id	sid	tid	token	lemma	pos
gs-736	1	1	georgian	georgian	ADJ
gs-736	1	2	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-736	1	3	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-736	1	4	ტ.	ტ.	VERB
gs-736	1	5	4	4	NUM
gs-736	1	6	n	n	PRON
gs-736	1	7	1	1	NUM
gs-736	1	8	,	,	PUNCT
gs-736	1	9	2022	2022	NUM
gs-736	1	10	65	65	NUM
gs-736	1	11	georgian	georgian	PROPN
gs-736	1	12	scientists	scientist	NOUN
gs-736	1	13	ქართველი	ქართველი	ADJ
gs-736	1	14	მეცნიერები	მეცნიერები	PROPN
gs-736	1	15	vol	vol	NOUN
gs-736	1	16	.	.	NOUN
gs-736	1	17	4	4	NUM
gs-736	1	18	issue	issue	NOUN
gs-736	1	19	1	1	NUM
gs-736	1	20	,	,	PUNCT
gs-736	1	21	2022	2022	NUM
gs-736	1	22	https://doi.org/10.52340/gs.2022.04.01.07	https://doi.org/10.52340/gs.2022.04.01.07	NOUN
gs-736	1	23	მექანიკური	მექანიკური	ADV
gs-736	1	24	პოლირების	პოლირების	VERB
gs-736	1	25	გავლენა	გავლენა	ADJ
gs-736	1	26	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-736	1	27	p	p	NOUN
gs-736	1	28	-	-	PUNCT
gs-736	1	29	sige	sige	ADJ
gs-736	1	30	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	NOUN
gs-736	1	31	ფიზიკურ-მექანიკური	ფიზიკურ-მექანიკური	NOUN
gs-736	1	32	თვისებებზე	თვისებებზე	PROPN
gs-736	1	33	ია	ია	PROPN
gs-736	1	34	ყურაშვილი1	ყურაშვილი1	NOUN
gs-736	1	35	,	,	PUNCT
gs-736	1	36	ტატიანა	ტატიანა	PROPN
gs-736	1	37	მელაშვილი	მელაშვილი	PROPN
gs-736	1	38	,	,	PUNCT
gs-736	1	39	ნარგიზა	ნარგიზა	ADJ
gs-736	1	40	გოგოლაშვილი	გოგოლაშვილი	NOUN
gs-736	1	41	,	,	PUNCT
gs-736	1	42	გიორგი	გიორგი	VERB
gs-736	1	43	ჩუბინიძე	ჩუბინიძე	ADV
gs-736	1	44	,	,	PUNCT
gs-736	1	45	მარინა	მარინა	NOUN
gs-736	1	46	ქადარია	ქადარია	NOUN
gs-736	1	47	,	,	PUNCT
gs-736	1	48	დავით	დავით	PROPN
gs-736	1	49	მხეიძე	მხეიძე	ADV
gs-736	1	50	,	,	PUNCT
gs-736	1	51	გიორგი	გიორგი	ADV
gs-736	1	52	დარსაველიძე	დარსაველიძე	PROPN
gs-736	1	53	სოხუმის	სოხუმის	PROPN
gs-736	1	54	ილია	ილია	VERB
gs-736	1	55	ვეკუას	ვეკუას	ADJ
gs-736	1	56	ფიზიკა-ტექნიკის	ფიზიკა-ტექნიკის	ADJ
gs-736	1	57	ინსტიტუტი	ინსტიტუტი	NOUN
gs-736	1	58	,	,	PUNCT
gs-736	1	59	თბილისი	თბილისი	PROPN
gs-736	1	60	,	,	PUNCT
gs-736	1	61	საქართველო	საქართველო	PROPN
gs-736	1	62	1ელ-ფოსტა	1ელ-ფოსტა	NUM
gs-736	1	63	:	:	PUNCT
gs-736	1	64	iakurashvili80@gmail.com	iakurashvili80@gmail.com	X
gs-736	1	65	;	;	PUNCT
gs-736	1	66	https://orcid.org/0000-0003-4175-1946	https://orcid.org/0000-0003-4175-1946	PROPN
gs-736	1	67	ანოტაცია.	ანოტაცია.	PROPN
gs-736	1	68	შესწავლილია	შესწავლილია	VERB
gs-736	1	69	მექანიკური	მექანიკური	ADV
gs-736	1	70	პოლირების	პოლირების	ADJ
gs-736	1	71	გავლენა	გავლენა	ADJ
gs-736	1	72	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-736	1	73	p	p	NOUN
gs-736	1	74	-	-	PUNCT
gs-736	1	75	sige	sige	ADJ
gs-736	1	76	შენადნობების	შენადნობების	NOUN
gs-736	1	77	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	ADJ
gs-736	1	78	სტრუქტურულად-მგრძნობიარე	სტრუქტურულად-მგრძნობიარე	ADJ
gs-736	1	79	ფიზიკურ	ფიზიკურ	PROPN
gs-736	1	80	თვისებებზე.	თვისებებზე.	PROPN
gs-736	1	81	ნაჩვენებია	ნაჩვენებია	PROPN
gs-736	1	82	სხვადასხვა	სხვადასხვა	PROPN
gs-736	1	83	დისპერსულობის	დისპერსულობის	PROPN
gs-736	1	84	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-736	1	85	ნაწილაკების	ნაწილაკების	PROPN
gs-736	1	86	შემცველი	შემცველი	PROPN
gs-736	1	87	მაპოლირებელი	მაპოლირებელი	PROPN
gs-736	1	88	კომპოზიციით	კომპოზიციით	PROPN
gs-736	1	89	დამუშავებული	დამუშავებული	PROPN
gs-736	1	90	sige	sige	PROPN
gs-736	1	91	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	ADV
gs-736	1	92	(	(	PUNCT
gs-736	1	93	111	111	NUM
gs-736	1	94	)	)	PUNCT
gs-736	1	95	ორიენტაციის	ორიენტაციის	NOUN
gs-736	1	96	ზედაპირებზე	ზედაპირებზე	PROPN
gs-736	1	97	ელექტრული	ელექტრული	PROPN
gs-736	1	98	მახასიათებლების	მახასიათებლების	NOUN
gs-736	1	99	,	,	PUNCT
gs-736	1	100	ინფრაწითელი	ინფრაწითელი	NOUN
gs-736	1	101	გამოსხივების	გამოსხივების	PROPN
gs-736	1	102	ოპტიკური	ოპტიკური	PROPN
gs-736	1	103	შთანთქმის	შთანთქმის	PROPN
gs-736	1	104	სპექტრების	სპექტრების	NOUN
gs-736	1	105	,	,	PUNCT
gs-736	1	106	შინაგანი	შინაგანი	NOUN
gs-736	1	107	ხახუნისა	ხახუნისა	ADP
gs-736	1	108	და	და	NOUN
gs-736	1	109	ძვრის	ძვრის	NOUN
gs-736	1	110	მოდულის	მოდულის	NOUN
gs-736	1	111	მნიშვნელობების	მნიშვნელობების	PROPN
gs-736	1	112	არამონოტონური	არამონოტონური	PROPN
gs-736	1	113	ცვლილებები.	ცვლილებები.	PROPN
gs-736	1	114	პოლირების	პოლირების	PROPN
gs-736	1	115	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-736	1	116	წარმოქმნილი	წარმოქმნილი	NOUN
gs-736	1	117	დეფექტები	დეფექტები	NOUN
gs-736	1	118	ურთიერთქმედებენ	ურთიერთქმედებენ	NOUN
gs-736	1	119	მალეგირებელი	მალეგირებელი	NOUN
gs-736	1	120	ბორისა	ბორისა	VERB
gs-736	1	121	და	და	PROPN
gs-736	1	122	ტექნოლოგიური	ტექნოლოგიური	PROPN
gs-736	1	123	წარმოშობის	წარმოშობის	PROPN
gs-736	1	124	ჟანგბადისა	ჟანგბადისა	PROPN
gs-736	1	125	და	და	PROPN
gs-736	1	126	ნახშირბადის	ნახშირბადის	PROPN
gs-736	1	127	ატომებთან.	ატომებთან.	PROPN
gs-736	1	128	ოთახის	ოთახის	ADJ
gs-736	1	129	ტემპერატურის	ტემპერატურის	PROPN
gs-736	1	130	პირობებში	პირობებში	PROPN
gs-736	1	131	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-736	1	132	დამუშავების	დამუშავების	ADJ
gs-736	1	133	პროცესში	პროცესში	NOUN
gs-736	1	134	მიმდინარეობს	მიმდინარეობს	NOUN
gs-736	1	135	დეფორმაციული	დეფორმაციული	ADV
gs-736	1	136	წარმოშობის	წარმოშობის	PROPN
gs-736	1	137	დეფექტების	დეფექტების	PROPN
gs-736	1	138	ფორმირება.	ფორმირება.	ADJ
gs-736	1	139	ინფრაწითელი	ინფრაწითელი	NOUN
gs-736	1	140	გამოსხივების	გამოსხივების	NOUN
gs-736	1	141	შთანთქმის	შთანთქმის	NOUN
gs-736	1	142	სპექტრებში	სპექტრებში	PROPN
gs-736	1	143	გამოვლენილია	გამოვლენილია	VERB
gs-736	1	144	კრისტალურ	კრისტალურ	NOUN
gs-736	1	145	მესერში	მესერში	PROPN
gs-736	1	146	არსებული	არსებული	PROPN
gs-736	1	147	ნახშირბადისა	ნახშირბადისა	ADP
gs-736	1	148	და	და	NOUN
gs-736	1	149	ჟანგბადის	ჟანგბადის	PROPN
gs-736	1	150	ატომების	ატომების	PROPN
gs-736	1	151	კონცენტრაციის	კონცენტრაციის	PROPN
gs-736	1	152	შემცირება	შემცირება	PROPN
gs-736	1	153	და	და	PROPN
gs-736	1	154	ci	ci	PROPN
gs-736	1	155	-	-	PUNCT
gs-736	1	156	cs	cs	PROPN
gs-736	1	157	,	,	PUNCT
gs-736	1	158	ci	ci	NOUN
gs-736	1	159	-	-	PUNCT
gs-736	1	160	oi	oi	ADJ
gs-736	1	161	,	,	PUNCT
gs-736	1	162	v	v	NOUN
gs-736	1	163	-	-	ADJ
gs-736	1	164	o	o	NOUN
gs-736	1	165	დეფექტები.	დეფექტები.	PROPN
gs-736	1	166	ნავარაუდევია	ნავარაუდევია	NOUN
gs-736	1	167	,	,	PUNCT
gs-736	1	168	რომ	რომ	PROPN
gs-736	1	169	sige	sige	PROPN
gs-736	1	170	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	NOUN
gs-736	1	171	(	(	PUNCT
gs-736	1	172	111	111	NUM
gs-736	1	173	)	)	PUNCT
gs-736	1	174	სიბრტყეებზე	სიბრტყეებზე	PROPN
gs-736	1	175	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	PROPN
gs-736	1	176	და	და	PROPN
gs-736	1	177	ფიზიკურმექანიკური	ფიზიკურმექანიკური	PROPN
gs-736	1	178	თვისებების	თვისებების	PROPN
gs-736	1	179	არამონოტონური	არამონოტონური	PROPN
gs-736	1	180	ცვლილებები	ცვლილებები	NOUN
gs-736	1	181	გამოწვეულია	გამოწვეულია	VERB
gs-736	1	182	მექანიკური	მექანიკური	PRON
gs-736	1	183	პოლირების	პოლირების	ADJ
gs-736	1	184	პროცესებში	პროცესებში	NOUN
gs-736	1	185	წარმოქმნილი	წარმოქმნილი	PROPN
gs-736	1	186	დეფექტების	დეფექტების	ADJ
gs-736	1	187	ელექტრული	ელექტრული	NOUN
gs-736	1	188	აქტიურობისა	აქტიურობისა	VERB
gs-736	1	189	და	და	PROPN
gs-736	1	190	დისლოკაციადეფექტების	დისლოკაციადეფექტების	ADJ
gs-736	1	191	ასოციაციების	ასოციაციების	PROPN
gs-736	1	192	ურთიერთქმედების	ურთიერთქმედების	PROPN
gs-736	1	193	მექანიზმების	მექანიზმების	PROPN
gs-736	1	194	ცვლილებებით.	ცვლილებებით.	PROPN
gs-736	1	195	საკვანძო	საკვანძო	PROPN
gs-736	1	196	სიტყვები	სიტყვები	NOUN
gs-736	1	197	:	:	PUNCT
gs-736	1	198	შენადნობები	შენადნობები	NOUN
gs-736	1	199	,	,	PUNCT
gs-736	1	200	პოლირება	პოლირება	PROPN
gs-736	1	201	,	,	PUNCT
gs-736	1	202	დეფორმაციული	დეფორმაციული	PROPN
gs-736	1	203	დეფექტი	დეფექტი	ADJ
gs-736	1	204	,	,	PUNCT
gs-736	1	205	შინაგანი	შინაგანი	NOUN
gs-736	1	206	ხახუნი	ხახუნი	NOUN
gs-736	1	207	,	,	PUNCT
gs-736	1	208	ძვრის	ძვრის	NOUN
gs-736	1	209	მოდული	მოდული	NOUN
gs-736	1	210	,	,	PUNCT
gs-736	1	211	ოპტიკური	ოპტიკური	PROPN
gs-736	1	212	შთანთქმის	შთანთქმის	PROPN
gs-736	1	213	სპექტრი.	სპექტრი.	PROPN
gs-736	1	214	mailto:iakurashvili80@gmail.com	mailto:iakurashvili80@gmail.com	PROPN
gs-736	2	1	https://orcid.org/0000-0003-4175-1946	https://orcid.org/0000-0003-4175-1946	PROPN
gs-736	2	2	georgian	georgian	PROPN
gs-736	2	3	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-736	2	4	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-736	2	5	ტ.	ტ.	VERB
gs-736	2	6	4	4	NUM
