPN
gs-2308	8	47	სტრუქტურის	სტრუქტურის	PROPN
gs-2308	8	48	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	8	49	მექანიზმების	მექანიზმების	PROPN
gs-2308	8	50	კვლევას	კვლევას	PROPN
gs-2308	8	51	ენიჭება	ენიჭება	PROPN
gs-2308	8	52	დიდი	დიდი	ADJ
gs-2308	8	53	მნიშვნელობა	მნიშვნელობა	NOUN
gs-2308	8	54	მათზე	მათზე	PROPN
gs-2308	8	55	მაღალეფექტური	მაღალეფექტური	PROPN
gs-2308	8	56	საიმედო	საიმედო	PROPN
gs-2308	8	57	,	,	PUNCT
gs-2308	8	58	დიდი	დიდი	PROPN
gs-2308	8	59	ინტეგრალური	ინტეგრალური	PROPN
gs-2308	8	60	სქემებისა	სქემებისა	PROPN
gs-2308	8	61	და	და	PROPN
gs-2308	8	62	მიკრო-და	მიკრო-და	PROPN
gs-2308	8	63	ნანო	ნანო	NOUN
gs-2308	8	64	ელექტრომექანიკური	ელექტრომექანიკური	PROPN
gs-2308	8	65	mems	mems	PROPN
gs-2308	8	66	და	და	PROPN
gs-2308	8	67	nems	nems	PROPN
gs-2308	8	68	სისტემების	სისტემების	PROPN
gs-2308	8	69	შესაქმნელად.	შესაქმნელად.	NOUN
gs-2308	8	70	ნახევარგამტარული	ნახევარგამტარული	ADP
gs-2308	8	71	ხელსაწყოების	ხელსაწყოების	ADJ
gs-2308	8	72	ოპტიმიზაციისა	ოპტიმიზაციისა	ADV
gs-2308	9	1	და	და	PROPN
gs-2308	9	2	დეფექტების	დეფექტების	ADJ
gs-2308	9	3	მართვისათვის	მართვისათვის	NOUN
gs-2308	9	4	აუცილებელია	აუცილებელია	ADJ
gs-2308	9	5	მათი	მათი	PROPN
gs-2308	9	6	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	NOUN
gs-2308	9	7	ზედაპირებზე	ზედაპირებზე	PROPN
gs-2308	9	8	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-2308	9	9	კონტაქტით	კონტაქტით	NOUN
gs-2308	9	10	ინიცირებული	ინიცირებული	PROPN
gs-2308	9	11	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	9	12	პროცესების	პროცესების	PROPN
gs-2308	9	13	მიზეზების	მიზეზების	ADV
gs-2308	9	14	დადგენა.	დადგენა.	ADJ
gs-2308	9	15	ცნობილია	ცნობილია	VERB
gs-2308	9	16	[	[	X
gs-2308	9	17	1,2	1,2	NUM
gs-2308	9	18	]	]	PUNCT
gs-2308	9	19	,	,	PUNCT
gs-2308	9	20	რომ	რომ	PROPN
gs-2308	9	21	განსაზღვრულ	განსაზღვრულ	PROPN
gs-2308	9	22	პირობებში	პირობებში	PROPN
gs-2308	9	23	ინდენტირებით	ინდენტირებით	PROPN
gs-2308	9	24	ფორმირებული	ფორმირებული	PROPN
gs-2308	9	25	რადიალურ-მედიანური	რადიალურ-მედიანური	ADJ
gs-2308	9	26	და	და	NOUN
gs-2308	9	27	გვერდითი	გვერდითი	NOUN
gs-2308	9	28	ბზარები	ბზარები	VERB
gs-2308	9	29	აღდგენით	აღდგენით	ADJ
gs-2308	9	30	პროცესებში	პროცესებში	PROPN
gs-2308	9	31	განიცდიან	განიცდიან	PROPN
gs-2308	9	32	დრეკადი	დრეკადი	VERB
gs-2308	9	33	ძაბვების	ძაბვების	ADJ
gs-2308	9	34	ველის	ველის	PROPN
gs-2308	9	35	ზემოქმედებას.	ზემოქმედებას.	PROPN
gs-2308	9	36	ანაბეჭდებთან	ანაბეჭდებთან	PROPN
gs-2308	9	37	ფორმირებული	ფორმირებული	PROPN
gs-2308	9	38	სხვადასხვა	სხვადასხვა	PROPN
gs-2308	9	39	წარმოშობის	წარმოშობის	PROPN
gs-2308	9	40	ბზარებისა	ბზარებისა	VERB
gs-2308	9	41	და	და	PROPN
gs-2308	9	42	მათი	მათი	PROPN
gs-2308	9	43	განშტოებების	განშტოებების	PROPN
gs-2308	9	44	სიგრძის	სიგრძის	PROPN
gs-2308	9	45	პროპორციული	პროპორციული	PROPN
gs-2308	9	46	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	9	47	სიბლანტე	სიბლანტე	PROPN
gs-2308	9	48	მნიშვნელოვან	მნიშვნელოვან	ADJ
gs-2308	9	49	გავლენას	გავლენას	PROPN
gs-2308	9	50	ახდენს	ახდენს	PROPN
gs-2308	9	51	მასალების	მასალების	PROPN
gs-2308	9	52	მექანიკურ	მექანიკურ	PROPN
gs-2308	9	53	სიმტკიცეზე.	სიმტკიცეზე.	PROPN
gs-2308	9	54	რადიალური	რადიალური	PROPN
gs-2308	9	55	ბზარის	ბზარის	PROPN
gs-2308	9	56	სიგრძის	სიგრძის	PROPN
gs-2308	9	57	ათვლას	ათვლას	PROPN
gs-2308	9	58	აწარმოებენ	აწარმოებენ	PROPN
gs-2308	9	59	ანაბეჭდის	ანაბეჭდის	ADJ
gs-2308	9	60	ცენტრიდან	ცენტრიდან	NOUN
gs-2308	9	61	,	,	PUNCT
gs-2308	9	62	ხოლო	ხოლო	NOUN
gs-2308	9	63	ინდენტირების	ინდენტირების	ADV
gs-2308	9	64	მოდულისა	მოდულისა	NOUN
gs-2308	9	65	და	და	NOUN
gs-2308	9	66	მიკროსისალის	მიკროსისალის	NOUN
gs-2308	9	67	შეფარდებას	შეფარდებას	VERB
gs-2308	9	68	საზღვრავენ	საზღვრავენ	NOUN
gs-2308	9	69	ოლივერ-ფარის	ოლივერ-ფარის	ADJ
gs-2308	9	70	მეთოდით	მეთოდით	NOUN
gs-2308	9	71	[	[	X
gs-2308	9	72	3	3	NUM
gs-2308	9	73	]	]	PUNCT
gs-2308	9	74	.	.	PUNCT
gs-2308	10	1	მათი	მათი	PROPN
gs-2308	10	2	გამოყენებით	გამოყენებით	PROPN
gs-2308	10	3	განისაზღვრება	განისაზღვრება	PROPN
gs-2308	10	4	ბზარის	ბზარის	PROPN
gs-2308	10	5	წვეროსთან	წვეროსთან	PROPN
gs-2308	10	6	კრიტიკული	კრიტიკული	PROPN
gs-2308	10	7	ძაბვის	ძაბვის	PROPN
gs-2308	10	8	ინტენსივობის	ინტენსივობის	ADP
gs-2308	10	9	ფაქტორი	ფაქტორი	NOUN
gs-2308	10	10	[	[	X
gs-2308	10	11	4,5	4,5	NUM
gs-2308	10	12	]	]	PUNCT
gs-2308	10	13	:	:	PUNCT
gs-2308	10	14	k	k	X
gs-2308	10	15	=	=	PUNCT
gs-2308	10	16	k	k	X
gs-2308	10	17	∙	∙	PROPN
gs-2308	10	18	/	/	PUNCT
gs-2308	10	19	∙	∙	PROPN
gs-2308	10	20	/	/	SYM
gs-2308	10	21	,	,	PUNCT
gs-2308	10	22	სადაც	სადაც	PROPN
gs-2308	10	23	,	,	PUNCT
gs-2308	10	24	კოეფიციენტი	კოეფიციენტი	PROPN
gs-2308	10	25	k=0.16	k=0.16	PROPN
gs-2308	10	26	ვიკერსის	ვიკერსის	NUM
gs-2308	10	27	ინდენტორის	ინდენტორის	PROPN
gs-2308	10	28	გამოყენების	გამოყენების	NOUN
gs-2308	10	29	შემთხვევებში	შემთხვევებში	NOUN
gs-2308	10	30	[	[	X
gs-2308	10	31	6	6	NUM
gs-2308	10	32	]	]	PUNCT
gs-2308	10	33	.	.	PUNCT
gs-2308	11	1	c	c	NOUN
gs-2308	11	2	წარმოადგენს	წარმოადგენს	PROPN
gs-2308	11	3	ბზარის	ბზარის	NOUN
gs-2308	11	4	სიგრძეს	სიგრძეს	ADJ
gs-2308	11	5	,	,	PUNCT
gs-2308	11	6	p	p	ADJ
gs-2308	11	7	დატვირთვას	დატვირთვას	NOUN
gs-2308	11	8	ინდენტორზე	ინდენტორზე	ADJ
gs-2308	11	9	,	,	PUNCT
gs-2308	11	10	ხოლო	ხოლო	NOUN
gs-2308	11	11	e	e	NOUN
gs-2308	11	12	/	/	SYM
gs-2308	11	13	h	h	PROPN
gs-2308	11	14	არის	არის	PROPN
gs-2308	11	15	მოდულის	მოდულის	PROPN
gs-2308	11	16	შეფარდება	შეფარდება	PROPN
gs-2308	11	17	მიკროსისალესთან.	მიკროსისალესთან.	PROPN
gs-2308	11	18	ბზარის	ბზარის	PROPN
gs-2308	11	19	მამოძრავებელი	მამოძრავებელი	PROPN
gs-2308	11	20	კრიტიკული	კრიტიკული	PROPN
gs-2308	11	21	ძალა	ძალა	NOUN
gs-2308	11	22	ანუ	ანუ	VERB
gs-2308	11	23	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	11	24	ენერგია	ენერგია	PROPN
gs-2308	11	25	განისაზღვრება	განისაზღვრება	PROPN
gs-2308	11	26	ფორმულით	ფორმულით	VERB
gs-2308	12	1	[	[	X
gs-2308	12	2	4	4	NUM
gs-2308	12	3	]	]	PUNCT
gs-2308	12	4	:	:	PUNCT
gs-2308	12	5	γ	γ	X
gs-2308	12	6	=	=	PUNCT
gs-2308	12	7	.	.	PUNCT
gs-2308	13	1	კოეფიციენტი	კოეფიციენტი	PROPN
gs-2308	13	2	kic	kic	PROPN
gs-2308	13	3	ასახავს	ასახავს	PROPN
gs-2308	13	4	სისალის	სისალის	PROPN
gs-2308	13	5	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	13	6	სიბლანტეს	სიბლანტეს	PROPN
gs-2308	13	7	ანუ	ანუ	PROPN
gs-2308	13	8	ბზარმედეგობას.	ბზარმედეგობას.	PROPN
gs-2308	13	9	მისი	მისი	PROPN
gs-2308	13	10	სიდიდე	სიდიდე	PROPN
gs-2308	13	11	დამოკიდებულია	დამოკიდებულია	VERB
gs-2308	13	12	ნარჩენი	ნარჩენი	PROPN
gs-2308	13	13	ანაბეჭდის	ანაბეჭდის	ADJ
gs-2308	13	14	ირგვლივ	ირგვლივ	NOUN
gs-2308	13	15	არსებული	არსებული	VERB
gs-2308	13	16	ძაბვების	ძაბვების	ADJ
gs-2308	13	17	განაწილებაზე.	განაწილებაზე.	PROPN
gs-2308	13	18	მყიფე	მყიფე	PROPN
gs-2308	13	19	მასალების	მასალების	PROPN
gs-2308	13	20	,	,	PUNCT
gs-2308	13	21	კერძოდ	კერძოდ	PROPN
gs-2308	13	22	ნახევარგამტარების	ნახევარგამტარების	PROPN
gs-2308	13	23	,	,	PUNCT
gs-2308	13	24	ინდენტირების	ინდენტირების	ADV
gs-2308	13	25	პროცესების	პროცესების	VERB
gs-2308	13	26	მახასიათებელი	მახასიათებელი	ADJ
gs-2308	13	27	მექანიკური	მექანიკური	DET
gs-2308	13	28	ძაბვების	ძაბვების	ADJ
gs-2308	13	29	ინტენსივობისა	ინტენსივობისა	VERB
gs-2308	13	30	და	და	PROPN
gs-2308	13	31	სივრცულ	სივრცულ	NOUN
gs-2308	13	32	განაწილებაზე	განაწილებაზე	NOUN
gs-2308	13	33	მნიშვნელოვან	მნიშვნელოვან	VERB
gs-2308	13	34	გავლენას	გავლენას	PROPN
gs-2308	13	35	ახდენს	ახდენს	PROPN
gs-2308	13	36	ატომთაშორისი	ატომთაშორისი	PROPN
gs-2308	13	37	კავშირების	კავშირების	PROPN
