ÚÓ‘Ój�n€a@Î@Úœäñ€a@‚Ï‹»‹€@·rÓ:a@Âig@Ú‹©@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@Ü‹1a26@@ÖÜ»€a@I2@‚b«@H2013 Ibn Al-Haitham Jour. for Pure & Appl. Sci. Vol. 26 (2) 2013 ایونات بالزما الزینونحزمة نظریة لحاصل ترذیذ سطح النیكل بوساطة حسابات درید ھاني یونس جامعة بغداد /ابن الھیثم –كلیة التربیة للعلوم الصرفة /الفیزیاء علوم قسم 2013حزیران 10، قبل البحث في 2013شباط 18استلم البحث في : ةخالصلا على الحسابات تشتمل . نونزیال اتبالزما ایون طةاسمن النیكل المقصوف بوھدف ترذیذعملیة موسعة لحسابات انجزت وتأثیر ھدف النیكل وسمك طبقة الھدف فيزاویة سقوطھا كل من طاقة ایونات بالزما الزینون ولل ادخاالمعلمات تغییر تظھر النتائج الحسابات. ھذه النجاز TRIMلقد وظف البرنامج . ترذیذعلى حاصل الالتغیر الطفیف في طاقة ربط السطح ان تغییر زوایا سقوط حزمة ایونات البالزما وطاقتھا تؤدي ذإمادا مباشرا على ھذه المعلمات یعتمد اعت حاصل الترذیذ أن عند طاقة ربط سطحھالمقصوفة و ھتالترذیذ. وفي ما یتعلق بالھدف من حیث سمك طبقالى تغییر محسوس في نواتج حاصل حاصل الترذیذ. لھا تأثیر مباشر فيثبوت معلمات االیونات النیكل -ایونات بالزما الزینون -TRIM برنامج –: حاصل الترذیذ الكلمات المفتاحیة المقدمة أیونات تصطدم عندماتفاعل ایوناتھا مع ھذه السطوح. ف ماعند وادیذھا لسطوح المعملیة ترذالمھمة من تطبیقات البالزما والتصادم غیر المرن االلكتروني. النووي، تصادم المرن الھما :فانھا تفقد الطاقة عن طریق آلیتین الھدف،ب البالزماحزمة بعد من السطح و یمكنھا ان تنعكسا ،قبالة الھدف إلى الوراءمباشرة ترتد ان ،تھاطاق اعتمادا على ،لھذه االیونات یمكن داخلعند عمق معین تغرس في الھدفحیث في اخر المطاف تكون في حالة سكونو ا سلسلة من التصادمات المتعاقبة إلى حساب الطاقة كمیة كبیرة مناالیونات لذلك سوف تفقد غیر مرنتصادم ان التصادم ھو ذإ ،العینة الھدف تحت سطح وتحدث .التصادم نتیجة لذلك ثانویة إلكترونات طردایضا ان ت لالیونات ویمكن .كھربائیا متعادلة تصبح بالنھایةو الھدف ذرات او ایونات اما بالنسبة الى . ]1[ في المعادن البالزمونات، والفونونات إنتاج الىتؤدي غیر مرنة استطارةایضا ذرات إلى ساقطةال األیونات منوالزخم الطاقة نقل ھذه خالل عملیة القصفیتم و .االصلیة تطرد من مواقعھافانھا الھدف یحصل لھا ترذیذ من السطح. فاذا كانت الطاقة الحركیة بما یكفي للتغلب على طاقة ربط السطح فان الذرة سوف الھدف ]2[. االیونات من والزخم الطاقة الحركیةانتقال بنظراالعتباریؤخذ فیھا تصادمیة عملیة الترذیذ بكونھاعملیة یشار الى فیزیائیا داخلمن اسھامات الطاقة بین عدد كبیر من ذرات الھدف سلسلةل والزخم الطاقة نقلینظم و .الى ذراتھ الھدف على المقذوفة للتغلب على الحركیةالطاقة بحیث انھ ھناك ما یكفي من العمودي، السطح في اتجاه الھدفذرة ل زخم كاف نقل إذاف الھدف. سلسلة التصادمات من الناحیة عملیة تشكیلیمكن وصف .]3[ السطح من الھدف اتذر ترذیذ فانھ سیتم طاقة الربط سلسلة تطورالتي تتبع ، المحاكاة الحاسوبیة عن طریق استخدام أو، اإلحصائیة نظریات النقل باستخدام تطبیق التحلیلیة تقریب تفترض صحة جمیعھا ؛ حیث فيمتماثل لھا أساس ھذه الطرائقمن كلان ل .الى اخر تصادم منالتصادمات ]4[ .بشكل تسلسلي الھدف ذرات تواجھ مقذوفات، أي ثنائيال تصادمال نوعان ھناك. الھدفتآكل و ستضرب التي ألیوناتلمصدر لغرض تولید البالزما، نحتاج إلى الترذیذ عملیة من أجل انجاز .)RF( بالزما الترددات الرادیویةالتوھجي و التفریغ ھي ،لغرض الترذیذ البالزما إلنتاج المستخدمة االنظمةمن انرئیس أن یستخدم ویمكن أیضا، ]5[ الزینون أو، والنیون وناألرك النبیلة، مثل من الغازات ھذه األیونات وعادة ما تكون تكون الھدفوذرات لألیونات الذریة األوزانان اساس یكون على ینبغي أن؛ لألیوناتاالمثل االختیارو .