gs-736	2	7	n	n	PRON
gs-736	2	8	1	1	NUM
gs-736	2	9	,	,	PUNCT
gs-736	2	10	2022	2022	NUM
gs-736	2	11	66	66	NUM
gs-736	2	12	ნახევარგამტარული	ნახევარგამტარული	ADV
gs-736	2	13	მასალების	მასალების	PROPN
gs-736	2	14	ნამზადების	ნამზადების	ADV
gs-736	2	15	(	(	PUNCT
gs-736	2	16	ფირები	ფირები	NOUN
gs-736	2	17	,	,	PUNCT
gs-736	2	18	ღეროები	ღეროები	NOUN
gs-736	2	19	,	,	PUNCT
gs-736	2	20	...	...	PUNCT
gs-736	2	21	)	)	PUNCT
gs-736	2	22	ზედაპირების	ზედაპირების	VERB
gs-736	2	23	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-736	2	24	დამუშავების	დამუშავების	ADJ
gs-736	2	25	პროცესებში	პროცესებში	PROPN
gs-736	2	26	წარმოიქმნება	წარმოიქმნება	PROPN
gs-736	2	27	სტრუქტურული	სტრუქტურული	PROPN
gs-736	2	28	დეფექტები	დეფექტები	NOUN
gs-736	2	29	,	,	PUNCT
gs-736	2	30	რომლებიც	რომლებიც	PROPN
gs-736	2	31	იწვევენ	იწვევენ	PROPN
gs-736	2	32	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	PROPN
gs-736	3	1	მახასიათებლების	მახასიათებლების	PROPN
gs-736	3	2	ცვლილებებს.	ცვლილებებს.	PROPN
gs-736	3	3	ზედაპირზე	ზედაპირზე	PROPN
gs-736	3	4	ფორმირებული	ფორმირებული	PROPN
gs-736	3	5	დეფექტების	დეფექტების	ADJ
gs-736	3	6	სტრუქტურის	სტრუქტურის	NOUN
gs-736	3	7	,	,	PUNCT
gs-736	3	8	თერმული	თერმული	NOUN
gs-736	3	9	მდგრადობისა	მდგრადობისა	PROPN
gs-736	3	10	და	და	PROPN
gs-736	3	11	ურთიერთქმედების	ურთიერთქმედების	PROPN
gs-736	3	12	მექანიზმების	მექანიზმების	PROPN
gs-736	3	13	გაღრმავებული	გაღრმავებული	PROPN
gs-736	3	14	კომპლექსური	კომპლექსური	PROPN
gs-736	3	15	შესწავლის	შესწავლის	PROPN
gs-736	3	16	საფუძველზე	საფუძველზე	PROPN
gs-736	3	17	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-736	3	18	დადგინდეს	დადგინდეს	PROPN
gs-736	3	19	ნახევარგამტარული	ნახევარგამტარული	PROPN
gs-736	3	20	პროფილირებული	პროფილირებული	PROPN
gs-736	3	21	ნიმუშების	ნიმუშების	PROPN
gs-736	3	22	ზედაპირული	ზედაპირული	PROPN
gs-736	3	23	ფენების	ფენების	NOUN
gs-736	3	24	სტრუქტურული	სტრუქტურული	VERB
gs-736	4	1	მდგომარეობისა	მდგომარეობისა	PROPN
gs-736	4	2	და	და	PROPN
gs-736	4	3	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	PROPN
gs-736	4	4	თვისებების	თვისებების	PROPN
gs-736	4	5	მიზანმიმართული	მიზანმიმართული	PROPN
gs-736	4	6	მართვის	მართვის	PROPN
gs-736	4	7	საშუალებები.	საშუალებები.	NOUN
gs-736	4	8	აღნიშნული	აღნიშნული	VERB
gs-736	4	9	მიმართულებით	მიმართულებით	PRON
gs-736	4	10	განხორციელებულია	განხორციელებულია	ADJ
gs-736	4	11	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-736	4	12	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-736	4	13	ფირების	ფირების	PROPN
gs-736	4	14	ექსპერიმენტული	ექსპერიმენტული	PROPN
gs-736	4	15	კვლევები	კვლევები	NOUN
gs-736	5	1	[	[	X
gs-736	5	2	1,2	1,2	NUM
gs-736	5	3	]	]	PUNCT
gs-736	5	4	.	.	PUNCT
gs-736	6	1	დამუშავებულია	დამუშავებულია	VERB
gs-736	6	2	სილიციუმის	სილიციუმის	PROPN
gs-736	6	3	კრისტალურ	კრისტალურ	VERB
gs-736	6	4	მესერში	მესერში	PROPN
gs-736	6	5	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-736	6	6	ხეხვისა	ხეხვისა	PROPN
gs-736	6	7	და	და	PROPN
gs-736	6	8	პოლირებით	პოლირებით	PROPN
gs-736	6	9	გავრცობილი	გავრცობილი	PROPN
gs-736	6	10	დეფექტების	დეფექტების	ADV
gs-736	6	11	(	(	PUNCT
gs-736	6	12	დისლოკაციები	დისლოკაციები	NOUN
gs-736	6	13	,	,	PUNCT
gs-736	6	14	წყობის	წყობის	NOUN
gs-736	6	15	დეფექტები	დეფექტები	NOUN
gs-736	6	16	)	)	PUNCT
gs-736	6	17	ფორმირების	ფორმირების	PROPN
gs-736	6	18	მეთოდები	მეთოდები	PROPN
gs-736	6	19	,	,	PUNCT
gs-736	6	20	რითაც	რითაც	PROPN
gs-736	6	21	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-736	6	22	შეიქმნას	შეიქმნას	PROPN
gs-736	6	23	ინფრაწითელი	ინფრაწითელი	NOUN
gs-736	6	24	გამოსხივების	გამოსხივების	PROPN
gs-736	6	25	დიაპაზონში	დიაპაზონში	PROPN
gs-736	6	26	ფოტოლუმინესცენციის	ფოტოლუმინესცენციის	PROPN
gs-736	6	27	ეფექტების	ეფექტების	PROPN
gs-736	6	28	გამოვლინების	გამოვლინების	ADJ
gs-736	6	29	პირობები	პირობები	NOUN
gs-736	6	30	[	[	X
gs-736	6	31	3,4	3,4	NUM
gs-736	6	32	]	]	PUNCT
gs-736	6	33	.	.	PUNCT
gs-736	7	1	ნახევარგამტარული	ნახევარგამტარული	PROPN
gs-736	7	2	sige	sige	PROPN
gs-736	7	3	შენადნობების	შენადნობების	PROPN
gs-736	7	4	პროფილირებული	პროფილირებული	PROPN
gs-736	7	5	ნიმუშების	ნიმუშების	NOUN
gs-736	7	6	,	,	PUNCT
gs-736	7	7	კერძოდ	კერძოდ	PROPN
gs-736	7	8	მათი	მათი	PROPN
gs-736	7	9	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	ADV
gs-736	7	10	,	,	PUNCT
gs-736	7	11	ანალოგიური	ანალოგიური	PROPN
gs-736	7	12	ხასიათის	ხასიათის	PROPN
gs-736	7	13	კვლევები	კვლევები	VERB
gs-736	7	14	პრაქტიკულად	პრაქტიკულად	PROPN
gs-736	7	15	განხორციელებული	განხორციელებული	PROPN
gs-736	7	16	არ	არ	AUX
gs-736	7	17	არის.	არის.	PROPN
gs-736	7	18	წინამდებარე	წინამდებარე	PROPN
gs-736	7	19	ნაშრომში	ნაშრომში	VERB
gs-736	7	20	შესწავლილია	შესწავლილია	ADJ
gs-736	7	21	სხვადასხვა	სხვადასხვა	PROPN
gs-736	7	22	დისპერსულობის	დისპერსულობის	PROPN
gs-736	7	23	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-736	7	24	პასტებით	პასტებით	PROPN
gs-736	7	25	პოლირებული	პოლირებული	PROPN
gs-736	7	26	მონოკრისტალური	მონოკრისტალური	PROPN
gs-736	7	27	p-ტიპის	p-ტიპის	PROPN
gs-736	7	28	სილიციუმ-გერმანიუმის	სილიციუმ-გერმანიუმის	ADJ
gs-736	7	29	შენადნობების	შენადნობების	VERB
gs-736	7	30	სტრუქტურულად-მგრძნობიარე	სტრუქტურულად-მგრძნობიარე	ADJ
gs-736	7	31	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	ADJ
gs-736	7	32	მახასიათებლების	მახასიათებლების	ADJ
gs-736	7	33	ცვლილებათა	ცვლილებათა	ADJ
gs-736	7	34	კანონზომიერებანი.	კანონზომიერებანი.	NOUN
gs-736	8	1	ოთახის	ოთახის	PROPN
gs-736	8	2	ტემპერატურის	ტემპერატურის	PROPN
gs-736	8	3	პირობებში	პირობებში	PROPN
gs-736	8	4	ვანდერ	ვანდერ	PRON
gs-736	8	5	პაუს	პაუს	PROPN
gs-736	8	6	მეთოდით	მეთოდით	NOUN
gs-736	8	7	განსაზღვრულია	განსაზღვრულია	VERB
gs-736	8	8	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	PROPN
gs-736	8	9	მახასიათებლების	მახასიათებლების	PROPN
gs-736	8	10	(	(	PUNCT
gs-736	8	11	კუთრი	კუთრი	ADJ
gs-736	8	12	ელექტროწინაღობა	ელექტროწინაღობა	NOUN
gs-736	8	13	,	,	PUNCT
gs-736	8	14	დენის	დენის	NOUN
gs-736	8	15	მატარებლების	მატარებლების	ADJ
gs-736	8	16	კონცენტრაცია	კონცენტრაცია	NOUN
gs-736	8	17	,	,	PUNCT
gs-736	8	18	ძვრადობა	ძვრადობა	NOUN
gs-736	8	19	)	)	PUNCT
gs-736	8	20	მნიშვნელობები	მნიშვნელობები	NOUN
gs-736	8	21	;	;	PUNCT
gs-736	8	22	ინფრაწითელი	ინფრაწითელი	NOUN
gs-736	8	23	გამოსხივების	გამოსხივების	NOUN
gs-736	8	24	ფართო	ფართო	PROPN
gs-736	8	25	დიაპაზონში	დიაპაზონში	ADJ
gs-736	8	26	გამოკვლეულია	გამოკვლეულია	PROPN
gs-736	8	27	ოპტიკური	ოპტიკური	PROPN
gs-736	8	28	შთანთქმის	შთანთქმის	PROPN
gs-736	8	29	სპექტრების	სპექტრების	PROPN
gs-736	8	30	შემადგენელი	შემადგენელი	VERB
gs-736	8	31	მაქსიმუმების	მაქსიმუმების	ADJ
gs-736	8	32	მახასიათებლების	მახასიათებლების	ADJ
gs-736	8	33	ცვლილებები	ცვლილებები	NOUN
gs-736	8	34	და	და	NOUN
gs-736	8	35	გაანალიზებულია	გაანალიზებულია	VERB
gs-736	8	36	მათი	მათი	PROPN
gs-736	8	37	წარმოშობის	წარმოშობის	PROPN
gs-736	8	38	ბუნება.	ბუნება.	PROPN
gs-736	8	39	გრეხითი	გრეხითი	NOUN
gs-736	8	40	რხევების	რხევების	VERB
gs-736	8	41	მილევის	მილევის	NOUN
gs-736	8	42	ლოგარითმული	ლოგარითმული	PROPN
gs-736	8	43	დეკრემენტისა	დეკრემენტისა	VERB
gs-736	8	44	და	და	PROPN
gs-736	8	45	სიხშირის	სიხშირის	PROPN
gs-736	8	46	რეგისტრაციით	რეგისტრაციით	PROPN
gs-736	8	47	განსაზღვრულია	განსაზღვრულია	VERB
gs-736	8	48	სხვადასხვა	სხვადასხვა	PROPN
gs-736	9	1	ხარისხით	ხარისხით	PROPN
gs-736	9	2	პოლირებული	პოლირებული	PROPN
gs-736	9	3	ნიმუშების	ნიმუშების	PROPN
gs-736	9	4	შინაგანი	შინაგანი	NOUN
gs-736	9	5	ხახუნის	ხახუნის	PROPN
gs-736	9	6	ინტენსივობისა	ინტენსივობისა	VERB
gs-736	9	7	და	და	NOUN
gs-736	9	8	ძვრის	ძვრის	NOUN
gs-736	9	9	დინამიური	დინამიური	PROPN
gs-736	9	10	მოდულის	მოდულის	PROPN
gs-736	9	11	სიდიდეები.	სიდიდეები.	PROPN
gs-736	9	12	ელექტრული	ელექტრული	AUX
gs-736	9	13	მახასიათებლების	მახასიათებლების	ADV
gs-736	9	14	დადგენის	დადგენის	PROPN
gs-736	9	15	მიზნით	მიზნით	NOUN
gs-736	9	16	ჰოლის	ჰოლის	NOUN
gs-736	9	17	ეფექტის	ეფექტის	ADJ
gs-736	9	18	რეგისტრაცია	რეგისტრაცია	PROPN
gs-736	9	19	განხორციელდა	განხორციელდა	PROPN
gs-736	9	20	ecopia	ecopia	PROPN
gs-736	9	21	hms-3000	hms-3000	VERB
gs-736	9	22	სისტემის	სისტემის	PROPN
gs-736	9	23	დანადგარზე.	დანადგარზე.	PROPN
gs-736	9	24	ნახ.1-ზე	ნახ.1-ზე	PROPN
gs-736	9	25	წარმოდგენილია	წარმოდგენილია	ADJ
gs-736	9	26	(	(	PUNCT
gs-736	9	27	111	111	NUM
gs-736	9	28	)	)	PUNCT
gs-736	9	29	ორიენტაციის	ორიენტაციის	PROPN
gs-736	9	30	სხვადასხვა	სხვადასხვა	PROPN
gs-736	9	31	შედგენილობის	შედგენილობის	VERB
gs-736	9	32	p	p	X
gs-736	9	33	-	-	PUNCT
gs-736	9	34	sige	sige	ADJ
gs-736	9	35	შენადნობების	შენადნობების	PROPN
gs-736	9	36	0,5	0,5	NUM