gs-2308	13	38	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	13	39	,	,	PUNCT
gs-2308	13	40	სტრუქტურული	სტრუქტურული	VERB
gs-2308	13	41	დეფექტების	დეფექტების	ADJ
gs-2308	13	42	წარმოქმნისა	წარმოქმნისა	ADJ
gs-2308	13	43	და	და	NOUN
gs-2308	13	44	მოძრაობის	მოძრაობის	NOUN
gs-2308	13	45	,	,	PUNCT
gs-2308	13	46	აგრეთვე	აგრეთვე	VERB
gs-2308	13	47	სტრუქტურულ-ფაზური	სტრუქტურულ-ფაზური	ADJ
gs-2308	13	48	გარდაქმნის	გარდაქმნის	NOUN
gs-2308	13	49	პროცესები	პროცესები	NOUN
gs-2308	13	50	გარეშე	გარეშე	VERB
gs-2308	13	51	მექანიკური	მექანიკური	ADV
gs-2308	13	52	,	,	PUNCT
gs-2308	13	53	თერმული	თერმული	PROPN
gs-2308	13	54	და	და	PROPN
gs-2308	13	55	რადიაციული	რადიაციული	PROPN
gs-2308	13	56	ზემოქმედების	ზემოქმედების	PROPN
gs-2308	13	57	პირობებში.	პირობებში.	VERB
gs-2308	13	58	ლეგირებული	ლეგირებული	PROPN
gs-2308	13	59	მასალის	მასალის	PROPN
gs-2308	13	60	სტრუქტურაში	სტრუქტურაში	NOUN
gs-2308	13	61	ჰეტეროგენურად	ჰეტეროგენურად	PROPN
gs-2308	13	62	განაწილებული	განაწილებული	PROPN
gs-2308	13	63	დეფორმაციის	დეფორმაციის	PROPN
gs-2308	13	64	არეები	არეები	PROPN
gs-2308	13	65	და	და	PROPN
gs-2308	13	66	კონცენტრაციის	კონცენტრაციის	ADJ
gs-2308	13	67	georgian	georgian	PROPN
gs-2308	13	68	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	PROPN
gs-2308	13	69	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-2308	13	70	ტ.	ტ.	VERB
gs-2308	13	71	5	5	NUM
gs-2308	13	72	n	n	PRON
gs-2308	13	73	4	4	NUM
gs-2308	13	74	,	,	PUNCT
gs-2308	13	75	2023	2023	NUM
gs-2308	13	76	172	172	NUM
gs-2308	13	77	გრადიენტები	გრადიენტები	NOUN
gs-2308	13	78	დიდ	დიდ	VERB
gs-2308	13	79	როლს	როლს	PROPN
gs-2308	13	80	ასრულებენ	ასრულებენ	PROPN
gs-2308	13	81	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	13	82	წარმოქმნისა	წარმოქმნისა	VERB
gs-2308	13	83	და	და	PROPN
gs-2308	13	84	გავრცელების	გავრცელების	ADV
gs-2308	13	85	,	,	PUNCT
gs-2308	13	86	ასევე	ასევე	PROPN
gs-2308	13	87	მასის	მასის	PROPN
gs-2308	13	88	გადატანის	გადატანის	PROPN
gs-2308	13	89	პროცესებში	პროცესებში	PROPN
gs-2308	13	90	მოცულობიდან	მოცულობიდან	PROPN
gs-2308	13	91	ზედაპირის	ზედაპირის	PROPN
gs-2308	13	92	მიმართულებით.	მიმართულებით.	PROPN
gs-2308	13	93	ნაშრომში	ნაშრომში	VERB
gs-2308	13	94	წარმოდგენილია	წარმოდგენილია	VERB
gs-2308	13	95	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-2308	14	1	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	15	1	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-2308	15	2	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-2308	15	3	სილიციუმისა	სილიციუმისა	VERB
gs-2308	15	4	და	და	PROPN
gs-2308	15	5	sige	sige	PROPN
gs-2308	15	6	შენადნობის	შენადნობის	PROPN
gs-2308	15	7	ორმხრივ	ორმხრივ	PROPN
gs-2308	15	8	პოლირებული	პოლირებული	PROPN
gs-2308	15	9	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	PROPN
gs-2308	15	10	ბზარმედეგობის	ბზარმედეგობის	PROPN
gs-2308	15	11	შესწავლის	შესწავლის	PROPN
gs-2308	15	12	შედეგები.	შედეგები.	PROPN
gs-2308	15	13	ორივე	ორივე	PROPN
gs-2308	15	14	საკვლევი	საკვლევი	PROPN
gs-2308	15	15	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-2308	15	16	კუთრი	კუთრი	ADJ
gs-2308	15	17	ელექტროწინაღობა	ელექტროწინაღობა	NOUN
gs-2308	15	18	5	5	NUM
gs-2308	15	19	-	-	SYM
gs-2308	15	20	10ომი.სმ-ია	10ომი.სმ-ია	NUM
gs-2308	15	21	შესაბამისად	შესაბამისად	NOUN
gs-2308	15	22	,	,	PUNCT
gs-2308	15	23	დენის	დენის	NOUN
gs-2308	15	24	მატარებლების	მატარებლების	ADJ
gs-2308	15	25	კონცენტრაცია	კონცენტრაცია	NOUN
gs-2308	15	26	1014	1014	NUM
gs-2308	15	27	-	-	SYM
gs-2308	15	28	1015	1015	NUM
gs-2308	15	29	სმ-3	სმ-3	NUM
gs-2308	15	30	რიგისაა	რიგისაა	NOUN
gs-2308	15	31	და	და	PROPN
gs-2308	15	32	ის	ის	PROPN
gs-2308	15	33	ატომთაშორისი	ატომთაშორისი	NOUN
gs-2308	15	34	კავშირის	კავშირის	NOUN
gs-2308	15	35	ძალებზე	ძალებზე	PROPN
gs-2308	15	36	უმნიშვნელო	უმნიშვნელო	VERB
gs-2308	15	37	გავლენას	გავლენას	PROPN
gs-2308	15	38	ახდენს.	ახდენს.	PROPN
gs-2308	15	39	ბზარმედეგობაზე	ბზარმედეგობაზე	NOUN
gs-2308	15	40	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-2308	15	41	მნიშვნელოვანი	მნიშვნელოვანი	NOUN
gs-2308	15	42	გავლენა	გავლენა	ADJ
gs-2308	15	43	მოახდინოს	მოახდინოს	NOUN
gs-2308	15	44	დიდი	დიდი	ADJ
gs-2308	15	45	ატომური	ატომური	PROPN
gs-2308	15	46	რადიუსის	რადიუსის	PROPN
gs-2308	15	47	გერმანიუმით	გერმანიუმით	PROPN
gs-2308	15	48	ლეგირებამ	ლეგირებამ	VERB
gs-2308	15	49	2ატ%-მდე.	2ატ%-მდე.	NUM
gs-2308	15	50	ასეთ	ასეთ	ADJ
gs-2308	15	51	პირობებში	პირობებში	PROPN
gs-2308	15	52	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-2308	15	53	კრისტალურ	კრისტალურ	VERB
gs-2308	15	54	მესერში	მესერში	PROPN
gs-2308	15	55	ფორმირდება	ფორმირდება	PROPN
gs-2308	15	56	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-2308	15	57	ინტენსივობის	ინტენსივობის	PROPN
gs-2308	15	58	,	,	PUNCT
gs-2308	15	59	ურთიერთზედდებული	ურთიერთზედდებული	PROPN
gs-2308	15	60	დეფორმაციის	დეფორმაციის	PROPN
gs-2308	15	61	ველები	ველები	PROPN
gs-2308	15	62	და	და	PROPN
gs-2308	15	63	სტრუქტურაში	სტრუქტურაში	PROPN
gs-2308	15	64	წარმოიქმნება	წარმოიქმნება	PROPN
gs-2308	15	65	სხვადასხვა	სხვადასხვა	PROPN
gs-2308	15	66	ზომის	ზომის	VERB
gs-2308	15	67	ბლოკებით	ბლოკებით	PROPN
gs-2308	15	68	შედგენილი	შედგენილი	PROPN
gs-2308	15	69	უჯრედოვანი	უჯრედოვანი	VERB
gs-2308	15	70	დისლოკაციური	დისლოკაციური	ADV
gs-2308	15	71	სტრუქტურა.	სტრუქტურა.	NOUN
gs-2308	15	72	ბლოკები	ბლოკები	VERB
gs-2308	15	73	ხასიათდებიან	ხასიათდებიან	PROPN
gs-2308	15	74	გერმანიუმის	გერმანიუმის	PROPN
gs-2308	15	75	განსხვავებული	განსხვავებული	PROPN
gs-2308	15	76	კონცენტრაციითა	კონცენტრაციითა	NOUN
gs-2308	15	77	და	და	PROPN
gs-2308	15	78	დისლოკაციების	დისლოკაციების	PROPN
gs-2308	15	79	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-2308	15	80	სიმკვრივით	სიმკვრივით	PROPN
gs-2308	15	81	ბლოკების	ბლოკების	NOUN
gs-2308	15	82	გამყოფ	გამყოფ	PROPN
gs-2308	15	83	საზღვრებზე.	საზღვრებზე.	NOUN
gs-2308	15	84	sige	sige	PROPN
gs-2308	15	85	შენადნობის	შენადნობის	PROPN
gs-2308	15	86	სტრუქტურაში	სტრუქტურაში	NOUN
gs-2308	16	1	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	16	2	რადიაციას	რადიაციას	NOUN
gs-2308	16	3	შეაქვს	შეაქვს	PROPN
gs-2308	16	4	სხვადასხვა	სხვადასხვა	PROPN
gs-2308	16	5	ძვრადობის	ძვრადობის	PROPN
gs-2308	16	6	პირველადი	პირველადი	PROPN
gs-2308	16	7	რადიაციული	რადიაციული	PROPN
gs-2308	17	1	დეფექტები.	დეფექტები.	ADJ
gs-2308	17	2	ისინი	ისინი	NOUN
gs-2308	17	3	ოთახის	ოთახის	ADJ
gs-2308	17	4	ტემპერატურის	ტემპერატურის	PROPN
gs-2308	17	5	პირობებში	პირობებში	NOUN
gs-2308	17	6	ინტენსიურად	ინტენსიურად	NOUN
gs-2308	17	7	მოქმედებენ	მოქმედებენ	NOUN
gs-2308	17	8	ერთიმეორესთან	ერთიმეორესთან	ADJ
gs-2308	17	9	და	და	NOUN
gs-2308	17	10	მატრიცაში	მატრიცაში	NOUN
gs-2308	17	11	დასხივებამდე	დასხივებამდე	NOUN
gs-2308	17	12	არსებულ	არსებულ	NOUN
gs-2308	17	13	დეფექტებთან.	დეფექტებთან.	NOUN
gs-2308	17	14	მათ	მათ	PRON
gs-2308	17	15	ურთიერთქმედებას	ურთიერთქმედებას	VERB
gs-2308	17	16	დისლოკაციურ	დისლოკაციურ	NOUN
gs-2308	17	17	სტრუქტურასთან	სტრუქტურასთან	NOUN
gs-2308	17	18	შეუძლია	შეუძლია	VERB
gs-2308	17	19	მნიშვნელოვნად	მნიშვნელოვნად	NOUN
gs-2308	17	20	შეცვალოს	შეცვალოს	VERB
gs-2308	17	21	მექანიკური	მექანიკური	PRON
gs-2308	17	22	თვისებები	თვისებები	PROPN
gs-2308	17	23	და	და	PROPN
gs-2308	17	24	ინდენტირების	ინდენტირების	ADV
gs-2308	17	25	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-2308	17	26	დეფორმაციის	დეფორმაციის	PROPN
gs-2308	17	27	განვითარების	განვითარების	PROPN
gs-2308	17	28	პირობები.	პირობები.	NOUN
gs-2308	17	29	ნახ.1	ნახ.1	NOUN
gs-2308	17	30	საწყისი	საწყისი	NOUN
gs-2308	17	31	ნიმუშების	ნიმუშების	NOUN
gs-2308	17	32	ბზარმედეგობის	ბზარმედეგობის	PROPN
gs-2308	17	33	დამოკიდებულება	დამოკიდებულება	PROPN
gs-2308	17	34	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-2308	17	35	მოდებულ	მოდებულ	PROPN
gs-2308	17	36	მაქსიმალურ	მაქსიმალურ	PROPN
gs-2308	17	37	დატვირთვაზე.	დატვირთვაზე.	PROPN
gs-2308	17	38	1	1	NUM
gs-2308	17	39	.	.	X
gs-2308	18	1	p	p	X
gs-2308	18	2	-	-	PUNCT
gs-2308	18	3	si	si	NOUN
gs-2308	18	4	,	,	PUNCT
gs-2308	18	5	(	(	PUNCT
gs-2308	18	6	111	111	NUM
gs-2308	18	7	)	)	PUNCT
gs-2308	18	8	2	2	NUM
gs-2308	18	9	.	.	NUM
gs-2308	18	10	n	n	CCONJ
gs-2308	18	11	-	-	PUNCT
gs-2308	18	12	si	si	NOUN
gs-2308	18	13	,	,	PUNCT
gs-2308	18	14	(	(	PUNCT
gs-2308	18	15	100	100	NUM
gs-2308	18	16	)	)	PUNCT
gs-2308	18	17	3	3	NUM
gs-2308	18	18	.	.	X
gs-2308	19	1	p	p	X
gs-2308	19	2	-	-	PUNCT
gs-2308	19	3	si+2ატ%ge	si+2ატ%ge	NOUN
gs-2308	19	4	,	,	PUNCT
gs-2308	19	5	(	(	PUNCT
gs-2308	19	6	111	111	NUM
gs-2308	19	7	)	)	PUNCT
gs-2308	19	8	ნახ.1–ზე	ნახ.1–ზე	NOUN
gs-2308	19	9	წარმოდგენილია	წარმოდგენილია	VERB
gs-2308	19	10	საკვლევი	საკვლევი	PROPN
gs-2308	19	11	si	si	PROPN
gs-2308	19	12	და	და	PROPN
gs-2308	19	13	sige	sige	PROPN
gs-2308	19	14	ნიმუშების	ნიმუშების	PROPN
gs-2308	19	15	ინდენტირების	ინდენტირების	ADJ
gs-2308	19	16	პროცესებში	პროცესებში	NOUN
gs-2308	19	17	ბლანტი	ბლანტი	NOUN
gs-2308	19	18	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	19	19	კოეფიციენტის	კოეფიციენტის	ADJ
gs-2308	19	20	ცვლილებები	ცვლილებები	NOUN
gs-2308	19	21	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-2308	19	22	მოდებული	მოდებული	PROPN
gs-2308	19	23	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-2308	19	24	georgian	georgian	ADJ
gs-2308	19	25	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-2308	19	26	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-2308	19	27	ტ.	ტ.	VERB
gs-2308	19	28	5	5	NUM
gs-2308	19	29	n	n	PRON
gs-2308	19	30	4	4	NUM
gs-2308	19	31	,	,	PUNCT
gs-2308	19	32	2023	2023	NUM
gs-2308	19	33	173	173	NUM
gs-2308	19	34	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-2308	19	35	100	100	NUM
gs-2308	19	36	-	-	SYM
gs-2308	19	37	1250	1250	NUM
gs-2308	19	38	მნ	მნ	PROPN
gs-2308	19	39	დიაპაზონში.	დიაპაზონში.	VERB
gs-2308	20	1	ნახ.1–დან	ნახ.1–დან	PROPN
gs-2308	20	2	ჩანს	ჩანს	PROPN
gs-2308	20	3	,	,	PUNCT
gs-2308	20	4	რომ	რომ	PROPN
gs-2308	20	5	მინიმალურ	მინიმალურ	ADJ
gs-2308	20	6	დატვირთვებზე	დატვირთვებზე	NOUN
gs-2308	20	7	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	20	8	დასხივება	დასხივება	PROPN
gs-2308	20	9	იწვევს	იწვევს	PROPN
gs-2308	20	10	n	n	CCONJ
gs-2308	20	11	-	-	PUNCT
gs-2308	20	12	si–ის	si–ის	NOUN
gs-2308	20	13	ბზარმედეგობის	ბზარმედეგობის	NOUN
gs-2308	20	14	გაუმჯობესებას.	გაუმჯობესებას.	NOUN
gs-2308	20	15	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-2308	20	16	მოდებული	მოდებული	PROPN
gs-2308	20	17	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-2308	20	18	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-2308	20	19	გაზრდა	გაზრდა	ADJ
gs-2308	20	20	იწვევს	იწვევს	NOUN
gs-2308	20	21	საწყისი	საწყისი	NOUN
gs-2308	20	22	და	და	NOUN
gs-2308	20	23	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	20	24	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-2308	20	25	n	n	CCONJ
gs-2308	20	26	-	-	PUNCT
gs-2308	20	27	si–ის	si–ის	NOUN
gs-2308	20	28	ბზარმედეგობის	ბზარმედეგობის	ADJ
gs-2308	20	29	შემცირებას.	შემცირებას.	NOUN
gs-2308	20	30	მაღალ	მაღალ	DET
gs-2308	20	31	დატვირთვებზე	დატვირთვებზე	NOUN
gs-2308	20	32	ინდენტირების	ინდენტირების	ADJ
gs-2308	20	33	პროცესებში	პროცესებში	PROPN
gs-2308	20	34	ვლინდება	ვლინდება	PROPN
gs-2308	20	35	სხვადასხვა	სხვადასხვა	PROPN
gs-2308	20	36	ორიენტაციის	ორიენტაციის	PROPN
gs-2308	20	37	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	20	38	წარმოქმნა	წარმოქმნა	PROPN
gs-2308	20	39	და	და	PROPN
gs-2308	20	40	გავრცელება	გავრცელება	PROPN
gs-2308	20	41	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-2308	20	42	ზედაპირზე	ზედაპირზე	PROPN
gs-2308	20	43	და	და	PROPN
gs-2308	20	44	მოცულობაში.	მოცულობაში.	PROPN
gs-2308	20	45	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-2308	20	46	ელექტრონების	ელექტრონების	VERB
gs-2308	20	47	დასხივებით	დასხივებით	PROPN
gs-2308	20	48	ფორმირებული	ფორმირებული	PROPN
gs-2308	20	49	რადიაციული	რადიაციული	PROPN
gs-2308	20	50	დეფექტები	დეფექტები	PROPN
gs-2308	20	51	მონაწილეობენ	მონაწილეობენ	PROPN
gs-2308	20	52	დისლოკაციების	დისლოკაციების	PROPN
gs-2308	20	53	ბლოკირებაში	ბლოკირებაში	PROPN
gs-2308	20	54	,	,	PUNCT
gs-2308	20	55	რის	რის	NOUN
gs-2308	20	56	გამო	გამო	NOUN
gs-2308	20	57	მოსალოდნელია	მოსალოდნელია	VERB
gs-2308	20	58	პლასტიკურობის	პლასტიკურობის	PROPN
gs-2308	20	59	წვლილის	წვლილის	PROPN
gs-2308	20	60	შემცირება	შემცირება	PROPN
gs-2308	20	61	ინდენტირებით	ინდენტირებით	PROPN
gs-2308	20	62	ინდუცირებული	ინდუცირებული	PROPN
gs-2308	20	63	დეფორმაციის	დეფორმაციის	PROPN
gs-2308	20	64	პროცესებში.	პროცესებში.	VERB
gs-2308	20	65	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-2308	20	66	მოდებულ	მოდებულ	PROPN
gs-2308	20	67	მაღალ	მაღალ	DET
gs-2308	20	68	მაქსიმალურ	მაქსიმალურ	PROPN
gs-2308	20	69	დატვირთვებზე	დატვირთვებზე	PROPN
gs-2308	20	70	საწყისი	საწყისი	PROPN
gs-2308	20	71	და	და	PROPN
gs-2308	20	72	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	20	73	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-2308	20	74	n	n	CCONJ
gs-2308	20	75	-	-	PUNCT
gs-2308	20	76	si–ის	si–ის	NOUN
gs-2308	20	77	ნიმუშის	ნიმუშის	ADJ
gs-2308	20	78	სტრუქტურის	სტრუქტურის	NOUN
gs-2308	20	79	რღვევა	რღვევა	PROPN
gs-2308	20	80	პრაქტიკულად	პრაქტიკულად	PROPN
gs-2308	20	81	ერთნაირ	ერთნაირ	PROPN
gs-2308	20	82	პირობებში	პირობებში	PROPN
gs-2308	20	83	მიმდინარეობს.	მიმდინარეობს.	PROPN
gs-2308	20	84	კერძოდ	კერძოდ	PROPN
gs-2308	20	85	ერთდროულად	ერთდროულად	NOUN
gs-2308	20	86	ინტენსიურად	ინტენსიურად	VERB
gs-2308	20	87	მიმდინარეობს	მიმდინარეობს	NOUN
gs-2308	20	88	რადიალური	რადიალური	PROPN
gs-2308	20	89	,	,	PUNCT
gs-2308	20	90	მედიანური	მედიანური	PROPN
gs-2308	20	91	და	და	PROPN
gs-2308	20	92	სხვადასხვა	სხვადასხვა	PROPN
gs-2308	20	93	მიმართულების	მიმართულების	PROPN
gs-2308	20	94	მოცულობითი	მოცულობითი	VERB
gs-2308	20	95	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	20	96	ფორმირება	ფორმირება	PROPN
gs-2308	20	97	და	და	PROPN
gs-2308	20	98	გაფართოება	გაფართოება	PROPN
gs-2308	20	99	ენერგეტიკულად	ენერგეტიკულად	PROPN
gs-2308	20	100	ხელსაყრელი	ხელსაყრელი	PROPN
gs-2308	20	101	კრისტალოგრაფიული	კრისტალოგრაფიული	NOUN
gs-2308	20	102	მიმართულებებით.	მიმართულებებით.	PROPN
gs-2308	20	103	ეს	ეს	PROPN
gs-2308	20	104	გარემოება	გარემოება	PROPN
gs-2308	20	105	გრაფიკებზე	გრაფიკებზე	PROPN
gs-2308	20	106	ასახულია	ასახულია	VERB
gs-2308	20	107	ბზარმედეგობის	ბზარმედეგობის	PROPN
gs-2308	20	108	დაახლოებით	დაახლოებით	PROPN
gs-2308	20	109	ერთნაირი	ერთნაირი	PROPN
gs-2308	21	1	კანონზომიერებით	კანონზომიერებით	PROPN
gs-2308	21	2	შემცირებაში	შემცირებაში	PROPN
gs-2308	21	3	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-2308	21	4	მოდებული	მოდებული	PROPN
gs-2308	21	5	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-2308	21	6	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-2308	21	7	დატვირთვების	დატვირთვების	PROPN
gs-2308	21	8	დიაპაზონში.	დიაპაზონში.	VERB
gs-2308	21	9	აღნიშნულ	აღნიშნულ	PROPN
gs-2308	21	10	პირობებში	პირობებში	PROPN
gs-2308	21	11	იზრდება	იზრდება	PROPN
gs-2308	21	12	ბზარმედეგობის	ბზარმედეგობის	PROPN
gs-2308	21	13	განსაზღვრის	განსაზღვრის	PROPN