gs-736	9	37	მმ	მმ	PROPN
gs-736	9	38	სისქის	სისქის	PROPN
gs-736	9	39	ფირების	ფირების	PROPN
gs-736	9	40	დენის	დენის	PROPN
gs-736	9	41	მატარებლების	მატარებლების	PROPN
gs-736	9	42	კონცენტრაციის	კონცენტრაციის	PROPN
gs-736	9	43	დამოკიდებულება	დამოკიდებულება	PROPN
gs-736	9	44	მაპოლირებელი	მაპოლირებელი	PROPN
gs-736	9	45	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-736	9	46	პასტების	პასტების	NOUN
gs-736	9	47	დისპერსულობაზე.	დისპერსულობაზე.	VERB
gs-736	10	1	georgian	georgian	PROPN
gs-736	10	2	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	PROPN
gs-736	10	3	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-736	10	4	ტ.	ტ.	VERB
gs-736	10	5	4	4	NUM
gs-736	10	6	n	n	PRON
gs-736	10	7	1	1	NUM
gs-736	10	8	,	,	PUNCT
gs-736	10	9	2022	2022	NUM
gs-736	10	10	67	67	NUM
gs-736	10	11	ნახ.1	ნახ.1	NOUN
gs-736	10	12	.	.	PUNCT
gs-736	11	1	p	p	X
gs-736	11	2	-	-	PUNCT
gs-736	11	3	sige	sige	ADJ
gs-736	11	4	შენადნობების	შენადნობების	NOUN
gs-736	11	5	დენის	დენის	NOUN
gs-736	11	6	მატარებლების	მატარებლების	NOUN
gs-736	11	7	კონცენტრაციის	კონცენტრაციის	PROPN
gs-736	11	8	დამოკიდებულება	დამოკიდებულება	PROPN
gs-736	11	9	მაპოლირებელი	მაპოლირებელი	PROPN
gs-736	11	10	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-736	11	11	პასტების	პასტების	NOUN
gs-736	11	12	დისპერსულობაზე.	დისპერსულობაზე.	VERB
gs-736	11	13	1	1	X
gs-736	11	14	.	.	X
gs-736	12	1	p	p	X
gs-736	12	2	-	-	PUNCT
gs-736	12	3	si+2ატ.%ge	si+2ატ.%ge	NOUN
gs-736	12	4	:	:	PUNCT
gs-736	12	5	b	b	NOUN
gs-736	12	6	2p	2p	NUM
gs-736	12	7	-	-	PUNCT
gs-736	12	8	si+2,5ატ.	si+2,5ატ.	NOUN
gs-736	12	9	%	%	NOUN
gs-736	12	10	ge	ge	PROPN
gs-736	12	11	:	:	PUNCT
gs-736	12	12	b	b	X
gs-736	12	13	ნახაზიდან	ნახაზიდან	PROPN
gs-736	12	14	ჩანს	ჩანს	PROPN
gs-736	12	15	დენის	დენის	NOUN
gs-736	12	16	მატარებელი	მატარებელი	NOUN
gs-736	12	17	ხვრელების	ხვრელების	NOUN
gs-736	12	18	კონცენტრაციის	კონცენტრაციის	NOUN
gs-736	12	19	ცვლილების	ცვლილების	NOUN
gs-736	12	20	არამონოტონურობა	არამონოტონურობა	NOUN
gs-736	12	21	,	,	PUNCT
gs-736	12	22	რაც	რაც	NOUN
gs-736	12	23	მკვეთრად	მკვეთრად	VERB
gs-736	12	24	ვლინდება	ვლინდება	ADJ
gs-736	12	25	მაპოლირებელი	მაპოლირებელი	NOUN
gs-736	12	26	მასალის	მასალის	NOUN
gs-736	12	27	დისპერსულობის	დისპერსულობის	VERB
gs-736	12	28	0	0	NUM
gs-736	12	29	-	-	SYM
gs-736	12	30	5	5	NUM
gs-736	12	31	მკმ	მკმ	NOUN
gs-736	12	32	დიაპაზონში.	დიაპაზონში.	VERB
gs-736	12	33	მეტად	მეტად	NOUN
gs-736	12	34	მცირე	მცირე	NOUN
gs-736	12	35	დისპერსულობის	დისპერსულობის	VERB
gs-736	12	36	მასალით	მასალით	PROPN
gs-736	12	37	პოლირების	პოლირების	PROPN
gs-736	12	38	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-736	12	39	მოსალოდნელია	მოსალოდნელია	VERB
gs-736	12	40	ძლიერ	ძლიერ	ADJ
gs-736	12	41	ლოკალიზებულ	ლოკალიზებულ	PROPN
gs-736	12	42	არეებში	არეებში	NOUN
gs-736	12	43	ვაკანსიებისა	ვაკანსიებისა	VERB
gs-736	12	44	და	და	PROPN
gs-736	12	45	მიკრობზარების	მიკრობზარების	PROPN
gs-736	12	46	წარმოქმნა.	წარმოქმნა.	PROPN
gs-736	12	47	მიკრობზარები	მიკრობზარები	NOUN
gs-736	12	48	წარმოადგენენ	წარმოადგენენ	PROPN
gs-736	12	49	დისლოკაციური	დისლოკაციური	CCONJ
gs-736	13	1	წარმოშობის	წარმოშობის	PROPN
gs-736	13	2	გავრცობილი	გავრცობილი	PROPN
gs-736	13	3	დეფექტების	დეფექტების	ADJ
gs-736	13	4	ცენტრებს.	ცენტრებს.	ADJ
gs-736	14	1	მათ	მათ	NUM
gs-736	14	2	არეებში	არეებში	NOUN
gs-736	14	3	ატომთაშორისი	ატომთაშორისი	PROPN
gs-736	14	4	კავშირის	კავშირის	NOUN
gs-736	14	5	გაწყვეტა	გაწყვეტა	PROPN
gs-736	14	6	ქმნის	ქმნის	PROPN
gs-736	14	7	დენის	დენის	PROPN
gs-736	14	8	მატარებლების	მატარებლების	NOUN
gs-736	14	9	კონცენტრაციის	კონცენტრაციის	NOUN
gs-736	14	10	ცვლილებების	ცვლილებების	PROPN
gs-736	14	11	პირობებს.	პირობებს.	PROPN
gs-736	14	12	არ	არ	PUNCT
gs-736	14	13	არის	არის	PROPN
gs-736	14	14	გამორიცხული	გამორიცხული	PROPN
gs-736	14	15	ძლიერ	ძლიერ	VERB
gs-736	14	16	დეფორმირებულ	დეფორმირებულ	PROPN
gs-736	14	17	დეფექტებით	დეფექტებით	PROPN
gs-736	14	18	გამდიდრებულ	გამდიდრებულ	NOUN
gs-736	14	19	ზედაპირებზე	ზედაპირებზე	PROPN
gs-736	14	20	მიკროფაზების	მიკროფაზების	VERB
gs-736	14	21	ფორმირება	ფორმირება	PROPN
gs-736	14	22	ჟანგბადის	ჟანგბადის	ADJ
gs-736	14	23	და	და	NOUN
gs-736	14	24	ნახშირბადის	ნახშირბადის	ADJ
gs-736	14	25	ატომების	ატომების	PROPN
gs-736	14	26	მონაწილეობით.	მონაწილეობით.	NOUN
gs-736	14	27	1,5	1,5	NUM
gs-736	14	28	-	-	PUNCT
gs-736	14	29	2,5ატ.%	2,5ატ.%	NUM
gs-736	14	30	ინტერვალში	ინტერვალში	NOUN
gs-736	14	31	გერმანიუმის	გერმანიუმის	NOUN
gs-736	14	32	პროცენტული	პროცენტული	PROPN
gs-736	14	33	შემცველობის	შემცველობის	ADV
gs-736	14	34	ცვლილება	ცვლილება	PROPN
gs-736	14	35	მნიშვნელოვან	მნიშვნელოვან	ADJ
gs-736	14	36	გავლენას	გავლენას	PROPN
gs-736	14	37	ახდენს	ახდენს	PROPN
gs-736	14	38	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-736	14	39	ნიმუშების	ნიმუშების	PROPN
gs-736	14	40	ელექტროფიზიკურ	ელექტროფიზიკურ	PROPN
gs-736	14	41	მახასიათებლებზე.	მახასიათებლებზე.	PROPN
gs-736	14	42	ცხრილში	ცხრილში	PROPN
gs-736	14	43	1	1	NUM
gs-736	14	44	წარმოდგენილია	წარმოდგენილია	VERB
gs-736	14	45	p	p	NOUN
gs-736	14	46	-	-	PUNCT
gs-736	14	47	si+2ატ.%ge	si+2ატ.%ge	NOUN
gs-736	14	48	:	:	PUNCT
gs-736	14	49	b	b	NOUN
gs-736	14	50	ფუძეშრის	ფუძეშრის	PROPN
gs-736	14	51	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	PROPN
gs-736	14	52	მახასიათებლების	მახასიათებლების	PROPN
gs-736	14	53	დამოკიდებულება	დამოკიდებულება	PROPN
gs-736	14	54	მაპოლირებელი	მაპოლირებელი	PROPN
gs-736	14	55	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-736	14	56	ნაწილაკების	ნაწილაკების	PROPN
gs-736	14	57	დისპერსულობაზე.	დისპერსულობაზე.	NOUN
gs-736	14	58	(	(	PUNCT
gs-736	14	59	111	111	NUM
gs-736	14	60	)	)	PUNCT
gs-736	15	1	ორიენტაციის	ორიენტაციის	NOUN
gs-736	15	2	p	p	NOUN
gs-736	15	3	-	-	PUNCT
gs-736	15	4	si+2ატ.%ge	si+2ატ.%ge	NOUN
gs-736	15	5	:	:	PUNCT
gs-736	15	6	b	b	NOUN
gs-736	15	7	ფუძეშრის	ფუძეშრის	PROPN
gs-736	15	8	ელექტროფიზიკური	ელექტროფიზიკური	PROPN
gs-736	15	9	მახასიათებლების	მახასიათებლების	PROPN
gs-736	15	10	დამოკიდებულება	დამოკიდებულება	PROPN
gs-736	15	11	მაპოლირებელი	მაპოლირებელი	PROPN
gs-736	15	12	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-736	15	13	ნაწილაკების	ნაწილაკების	PROPN
gs-736	15	14	დისპერსულობაზე.	დისპერსულობაზე.	VERB
gs-736	15	15	georgian	georgian	PROPN
gs-736	15	16	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	PROPN
gs-736	15	17	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-736	15	18	ტ.	ტ.	VERB
gs-736	15	19	4	4	NUM
gs-736	15	20	n	n	PRON
gs-736	15	21	1	1	NUM
gs-736	15	22	,	,	PUNCT
gs-736	15	23	2022	2022	NUM
gs-736	15	24	68	68	NUM
gs-736	15	25	ცხრილი1	ცხრილი1	NOUN
gs-736	15	26	მაპოლირებელი	მაპოლირებელი	PROPN
gs-736	15	27	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-736	15	28	ნაწილაკების	ნაწილაკების	PROPN
gs-736	15	29	დისპერსულობა	დისპერსულობა	NOUN
gs-736	15	30	,	,	PUNCT
gs-736	15	31	მკმ	მკმ	NOUN
gs-736	15	32	დენის	დენის	NOUN
gs-736	15	33	მატარებლების	მატარებლების	NOUN
gs-736	15	34	ძვრადობა	ძვრადობა	NOUN
gs-736	15	35	,	,	PUNCT
gs-736	15	36	სმ2.ვ-1.წმ-1	სმ2.ვ-1.წმ-1	ADV
gs-736	15	37	დენის	დენის	NOUN
gs-736	15	38	მატარებლების	მატარებლების	ADJ
gs-736	15	39	კონცენტრაცია	კონცენტრაცია	NOUN
gs-736	15	40	სმ-3	სმ-3	PUNCT
gs-736	15	41	კუთრი	კუთრი	ADJ
gs-736	15	42	ელექტროწინაღ	ელექტროწინაღ	PROPN
gs-736	15	43	ობა	ობა	PROPN
gs-736	15	44	,	,	PUNCT
gs-736	15	45	ომი.სმ	ომი.სმ	PROPN
gs-736	15	46	0,05	0,05	PROPN
gs-736	16	1	250	250	NUM
gs-736	16	2	7.37.1015	7.37.1015	NUM
gs-736	16	3	3.39	3.39	NUM
gs-736	16	4	0,25	0,25	NUM
gs-736	16	5	220	220	NUM
gs-736	16	6	8.68.1015	8.68.1015	NUM
gs-736	16	7	3.27	3.27	NUM
gs-736	16	8	0,5	0,5	NUM
gs-736	16	9	252	252	NUM
gs-736	16	10	7.89.1015	7.89.1015	NUM
gs-736	16	11	3.14	3.14	NUM
gs-736	16	12	1,0	1,0	NUM
gs-736	16	13	255	255	NUM
gs-736	16	14	6.84.1015	6.84.1015	NUM
gs-736	16	15	3.62	3.62	NUM
gs-736	16	16	5,0	5,0	NUM
gs-736	16	17	242	242	NUM
gs-736	16	18	7.89.1015	7.89.1015	NUM
gs-736	16	19	3.27	3.27	NUM
gs-736	16	20	გრეხითი	გრეხითი	NOUN
gs-736	16	21	რხევების	რხევების	VERB
gs-736	16	22	მილევის	მილევის	NOUN
gs-736	16	23	ლოგარითმული	ლოგარითმული	PROPN
gs-736	16	24	დეკრემენტისა	დეკრემენტისა	VERB
gs-736	16	25	და	და	NOUN
gs-736	16	26	სიხშირის	სიხშირის	NOUN
gs-736	16	27	რეგისტრაცია	რეგისტრაცია	PROPN
gs-736	16	28	განხორციელდა	განხორციელდა	PROPN
gs-736	16	29	ლაბორატორიულ	ლაბორატორიულ	PROPN
gs-736	16	30	მექანიკურ	მექანიკურ	PROPN
gs-736	16	31	რელაქსატორზე	რელაქსატორზე	PROPN
gs-736	16	32	,	,	PUNCT
gs-736	16	33	რომელიც	რომელიც	PROPN
gs-736	16	34	დაფუძნებულია	დაფუძნებულია	VERB