gs-2308	21	14	ცდომილება	ცდომილება	PROPN
gs-2308	21	15	,	,	PUNCT
gs-2308	21	16	რაც	რაც	NOUN
gs-2308	21	17	დაკავშირებულია	დაკავშირებულია	ADJ
gs-2308	21	18	ინდენტირების	ინდენტირების	PROPN
gs-2308	21	19	ანაბეჭდებზე	ანაბეჭდებზე	PROPN
gs-2308	21	20	ფიქსირებული	ფიქსირებული	PROPN
gs-2308	21	21	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	21	22	ნაკვალევის	ნაკვალევის	PROPN
gs-2308	21	23	გავრცელების	გავრცელების	PROPN
gs-2308	21	24	წრფივი	წრფივი	PROPN
gs-2308	21	25	კანონზომიერებისაგან	კანონზომიერებისაგან	NOUN
gs-2308	21	26	გადახრით.	გადახრით.	PROPN
gs-2308	22	1	სხვადასხვა	სხვადასხვა	PROPN
gs-2308	22	2	ორიენტაციის	ორიენტაციის	PROPN
gs-2308	22	3	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-2308	22	4	ინტენსივობის	ინტენსივობის	ADP
gs-2308	22	5	ძაბვების	ძაბვების	PROPN
gs-2308	22	6	ურთიერთქმედება	ურთიერთქმედება	PROPN
gs-2308	22	7	განაპირობებს	განაპირობებს	PROPN
gs-2308	22	8	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	22	9	ნაკვალევის	ნაკვალევის	PROPN
gs-2308	22	10	გავრცელების	გავრცელების	PROPN
gs-2308	22	11	გადახრებს	გადახრებს	PROPN
gs-2308	22	12	წრფივი	წრფივი	PROPN
gs-2308	22	13	კანონზომიერებიდან.	კანონზომიერებიდან.	PROPN
gs-2308	23	1	si+2ატ%ge	si+2ატ%ge	PROPN
gs-2308	23	2	შენადნობის	შენადნობის	PROPN
gs-2308	23	3	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-2308	23	4	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-2308	23	5	ბზარმედეგობა	ბზარმედეგობა	PROPN
gs-2308	23	6	შედარებით	შედარებით	PROPN
gs-2308	23	7	სწრაფად	სწრაფად	VERB
gs-2308	23	8	მცირდება	მცირდება	ADJ
gs-2308	23	9	ინდენტირების	ინდენტირების	PROPN
gs-2308	23	10	დაბალ	დაბალ	PROPN
gs-2308	23	11	მაქსიმალურ	მაქსიმალურ	PROPN
gs-2308	23	12	დატვირთვებზე	დატვირთვებზე	PROPN
gs-2308	23	13	,	,	PUNCT
gs-2308	23	14	როდესაც	როდესაც	ADJ
gs-2308	23	15	ნარჩენი	ნარჩენი	PROPN
gs-2308	23	16	ანაბეჭდების	ანაბეჭდების	PROPN
gs-2308	23	17	კუთხეებთან	კუთხეებთან	PROPN
gs-2308	23	18	შეინიშნება	შეინიშნება	PROPN
gs-2308	23	19	მხოლოდ	მხოლოდ	NOUN
gs-2308	23	20	წრფივი	წრფივი	PROPN
gs-2308	23	21	რადიალური	რადიალური	PRON
gs-2308	23	22	ბზარები.	ბზარები.	VERB
gs-2308	23	23	მაღალ	მაღალ	DET
gs-2308	23	24	მაქსიმალურ	მაქსიმალურ	PROPN
gs-2308	23	25	დატვირთვებზე	დატვირთვებზე	PROPN
gs-2308	23	26	რადიალური	რადიალური	PROPN
gs-2308	23	27	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	23	28	სიგრძე	სიგრძე	ADJ
gs-2308	23	29	იზრდება	იზრდება	PROPN
gs-2308	23	30	,	,	PUNCT
gs-2308	23	31	ზოგჯერ	ზოგჯერ	NOUN
gs-2308	23	32	შეინიშნება	შეინიშნება	PROPN
gs-2308	23	33	მათი	მათი	PROPN
gs-2308	23	34	გავრცელების	გავრცელების	VERB
gs-2308	23	35	ძირითადი	ძირითადი	PROPN
gs-2308	23	36	მიმართულებიდან	მიმართულებიდან	PROPN
gs-2308	23	37	გადახრა	გადახრა	NOUN
gs-2308	23	38	,	,	PUNCT
gs-2308	23	39	აგრეთვე	აგრეთვე	NOUN
gs-2308	23	40	ბზარის	ბზარის	NOUN
gs-2308	23	41	ნაკვალევზე	ნაკვალევზე	NOUN
gs-2308	23	42	ღუნვებისა	ღუნვებისა	VERB
gs-2308	23	43	და	და	NOUN
gs-2308	23	44	საფეხურების	საფეხურების	NOUN
gs-2308	23	45	წარმოქმნა.	წარმოქმნა.	PROPN
gs-2308	23	46	მაღალ	მაღალ	DET
gs-2308	23	47	დატვირთვებზე	დატვირთვებზე	PROPN
gs-2308	23	48	ანაბეჭდების	ანაბეჭდების	PROPN
gs-2308	23	49	ზონაში	ზონაში	PROPN
gs-2308	23	50	იზრდება	იზრდება	PROPN
gs-2308	23	51	მცირე	მცირე	PROPN
gs-2308	23	52	ზომის	ზომის	VERB
gs-2308	23	53	ნამსხვრევების	ნამსხვრევების	PROPN
gs-2308	23	54	რაოდენობა.	რაოდენობა.	PROPN
gs-2308	23	55	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-2308	24	1	ენერგიის	ენერგიის	PROPN
gs-2308	24	2	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	24	3	დასხივებულ	დასხივებულ	PROPN
gs-2308	24	4	მდგომარეობაში	მდგომარეობაში	PROPN
gs-2308	24	5	ფიქსირებულია	ფიქსირებულია	VERB
gs-2308	24	6	აგრეთვე	აგრეთვე	PROPN
gs-2308	24	7	პლასტიკური	პლასტიკური	PROPN
gs-2308	24	8	და	და	PROPN
gs-2308	24	9	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	24	10	დეფორმაციების	დეფორმაციების	PROPN
gs-2308	24	11	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	24	12	ნაკვალევის	ნაკვალევის	PROPN
gs-2308	24	13	რთული	რთული	PROPN
gs-2308	24	14	რელიეფი.	რელიეფი.	PROPN
gs-2308	25	1	si–სა	si–სა	PROPN
gs-2308	25	2	და	და	PROPN
gs-2308	25	3	sige	sige	PROPN
gs-2308	25	4	შენადნობის	შენადნობის	NOUN
gs-2308	25	5	ბზარმედეგობათა	ბზარმედეგობათა	VERB
gs-2308	25	6	დაახლოებით	დაახლოებით	PROPN
gs-2308	25	7	ერთნაირი	ერთნაირი	ADJ
gs-2308	25	8	კანონზომიერების	კანონზომიერების	ADJ
gs-2308	25	9	ცვლილებები	ცვლილებები	NOUN
gs-2308	25	10	ასახავენ	ასახავენ	NOUN
gs-2308	25	11	გარეშე	გარეშე	NOUN
gs-2308	25	12	და	და	NOUN
gs-2308	25	13	შინაგანი	შინაგანი	VERB
gs-2308	25	14	ძაბვების	ძაბვების	ADJ
gs-2308	25	15	გავლენას	გავლენას	PROPN
gs-2308	25	16	მაღალ	მაღალ	PRON
gs-2308	25	17	დატვირთვებზე	დატვირთვებზე	VERB
gs-2308	25	18	ინდენტირებით	ინდენტირებით	PROPN
gs-2308	25	19	ინდუცირებულ	ინდუცირებულ	PROPN
gs-2308	25	20	რთულ	რთულ	PROPN
gs-2308	25	21	დეფორმაციულ	დეფორმაციულ	PROPN
gs-2308	25	22	პროცესებში.	პროცესებში.	VERB
gs-2308	25	23	საკვლევი	საკვლევი	PROPN
gs-2308	25	24	si	si	PROPN
gs-2308	25	25	და	და	PROPN
gs-2308	25	26	si+2ატ%ge	si+2ატ%ge	PROPN
gs-2308	25	27	ნიმუშების	ნიმუშების	VERB
gs-2308	25	28	მაღალ	მაღალ	DET
gs-2308	25	29	დატვირთვებზე	დატვირთვებზე	NOUN
gs-2308	25	30	ინდენტირების	ინდენტირების	PROPN
gs-2308	25	31	ანაბეჭდებზე	ანაბეჭდებზე	PROPN
gs-2308	25	32	ფიქსირებული	ფიქსირებული	PROPN
gs-2308	25	33	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	25	34	ზიგზაგისებური	ზიგზაგისებური	PROPN
gs-2308	25	35	ფორმა	ფორმა	PROPN
gs-2308	25	36	განპირობებულია	განპირობებულია	VERB
gs-2308	25	37	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-2308	25	38	ინტენსივობის	ინტენსივობის	PROPN
gs-2308	25	39	პლასტიკური	პლასტიკური	PROPN
gs-2308	25	40	და	და	PROPN
gs-2308	25	41	მყიფე	მყიფე	NOUN
gs-2308	25	42	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	25	43	დეფორმაციით	დეფორმაციით	PROPN
gs-2308	25	44	კრისტალის	კრისტალის	PROPN
gs-2308	25	45	მოცულობაში.	მოცულობაში.	PROPN
gs-2308	25	46	ძაბვების	ძაბვების	ADJ
gs-2308	25	47	სივრცული	სივრცული	PROPN
gs-2308	25	48	განაწილების	განაწილების	PROPN
gs-2308	25	49	სპეციფიკურ	სპეციფიკურ	VERB
gs-2308	25	50	შემთხვევებში	შემთხვევებში	PROPN
gs-2308	25	51	ბზარი	ბზარი	PROPN
gs-2308	25	52	გავრცელების	გავრცელების	VERB
gs-2308	25	53	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-2308	25	54	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-2308	25	55	გადაიხაროს	გადაიხაროს	PROPN
gs-2308	25	56	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-2308	25	57	გაჭიმვის	გაჭიმვის	PROPN
gs-2308	25	58	ძაბვების	ძაბვების	PROPN
gs-2308	25	59	სიბრტყიდან	სიბრტყიდან	PROPN
gs-2308	25	60	და	და	PROPN
gs-2308	25	61	გავრცელდეს	გავრცელდეს	PROPN
gs-2308	25	62	რღვევისადმი	რღვევისადმი	PROPN
gs-2308	26	1	დაბალი	დაბალი	PROPN
gs-2308	26	2	წინააღმდეგობის	წინააღმდეგობის	PROPN
gs-2308	26	3	სიბრტყეზე.	სიბრტყეზე.	PROPN
gs-2308	26	4	ცნობილია	ცნობილია	VERB
gs-2308	27	1	[	[	X
gs-2308	27	2	7	7	NUM
gs-2308	27	3	]	]	PUNCT
gs-2308	27	4	,	,	PUNCT
gs-2308	27	5	რომ	რომ	PROPN
gs-2308	27	6	ბზარი	ბზარი	PROPN
gs-2308	27	7	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-2308	27	8	georgian	georgian	ADJ
gs-2308	27	9	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-2308	27	10	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-2308	27	11	ტ.	ტ.	VERB
gs-2308	27	12	5	5	NUM
gs-2308	27	13	n	n	DET
gs-2308	27	14	4	4	NUM
gs-2308	27	15	,	,	PUNCT
gs-2308	27	16	2023	2023	NUM
gs-2308	27	17	174	174	NUM
gs-2308	27	18	გავრცელდეს	გავრცელდეს	PROPN
gs-2308	27	19	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-2308	27	20	კრისტალოგრაფიული	კრისტალოგრაფიული	PROPN
gs-2308	27	21	ინდექსებიან	ინდექსებიან	ADJ
gs-2308	27	22	სიბრტყეზე.	სიბრტყეზე.	PROPN
gs-2308	27	23	ამავე	ამავე	PROPN
gs-2308	27	24	ნაშრომის	ნაშრომის	PROPN
gs-2308	27	25	ავტორთა	ავტორთა	PROPN
gs-2308	27	26	მოსაზრებით	მოსაზრებით	PROPN
gs-2308	27	27	თუ	თუ	PROPN
gs-2308	27	28	ვიკერსის	ვიკერსის	NUM
gs-2308	27	29	ინდენტორის	ინდენტორის	PROPN
gs-2308	27	30	დიაგონალი	დიაგონალი	ADJ
gs-2308	27	31	მიმართული	მიმართული	PROPN
gs-2308	27	32	იქნება	იქნება	ADJ
gs-2308	27	33	(	(	PUNCT
gs-2308	27	34	001	001	NUM
gs-2308	27	35	)	)	PUNCT
gs-2308	27	36	ან	ან	ADP
gs-2308	27	37	(	(	PUNCT
gs-2308	27	38	110	110	NUM
gs-2308	27	39	)	)	PUNCT
gs-2308	27	40	ორიენტაციით	ორიენტაციით	ADJ
gs-2308	27	41	,	,	PUNCT
gs-2308	27	42	მაშინ	მაშინ	PROPN
gs-2308	27	43	ბზარი	ბზარი	NOUN
gs-2308	27	44	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-2308	27	45	გავრცელდეს	გავრცელდეს	PROPN
gs-2308	27	46	(	(	PUNCT
gs-2308	27	47	110	110	NUM
gs-2308	27	48	)	)	PUNCT
gs-2308	27	49	სიბრტყეზე	სიბრტყეზე	NOUN
gs-2308	27	50	და	და	PROPN
gs-2308	27	51	წარმოქმნას	წარმოქმნას	PROPN
gs-2308	27	52	a/3	a/3	PUNCT
gs-2308	27	53	<	<	X
gs-2308	27	54	111	111	NUM
gs-2308	27	55	>	>	PUNCT
gs-2308	27	56	დისლოკაციური	დისლოკაციური	CCONJ
gs-2308	27	57	მარყუჟები.	მარყუჟები.	ADJ
gs-2308	27	58	ექსპერიმენტულმა	ექსპერიმენტულმა	ADJ
gs-2308	27	59	გაზომვებმა	გაზომვებმა	NOUN
gs-2308	27	60	აჩვენეს	აჩვენეს	NOUN
gs-2308	27	61	~	~	PUNCT
gs-2308	27	62	1014სმ-2	1014სმ-2	NUM
gs-2308	27	63	ფლუენსის	ფლუენსის	ADJ
gs-2308	27	64	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	NOUN
gs-2308	27	65	ელექტრონების	ელექტრონების	ADJ
gs-2308	27	66	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-2308	27	67	n	n	CCONJ
gs-2308	27	68	-	-	PUNCT
gs-2308	27	69	si	si	NOUN
gs-2308	27	70	და	და	PROPN
gs-2308	27	71	si+2ატ%ge	si+2ატ%ge	PROPN
gs-2308	27	72	შენადნობის	შენადნობის	PROPN
gs-2308	27	73	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-2308	27	74	მოდულისა	მოდულისა	NOUN
gs-2308	27	75	და	და	NOUN
gs-2308	27	76	მიკროსისალის	მიკროსისალის	PROPN
gs-2308	27	77	სუსტი	სუსტი	PROPN
gs-2308	27	78	მატება	მატება	PROPN
gs-2308	27	79	ვიკერსის	ვიკერსის	PROPN
gs-2308	27	80	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-2308	27	81	მოდებული	მოდებული	PROPN
gs-2308	27	82	მაქსიმალური	მაქსიმალური	PROPN
gs-2308	27	83	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-2308	27	84	100	100	NUM
gs-2308	27	85	-	-	SYM
gs-2308	27	86	1250	1250	NUM
gs-2308	27	87	მნ	მნ	PROPN
gs-2308	27	88	დიაპაზონში.	დიაპაზონში.	VERB
gs-2308	27	89	საწყისი	საწყისი	NOUN
gs-2308	27	90	და	და	NOUN
gs-2308	27	91	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	27	92	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-2308	27	93	si+2ატ%ge	si+2ატ%ge	PROPN
gs-2308	27	94	შენადნობის	შენადნობის	PROPN
gs-2308	27	95	ინდენტირების	ინდენტირების	ADJ
gs-2308	27	96	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-2308	27	97	მოდულისა	მოდულისა	PROPN
gs-2308	27	98	და	და	PROPN
gs-2308	27	99	მიკროსისალის	მიკროსისალის	PROPN
gs-2308	27	100	შედარებითი	შედარებითი	PROPN
gs-2308	27	101	მეტად	მეტად	PROPN
gs-2308	27	102	ამაღლება	ამაღლება	NOUN
gs-2308	27	103	განპირობებულია	განპირობებულია	VERB
gs-2308	27	104	ინდენტირების	ინდენტირების	PROPN
gs-2308	27	105	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-2308	27	106	გაზრდილი	გაზრდილი	PROPN
gs-2308	27	107	რაოდენობით	რაოდენობით	PROPN
gs-2308	27	108	მეტალური	მეტალური	PROPN
gs-2308	27	109	si	si	PROPN
gs-2308	27	110	-	-	PROPN
gs-2308	27	111	ii	ii	PROPN
gs-2308	27	112	ფაზის	ფაზის	NOUN
gs-2308	27	113	ფორმირებით	ფორმირებით	NOUN
gs-2308	27	114	ინდენტორის	ინდენტორის	PROPN
gs-2308	27	115	წვეროსა	წვეროსა	PROPN
gs-2308	27	116	და	და	PROPN
gs-2308	27	117	მატრიცის	მატრიცის	PROPN
gs-2308	27	118	გამყოფ	გამყოფ	PROPN
gs-2308	27	119	საზღვარზე.	საზღვარზე.	PROPN
gs-2308	28	1	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-2308	29	1	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-2308	29	2	თვისებების	თვისებების	PROPN
gs-2308	29	3	მეტალური	მეტალური	PROPN
gs-2308	29	4	si	si	PROPN
gs-2308	29	5	-	-	PROPN
gs-2308	29	6	ii	ii	PROPN
gs-2308	29	7	ფაზის	ფაზის	NOUN
gs-2308	29	8	გავლენა	გავლენა	PROPN
gs-2308	29	9	შენადნობის	შენადნობის	NOUN
gs-2308	30	1	სტრუქტურულად–მგრძნობიარე	სტრუქტურულად–მგრძნობიარე	PROPN
gs-2308	30	2	ფიზიკურ–მექანიკურ	ფიზიკურ–მექანიკურ	PROPN
gs-2308	30	3	თვისებებზე	თვისებებზე	PROPN
gs-2308	30	4	მნიშვნელოვნად	მნიშვნელოვნად	X
gs-2308	30	5	მცირდება	მცირდება	PROPN
gs-2308	30	6	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-2308	30	7	მოდებული	მოდებული	PROPN
gs-2308	30	8	მაღალი	მაღალი	ADJ
gs-2308	30	9	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-2308	30	10	პირობებში	პირობებში	NOUN
gs-2308	30	11	,	,	PUNCT
gs-2308	30	12	როდესაც	როდესაც	ADJ
gs-2308	30	13	მიმდინარეობს	მიმდინარეობს	NOUN
gs-2308	30	14	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-2308	30	15	მოცულობაში	მოცულობაში	PROPN
gs-2308	30	16	ინტენსიური	ინტენსიური	PROPN
gs-2308	30	17	პლასტიკური	პლასტიკური	PROPN
gs-2308	30	18	და	და	PROPN
gs-2308	30	19	მყიფე	მყიფე	PROPN
gs-2308	30	20	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	31	1	პროცესები.	პროცესები.	PROPN
gs-2308	31	2	ნახ.2	ნახ.2	NUM
gs-2308	31	3	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-2308	32	1	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	32	2	დასხივებული	დასხივებული	PROPN
gs-2308	32	3	ნიმუშების	ნიმუშების	ADV
gs-2308	32	4	ბზარმედეგობის	ბზარმედეგობის	PROPN
gs-2308	32	5	დამოკიდებულება	დამოკიდებულება	PROPN
gs-2308	32	6	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-2308	32	7	მოდებულ	მოდებულ	PROPN
gs-2308	32	8	მაქსიმალურ	მაქსიმალურ	PROPN
gs-2308	32	9	დატვირთვაზე.	დატვირთვაზე.	PROPN
gs-2308	32	10	1	1	NUM
gs-2308	32	11	.	.	X
gs-2308	33	1	p	p	X
gs-2308	33	2	-	-	PUNCT
gs-2308	33	3	si	si	NOUN
gs-2308	33	4	,	,	PUNCT
gs-2308	33	5	(	(	PUNCT
gs-2308	33	6	111	111	NUM
gs-2308	33	7	)	)	PUNCT
gs-2308	33	8	2	2	NUM
gs-2308	33	9	.	.	NUM
gs-2308	33	10	n	n	CCONJ
gs-2308	33	11	-	-	PUNCT
gs-2308	33	12	si	si	NOUN
gs-2308	33	13	,	,	PUNCT
gs-2308	33	14	(	(	PUNCT
gs-2308	33	15	100	100	NUM
gs-2308	33	16	)	)	PUNCT
gs-2308	33	17	3	3	NUM
gs-2308	33	18	.	.	X
gs-2308	34	1	p	p	X
gs-2308	34	2	-	-	PUNCT
gs-2308	34	3	si+2ატ%ge	si+2ატ%ge	NOUN
gs-2308	34	4	,	,	PUNCT
gs-2308	34	5	(	(	PUNCT
gs-2308	34	6	111	111	NUM
gs-2308	34	7	)	)	PUNCT
gs-2308	34	8	ge–ით	ge–ით	PROPN
gs-2308	34	9	ლეგირებული	ლეგირებული	ADJ
gs-2308	35	1	si–ის	si–ის	NOUN
gs-2308	35	2	დრეკადობის	დრეკადობის	NOUN
gs-2308	35	3	მოდული	მოდული	ADJ
gs-2308	35	4	და	და	NOUN
gs-2308	35	5	მოკროსისალე	მოკროსისალე	ADJ
gs-2308	35	6	n	n	CCONJ
gs-2308	35	7	-	-	PUNCT
gs-2308	35	8	si–თან	si–თან	PROPN
gs-2308	35	9	შედარებით	შედარებით	PROPN
gs-2308	35	10	მაღალი	მაღალი	NOUN
gs-2308	35	11	სიდიდეებით	სიდიდეებით	PROPN
gs-2308	35	12	ხასიათდებიან	ხასიათდებიან	PROPN
gs-2308	35	13	,	,	PUNCT
gs-2308	35	14	რაც	რაც	NOUN
gs-2308	35	15	განპირობებულია	განპირობებულია	VERB
gs-2308	35	16	ინდენტირების	ინდენტირების	ADJ
gs-2308	35	17	პროცესებში	პროცესებში	PROPN
gs-2308	35	18	წარმოქმნილ	წარმოქმნილ	PROPN
gs-2308	35	19	ფაზათა	ფაზათა	PROPN
gs-2308	35	20	ნარევში	ნარევში	PROPN
gs-2308	35	21	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-2308	35	22	სიმტკიცის	სიმტკიცის	PROPN
gs-2308	35	23	β–კალის	β–კალის	PROPN
gs-2308	35	24	მოდიფიკაციის	მოდიფიკაციის	PROPN