gs-736	16	35	შებრუნებულ	შებრუნებულ	PROPN
gs-736	16	36	ქანქარაზე.	ქანქარაზე.	PROPN
gs-736	16	37	ქანქარის	ქანქარის	PROPN
gs-736	16	38	ვერტიკალურ	ვერტიკალურ	PROPN
gs-736	16	39	ღერძზე	ღერძზე	PROPN
gs-736	16	40	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-736	16	41	მომჭერებით	მომჭერებით	PROPN
gs-736	16	42	ფიქსირდება	ფიქსირდება	ADJ
gs-736	16	43	ღეროს	ღეროს	NOUN
gs-736	16	44	ფორმის	ფორმის	VERB
gs-736	16	45	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-736	16	46	ნიმუშები	ნიმუშები	NOUN
gs-736	16	47	ზომებით	ზომებით	PROPN
gs-736	17	1	0,8x0,8x(25	0,8x0,8x(25	PROPN
gs-736	17	2	-	-	PUNCT
gs-736	17	3	30)მმ3	30)მმ3	PROPN
gs-736	17	4	.	.	PUNCT
gs-736	18	1	გრეხვის	გრეხვის	PROPN
gs-736	18	2	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-736	18	3	რხევების	რხევების	PROPN
gs-736	18	4	ამპლიტუდური	ამპლიტუდური	PROPN
gs-736	18	5	დეფორმაციის	დეფორმაციის	PROPN
gs-736	18	6	გამომწვევი	გამომწვევი	NOUN
gs-736	18	7	ძაბვა	ძაბვა	NOUN
gs-736	18	8	არ	არ	INTJ
gs-736	18	9	აღემატება	აღემატება	NOUN
gs-736	18	10	10	10	NUM
gs-736	18	11	-	-	SYM
gs-736	18	12	5.g	5.g	NUM
gs-736	18	13	,	,	PUNCT
gs-736	18	14	სადაც	სადაც	PROPN
gs-736	18	15	g	g	PROPN
gs-736	18	16	წარმოადგენს	წარმოადგენს	PROPN
gs-736	18	17	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-736	18	18	მასალის	მასალის	NOUN
gs-736	18	19	ძვრის	ძვრის	PROPN
gs-736	18	20	მოდულის	მოდულის	PROPN
gs-736	18	21	აბსოლუტურ	აბსოლუტურ	PROPN
gs-736	18	22	მნიშვნელობას.	მნიშვნელობას.	PROPN
gs-736	18	23	გრეხითი	გრეხითი	NOUN
gs-736	18	24	რხევების	რხევების	VERB
gs-736	18	25	მილევის	მილევის	PROPN
gs-736	18	26	პროცესში	პროცესში	PROPN
gs-736	19	1	ენერგიის	ენერგიის	PROPN
gs-736	19	2	გაბნევის	გაბნევის	PROPN
gs-736	19	3	ინტენსივობა	ინტენსივობა	PROPN
gs-736	19	4	განისაზღვრებოდა	განისაზღვრებოდა	PROPN
gs-736	19	5	ცნობილი	ცნობილი	PROPN
gs-736	19	6	ფორმულით	ფორმულით	VERB
gs-736	20	1	[	[	X
gs-736	20	2	5	5	NUM
gs-736	20	3	]	]	PUNCT
gs-736	20	4	:	:	PUNCT
gs-736	20	5	𝑄−1	𝑄−1	X
gs-736	20	6	=	=	PUNCT
gs-736	21	1	1	1	NUM
gs-736	21	2	𝜋𝑛	𝜋𝑛	ADP
gs-736	21	3	∙	∙	PROPN
gs-736	21	4	𝑙𝑛	𝑙𝑛	PART
gs-736	22	1	𝐴𝑚	𝐴𝑚	PROPN
gs-736	22	2	𝐴𝑚+𝑛	𝐴𝑚+𝑛	PROPN
gs-736	22	3	სადაც	სადაც	NOUN
gs-736	22	4	n-არის	n-არის	NOUN
gs-736	22	5	შესრულებული	შესრულებული	VERB
gs-736	22	6	რხევების	რხევების	VERB
gs-736	22	7	რაოდენობა	რაოდენობა	PROPN
gs-736	22	8	ამპლიტუდის	ამპლიტუდის	PROPN
gs-736	22	9	am-დან	am-დან	CCONJ
gs-736	22	10	am+n-მდე	am+n-მდე	NOUN
gs-736	22	11	შემცირების	შემცირების	ADJ
gs-736	22	12	პროცესში.	პროცესში.	PROPN
gs-736	22	13	ორივე	ორივე	ADP
gs-736	22	14	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-736	22	15	ნიმუში	ნიმუში	NOUN
gs-736	22	16	ხასიათდება	ხასიათდება	ADJ
gs-736	22	17	შინაგანი	შინაგანი	NOUN
gs-736	22	18	ხახუნის	ხახუნის	NOUN
gs-736	22	19	ინტენსივობის	ინტენსივობის	ADP
gs-736	22	20	არამონოტონური	არამონოტონური	PROPN
gs-736	22	21	ცვლილებით	ცვლილებით	PROPN
gs-736	22	22	სხვადასხვა	სხვადასხვა	PROPN
gs-736	22	23	დისპერსულობის	დისპერსულობის	VERB
gs-736	22	24	ალმასით	ალმასით	NOUN
gs-736	22	25	დამუშავების	დამუშავების	ADV
gs-736	22	26	პირობებში.	პირობებში.	PROPN
gs-736	22	27	გერმანიუმის	გერმანიუმის	PROPN
gs-736	22	28	შედარებით	შედარებით	PROPN
gs-736	22	29	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-736	22	30	შემცველობის	შემცველობის	PROPN
gs-736	22	31	შენადნობის	შენადნობის	PROPN
gs-736	22	32	ფუძეშრეს	ფუძეშრეს	NOUN
gs-736	22	33	ახასიათებს	ახასიათებს	ADJ
gs-736	22	34	შინაგანი	შინაგანი	ADJ
gs-736	22	35	ხახუნის	ხახუნის	PROPN
gs-736	22	36	ინტენსივობის	ინტენსივობის	ADP
gs-736	22	37	მაქსიმუმი	მაქსიმუმი	PROPN
gs-736	22	38	0,5	0,5	NUM
gs-736	22	39	მკმ	მკმ	NOUN
gs-736	22	40	დისპერსულობის	დისპერსულობის	NOUN
gs-736	22	41	ალმასით	ალმასით	NOUN
gs-736	22	42	დამუშავების	დამუშავების	ADV
gs-736	22	43	შემთხვევაში.	შემთხვევაში.	VERB
gs-736	22	44	მაქსიმუმის	მაქსიმუმის	NUM
gs-736	22	45	პოზიცია	პოზიცია	NOUN
gs-736	22	46	წანაცვლებულია	წანაცვლებულია	VERB
gs-736	22	47	მსხვილმარცვლოვანი	მსხვილმარცვლოვანი	NOUN
gs-736	22	48	ალმასით	ალმასით	X
gs-736	22	49	დამუშავების	დამუშავების	ADJ
gs-736	22	50	მიმართულებით.	მიმართულებით.	PROPN
gs-736	22	51	გრეხითი	გრეხითი	NOUN
gs-736	22	52	რხევების	რხევების	VERB
gs-736	22	53	მილევის	მილევის	PROPN
gs-736	22	54	მაქსიმუმი	მაქსიმუმი	PROPN
gs-736	22	55	ხასიათდება	ხასიათდება	NOUN
gs-736	22	56	გაგანიერებით.	გაგანიერებით.	PROPN
gs-736	22	57	მისი	მისი	ADJ
gs-736	22	58	არსებობა	არსებობა	NOUN
gs-736	22	59	და	და	NOUN
gs-736	22	60	,	,	PUNCT
gs-736	22	61	ასევე	ასევე	PROPN
gs-736	22	62	ინტენსივობის	ინტენსივობის	ADP
gs-736	22	63	ცვლილება	ცვლილება	PROPN
gs-736	22	64	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-736	22	65	დაკავშირებულია	დაკავშირებულია	ADJ
gs-736	22	66	sige	sige	PROPN
gs-736	22	67	შენადნობის	შენადნობის	PROPN
gs-736	22	68	ზედაპირული	ზედაპირული	NOUN
gs-736	22	69	ფენების	ფენების	NOUN
gs-736	22	70	სტრუქტურაში	სტრუქტურაში	NOUN
gs-736	22	71	რელაქსაციის	რელაქსაციის	PROPN
gs-736	22	72	ცენტრების	ცენტრების	PROPN
gs-736	22	73	ფორმირებასთან	ფორმირებასთან	ADJ
gs-736	22	74	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-736	22	75	დამუშავების	დამუშავების	ADJ
gs-736	22	76	პროცესში.	პროცესში.	NOUN
gs-736	22	77	შინაგანი	შინაგანი	VERB
gs-736	22	78	ხახუნის	ხახუნის	PROPN
gs-736	22	79	ინტენსივობის	ინტენსივობის	ADP
gs-736	22	80	ცვლილება	ცვლილება	PROPN
gs-736	22	81	განპირობებულია	განპირობებულია	PROPN
gs-736	22	82	რელაქსაციის	რელაქსაციის	PROPN
gs-736	22	83	ცენტრების	ცენტრების	PROPN
gs-736	22	84	ზომებითა	ზომებითა	NOUN
gs-736	22	85	და	და	PROPN
gs-736	22	86	მათი	მათი	PROPN
gs-736	22	87	შემადგენელ	შემადგენელ	VERB
gs-736	22	88	კომპონენეტებს	კომპონენეტებს	ADJ
gs-736	22	89	შორის	შორის	NOUN
gs-736	22	90	მანძილების	მანძილების	ADJ
gs-736	22	91	ცვალებადობით.	ცვალებადობით.	PROPN
gs-736	22	92	ასეთ	ასეთ	ADJ
gs-736	22	93	ცენტრებს	ცენტრებს	NOUN
gs-736	22	94	წარმოადგენენ	წარმოადგენენ	PROPN
gs-736	22	95	დისლოკაციები	დისლოკაციები	PROPN
gs-736	22	96	,	,	PUNCT
gs-736	22	97	დეკორირებული	დეკორირებული	PROPN
gs-736	22	98	მინარევების	მინარევების	PROPN
gs-736	22	99	ატომებითა	ატომებითა	NOUN
gs-736	22	100	და	და	PROPN
gs-736	22	101	დისპერსული	დისპერსული	ADJ
gs-736	22	102	ფაზებით.	ფაზებით.	VERB
gs-736	22	103	georgian	georgian	ADJ
gs-736	22	104	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	PROPN
gs-736	22	105	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-736	22	106	ტ.	ტ.	VERB
gs-736	22	107	4	4	NUM
gs-736	22	108	n	n	PRON
gs-736	22	109	1	1	NUM
gs-736	22	110	,	,	PUNCT
gs-736	22	111	2022	2022	NUM
gs-736	22	112	69	69	NUM
gs-736	22	113	ერთდროულად	ერთდროულად	VERB
gs-736	22	114	განისაზღვრებოდა	განისაზღვრებოდა	ADJ
gs-736	22	115	სიხშირის	სიხშირის	PROPN
gs-736	22	116	სიდიდეები.	სიდიდეები.	VERB
gs-736	22	117	ეტალონური	ეტალონური	PROPN
gs-736	23	1	ნიმუშისა	ნიმუშისა	PROPN
gs-736	23	2	(	(	PUNCT
gs-736	23	3	ვანადიუმი	ვანადიუმი	NOUN
gs-736	23	4	)	)	PUNCT
gs-736	23	5	და	და	PROPN
gs-736	23	6	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-736	23	7	ნიმუშების	ნიმუშების	PROPN
gs-736	23	8	რხევების	რხევების	PROPN
gs-736	23	9	სიხშირეების	სიხშირეების	PROPN
gs-736	23	10	განსაზღვრის	განსაზღვრის	PROPN
gs-736	23	11	საფუძველზე	საფუძველზე	PROPN
gs-736	23	12	გამოთვლილი	გამოთვლილი	PROPN
gs-736	23	13	იქნა	იქნა	NOUN
gs-736	23	14	ძვრის	ძვრის	NOUN
gs-736	23	15	მოდულის	მოდულის	NOUN
gs-736	23	16	მნიშვნელობები	მნიშვნელობები	NOUN
gs-736	23	17	ფორმულით	ფორმულით	VERB
gs-736	23	18	[	[	X
gs-736	23	19	5	5	NUM
gs-736	23	20	]	]	PUNCT
gs-736	23	21	:	:	PUNCT
gs-736	23	22	𝐺	𝐺	NOUN
gs-736	23	23	=	=	PUNCT
gs-736	24	1	𝐺𝑜	𝐺𝑜	PROPN
gs-736	24	2	∙	∙	PROPN
gs-736	24	3	𝑓2	𝑓2	PROPN
gs-736	24	4	𝑓𝑜	𝑓𝑜	ADP
gs-736	24	5	2	2	NUM
gs-736	24	6	სადაც-go	სადაც-go	NOUN
gs-736	24	7	,	,	PUNCT
gs-736	24	8	fo	fo	ADP
gs-736	24	9	ეტალონური	ეტალონური	ADV
gs-736	24	10	ვანადიუმის	ვანადიუმის	VERB
gs-736	24	11	,	,	PUNCT
gs-736	24	12	ხოლო	ხოლო	NOUN
gs-736	24	13	g	g	PROPN
gs-736	24	14	და	და	PROPN
gs-736	24	15	f	f	PROPN
gs-736	24	16	საცდელი	საცდელი	PROPN
gs-736	24	17	ნიმუშების	ნიმუშების	ADJ
gs-736	24	18	ძვრის	ძვრის	NOUN
gs-736	24	19	მოდულისა	მოდულისა	NOUN
gs-736	24	20	და	და	NOUN
gs-736	24	21	გრეხითი	გრეხითი	NOUN
gs-736	24	22	რხევების	რხევების	VERB
gs-736	24	23	სიხშირის	სიხშირის	PROPN
gs-736	24	24	მნიშვნელობებია.	მნიშვნელობებია.	VERB
gs-736	24	25	ცხრილი	ცხრილი	PROPN
gs-736	24	26	2-დან	2-დან	NUM
gs-736	24	27	ჩანს	ჩანს	NOUN
gs-736	24	28	,	,	PUNCT
gs-736	24	29	რომ	რომ	PROPN
gs-736	24	30	ძვრის	ძვრის	PROPN
gs-736	24	31	მოდულის	მოდულის	PROPN