gs-2308	35	25	sige	sige	PROPN
gs-2308	35	26	-	-	PUNCT
gs-2308	35	27	ii	ii	PROPN
gs-2308	35	28	ფაზის	ფაზის	NOUN
gs-2308	35	29	მასის	მასის	PROPN
gs-2308	35	30	ზრდით.	ზრდით.	PROPN
gs-2308	35	31	n	n	CCONJ
gs-2308	35	32	-	-	PUNCT
gs-2308	35	33	si-თან	si-თან	NOUN
gs-2308	35	34	შედარებით	შედარებით	PROPN
gs-2308	35	35	sige	sige	PROPN
gs-2308	35	36	შენადნობში	შენადნობში	PROPN
gs-2308	35	37	მცირდება	მცირდება	PROPN
gs-2308	35	38	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	35	39	წარმოქმნისადმი	წარმოქმნისადმი	PROPN
gs-2308	35	40	georgian	georgian	PROPN
gs-2308	35	41	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	PROPN
gs-2308	35	42	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-2308	35	43	ტ.	ტ.	VERB
gs-2308	35	44	5	5	NUM
gs-2308	35	45	n	n	PRON
gs-2308	35	46	4	4	NUM
gs-2308	35	47	,	,	PUNCT
gs-2308	35	48	2023	2023	NUM
gs-2308	35	49	175	175	NUM
gs-2308	35	50	მედეგობა.	მედეგობა.	ADJ
gs-2308	35	51	ასეთ	ასეთ	NOUN
gs-2308	35	52	მდგომარეობაში	მდგომარეობაში	PROPN
gs-2308	35	53	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-2308	35	54	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	35	55	დასხივება	დასხივება	ADJ
gs-2308	35	56	სუსტად	სუსტად	ADJ
gs-2308	35	57	ზრდის	ზრდის	ADJ
gs-2308	35	58	ბლანტი	ბლანტი	NOUN
gs-2308	35	59	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	35	60	კოეფიციენტისა	კოეფიციენტისა	PROPN
gs-2308	36	1	და	და	PROPN
gs-2308	36	2	რღვევის	რღვევის	PROPN
gs-2308	36	3	ეფექტური	ეფექტური	PROPN
gs-2308	37	1	ენერგიის	ენერგიის	PROPN
gs-2308	37	2	მნიშვნელობებს.	მნიშვნელობებს.	NOUN
gs-2308	38	1	p	p	NOUN
gs-2308	38	2	-	-	PUNCT
gs-2308	38	3	si–ის	si–ის	NOUN
gs-2308	38	4	(	(	PUNCT
gs-2308	38	5	111	111	NUM
gs-2308	38	6	)	)	PUNCT
gs-2308	38	7	სიბრტყეებზე	სიბრტყეებზე	NOUN
gs-2308	38	8	მაღალია	მაღალია	PROPN
gs-2308	38	9	დრეკადობის	დრეკადობის	PROPN
gs-2308	38	10	მოდულისა	მოდულისა	PROPN
gs-2308	38	11	და	და	PROPN
gs-2308	38	12	მიკროსისალის	მიკროსისალის	NOUN
gs-2308	38	13	სიდიდეები	სიდიდეები	PROPN
gs-2308	38	14	ინდენტორზე	ინდენტორზე	PROPN
gs-2308	38	15	მოდებული	მოდებული	PROPN
gs-2308	38	16	დატვირთვის	დატვირთვის	NOUN
gs-2308	38	17	100	100	NUM
gs-2308	38	18	-	-	SYM
gs-2308	38	19	1250	1250	NUM
gs-2308	38	20	მნ	მნ	PROPN
gs-2308	38	21	დიაპაზონში.	დიაპაზონში.	VERB
gs-2308	38	22	მაღალენერგეტიკული	მაღალენერგეტიკული	PROPN
gs-2308	39	1	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	39	2	დასხივება	დასხივება	ADJ
gs-2308	39	3	შესამჩნევად	შესამჩნევად	PROPN
gs-2308	39	4	ამაღლებს	ამაღლებს	PROPN
gs-2308	39	5	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-2308	39	6	თვისებების	თვისებების	PROPN
gs-2308	39	7	მახასიათებლებს.	მახასიათებლებს.	PROPN
gs-2308	39	8	იზრდება	იზრდება	PROPN
gs-2308	39	9	ასევე	ასევე	PROPN
gs-2308	39	10	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	39	11	წარმოქმნისადმი	წარმოქმნისადმი	PROPN
gs-2308	39	12	მედეგობა.	მედეგობა.	PROPN
gs-2308	39	13	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-2308	39	14	ელექტრონებით	ელექტრონებით	PROPN
gs-2308	39	15	დასხივების	დასხივების	PROPN
gs-2308	39	16	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-2308	39	17	რადიაციული	რადიაციული	PROPN
gs-2308	39	18	დეფექტები	დეფექტები	PROPN
gs-2308	39	19	მონაწილეობენ	მონაწილეობენ	NOUN
gs-2308	40	1	ინდენტორ–ნიმუშის	ინდენტორ–ნიმუშის	PROPN
gs-2308	40	2	გამყოფი	გამყოფი	NOUN
gs-2308	40	3	საზღვრის	საზღვრის	PROPN
gs-2308	40	4	ზონაში	ზონაში	PROPN
gs-2308	40	5	დრეკადი	დრეკადი	PROPN
gs-2308	40	6	ძაბვების	ძაბვების	ADJ
gs-2308	40	7	რელაქსაციაში	რელაქსაციაში	PROPN
gs-2308	40	8	დისლოკაციური	დისლოკაციური	PROPN
gs-2308	40	9	პლასტიკური	პლასტიკური	PROPN
gs-2308	40	10	დეფორმაციის	დეფორმაციის	PROPN
gs-2308	40	11	მექანიზმით.	მექანიზმით.	PROPN
gs-2308	40	12	ასეთ	ასეთ	PROPN
gs-2308	40	13	პირობებში	პირობებში	PROPN
gs-2308	40	14	ენერგეტიკულად	ენერგეტიკულად	NOUN
gs-2308	40	15	გაძნელებულია	გაძნელებულია	VERB
gs-2308	40	16	მყიფე	მყიფე	NOUN
gs-2308	40	17	მსხვრევის	მსხვრევის	PROPN
gs-2308	40	18	დეფორმაცია	დეფორმაცია	PROPN
gs-2308	40	19	და	და	PROPN
gs-2308	40	20	მეტი	მეტი	PROPN
gs-2308	40	21	ენერგია	ენერგია	PROPN
gs-2308	40	22	უნდა	უნდა	PROPN
gs-2308	40	23	დაიხარჯოს	დაიხარჯოს	PROPN
gs-2308	40	24	განსაზღვრული	განსაზღვრული	PROPN
gs-2308	40	25	ტიპის	ტიპის	PROPN
gs-2308	40	26	ბზარების	ბზარების	PROPN
gs-2308	40	27	ჩასახვისა	ჩასახვისა	PROPN
gs-2308	40	28	და	და	PROPN
gs-2308	40	29	გავრცელებისათვის	გავრცელებისათვის	PROPN
gs-2308	40	30	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-2308	40	31	ზედაპირზე	ზედაპირზე	PROPN
gs-2308	40	32	და	და	PROPN
gs-2308	40	33	მოცულობაში.	მოცულობაში.	PROPN
gs-2308	40	34	ლიტერატურა	ლიტერატურა	NOUN
gs-2308	40	35	1	1	NUM
gs-2308	40	36	.	.	PUNCT
gs-2308	40	37	d.b	d.b	PROPN
gs-2308	40	38	.	.	PROPN
gs-2308	40	39	marshall	marshall	PROPN
gs-2308	40	40	,	,	PUNCT
gs-2308	40	41	b.r	b.r	PROPN
gs-2308	40	42	.	.	PROPN
gs-2308	40	43	lawn	lawn	NOUN
gs-2308	40	44	and	and	CCONJ
gs-2308	40	45	a.g.evans	a.g.evan	NOUN
gs-2308	40	46	j.am.ceram	j.am.ceram	NOUN
gs-2308	40	47	soc	soc	NOUN
gs-2308	40	48	.	.	PUNCT
gs-2308	40	49	,	,	PUNCT
gs-2308	40	50	63,(1982	63,(1982	NUM
gs-2308	40	51	)	)	PUNCT
gs-2308	40	52	,	,	PUNCT
gs-2308	40	53	561	561	NUM
gs-2308	40	54	-	-	SYM
gs-2308	40	55	566	566	NUM
gs-2308	40	56	2	2	NUM
gs-2308	40	57	.	.	X
gs-2308	40	58	r.f	r.f	PROPN
gs-2308	40	59	,	,	PUNCT
gs-2308	40	60	cook	cook	NOUN
gs-2308	40	61	and	and	CCONJ
gs-2308	40	62	g.m	g.m	PROPN
gs-2308	40	63	.	.	PROPN
gs-2308	40	64	pharr	pharr	PROPN
gs-2308	40	65	.	.	PUNCT
gs-2308	41	1	j.am.ceram	j.am.ceram	PROPN
gs-2308	41	2	.	.	PUNCT
gs-2308	41	3	soc	soc	PROPN
gs-2308	41	4	.	.	PUNCT
gs-2308	41	5	,	,	PUNCT
gs-2308	41	6	73	73	NUM
gs-2308	41	7	,	,	PUNCT
gs-2308	41	8	(	(	PUNCT
gs-2308	41	9	1990	1990	NUM
gs-2308	41	10	)	)	PUNCT
gs-2308	41	11	,	,	PUNCT
gs-2308	41	12	787	787	NUM
gs-2308	41	13	-	-	SYM
gs-2308	41	14	817	817	NUM
gs-2308	41	15	3	3	NUM
gs-2308	41	16	.	.	PUNCT
gs-2308	41	17	w.c	w.c	PROPN
gs-2308	41	18	.	.	PROPN
gs-2308	41	19	oliver	oliver	PROPN
gs-2308	41	20	and	and	CCONJ
gs-2308	41	21	g.m	g.m	PROPN
gs-2308	41	22	.	.	PROPN
gs-2308	41	23	pharr	pharr	PROPN
gs-2308	41	24	,	,	PUNCT
gs-2308	41	25	j.mater	j.mater	NOUN
gs-2308	41	26	.	.	PUNCT
gs-2308	42	1	res	re	NOUN
gs-2308	42	2	,	,	PUNCT
gs-2308	42	3	7	7	NUM
gs-2308	42	4	(	(	PUNCT
gs-2308	42	5	1192	1192	NUM
gs-2308	42	6	)	)	PUNCT
gs-2308	42	7	,	,	PUNCT
gs-2308	42	8	1567	1567	NUM
gs-2308	42	9	.	.	PUNCT
gs-2308	43	1	4	4	X
gs-2308	43	2	.	.	X
gs-2308	43	3	b.r	b.r	PROPN
gs-2308	43	4	.	.	PROPN
gs-2308	43	5	lawn	lawn	PROPN
gs-2308	43	6	,	,	PUNCT
gs-2308	43	7	a.g	a.g	PROPN
gs-2308	43	8	.	.	PROPN
gs-2308	43	9	evans	evans	PROPN
gs-2308	43	10	and	and	CCONJ
gs-2308	43	11	d.b	d.b	PROPN
gs-2308	43	12	.	.	PROPN
gs-2308	43	13	marshall	marshall	PROPN
gs-2308	43	14	.	.	PUNCT
gs-2308	44	1	j.	j.	PROPN
gs-2308	44	2	am	am	PROPN
gs-2308	44	3	.	.	PUNCT
gs-2308	45	1	ceram	ceram	PROPN
gs-2308	45	2	soc	soc	PROPN
gs-2308	45	3	.	.	PUNCT
gs-2308	45	4	,	,	PUNCT
gs-2308	45	5	63	63	NUM
gs-2308	45	6	,	,	PUNCT
gs-2308	45	7	(	(	PUNCT
gs-2308	45	8	1982	1982	NUM
gs-2308	45	9	)	)	PUNCT
gs-2308	45	10	,	,	PUNCT
gs-2308	45	11	1769	1769	NUM
gs-2308	45	12	5	5	NUM
gs-2308	45	13	.	.	X
gs-2308	45	14	j.s	j.s	PROPN
gs-2308	45	15	.	.	PROPN
gs-2308	45	16	field	field	PROPN
gs-2308	45	17	,	,	PUNCT
gs-2308	45	18	m.v	m.v	PROPN
gs-2308	45	19	.	.	PROPN
gs-2308	45	20	swain	swain	PROPN
gs-2308	45	21	,	,	PUNCT
gs-2308	45	22	r.d	r.d	PROPN
gs-2308	45	23	.	.	PROPN
gs-2308	45	24	dukino	dukino	PROPN
gs-2308	45	25	.	.	PUNCT
gs-2308	46	1	j.	j.	PROPN
gs-2308	46	2	mater	mater	PROPN
gs-2308	46	3	.	.	PUNCT
gs-2308	47	1	res	re	NOUN
gs-2308	47	2	.	.	PROPN
gs-2308	47	3	,	,	PUNCT
gs-2308	47	4	vol.18	vol.18	PROPN
gs-2308	47	5	,	,	PUNCT
gs-2308	47	6	n6	n6	PROPN
gs-2308	47	7	(	(	PUNCT
gs-2308	47	8	2003	2003	NUM
gs-2308	47	9	)	)	PUNCT
gs-2308	47	10	,	,	PUNCT
gs-2308	47	11	1412	1412	NUM
gs-2308	47	12	-	-	SYM
gs-2308	47	13	1419	1419	NUM
gs-2308	47	14	.	.	PUNCT
gs-2308	48	1	6	6	NUM
gs-2308	48	2	.	.	X
gs-2308	48	3	gr	gr	NUM
gs-2308	48	4	.	.	PUNCT
gs-2308	48	5	anstis	anstis	PROPN
gs-2308	48	6	,	,	PUNCT
gs-2308	48	7	p.	p.	NOUN
gs-2308	48	8	chantikul	chantikul	PROPN
gs-2308	48	9	,	,	PUNCT
gs-2308	48	10	lawn	lawn	PROPN
gs-2308	48	11	b.r	b.r	PROPN
gs-2308	48	12	,	,	PUNCT
gs-2308	48	13	et	et	PROPN
gs-2308	48	14	al	al	PROPN
gs-2308	48	15	.	.	PUNCT
gs-2308	49	1	j.	j.	PROPN
gs-2308	49	2	am	am	PROPN
gs-2308	49	3	.	.	PUNCT
gs-2308	50	1	ceram	ceram	PROPN
gs-2308	50	2	.	.	PUNCT
gs-2308	51	1	soc	soc	PROPN
gs-2308	51	2	.	.	PUNCT
gs-2308	51	3	,	,	PUNCT
gs-2308	51	4	(	(	PUNCT
gs-2308	51	5	1981	1981	NUM
gs-2308	51	6	)	)	PUNCT
gs-2308	51	7	,	,	PUNCT
gs-2308	51	8	533	533	NUM
gs-2308	51	9	-	-	SYM
gs-2308	51	10	538	538	NUM
gs-2308	51	11	.	.	PUNCT
gs-2308	52	1	7	7	X
gs-2308	52	2	.	.	PUNCT
gs-2308	52	3	f.	f.	PROPN
gs-2308	52	4	ebrahimi	ebrahimi	PROPN
gs-2308	52	5	,	,	PUNCT
gs-2308	52	6	l.	l.	PROPN
gs-2308	52	7	kalwani	kalwani	PROPN
gs-2308	52	8	,	,	PUNCT
gs-2308	52	9	j.	j.	PROPN
gs-2308	52	10	materials	materials	PROPN
gs-2308	52	11	science	science	NOUN
gs-2308	52	12	and	and	CCONJ
gs-2308	52	13	engineering	engineering	NOUN
gs-2308	52	14	,	,	PUNCT
gs-2308	52	15	a268	a268	PROPN
gs-2308	52	16	,	,	PUNCT
gs-2308	52	17	(	(	PUNCT
gs-2308	52	18	1999	1999	NUM
gs-2308	52	19	)	)	PUNCT
gs-2308	52	20	,	,	PUNCT
gs-2308	52	21	116	116	NUM
gs-2308	52	22	-	-	SYM
gs-2308	52	23	126	126	NUM
gs-2308	52	24	.	.	PUNCT
gs-2308	53	1	georgian	georgian	ADJ
gs-2308	53	2	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	PROPN
gs-2308	53	3	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-2308	53	4	ტ.	ტ.	VERB
gs-2308	53	5	5	5	NUM
gs-2308	53	6	n	n	PRON
gs-2308	53	7	4	4	NUM
gs-2308	53	8	,	,	PUNCT
gs-2308	53	9	2023	2023	NUM
gs-2308	53	10	176	176	NUM
gs-2308	53	11	effect	effect	NOUN
gs-2308	53	12	of	of	ADP
gs-2308	53	13	highenergetic	highenergetic	ADJ
gs-2308	53	14	electrons	electron	NOUN
gs-2308	53	15	irradiation	irradiation	NOUN
gs-2308	53	16	on	on	ADP
gs-2308	53	17	the	the	DET
gs-2308	53	18	fracture	fracture	ADJ
gs-2308	53	19	toughness	toughness	NOUN
gs-2308	53	20	characteristics	characteristic	NOUN
gs-2308	53	21	of	of	ADP
gs-2308	53	22	si	si	NOUN
gs-2308	53	23	and	and	CCONJ
gs-2308	53	24	si+2at.%ge	si+2at.%ge	PROPN
gs-2308	53	25	wafers	wafer	NOUN
gs-2308	53	26	giorgi	giorgi	PROPN
gs-2308	53	27	darsavelidze	darsavelidze	PROPN
gs-2308	53	28	,	,	PUNCT
gs-2308	53	29	kakhaber	kakhaber	PROPN
gs-2308	53	30	shamatava	shamatava	NOUN
gs-2308	53	31	,	,	PUNCT
gs-2308	53	32	avtandil	avtandil	PROPN
gs-2308	53	33	sichinava	sichinava	PROPN
gs-2308	53	34	,	,	PUNCT
gs-2308	53	35	ia	ia	PROPN
gs-2308	53	36	kurashvili	kurashvili	PROPN
gs-2308	53	37	,	,	PUNCT
gs-2308	53	38	marina	marina	PROPN
gs-2308	53	39	kadaria	kadaria	PROPN
gs-2308	53	40	1ilia	1ilia	NUM
gs-2308	53	41	vekua	vekua	NOUN
gs-2308	53	42	sukhumi	sukhumi	PROPN
gs-2308	53	43	institute	institute	PROPN
gs-2308	53	44	of	of	ADP
gs-2308	53	45	physics	physics	PROPN
gs-2308	53	46	and	and	CCONJ
gs-2308	53	47	technology	technology	NOUN
gs-2308	53	48	,	,	PUNCT
gs-2308	53	49	2sokhumi	2sokhumi	NUM
gs-2308	53	50	state	state	NOUN
gs-2308	53	51	university	university	NOUN
gs-2308	53	52	abstract	abstract	ADJ
gs-2308	53	53	crack	crack	VERB
gs-2308	53	54	resistance	resistance	NOUN
gs-2308	53	55	of	of	ADP
gs-2308	53	56	silicon	silicon	NOUN
gs-2308	53	57	based	base	VERB
gs-2308	53	58	materials	material	NOUN
gs-2308	53	59	wafers	wafer	NOUN
gs-2308	53	60	have	have	VERB
gs-2308	53	61	a	a	DET
gs-2308	53	62	vital	vital	ADJ
gs-2308	53	63	meaning	meaning	NOUN
gs-2308	53	64	in	in	ADP
gs-2308	53	65	development	development	NOUN
gs-2308	53	66	of	of	ADP
gs-2308	53	67	microelectromechanical	microelectromechanical	ADJ
gs-2308	53	68	systems	system	NOUN
gs-2308	53	69	technology	technology	NOUN
gs-2308	53	70	.	.	PUNCT
gs-2308	54	1	nevertheless	nevertheless	ADV
gs-2308	54	2	,	,	PUNCT
gs-2308	54	3	there	there	PRON
gs-2308	54	4	is	be	VERB
gs-2308	54	5	currently	currently	ADV
gs-2308	54	6	little	little	ADJ
gs-2308	54	7	information	information	NOUN
gs-2308	54	8	about	about	ADP
gs-2308	54	9	the	the	DET
gs-2308	54	10	mechanisms	mechanism	NOUN
gs-2308	54	11	of	of	ADP
gs-2308	54	12	crack	crack	NOUN
gs-2308	54	13	formation	formation	NOUN
gs-2308	54	14	,	,	PUNCT
gs-2308	54	15	propagation	propagation	NOUN
gs-2308	54	16	and	and	CCONJ
gs-2308	54	17	rupture	rupture	NOUN
gs-2308	54	18	deformation	deformation	NOUN
gs-2308	54	19	in	in	ADP
gs-2308	54	20	the	the	DET
gs-2308	54	21	processes	process	NOUN
gs-2308	54	22	of	of	ADP
gs-2308	54	23	indentation	indentation	NOUN
gs-2308	54	24	of	of	ADP
gs-2308	54	25	semiconductor	semiconductor	NOUN
gs-2308	54	26	materials	material	NOUN
gs-2308	54	27	.	.	PUNCT
gs-2308	55	1	present	present	ADJ
gs-2308	55	2	paper	paper	NOUN
gs-2308	55	3	deals	deal	NOUN
gs-2308	55	4	with	with	ADP
gs-2308	55	5	the	the	DET
gs-2308	55	6	investigation	investigation	NOUN
gs-2308	55	7	of	of	ADP
gs-2308	55	8	elastic	elastic	ADJ
gs-2308	55	9	modulus	modulus	NOUN
gs-2308	55	10	,	,	PUNCT
gs-2308	55	11	microhardness	microhardness	ADJ
gs-2308	55	12	and	and	CCONJ
gs-2308	55	13	crack	crack	NOUN
gs-2308	55	14	-	-	PUNCT
gs-2308	55	15	formation	formation	NOUN
gs-2308	55	16	characteristics	characteristic	NOUN
gs-2308	55	17	of	of	ADP
gs-2308	55	18	the	the	DET
gs-2308	55	19	monocrystalline	monocrystalline	NOUN
gs-2308	55	20	n	n	CCONJ
gs-2308	55	21	-	-	PUNCT
gs-2308	55	22	si	si	X
gs-2308	55	23	(	(	PUNCT
gs-2308	55	24	100	100	NUM
gs-2308	55	25	)	)	PUNCT
gs-2308	55	26	,	,	PUNCT
gs-2308	55	27	p	p	NOUN
gs-2308	55	28	-	-	PUNCT
gs-2308	55	29	si	si	X
gs-2308	55	30	(	(	PUNCT
gs-2308	55	31	111	111	NUM
gs-2308	55	32	)	)	PUNCT
gs-2308	55	33	and	and	CCONJ
gs-2308	55	34	p	p	X
gs-2308	55	35	-	-	PUNCT
gs-2308	55	36	si+2at.%ge	si+2at.%ge	NOUN
gs-2308	55	37	wafers	wafer	NOUN
gs-2308	55	38	in	in	ADP
gs-2308	55	39	the	the	DET
gs-2308	55	40	initial	initial	ADJ
gs-2308	55	41	and	and	CCONJ
gs-2308	55	42	12	12	NUM
gs-2308	55	43	mev	mev	PROPN
gs-2308	55	44	energy	energy	NOUN
gs-2308	55	45	electrons	electron	NOUN
gs-2308	55	46	irradiated	irradiate	VERB
gs-2308	55	47	states	state	NOUN
gs-2308	55	48	,	,	PUNCT
gs-2308	55	49	over	over	ADP
gs-2308	55	50	a	a	DET
gs-2308	55	51	wide	wide	ADJ
gs-2308	55	52	range	range	NOUN
gs-2308	55	53	of	of	ADP
gs-2308	55	54	maximum	maximum	ADJ
gs-2308	55	55	applied	applied	ADJ
gs-2308	55	56	load	load	NOUN
gs-2308	55	57	on	on	ADP
gs-2308	55	58	the	the	DET
gs-2308	55	59	vickers	vicker	NOUN
gs-2308	55	60	indenter	indenter	PROPN
gs-2308	55	61	.	.	PUNCT
gs-2308	56	1	measurements	measurement	NOUN
gs-2308	56	2	were	be	AUX
gs-2308	56	3	performed	perform	VERB
gs-2308	56	4	by	by	ADP
gs-2308	56	5	the	the	DET
gs-2308	56	6	vickers	vicker	NOUN
gs-2308	56	7	method	method	NOUN
gs-2308	56	8	on	on	ADP
gs-2308	56	9	shimadzu	shimadzu	ADJ