gs-736	24	32	სიდიდეების	სიდიდეების	PROPN
gs-736	24	33	შემცირებულია	შემცირებულია	VERB
gs-736	24	34	გერმანიუმის	გერმანიუმის	PROPN
gs-736	24	35	მაღალი	მაღალი	PROPN
gs-736	24	36	შემცველობის	შემცველობის	PROPN
gs-736	24	37	შენადნობში	შენადნობში	PROPN
gs-736	24	38	მაპოლირებელი	მაპოლირებელი	PROPN
gs-736	24	39	მასალის	მასალის	PROPN
gs-736	24	40	დისპერსულობის	დისპერსულობის	PROPN
gs-736	24	41	სრულ	სრულ	PROPN
gs-736	24	42	დიაპაზონში.	დიაპაზონში.	PROPN
gs-736	24	43	sige	sige	PROPN
gs-736	24	44	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	ADJ
gs-736	24	45	დინამიური	დინამიური	PROPN
gs-736	24	46	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-736	24	47	მახასიათებლების	მახასიათებლების	PROPN
gs-736	24	48	დამოკიდებულება	დამოკიდებულება	VERB
gs-736	24	49	პოლირების	პოლირების	PROPN
gs-736	24	50	ხარისხზე	ხარისხზე	ADJ
gs-736	24	51	ცხრილი	ცხრილი	ADJ
gs-736	24	52	2	2	NUM
gs-736	24	53	p	p	NOUN
gs-736	24	54	-	-	PUNCT
gs-736	24	55	si+2ატ.%ge	si+2ატ.%ge	NOUN
gs-736	24	56	:	:	PUNCT
gs-736	24	57	b	b	NOUN
gs-736	24	58	p	p	NOUN
gs-736	24	59	-	-	PUNCT
gs-736	24	60	si+2,5ატ.%ge	si+2,5ატ.%ge	NOUN
gs-736	24	61	:	:	PUNCT
gs-736	24	62	b	b	PROPN
gs-736	24	63	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-736	24	64	დისპერსუ	დისპერსუ	NOUN
gs-736	24	65	ლობა	ლობა	NOUN
gs-736	24	66	,	,	PUNCT
gs-736	24	67	მკმ	მკმ	NOUN
gs-736	24	68	ძვრის	ძვრის	NOUN
gs-736	24	69	მოდული	მოდული	NOUN
gs-736	24	70	,	,	PUNCT
gs-736	24	71	x103	x103	PROPN
gs-736	24	72	,	,	PUNCT
gs-736	24	73	კგ/მმ2	კგ/მმ2	PROPN
gs-736	24	74	შინაგანი	შინაგანი	VERB
gs-736	24	75	ხახუნის	ხახუნის	PROPN
gs-736	24	76	ინტენსივობა	ინტენსივობა	NOUN
gs-736	24	77	,	,	PUNCT
gs-736	24	78	x	x	PROPN
gs-736	24	79	104	104	NUM
gs-736	24	80	ალმასის	ალმასის	NOUN
gs-736	24	81	დისპერსულო	დისპერსულო	PROPN
gs-736	24	82	ბა	ბა	NOUN
gs-736	24	83	,	,	PUNCT
gs-736	24	84	მკმ	მკმ	NOUN
gs-736	24	85	ძვრის	ძვრის	NOUN
gs-736	24	86	მოდულ	მოდულ	ADJ
gs-736	24	87	ი	ი	NOUN
gs-736	24	88	,	,	PUNCT
gs-736	24	89	x103	x103	PROPN
gs-736	24	90	,	,	PUNCT
gs-736	24	91	კგ/მმ2	კგ/მმ2	PROPN
gs-736	24	92	შინაგანი	შინაგანი	VERB
gs-736	24	93	ხახუნის	ხახუნის	PROPN
gs-736	24	94	ინტენსივობა	ინტენსივობა	NOUN
gs-736	24	95	,	,	PUNCT
gs-736	24	96	x	x	PROPN
gs-736	24	97	104	104	NUM
gs-736	24	98	0.05	0.05	NUM
gs-736	24	99	4,80	4,80	NUM
gs-736	24	100	15	15	NUM
gs-736	24	101	0.05	0.05	NUM
gs-736	24	102	4.40	4.40	NUM
gs-736	24	103	17	17	NUM
gs-736	24	104	0.25	0.25	NUM
gs-736	24	105	4,85	4,85	NUM
gs-736	24	106	11	11	NUM
gs-736	24	107	0.25	0.25	NUM
gs-736	24	108	4.45	4.45	NUM
gs-736	24	109	16	16	NUM
gs-736	24	110	0.5	0.5	NUM
gs-736	24	111	4,95	4,95	NUM
gs-736	24	112	7	7	NUM
gs-736	24	113	0.5	0.5	NUM
gs-736	24	114	4,50	4,50	NUM
gs-736	24	115	13	13	NUM
gs-736	24	116	1.0	1.0	NUM
gs-736	24	117	5,05	5,05	NUM
gs-736	24	118	5	5	NUM
gs-736	24	119	1.0	1.0	NUM
gs-736	24	120	4,55	4,55	NUM
gs-736	24	121	10	10	NUM
gs-736	24	122	2.0	2.0	NUM
gs-736	24	123	4,95	4,95	NUM
gs-736	24	124	8	8	NUM
gs-736	24	125	2.0	2.0	NUM
gs-736	24	126	4,70	4,70	NUM
gs-736	24	127	12	12	NUM
gs-736	24	128	5.0	5.0	NUM
gs-736	24	129	4,70	4,70	NUM
gs-736	24	130	10	10	NUM
gs-736	24	131	5.0	5.0	NUM
gs-736	24	132	4,60	4,60	NUM
gs-736	24	133	16	16	NUM
gs-736	24	134	ნახ.2-ზე	ნახ.2-ზე	PROPN
gs-736	24	135	წარმოდგენილია	წარმოდგენილია	VERB
gs-736	24	136	მაპოლირებელი	მაპოლირებელი	NOUN
gs-736	24	137	მასალის	მასალის	PROPN
gs-736	24	138	დისპერსულობის	დისპერსულობის	PROPN
gs-736	24	139	ცვლილების	ცვლილების	NOUN
gs-736	24	140	პირობებში	პირობებში	NOUN
gs-736	24	141	ძვრის	ძვრის	NOUN
gs-736	24	142	დინამიური	დინამიური	PROPN
gs-736	24	143	მოდულის	მოდულის	PROPN
gs-736	24	144	ცვლილების	ცვლილების	PROPN
gs-736	24	145	ხასიათი.	ხასიათი.	ADJ
gs-736	24	146	georgian	georgian	ADJ
gs-736	24	147	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-736	24	148	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-736	24	149	ტ.	ტ.	VERB
gs-736	24	150	4	4	NUM
gs-736	24	151	n	n	DET
gs-736	24	152	1	1	NUM
gs-736	24	153	,	,	PUNCT
gs-736	24	154	2022	2022	NUM
gs-736	24	155	70	70	NUM
gs-736	24	156	ნახ.2	ნახ.2	NUM
gs-736	24	157	.	.	PUNCT
gs-736	25	1	p	p	X
gs-736	25	2	-	-	PUNCT
gs-736	25	3	sige	sige	ADJ
gs-736	25	4	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	ADJ
gs-736	25	5	ძვრის	ძვრის	PROPN
gs-736	25	6	მოდულის	მოდულის	PROPN
gs-736	25	7	დამოკიდებულება	დამოკიდებულება	PROPN
gs-736	25	8	მაპოლირებელი	მაპოლირებელი	PROPN
gs-736	25	9	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-736	25	10	პასტების	პასტების	PROPN
gs-736	25	11	დისპერსულობაზე.	დისპერსულობაზე.	VERB
gs-736	25	12	1.p	1.p	NUM
gs-736	25	13	-	-	PUNCT
gs-736	25	14	si+2ატ.%ge	si+2ატ.%ge	NOUN
gs-736	25	15	:	:	PUNCT
gs-736	25	16	b	b	NOUN
gs-736	25	17	2p	2p	NUM
gs-736	25	18	-	-	PUNCT
gs-736	25	19	si+2,5ატ.	si+2,5ატ.	NOUN
gs-736	25	20	%	%	NOUN
gs-736	25	21	ge	ge	PROPN
gs-736	25	22	:	:	PUNCT
gs-736	25	23	b	b	NOUN
gs-736	25	24	მექანიკური	მექანიკური	ADV
gs-736	25	25	დამუშავებით	დამუშავებით	PROPN
gs-736	25	26	p	p	ADJ
gs-736	25	27	-	-	PUNCT
gs-736	25	28	sige	sige	ADJ
gs-736	25	29	ნიმუშების	ნიმუშების	NOUN
gs-736	25	30	ზედაპირებზე	ზედაპირებზე	PROPN
gs-736	25	31	წარმოქმნილი	წარმოქმნილი	PROPN
gs-736	25	32	სტრუქტურული	სტრუქტურული	NOUN
gs-736	25	33	დეფექტები	დეფექტები	NOUN
gs-736	26	1	შესამჩნევად	შესამჩნევად	PROPN
gs-736	26	2	ცვლიან	ცვლიან	NOUN
gs-736	26	3	ინფრაწითელი	ინფრაწითელი	PROPN
gs-736	26	4	გამოსხივების	გამოსხივების	PROPN
gs-736	26	5	ოპტიკური	ოპტიკური	PROPN
gs-736	26	6	შთანთქმის	შთანთქმის	PROPN
gs-736	26	7	მაქსიმუმების	მაქსიმუმების	ADJ
gs-736	26	8	ენერგეტიკულ	ენერგეტიკულ	PROPN
gs-736	26	9	მდგომარეობებსა	მდგომარეობებსა	NOUN
gs-736	26	10	და	და	NOUN
gs-736	26	11	ინტენსივობებს.	ინტენსივობებს.	PROPN
gs-736	26	12	ცვლილებას	ცვლილებას	PROPN
gs-736	26	13	განიცდიან	განიცდიან	PROPN
gs-736	26	14	ასევე	ასევე	PROPN
gs-736	26	15	p	p	PROPN
gs-736	26	16	-	-	PUNCT
gs-736	26	17	sige	sige	ADJ
gs-736	26	18	შენადნობის	შენადნობის	NOUN
gs-736	26	19	კრისტალურ	კრისტალურ	VERB
gs-736	26	20	მესერში	მესერში	PROPN
gs-736	26	21	გახსნილი	გახსნილი	PROPN
gs-736	26	22	ჟანგბადისა	ჟანგბადისა	PROPN
gs-736	26	23	და	და	NOUN
gs-736	26	24	ნახშირბადის	ნახშირბადის	ADJ
gs-736	26	25	ატომების	ატომების	PROPN
gs-736	26	26	ოპტიკური	ოპტიკური	PROPN
gs-736	26	27	შთანთქმის	შთანთქმის	PROPN
gs-736	26	28	მაქსიმუმები.	მაქსიმუმები.	PROPN
gs-736	26	29	ნახ.3.-ზე	ნახ.3.-ზე	PROPN
gs-736	26	30	წარმოდგენილია	წარმოდგენილია	VERB
gs-736	26	31	0,25	0,25	NUM
gs-736	27	1	მკმ	მკმ	NOUN
gs-736	27	2	დისპერსულობის	დისპერსულობის	VERB
gs-736	27	3	ალმასით	ალმასით	X
gs-736	27	4	პოლირებული	პოლირებული	PROPN
gs-736	27	5	(	(	PUNCT
gs-736	27	6	111	111	NUM
gs-736	27	7	)	)	PUNCT
gs-736	28	1	ორიენტაციის	ორიენტაციის	NOUN
gs-736	28	2	ნიმუშის	ნიმუშის	PROPN
gs-736	28	3	ოპტიკური	ოპტიკური	PROPN
gs-736	28	4	შთანთქმის	შთანთქმის	PROPN
gs-736	28	5	სპექტრი.	სპექტრი.	PROPN
gs-736	28	6	ის	ის	PROPN
gs-736	28	7	წარმოადგენს	წარმოადგენს	PROPN
gs-736	28	8	მზარდი	მზარდი	NOUN
gs-736	28	9	ფონისა	ფონისა	PROPN
gs-736	28	10	და	და	PROPN
gs-736	28	11	დეფორმაციული	დეფორმაციული	PROPN
gs-736	28	12	წარმოშობის	წარმოშობის	PROPN
gs-736	28	13	დეფექტებთან	დეფექტებთან	PROPN
gs-736	28	14	დაკავშირებული	დაკავშირებული	VERB
gs-736	28	15	მაქსიმუმების	მაქსიმუმების	NOUN
gs-736	28	16	ერთობლიობას.	ერთობლიობას.	VERB
gs-736	29	1	5355.244	5355.244	NUM
gs-736	29	2	0.002	0.002	NUM
gs-736	29	3	3870.190	3870.190	NUM
gs-736	29	4	0.003	0.003	NUM
gs-736	29	5	3822.602	3822.602	NUM
gs-736	29	6	0.005	0.005	NUM
gs-736	29	7	3798.952	3798.952	NUM
gs-736	29	8	0.003	0.003	NUM
gs-736	29	9	3752.313	3752.313	NUM
gs-736	29	10	0.008	0.008	NUM
gs-736	29	11	3675.671	3675.671	NUM
gs-736	29	12	0.006	0.006	NUM
gs-736	29	13	2924.301	2924.301	NUM
gs-736	29	14	0.005	0.005	NUM
gs-736	29	15	2855.758	2855.758	NUM
gs-736	29	16	0.002	0.002	NUM
gs-736	29	17	2361.187	2361.187	NUM
gs-736	29	18	0.020	0.020	NUM
gs-736	29	19	1794.041	1794.041	NUM
gs-736	29	20	0.003	0.003	NUM
gs-736	29	21	1747.779	1747.779	NUM
gs-736	29	22	0.007	0.007	NUM
gs-736	29	23	1684.765	1684.765	NUM
gs-736	29	24	0.005	0.005	NUM
gs-736	29	25	1652.764	1652.764	NUM
gs-736	29	26	0.004	0.004	NUM
gs-736	29	27	1542.374	1542.374	NUM
gs-736	29	28	0.007	0.007	NUM
gs-736	29	29	1508.658	1508.658	NUM
gs-736	29	30	0.007	0.007	NUM
gs-736	29	31	1457.236	1457.236	NUM
gs-736	29	32	0.007	0.007	NUM
gs-736	29	33	1339.197	1339.197	NUM
gs-736	29	34	0.005	0.005	NUM
gs-736	29	35	1316.359	1316.359	NUM
gs-736	29	36	0.003	0.003	NUM
gs-736	29	37	1106.781	1106.781	NUM
gs-736	29	38	0.024	0.024	NUM
gs-736	29	39	890.187	890.187	NUM
gs-736	29	40	0.008	0.008	NUM
gs-736	29	41	815.589	815.589	NUM
gs-736	29	42	0.003	0.003	NUM
gs-736	29	43	734.951	734.951	NUM
gs-736	29	44	0.013	0.013	NUM
gs-736	29	45	604.446	604.446	NUM
gs-736	29	46	0.068	0.068	NUM
gs-736	29	47	516.079	516.079	NUM
gs-736	29	48	0.005	0.005	NUM
gs-736	29	49	472.447	472.447	NUM
gs-736	29	50	0.005	0.005	NUM
gs-736	29	51	423.471	423.471	NUM
gs-736	29	52	0.006	0.006	NUM
gs-736	29	53	#	#	NOUN
gs-736	29	54	81(1	81(1	NUM
gs-736	29	55	)	)	PUNCT
gs-736	29	56	sige(2%ge	sige(2%ge	NOUN
gs-736	29	57	)	)	PUNCT
gs-736	29	58	0.25mk	0.25mk	NOUN
gs-736	29	59	04.08.2016	04.08.2016	NUM
gs-736	29	60	5800	5800	NUM
gs-736	29	61	5600	5600	NUM
gs-736	29	62	5400	5400	NUM
gs-736	29	63	5200	5200	NUM
gs-736	29	64	5000	5000	NUM
gs-736	29	65	4800	4800	NUM
gs-736	29	66	4600	4600	NUM
gs-736	29	67	4400	4400	NUM
gs-736	29	68	4200	4200	NUM
gs-736	29	69	4000	4000	NUM
gs-736	29	70	3800	3800	NUM
gs-736	29	71	3600	3600	NUM
gs-736	29	72	3400	3400	NUM
gs-736	29	73	3200	3200	NUM
gs-736	29	74	3000	3000	NUM
gs-736	29	75	2800	2800	NUM
gs-736	29	76	2600	2600	NUM
gs-736	29	77	2400	2400	NUM
gs-736	29	78	2200	2200	NUM
gs-736	29	79	2000	2000	NUM
gs-736	29	80	1800	1800	NUM
gs-736	29	81	1600	1600	NUM
gs-736	29	82	1400	1400	NUM
gs-736	29	83	1200	1200	NUM
gs-736	29	84	1000	1000	NUM
gs-736	29	85	800	800	NUM
gs-736	29	86	600	600	NUM
gs-736	29	87	400	400	NUM
gs-736	29	88	200	200	NUM
gs-736	29	89	0.29	0.29	NUM
gs-736	29	90	0.28	0.28	NUM
gs-736	29	91	0.27	0.27	NUM
gs-736	29	92	0.26	0.26	NUM
gs-736	29	93	0.25	0.25	NUM
gs-736	29	94	0.24	0.24	NUM
gs-736	29	95	0.23	0.23	NUM
gs-736	29	96	0.22	0.22	NUM
gs-736	29	97	0.21	0.21	NUM
gs-736	29	98	0.20	0.20	NUM
gs-736	29	99	wavenumber	wavenumber	NOUN
gs-736	29	100	a	a	DET
gs-736	29	101	b	b	PROPN
gs-736	29	102	s	s	PART
gs-736	29	103	o	o	NOUN
gs-736	29	104	rb	rb	NOUN
gs-736	29	105	a	a	DET
gs-736	29	106	n	n	NOUN
gs-736	29	107	c	c	NOUN
gs-736	29	108	e	e	NOUN
gs-736	29	109	georgian	georgian	ADJ
gs-736	29	110	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-736	29	111	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-736	29	112	ტ.	ტ.	VERB
gs-736	29	113	4	4	NUM
gs-736	29	114	n	n	PRON
gs-736	29	115	1	1	NUM
gs-736	29	116	,	,	PUNCT
gs-736	29	117	2022	2022	NUM
gs-736	29	118	71	71	NUM
gs-736	29	119	ნახ.3	ნახ.3	PROPN
gs-736	29	120	.	.	PUNCT
gs-736	30	1	0,25	0,25	PROPN
gs-736	31	1	მკმ	მკმ	NOUN
gs-736	31	2	დისპერსულობის	დისპერსულობის	VERB
gs-736	31	3	ალმასით	ალმასით	X
gs-736	31	4	პოლირებული	პოლირებული	PROPN
gs-736	31	5	(	(	PUNCT
gs-736	31	6	111	111	NUM
gs-736	31	7	)	)	PUNCT
gs-736	31	8	ორიენტაციის	ორიენტაციის	NOUN
gs-736	31	9	ფუძეშრის	ფუძეშრის	NOUN
gs-736	31	10	ინფრაწითელი	ინფრაწითელი	PROPN
gs-736	31	11	გამოსხივების	გამოსხივების	PROPN
gs-736	31	12	ოპტიკური	ოპტიკური	PROPN
gs-736	31	13	შთანთქმის	შთანთქმის	PROPN
gs-736	31	14	სპექტრი.	სპექტრი.	PROPN
gs-736	31	15	სპექტრში	სპექტრში	PROPN
gs-736	31	16	მკაფიოდ	მკაფიოდ	PROPN
gs-736	31	17	არიან	არიან	PROPN
gs-736	31	18	წარმოდგენილი	წარმოდგენილი	VERB
gs-736	31	19	ჟანგბადის	ჟანგბადის	ADJ
gs-736	31	20	ჩანერგვის	ჩანერგვის	NOUN
gs-736	31	21	პოზიციებში	პოზიციებში	PROPN
gs-736	31	22	განთავსებული	განთავსებული	PROPN
gs-736	31	23	ატომებისა	ატომებისა	PROPN
gs-736	31	24	(	(	PUNCT
gs-736	31	25	1107	1107	NUM
gs-736	31	26	სმ-1	სმ-1	NOUN
gs-736	31	27	)	)	PUNCT
gs-736	31	28	და	და	NOUN
gs-736	31	29	ნახშირბადის	ნახშირბადის	ADJ
gs-736	31	30	ჩანაცვლების	ჩანაცვლების	ADJ
gs-736	31	31	პოზიციებში	პოზიციებში	NOUN
gs-736	31	32	გახსნილი	გახსნილი	PROPN
gs-736	31	33	ატომების	ატომების	NOUN
gs-736	31	34	(	(	PUNCT
gs-736	31	35	604	604	NUM
gs-736	31	36	სმ-1	სმ-1	NUM
gs-736	31	37	)	)	PUNCT
gs-736	31	38	და	და	NOUN
gs-736	31	39	კრისტალური	კრისტალური	NOUN
gs-736	31	40	მესრის	მესრის	PROPN
gs-736	31	41	რხევებზე	რხევებზე	PROPN
gs-736	31	42	მრავალფონონური	მრავალფონონური	PROPN
gs-736	31	43	გაბნევის	გაბნევის	PROPN
gs-736	31	44	მაქსიმუმების	მაქსიმუმების	PROPN
gs-736	31	45	სიმრავლე	სიმრავლე	PROPN
gs-736	31	46	ტალღური	ტალღური	PROPN
gs-736	31	47	ვექტორის	ვექტორის	NOUN
gs-736	31	48	800	800	NUM
gs-736	31	49	-	-	SYM
gs-736	31	50	1100	1100	NUM
gs-736	31	51	სმ-1	სმ-1	NUM
gs-736	31	52	დიაპაზონში.	დიაპაზონში.	PROPN
gs-736	31	53	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-736	31	54	მაპოლირებელი	მაპოლირებელი	PROPN
gs-736	31	55	მასალის	მასალის	PROPN
gs-736	31	56	დისპერსულობის	დისპერსულობის	VERB
gs-736	31	57	ცვლილებით	ცვლილებით	PROPN
gs-736	31	58	0,25	0,25	PUNCT
gs-736	31	59	-	-	SYM
gs-736	31	60	5,0	5,0	NUM
gs-736	31	61	მკმ	მკმ	NOUN
gs-736	31	62	ინტერვალში	ინტერვალში	PROPN
gs-736	31	63	ოპტიკური	ოპტიკური	PROPN
gs-736	31	64	შთანთქმის	შთანთქმის	PROPN
gs-736	31	65	მაქსიმუმების	მაქსიმუმების	ADJ
gs-736	31	66	პოზიციები	პოზიციები	PROPN
gs-736	31	67	და	და	PROPN
gs-736	31	68	ინტენსივობა	ინტენსივობა	PROPN
gs-736	31	69	არამონოტონურად	არამონოტონურად	PROPN
gs-736	31	70	იცვლება	იცვლება	PROPN
gs-736	31	71	(	(	PUNCT
gs-736	31	72	ცხრილი	ცხრილი	NOUN
gs-736	31	73	1	1	NUM
gs-736	31	74	)	)	PUNCT
gs-736	31	75	.	.	PUNCT
gs-736	32	1	ოპტიკური	ოპტიკური	PROPN
gs-736	32	2	შთანთქმის	შთანთქმის	PROPN
gs-736	32	3	სპექტრებში	სპექტრებში	PROPN
gs-736	32	4	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-736	32	5	პოლირების	პოლირების	PROPN
gs-736	32	6	შედეგად	შედეგად	VERB
gs-736	32	7	ჩნდება	ჩნდება	PROPN
gs-736	32	8	მაქსიმუმი	მაქსიმუმი	PROPN
gs-736	32	9	2360	2360	NUM
gs-736	32	10	სმ1	სმ1	PROPN
gs-736	32	11	ტალღური	ტალღური	PROPN
gs-736	32	12	ვექტორის	ვექტორის	PROPN
gs-736	32	13	მახლობლობაში.	მახლობლობაში.	PROPN
gs-736	32	14	აღნიშნული	აღნიშნული	PROPN
gs-736	32	15	მაქსიმუმი	მაქსიმუმი	PROPN
gs-736	32	16	განეკუთვნება	განეკუთვნება	NOUN
gs-736	32	17	co2	co2	NOUN
gs-736	32	18	მოლეკულას	მოლეკულას	PROPN
gs-736	32	19	[	[	X
gs-736	32	20	6	6	NUM
gs-736	32	21	]	]	PUNCT
gs-736	32	22	.	.	PUNCT
gs-736	33	1	მისი	მისი	ADJ
gs-736	33	2	არსებობა	არსებობა	NOUN
gs-736	33	3	p	p	X
gs-736	33	4	-	-	PUNCT
gs-736	33	5	sige	sige	ADJ
gs-736	33	6	შენადნობის	შენადნობის	PROPN
gs-736	33	7	ოპტიკური	ოპტიკური	PROPN
gs-736	33	8	შთანთქმის	შთანთქმის	PROPN
gs-736	33	9	სპექტრში	სპექტრში	NOUN
gs-736	33	10	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-736	33	11	დაკავშირებულია	დაკავშირებულია	VERB
gs-736	33	12	დეფორმაციით	დეფორმაციით	ADJ
gs-736	33	13	გააქტიურებულ	გააქტიურებულ	PROPN
gs-736	33	14	ზედაპირზე	ზედაპირზე	PROPN
gs-736	33	15	ატმოსფეროში	ატმოსფეროში	PROPN
gs-736	33	16	არსებული	არსებული	PROPN
gs-736	33	17	co2	co2	PROPN
gs-736	33	18	მოლეკულების	მოლეკულების	PROPN
gs-736	33	19	აბსორბციით.	აბსორბციით.	PROPN
gs-736	33	20	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-736	33	21	ასევე	ასევე	PROPN
gs-736	33	22	მისი	მისი	PROPN
gs-736	33	23	ფორმირება	ფორმირება	PROPN
gs-736	33	24	უშუალოდ	უშუალოდ	PROPN
gs-736	33	25	მექანიკური	მექანიკური	PROPN
gs-736	33	26	პოლირების	პოლირების	PROPN
gs-736	33	27	პროცესში.	პროცესში.	VERB
gs-736	33	28	co2-სთან	co2-სთან	ADJ
gs-736	33	29	დაკავშირებული	დაკავშირებული	PROPN
gs-736	33	30	მაქსიმუმი	მაქსიმუმი	ADJ
gs-736	33	31	სრულად	სრულად	ADJ
gs-736	33	32	ჩაიხშობა	ჩაიხშობა	PROPN
gs-736	33	33	ქიმიური	ქიმიური	PROPN
gs-736	33	34	პოლირებით	პოლირებით	PROPN
gs-736	33	35	,	,	PUNCT
gs-736	33	36	რაც	რაც	PROPN
gs-736	33	37	მიუთითებს	მიუთითებს	PROPN
gs-736	33	38	მის	მის	PROPN
gs-736	33	39	წარმოშობაზე	წარმოშობაზე	PROPN
gs-736	33	40	ფუძეშრეების	ფუძეშრეების	ADV
gs-736	33	41	ზედაპირულ	ზედაპირულ	PROPN
gs-736	33	42	ფენებში	ფენებში	PROPN
gs-736	33	43	გარეშე	გარეშე	PROPN
gs-736	33	44	ფაქტორების	ფაქტორების	PROPN
gs-736	33	45	ზემოქმედების	ზემოქმედების	ADV
gs-736	33	46	პირობებში.	პირობებში.	VERB
gs-736	33	47	p	p	X
gs-736	33	48	-	-	PUNCT
gs-736	33	49	si+2ატ.%ge	si+2ატ.%ge	NOUN
gs-736	33	50	:	:	PUNCT
gs-736	33	51	b	b	NOUN
gs-736	33	52	ფუძეშრის	ფუძეშრის	X
gs-736	33	53	მინარევების	მინარევების	VERB
gs-736	33	54	კონცენტრაციის	კონცენტრაციის	PROPN
gs-736	33	55	დამოკიდებულება	დამოკიდებულება	PROPN
gs-736	33	56	მაპოლირებელი	მაპოლირებელი	PROPN
gs-736	33	57	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-736	33	58	ნაწილაკების	ნაწილაკების	PROPN
gs-736	33	59	დისპერსულობაზე	დისპერსულობაზე	VERB
gs-736	33	60	ცხრილი	ცხრილი	ADJ
gs-736	33	61	1	1	NUM
gs-736	33	62	ალმასის	ალმასის	NOUN
gs-736	33	63	დისპერსულობა	დისპერსულობა	NOUN
gs-736	33	64	,	,	PUNCT
gs-736	33	65	მკმ	მკმ	NOUN
gs-736	33	66	ოპტიკური	ოპტიკური	PROPN
gs-736	33	67	შთანთქმის	შთანთქმის	PROPN
gs-736	33	68	კოეფიციენტი	კოეფიციენტი	PROPN