gs-2308	56	10	duh-211s	duh-211s	NOUN
gs-2308	56	11	system	system	NOUN
gs-2308	56	12	ultramicrotester	ultramicrotester	NOUN
gs-2308	56	13	at	at	ADP
gs-2308	56	14	room	room	NOUN
gs-2308	56	15	temperature	temperature	NOUN
gs-2308	56	16	.	.	PUNCT
gs-2308	57	1	it	it	PRON
gs-2308	57	2	is	be	AUX
gs-2308	57	3	shown	show	VERB
gs-2308	57	4	that	that	SCONJ
gs-2308	57	5	in	in	ADP
gs-2308	57	6	the	the	DET
gs-2308	57	7	initial	initial	ADJ
gs-2308	57	8	state	state	NOUN
gs-2308	57	9	(	(	PUNCT
gs-2308	57	10	111	111	NUM
gs-2308	57	11	)	)	PUNCT
gs-2308	57	12	orientation	orientation	NOUN
gs-2308	57	13	p	p	NOUN
gs-2308	57	14	-	-	PUNCT
gs-2308	57	15	si	si	NOUN
gs-2308	57	16	substrates	substrate	NOUN
gs-2308	57	17	are	be	AUX
gs-2308	57	18	characterized	characterize	VERB
gs-2308	57	19	by	by	ADP
gs-2308	57	20	relatively	relatively	ADV
gs-2308	57	21	high	high	ADJ
gs-2308	57	22	elastic	elastic	ADJ
gs-2308	57	23	modulus	modulus	NOUN
gs-2308	57	24	and	and	CCONJ
gs-2308	57	25	microhardness	microhardness	ADJ
gs-2308	57	26	.	.	PUNCT
gs-2308	58	1	irradiation	irradiation	NOUN
gs-2308	58	2	with	with	ADP
gs-2308	58	3	high	high	ADJ
gs-2308	58	4	-	-	PUNCT
gs-2308	58	5	energy	energy	NOUN
gs-2308	58	6	electrons	electron	NOUN
gs-2308	58	7	leads	lead	VERB
gs-2308	58	8	to	to	ADP
gs-2308	58	9	an	an	DET
gs-2308	58	10	farther	farth	ADJ
gs-2308	58	11	increase	increase	NOUN
gs-2308	58	12	in	in	ADP
gs-2308	58	13	the	the	DET
gs-2308	58	14	mechanical	mechanical	ADJ
gs-2308	58	15	characteristics	characteristic	NOUN
gs-2308	58	16	of	of	ADP
gs-2308	58	17	all	all	DET
gs-2308	58	18	three	three	NUM
gs-2308	58	19	samples	sample	NOUN
gs-2308	58	20	,	,	PUNCT
gs-2308	58	21	which	which	PRON
gs-2308	58	22	is	be	AUX
gs-2308	58	23	more	more	ADV
gs-2308	58	24	expressed	express	VERB
gs-2308	58	25	in	in	ADP
gs-2308	58	26	p	p	NOUN
gs-2308	58	27	-	-	PUNCT
gs-2308	58	28	type	type	NOUN
gs-2308	58	29	monocrystalline	monocrystalline	ADJ
gs-2308	58	30	silicon	silicon	NOUN
gs-2308	58	31	.	.	PUNCT
gs-2308	59	1	based	base	VERB
gs-2308	59	2	on	on	ADP
gs-2308	59	3	the	the	DET
gs-2308	59	4	evaluation	evaluation	NOUN
gs-2308	59	5	of	of	ADP
gs-2308	59	6	the	the	DET
gs-2308	59	7	length	length	NOUN
gs-2308	59	8	of	of	ADP
gs-2308	59	9	the	the	DET
gs-2308	59	10	cracks	crack	NOUN
gs-2308	59	11	propagated	propagate	VERB
gs-2308	59	12	along	along	ADP
gs-2308	59	13	the	the	DET
gs-2308	59	14	diagonals	diagonal	NOUN
gs-2308	59	15	of	of	ADP
gs-2308	59	16	the	the	DET
gs-2308	59	17	residual	residual	ADJ
gs-2308	59	18	impressions	impression	NOUN
gs-2308	59	19	,	,	PUNCT
gs-2308	59	20	the	the	DET
gs-2308	59	21	critical	critical	ADJ
gs-2308	59	22	stress	stress	NOUN
gs-2308	59	23	intensity	intensity	NOUN
gs-2308	59	24	factor	factor	NOUN
gs-2308	59	25	for	for	ADP
gs-2308	59	26	the	the	DET
gs-2308	59	27	cracks	crack	NOUN
gs-2308	59	28	formation	formation	NOUN
gs-2308	59	29	on	on	ADP
gs-2308	59	30	the	the	DET
gs-2308	59	31	sample	sample	NOUN
gs-2308	59	32	surface	surface	NOUN
gs-2308	59	33	and	and	CCONJ
gs-2308	59	34	the	the	DET
gs-2308	59	35	effective	effective	ADJ
gs-2308	59	36	rupture	rupture	NOUN
gs-2308	59	37	energy	energy	NOUN
gs-2308	59	38	are	be	AUX
gs-2308	59	39	estimated	estimate	VERB
gs-2308	59	40	.	.	PUNCT
gs-2308	60	1	p	p	X
gs-2308	60	2	-	-	PUNCT
gs-2308	60	3	si	si	NOUN
gs-2308	60	4	substrates	substrate	NOUN
gs-2308	60	5	on	on	ADP
gs-2308	60	6	the	the	DET
gs-2308	60	7	(	(	PUNCT
gs-2308	60	8	111	111	NUM
gs-2308	60	9	)	)	PUNCT
gs-2308	60	10	planes	plane	NOUN
gs-2308	60	11	are	be	AUX
gs-2308	60	12	characterized	characterize	VERB
gs-2308	60	13	by	by	ADP
gs-2308	60	14	high	high	ADJ
gs-2308	60	15	resistance	resistance	NOUN
gs-2308	60	16	to	to	ADP
gs-2308	60	17	fracture	fracture	ADJ
gs-2308	60	18	toughness	toughness	NOUN
gs-2308	60	19	.	.	PUNCT
gs-2308	61	1	electron	electron	NOUN
gs-2308	61	2	irradiation	irradiation	NOUN
gs-2308	61	3	improves	improve	VERB
gs-2308	61	4	the	the	DET
gs-2308	61	5	fracture	fracture	ADJ
gs-2308	61	6	toughness	toughness	NOUN
gs-2308	61	7	characteristics	characteristic	NOUN
gs-2308	61	8	of	of	ADP
gs-2308	61	9	p	p	NOUN
gs-2308	61	10	-	-	PUNCT
gs-2308	61	11	si	si	NOUN
gs-2308	61	12	wafers	wafer	NOUN
gs-2308	61	13	.	.	PUNCT
gs-2308	62	1	crack	crack	VERB
gs-2308	62	2	resistance	resistance	NOUN
gs-2308	62	3	of	of	ADP
gs-2308	62	4	the	the	DET
gs-2308	62	5	psi+2at.%ge	psi+2at.%ge	NOUN
gs-2308	62	6	wafers	wafer	NOUN
gs-2308	62	7	is	be	AUX
gs-2308	62	8	characterized	characterize	VERB
gs-2308	62	9	by	by	ADP
gs-2308	62	10	a	a	DET
gs-2308	62	11	slight	slight	ADJ
gs-2308	62	12	increase	increase	NOUN
gs-2308	62	13	in	in	ADP
gs-2308	62	14	the	the	DET
gs-2308	62	15	electron	electron	NOUN
gs-2308	62	16	-	-	PUNCT
gs-2308	62	17	irradiated	irradiate	VERB
gs-2308	62	18	state	state	NOUN
gs-2308	62	19	.	.	PUNCT
gs-2308	63	1	in	in	ADP
gs-2308	63	2	indentation	indentation	NOUN
gs-2308	63	3	processes	process	NOUN
gs-2308	63	4	,	,	PUNCT
gs-2308	63	5	the	the	DET
gs-2308	63	6	mechanical	mechanical	ADJ
gs-2308	63	7	properties	property	NOUN
gs-2308	63	8	of	of	ADP
gs-2308	63	9	the	the	DET
gs-2308	63	10	p	p	PROPN
gs-2308	63	11	-	-	PUNCT
gs-2308	63	12	si+2at%ge	si+2at%ge	NOUN
gs-2308	63	13	wafers	wafer	NOUN
gs-2308	63	14	,	,	PUNCT
gs-2308	63	15	including	include	VERB
gs-2308	63	16	the	the	DET
gs-2308	63	17	fracture	fracture	ADJ
gs-2308	63	18	toughness	toughness	NOUN
gs-2308	63	19	characteristics	characteristic	NOUN
gs-2308	63	20	,	,	PUNCT
gs-2308	63	21	are	be	AUX
gs-2308	63	22	determined	determine	VERB
gs-2308	63	23	by	by	ADP
gs-2308	63	24	two	two	NUM
gs-2308	63	25	opposing	opposing	ADJ
gs-2308	63	26	factors	factor	NOUN
gs-2308	63	27	:	:	PUNCT
gs-2308	63	28	softening	soften	VERB
gs-2308	63	29	associated	associate	VERB
gs-2308	63	30	with	with	ADP
gs-2308	63	31	germanium	germanium	NOUN
gs-2308	63	32	atoms	atom	NOUN
gs-2308	63	33	with	with	ADP
gs-2308	63	34	large	large	ADJ
gs-2308	63	35	atomic	atomic	ADJ
gs-2308	63	36	radius	radius	NOUN
gs-2308	63	37	and	and	CCONJ
gs-2308	63	38	hardening	hardening	NOUN
gs-2308	63	39	associated	associate	VERB
gs-2308	63	40	with	with	ADP
gs-2308	63	41	the	the	DET
gs-2308	63	42	formation	formation	NOUN
gs-2308	63	43	of	of	ADP
gs-2308	63	44	more	more	ADJ
gs-2308	63	45	high	high	ADJ
gs-2308	63	46	-	-	PUNCT
gs-2308	63	47	strength	strength	NOUN
gs-2308	63	48	beta	beta	NOUN
gs-2308	63	49	-	-	PUNCT
gs-2308	63	50	tinmodification	tinmodification	NOUN
gs-2308	63	51	sige	sige	ADJ
gs-2308	63	52	-	-	PUNCT
gs-2308	63	53	ii	ii	NOUN
gs-2308	63	54	phase	phase	NOUN
gs-2308	63	55	during	during	ADP
gs-2308	63	56	the	the	DET
gs-2308	63	57	indentation	indentation	NOUN
gs-2308	63	58	-	-	PUNCT
gs-2308	63	59	stimulated	stimulate	VERB
gs-2308	63	60	phase	phase	NOUN
gs-2308	63	61	transformation	transformation	NOUN
gs-2308	63	62	process	process	NOUN
gs-2308	63	63	.	.	PUNCT
gs-2308	64	1	keywords	keyword	NOUN
gs-2308	64	2	:	:	PUNCT
gs-2308	64	3	monocrystalline	monocrystalline	ADJ
gs-2308	64	4	si	si	PROPN
gs-2308	64	5	,	,	PUNCT
gs-2308	64	6	sige	sige	ADJ
gs-2308	64	7	alloys	alloy	NOUN
gs-2308	64	8	,	,	PUNCT
gs-2308	64	9	indentation	indentation	NOUN
gs-2308	64	10	,	,	PUNCT
gs-2308	64	11	microhardness	microhardness	ADJ
gs-2308	64	12	,	,	PUNCT
gs-2308	64	13	elastic	elastic	ADJ
gs-2308	64	14	limit	limit	NOUN
gs-2308	64	15	,	,	PUNCT
gs-2308	64	16	electron	electron	NOUN
gs-2308	64	17	irradiation	irradiation	NOUN