gs-736	33	69	,	,	PUNCT
gs-736	33	70	სმ-1	სმ-1	PUNCT
gs-736	34	1	c	c	NOUN
gs-736	34	2	o	o	NOUN
gs-736	34	3	co2	co2	NOUN
gs-736	34	4	0,05	0,05	NOUN
gs-736	34	5	6.8x	6.8x	NUM
gs-736	34	6	10	10	NUM
gs-736	34	7	-	-	SYM
gs-736	34	8	1	1	NUM
gs-736	34	9	2.9x	2.9x	NUM
gs-736	34	10	10	10	NUM
gs-736	34	11	-	-	SYM
gs-736	34	12	1	1	NUM
gs-736	34	13	1.38	1.38	NUM
gs-736	34	14	x	x	SYM
gs-736	34	15	10	10	NUM
gs-736	34	16	-	-	SYM
gs-736	34	17	1	1	NUM
gs-736	34	18	0,25	0,25	NUM
gs-736	34	19	3.13	3.13	NUM
gs-736	34	20	x	x	SYM
gs-736	34	21	10	10	NUM
gs-736	34	22	-	-	SYM
gs-736	34	23	1	1	NUM
gs-736	34	24	1.15x	1.15x	NUM
gs-736	34	25	10	10	NUM
gs-736	34	26	-	-	SYM
gs-736	34	27	1	1	NUM
gs-736	34	28	1.9	1.9	NUM
gs-736	34	29	x	x	SYM
gs-736	34	30	10	10	NUM
gs-736	34	31	-	-	SYM
gs-736	34	32	1	1	NUM
gs-736	34	33	0,5	0,5	NUM
gs-736	34	34	8.9	8.9	NUM
gs-736	34	35	x	x	SYM
gs-736	34	36	10	10	NUM
gs-736	34	37	-	-	SYM
gs-736	34	38	1	1	NUM
gs-736	34	39	2.3	2.3	NUM
gs-736	34	40	1.2	1.2	NUM
gs-736	34	41	x	x	SYM
gs-736	34	42	10	10	NUM
gs-736	34	43	-	-	SYM
gs-736	34	44	1	1	NUM
gs-736	34	45	1,0	1,0	NUM
gs-736	34	46	9	9	NUM
gs-736	34	47	x	x	SYM
gs-736	34	48	10	10	NUM
gs-736	34	49	-	-	SYM
gs-736	34	50	1	1	NUM
gs-736	34	51	2.35x	2.35x	NUM
gs-736	34	52	10	10	NUM
gs-736	34	53	-	-	SYM
gs-736	34	54	1	1	NUM
gs-736	34	55	0.46	0.46	NUM
gs-736	34	56	x	x	SYM
gs-736	34	57	10	10	NUM
gs-736	34	58	-	-	SYM
gs-736	34	59	1	1	NUM
gs-736	34	60	5,0	5,0	NUM
gs-736	34	61	4.7	4.7	NUM
gs-736	34	62	x	x	SYM
gs-736	34	63	10	10	NUM
gs-736	34	64	-	-	SYM
gs-736	34	65	1	1	NUM
gs-736	34	66	1.38x	1.38x	NUM
gs-736	34	67	10	10	NUM
gs-736	34	68	-	-	SYM
gs-736	34	69	1	1	NUM
gs-736	34	70	0.74	0.74	NUM
gs-736	34	71	x	x	SYM
gs-736	34	72	10	10	NUM
gs-736	34	73	-	-	SYM
gs-736	34	74	1	1	NUM
gs-736	34	75	მაპოლირებელ	მაპოლირებელ	NOUN
gs-736	34	76	მასალაში	მასალაში	NOUN
gs-736	34	77	ალმასის	ალმასის	PROPN
gs-736	34	78	დისპერსულობის	დისპერსულობის	PROPN
gs-736	34	79	ფართო	ფართო	PROPN
gs-736	34	80	დიაპაზონში	დიაპაზონში	PROPN
gs-736	34	81	c	c	PROPN
gs-736	34	82	და	და	PROPN
gs-736	34	83	o	o	PROPN
gs-736	34	84	მინარევების	მინარევების	NOUN
gs-736	34	85	შდგენილობის	შდგენილობის	ADJ
gs-736	34	86	არამონოტონური	არამონოტონური	PROPN
gs-736	34	87	ცვლილებების	ცვლილებების	PROPN
gs-736	34	88	ერთ-ერთ	ერთ-ერთ	PROPN
gs-736	34	89	მიზეზად	მიზეზად	ADJ
gs-736	34	90	შესაძლებელია	შესაძლებელია	VERB
gs-736	34	91	ვივარაუდოთ	ვივარაუდოთ	VERB
gs-736	34	92	აღნიშნული	აღნიშნული	NOUN
gs-736	34	93	ელემენტების	ელემენტების	ADV
gs-736	34	94	ურთიერთქმედება	ურთიერთქმედება	PROPN
gs-736	34	95	ვაკანსიური	ვაკანსიური	PROPN
gs-736	34	96	და	და	PROPN
gs-736	34	97	დისლოკაციური	დისლოკაციური	CCONJ
gs-736	34	98	წარმოშობის	წარმოშობის	PROPN
gs-736	34	99	დეფექტებთან	დეფექტებთან	NOUN
gs-736	34	100	,	,	PUNCT
gs-736	34	101	რაც	რაც	VERB
gs-736	34	102	ჰქმნის	ჰქმნის	NOUN
gs-736	34	103	პრეციპიტატებისა	პრეციპიტატებისა	PROPN
gs-736	34	104	და	და	PROPN
gs-736	34	105	რთული	რთული	PROPN
gs-736	34	106	შედგენილობის	შედგენილობის	ADJ
gs-736	34	107	ვაკანსიაc	ვაკანსიაc	NOUN
gs-736	34	108	-	-	PUNCT
gs-736	34	109	o	o	NOUN
gs-736	34	110	კომპლექსების	კომპლექსების	ADJ
gs-736	34	111	ფორმირების	ფორმირების	ADJ
gs-736	34	112	პირობებს.	პირობებს.	ADJ
gs-736	34	113	georgian	georgian	ADJ
gs-736	34	114	scientists/ქართველი	scientists/ქართველი	NOUN
gs-736	34	115	მეცნიერები	მეცნიერები	NOUN
gs-736	34	116	ტ.	ტ.	VERB
gs-736	34	117	4	4	NUM
gs-736	34	118	n	n	DET
gs-736	34	119	1	1	NUM
gs-736	34	120	,	,	PUNCT
gs-736	34	121	2022	2022	NUM
gs-736	34	122	72	72	NUM
gs-736	34	123	ლიტერატურა	ლიტერატურა	NOUN
gs-736	34	124	:	:	PUNCT
gs-736	34	125	1	1	X
gs-736	34	126	.	.	X
gs-736	35	1	в.д.вернер	в.д.вернер	NOUN
gs-736	35	2	,	,	PUNCT
gs-736	35	3	в	в	PROPN
gs-736	35	4	.	.	PUNCT
gs-736	36	1	я	я	X
gs-736	36	2	.	.	PUNCT
gs-736	36	3	ковязин	ковязин	NOUN
gs-736	36	4	,	,	PUNCT
gs-736	36	5	ю	ю	NOUN
gs-736	36	6	.	.	PUNCT
gs-736	36	7	н	н	NOUN
gs-736	36	8	.	.	PUNCT
gs-736	36	9	кузнецов	кузнецов	PROPN
gs-736	36	10	.	.	PUNCT
gs-736	37	1	внутреннее	внутреннее	PROPN
gs-736	37	2	трение	трение	PROPN
gs-736	37	3	полупроводниковых	полупроводниковых	VERB
gs-736	37	4	пластин	пластин	NOUN
gs-736	37	5	кремния	кремния	NOUN
gs-736	37	6	.	.	PUNCT
gs-736	38	1	физика	физика	PROPN
gs-736	38	2	и	и	PROPN
gs-736	38	3	химия	химия	PROPN
gs-736	38	4	обработки	обработки	VERB
gs-736	38	5	материалов	материалов	PROPN
gs-736	38	6	,	,	PUNCT
gs-736	38	7	1977	1977	NUM
gs-736	38	8	,	,	PUNCT
gs-736	38	9	#	#	SYM
gs-736	38	10	4	4	NUM
gs-736	38	11	.	.	PUNCT
gs-736	39	1	стр.70	стр.70	NOUN
gs-736	39	2	-	-	PUNCT
gs-736	39	3	75	75	NUM
gs-736	39	4	2	2	NUM
gs-736	39	5	.	.	PUNCT
gs-736	39	6	в.п	в.п	PROPN
gs-736	39	7	.	.	PROPN
gs-736	39	8	алехин	алехин	PROPN
gs-736	39	9	,	,	PUNCT
gs-736	39	10	физика	физика	ADJ
gs-736	39	11	прочности	прочности	X
gs-736	39	12	и	и	PROPN
gs-736	39	13	пластичности	пластичности	PROPN
gs-736	39	14	поверхностных	поверхностных	PROPN
gs-736	39	15	материалов	материалов	VERB
gs-736	39	16	.	.	PUNCT
gs-736	40	1	м	м	X
gs-736	40	2	.	.	PUNCT
gs-736	40	3	:	:	PUNCT
gs-736	41	1	наука	наука	ADJ
gs-736	41	2	,	,	PUNCT
gs-736	41	3	1983	1983	NUM
gs-736	41	4	.	.	PUNCT
gs-736	42	1	3.v.v	3.v.v	NUM
gs-736	42	2	.	.	PUNCT
gs-736	42	3	kveder	kveder	PROPN
gs-736	42	4	,	,	PUNCT
gs-736	42	5	e.a	e.a	PROPN
gs-736	42	6	.	.	PROPN
gs-736	42	7	steiman	steiman	PROPN
gs-736	42	8	,	,	PUNCT
gs-736	42	9	s.a.shevchenko	s.a.shevchenko	PROPN
gs-736	42	10	,	,	PUNCT
gs-736	42	11	h.g	h.g	PROPN
gs-736	42	12	.	.	PROPN
gs-736	42	13	grimmeiss	grimmeiss	PROPN
gs-736	42	14	.	.	PUNCT
gs-736	43	1	dislocation	dislocation	NOUN
gs-736	43	2	-	-	PUNCT
gs-736	43	3	related	relate	VERB
gs-736	43	4	electroluminescence	electroluminescence	NOUN
gs-736	43	5	at	at	ADP
gs-736	43	6	room	room	NOUN
gs-736	43	7	temperature	temperature	NOUN
gs-736	43	8	in	in	ADP
gs-736	43	9	plastically	plastically	ADV
gs-736	43	10	deformed	deform	VERB
gs-736	43	11	silicon	silicon	NOUN
gs-736	43	12	.	.	PUNCT
gs-736	44	1	phys	phy	NOUN
gs-736	44	2	.	.	PUNCT
gs-736	45	1	rev	rev	PROPN
gs-736	45	2	.	.	PROPN
gs-736	46	1	b	b	X
gs-736	46	2	,	,	PUNCT
gs-736	46	3	51	51	NUM
gs-736	46	4	,	,	PUNCT
gs-736	46	5	10520	10520	NUM
gs-736	46	6	,	,	PUNCT
gs-736	46	7	1995	1995	NUM
gs-736	46	8	.	.	PUNCT
gs-736	47	1	4	4	NUM
gs-736	47	2	.	.	X
gs-736	47	3	р.и.баталов	р.и.баталов	NOUN
gs-736	47	4	,	,	PUNCT
gs-736	47	5	р.м	р.м	PROPN
gs-736	47	6	.	.	PROPN
gs-736	47	7	баязитов	баязитов	PROPN
gs-736	47	8	,	,	PUNCT
gs-736	47	9	в.а	в.а	PROPN
gs-736	47	10	.	.	PROPN
gs-736	47	11	андреев	андреев	NOUN
gs-736	47	12	,	,	PUNCT
gs-736	47	13	д.и.крижков	д.и.крижков	PROPN
gs-736	47	14	,	,	PUNCT
gs-736	47	15	в.с	в.с	PROPN
gs-736	47	16	.	.	PROPN
gs-736	47	17	кудоярова	кудоярова	PROPN
gs-736	47	18	.	.	PUNCT
gs-736	48	1	фотолюминесценция	фотолюминесценция	PROPN
gs-736	48	2	в	в	PROPN
gs-736	48	3	области	области	PROPN
gs-736	48	4	1,5	1,5	NUM
gs-736	48	5	мкм	мкм	PROPN
gs-736	48	6	механически	механически	NOUN
gs-736	48	7	обработанных	обработанных	VERB
gs-736	48	8	слоев	слоев	ADJ
gs-736	48	9	монокристаллического	монокристаллического	NOUN
gs-736	48	10	кремния	кремния	NOUN
gs-736	48	11	.	.	PUNCT
gs-736	49	1	физика	физика	PROPN
gs-736	49	2	и	и	PROPN
gs-736	49	3	техника	техника	PROPN
gs-736	49	4	полупроводников	полупроводников	NOUN
gs-736	49	5	,	,	PUNCT
gs-736	49	6	2003	2003	NUM
gs-736	49	7	,	,	PUNCT
gs-736	49	8	том	том	VERB
gs-736	49	9	37	37	NUM
gs-736	49	10	,	,	PUNCT
gs-736	49	11	#	#	SYM
gs-736	49	12	12	12	NUM
gs-736	49	13	.	.	PUNCT
gs-736	50	1	1427	1427	NUM
gs-736	50	2	-	-	SYM
gs-736	50	3	1430	1430	NUM
gs-736	50	4	.	.	PUNCT
gs-736	51	1	5.m.s	5.m.s	NUM
gs-736	51	2	.	.	PUNCT
gs-736	51	3	blanter	blanter	PROPN
gs-736	51	4	,	,	PUNCT
gs-736	51	5	i.s.golovin	i.s.golovin	PROPN
gs-736	51	6	,	,	PUNCT
gs-736	51	7	h.neuhauser	h.neuhauser	ADV
gs-736	51	8	,	,	PUNCT
gs-736	51	9	h.-r.sinning	h.-r.sinning	NOUN
gs-736	51	10	.	.	PUNCT
gs-736	52	1	internal	internal	ADJ
gs-736	52	2	friction	friction	NOUN
gs-736	52	3	in	in	ADP
gs-736	52	4	metallic	metallic	ADJ
gs-736	52	5	materials	material	NOUN
gs-736	52	6	.	.	PUNCT
gs-736	53	1	a	a	DET
gs-736	53	2	handbook	handbook	NOUN
gs-736	53	3	.	.	PUNCT
gs-736	54	1	springer	springer	NOUN
gs-736	54	2	series	series	PROPN
gs-736	54	3	in	in	ADP
gs-736	54	4	materials	material	NOUN
gs-736	54	5	science	science	NOUN
gs-736	54	6	.	.	PUNCT
gs-736	55	1	vol	vol	NOUN
gs-736	55	2	.	.	PUNCT
gs-736	56	1	990	990	NUM
gs-736	56	2	,	,	PUNCT
gs-736	56	3	2007	2007	NUM
gs-736	56	4	,	,	PUNCT
gs-736	56	5	xvii	xvii	PROPN
gs-736	56	6	,	,	PUNCT
gs-736	56	7	539p	539p	PROPN
gs-736	56	8	.	.	PUNCT
gs-736	57	1	6.ir	6.ir	NUM
gs-736	57	2	spectrum	spectrum	NOUN
gs-736	57	3	table	table	NOUN
gs-736	57	4	and	and	CCONJ
gs-736	57	5	chart	chart	NOUN
gs-736	57	6	,	,	PUNCT
gs-736	57	7	https://www.sigmaaldrich.com/ge/en/technical-documents/technicalarticle/analytical-chemistry/photometry-and-reflectometry/ir-spectrum-table	https://www.sigmaaldrich.com/ge/en/technical-documents/technicalarticle/analytical-chemistry/photometry-and-reflectometry/ir-spectrum-table	ADJ
gs-736	57	8	influence	influence	NOUN
gs-736	57	9	of	of	ADP
gs-736	57	10	mechanical	mechanical	ADJ
gs-736	57	11	polishing	polishing	NOUN
gs-736	57	12	on	on	ADP
gs-736	57	13	the	the	DET
gs-736	57	14	physical	physical	ADJ
gs-736	57	15	-	-	PUNCT
gs-736	57	16	mechanical	mechanical	ADJ
gs-736	57	17	properties	property	NOUN
gs-736	57	18	of	of	ADP
gs-736	57	19	monocrystalline	monocrystalline	ADJ
gs-736	57	20	p	p	ADJ
gs-736	57	21	-	-	PUNCT
gs-736	57	22	sige	sige	ADJ
gs-736	57	23	substrates	substrate	NOUN
gs-736	57	24	i.kurashvili	i.kurashvili	NOUN
gs-736	57	25	,	,	PUNCT
gs-736	57	26	t.melashvili	t.melashvili	NOUN
gs-736	57	27	,	,	PUNCT
gs-736	57	28	n.gogolashvili	n.gogolashvili	NOUN
gs-736	57	29	,	,	PUNCT
gs-736	57	30	g.chubinidze	g.chubinidze	PROPN
gs-736	57	31	,	,	PUNCT
gs-736	57	32	m.kadaria	m.kadaria	NOUN
gs-736	57	33	,	,	PUNCT
gs-736	57	34	d.mkheidze	d.mkheidze	NOUN
gs-736	57	35	g.darsavelidze	g.darsavelidze	VERB
gs-736	57	36	the	the	DET
gs-736	57	37	effect	effect	NOUN
gs-736	57	38	of	of	ADP
gs-736	57	39	mechanical	mechanical	ADJ
gs-736	57	40	polishing	polishing	NOUN
gs-736	57	41	on	on	ADP
gs-736	57	42	the	the	DET
gs-736	57	43	structural	structural	ADJ
gs-736	57	44	-	-	PUNCT
gs-736	57	45	sensitive	sensitive	ADJ
gs-736	57	46	physical	physical	ADJ
gs-736	57	47	properties	property	NOUN
gs-736	57	48	of	of	ADP
gs-736	57	49	the	the	DET
gs-736	57	50	monocrystalline	monocrystalline	ADJ
gs-736	57	51	p	p	NOUN
gs-736	57	52	-	-	PUNCT
gs-736	57	53	sige	sige	ADJ
gs-736	57	54	substrates	substrate	NOUN
gs-736	57	55	has	have	AUX
gs-736	57	56	been	be	AUX
gs-736	57	57	investigated	investigate	VERB
gs-736	57	58	.	.	PUNCT
gs-736	58	1	non	non	ADJ
gs-736	58	2	-	-	ADJ
gs-736	58	3	monotonic	monotonic	ADJ
gs-736	58	4	changes	change	NOUN
gs-736	58	5	in	in	ADP
gs-736	58	6	the	the	DET
gs-736	58	7	electrical	electrical	ADJ
gs-736	58	8	characteristics	characteristic	NOUN
gs-736	58	9	,	,	PUNCT
gs-736	58	10	optical	optical	ADJ
gs-736	58	11	absorption	absorption	NOUN
gs-736	58	12	spectra	spectra	NOUN
gs-736	58	13	of	of	ADP
gs-736	58	14	infrared	infrared	ADJ
gs-736	58	15	radiation	radiation	NOUN
gs-736	58	16	,	,	PUNCT
gs-736	58	17	internal	internal	ADJ
gs-736	58	18	friction	friction	NOUN
gs-736	58	19	and	and	CCONJ
gs-736	58	20	shear	shear	NOUN
gs-736	58	21	modulus	modulus	ADJ
gs-736	58	22	values	value	NOUN
gs-736	58	23	on	on	ADP
gs-736	58	24	the	the	DET
gs-736	58	25	(	(	PUNCT
gs-736	58	26	111	111	NUM
gs-736	58	27	)	)	PUNCT
gs-736	58	28	surfaces	surface	NOUN
gs-736	58	29	of	of	ADP
gs-736	58	30	sige	sige	ADJ
gs-736	58	31	substrates	substrate	NOUN
gs-736	58	32	treated	treat	VERB
gs-736	58	33	with	with	ADP
gs-736	58	34	a	a	DET
gs-736	58	35	polishing	polish	VERB
gs-736	58	36	compound	compound	NOUN
gs-736	58	37	containing	contain	VERB
gs-736	58	38	different	different	ADJ
gs-736	58	39	dispersions	dispersion	NOUN
gs-736	58	40	diamond	diamond	NOUN
gs-736	58	41	particles	particle	NOUN
gs-736	58	42	have	have	AUX
gs-736	58	43	been	be	AUX
gs-736	58	44	shown	show	VERB
gs-736	58	45	.	.	PUNCT
gs-736	59	1	defects	defect	NOUN
gs-736	59	2	formed	form	VERB
gs-736	59	3	in	in	ADP
gs-736	59	4	the	the	DET
gs-736	59	5	polishing	polish	VERB
gs-736	59	6	process	process	NOUN
gs-736	59	7	interact	interact	VERB
gs-736	59	8	with	with	ADP
gs-736	59	9	boron	boron	NOUN
gs-736	59	10	and	and	CCONJ
gs-736	59	11	technological	technological	ADJ
gs-736	59	12	origin	origin	NOUN
gs-736	59	13	oxygen	oxygen	NOUN
gs-736	59	14	and	and	CCONJ
gs-736	59	15	carbon	carbon	NOUN
gs-736	59	16	atoms	atom	NOUN
gs-736	59	17	.	.	PUNCT
gs-736	60	1	defects	defect	NOUN
gs-736	60	2	of	of	ADP
gs-736	60	3	deformation	deformation	NOUN
gs-736	60	4	origin	origin	NOUN
gs-736	60	5	are	be	AUX
gs-736	60	6	formed	form	VERB
gs-736	60	7	in	in	ADP
gs-736	60	8	the	the	DET
gs-736	60	9	mechanical	mechanical	ADJ
gs-736	60	10	processing	processing	NOUN
gs-736	60	11	at	at	ADP
gs-736	60	12	room	room	NOUN
gs-736	60	13	temperature	temperature	NOUN
gs-736	60	14	.	.	PUNCT
gs-736	61	1	in	in	ADP
gs-736	61	2	the	the	DET
gs-736	61	3	absorption	absorption	NOUN
gs-736	61	4	spectra	spectra	NOUN
gs-736	61	5	of	of	ADP
gs-736	61	6	infrared	infrared	ADJ
gs-736	61	7	irradiation	irradiation	NOUN
gs-736	61	8	a	a	DET
gs-736	61	9	decrease	decrease	NOUN
gs-736	61	10	of	of	ADP
gs-736	61	11	the	the	DET
gs-736	61	12	concentration	concentration	NOUN
gs-736	61	13	of	of	ADP
gs-736	61	14	carbon	carbon	NOUN
gs-736	61	15	and	and	CCONJ
gs-736	61	16	oxygen	oxygen	NOUN
gs-736	61	17	atoms	atom	NOUN
gs-736	61	18	and	and	CCONJ
gs-736	61	19	ci	ci	NOUN
gs-736	61	20	-	-	PUNCT
gs-736	61	21	cs	cs	PROPN
gs-736	61	22	,	,	PUNCT
gs-736	61	23	ci	ci	NOUN
gs-736	61	24	-	-	PUNCT
gs-736	61	25	oi	oi	ADJ
gs-736	61	26	,	,	PUNCT
gs-736	61	27	v	v	NOUN
gs-736	61	28	-	-	PUNCT
gs-736	61	29	o	o	NOUN
gs-736	61	30	defects	defect	NOUN
gs-736	61	31	have	have	AUX
gs-736	61	32	been	be	AUX
gs-736	61	33	revealed	reveal	VERB
gs-736	61	34	.	.	PUNCT
gs-736	62	1	it	it	PRON
gs-736	62	2	is	be	AUX
gs-736	62	3	supposed	suppose	VERB
gs-736	62	4	that	that	SCONJ
gs-736	62	5	the	the	DET
gs-736	62	6	non	non	ADJ
gs-736	62	7	-	-	ADJ
gs-736	62	8	monotonic	monotonic	ADJ
gs-736	62	9	changes	change	NOUN
gs-736	62	10	in	in	ADP
gs-736	62	11	the	the	DET
gs-736	62	12	electrophysical	electrophysical	ADJ
gs-736	62	13	and	and	CCONJ
gs-736	62	14	physical	physical	ADJ
gs-736	62	15	-	-	PUNCT
gs-736	62	16	mechanical	mechanical	ADJ
gs-736	62	17	properties	property	NOUN
gs-736	62	18	on	on	ADP
gs-736	62	19	the	the	DET
gs-736	62	20	(	(	PUNCT
gs-736	62	21	111	111	NUM
gs-736	62	22	)	)	PUNCT
gs-736	62	23	surfaces	surface	NOUN
gs-736	62	24	of	of	ADP
gs-736	62	25	sige	sige	ADJ
gs-736	62	26	substrates	substrate	NOUN
gs-736	62	27	are	be	AUX
gs-736	62	28	caused	cause	VERB
gs-736	62	29	by	by	ADP
gs-736	62	30	changes	change	NOUN
gs-736	62	31	in	in	ADP
gs-736	62	32	the	the	DET
gs-736	62	33	electrical	electrical	ADJ
gs-736	62	34	activity	activity	NOUN
gs-736	62	35	of	of	ADP
gs-736	62	36	defects	defect	NOUN
gs-736	62	37	and	and	CCONJ
gs-736	62	38	mechanisms	mechanism	NOUN
gs-736	62	39	of	of	ADP
gs-736	62	40	the	the	DET
gs-736	62	41	dislocation	dislocation	NOUN
gs-736	62	42	-	-	PUNCT
gs-736	62	43	defect	defect	NOUN
gs-736	62	44	associations	association	NOUN
gs-736	62	45	interaction	interaction	NOUN
gs-736	62	46	,	,	PUNCT
gs-736	62	47	formed	form	VERB
gs-736	62	48	in	in	ADP
gs-736	62	49	the	the	DET
gs-736	62	50	polishing	polishing	NOUN
gs-736	62	51	processes	process	NOUN
gs-736	62	52	.	.	PUNCT
gs-736	63	1	keywords	keyword	NOUN
gs-736	63	2	:	:	PUNCT
gs-736	63	3	alloys	alloy	NOUN
gs-736	63	4	,	,	PUNCT
gs-736	63	5	polishing	polishing	NOUN
gs-736	63	6	,	,	PUNCT
gs-736	63	7	deformation	deformation	NOUN
gs-736	63	8	defect	defect	NOUN
gs-736	63	9	,	,	PUNCT
gs-736	63	10	internal	internal	ADJ
gs-736	63	11	friction	friction	NOUN
gs-736	63	12	,	,	PUNCT
gs-736	63	13	shear	shear	NOUN
gs-736	63	14	modulus	modulus	NOUN
gs-736	63	15	,	,	PUNCT
gs-736	63	16	optical	optical	ADJ
gs-736	63	17	absorption	absorption	NOUN
gs-736	63	18	spectrum	spectrum	NOUN
gs-736	63	19	.	.	PUNCT
gs-736	64	1	https://www.sigmaaldrich.com/ge/en/technical-documents/technical-article/analytical-chemistry/photometry-and-reflectometry/ir-spectrum-table	https://www.sigmaaldrich.com/ge/en/technical-documents/technical-article/analytical-chemistry/photometry-and-reflectometry/ir-spectrum-table	VERB
gs-736	64	2	https://www.sigmaaldrich.com/ge/en/technical-documents/technical-article/analytical-chemistry/photometry-and-reflectometry/ir-spectrum-table	https://www.sigmaaldrich.com/ge/en/technical-documents/technical-article/analytical-chemistry/photometry-and-reflectometry/ir-spectrum-table	NOUN