النیتروجین .متقاربة من الحروف االولى من TRIMتسمیة البرنامج تأتي. TRIMبرنامج ھو الترذیذالمحاكاة التي توظف عملیة برنامجمن شمولیة المدرج في البرنامج األكثر من البرامج یعدبرنامج ھو ) وatterMons in Iansport of Trالعبارة االنكلیزیة ( الساقطة األیونات اتباعفیھا یتم ] 6كارلو [ يھو عبارة عن خوارزمیة مونت TRIM البرنامج . وSRIM المسمى العام فیمكن بذلك تكوین عتبة.الطاقة إلى ما دون طاقتھا لغایة ان تكون كل منھال تباطؤعملیات ال من خالل الناتجةت دااالرتداو كارلو كون ان البرنامج ھو خوارزمیة مونتيول حسابات مفصلة عن الطاقة المنقولة الى كل ذرة من ذرات ھدف التصادم. .ایضا اإللكترونیة التوقف عملیةعلى مل، ویشت كولومغالف جھدفیھ م ستخدی برنامج إحصائي في طبیعتھ البرنامجفان عند تغییر للنیكل بوساطة ایونات بالزما الزینون في حسابات حاصل الترذیذ TRIMفي ھذا البحث استخدم برنامج معلمات وكذلك تغییر ، ھاسقوط، وزاویة لالیونات القاصفة الطاقة الحركیةالترذیذ مثل ھم في عملیةاأل معلمات اإلدخال 158 | Physics ÚÓ‘Ój�n€a@Î@Úœäñ€a@‚Ï‹»‹€@·rÓ:a@Âig@Ú‹©@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@Ü‹1a26@@ÖÜ»€a@I2@‚b«@H2013 Ibn Al-Haitham Jour. for Pure & Appl. Sci. Vol. 26 (2) 2013 وكذلك مالحظة التغییرات الطفیفة في طاقة ربط للھدف كتلیةكثافة الوال السطحطاقة ربط بثبوت كل من الھدف مثل العمق . السطح على حاصل الترذیذ بثبوت سمكھ وثبوت معامالت ایونات البالزما الساقطة النظریة مما سطح النیكل،الساقطة وتصادم بین األیونات سیحدث ، رقیق من النیكل لسطحالزینون أیوناتقصف حزمة من عند ] 7[ ویعرف حاصل الترذیذ. المواد إزالة كفایة في وصف وبشكل عام یستعمل حاصل الترذیذ. الترذیذ ظاھرةیؤدي إلى :لنسبة عدد الذرات المزالة الى عدد الجسیمات القاصفة اإلحصائيمتوسط ال بأنھ 𝑌 = atoms removed incident particle (1) عوامل ال كل في حین ان الساقطة عدد الجسیمات یتناسب مع المزالة ذرات یفترض أن عدد حاصل الترذیذ ن تعریفإ ، فان ذلك یؤدي 𝜃0 سقوط وزاویة 𝐸0 بطاقة تقذف یونات، وان حزمة االصلبة وحیث ان الھدف مادة ثابتة.تبقى األخرى الھدفمن ذرات ذرة ان. ]8الھدف عند اھمال االثارة االلكترونیة للھدف [ المرنة مع ذرات ماتالتصاد سلسلة من الى .خرىاأل ذراتلل ارتداد حركةیمكن أن تسبب لالتصادم و من عملیة الطاقة حصولھا على بعد ارتداد حركةب ستقوم ذرات التي ال بعض حركة إذا كان اتجاه. فیون الساقطاأل مسار حول التصادم للذرات حركاتمن سلسلة، سیتم تكوین ولذلك قادرة على أنھا تكونف السطح طاقة الربط أكبر من الحركیة الطاقة، وإذا كانت باتجاه السطح الصلب تقوم بالحركة المتسلسة من ثم یحصل الترذیذ. السطح و التغلب على قیود بالحركة الذرات الالزمة لقیام الطاقة. ان المتسلسة حركةالمت ذرات عدد تتناسب مع حاصل الترذیذ قیمة من الواضح أن الساقطة. األیوناتب حاصل الترذیذ یرتبط، لذلك األیون الساقط تكون على حساب خسائر الطاقة من المتتالیةالمتسلسة في الدالة اإللكترونیةقدرة التوقف تأثیر اھمال بحیث یمكن ، قلیلة طاقة األیوناتتكون بشكل عام في عملیة الترذیذ ، 𝐹𝐷(𝑥, 𝐸, 𝜃) .سطح التصادم على، سیتم االخذ بنظر االعتبار الترذیذ لعملیة النوى بین مرنة التصادم ولما كانت عملیة التعبیر عن، یمكن أیضا لذلك. الترذیذ الھدف قبل سطح قیود التغلب علىالمرتدة یجب علیھا أن الذرات وھذا یعني، الھدف :]8[ حاصل الترذیذ 𝑌(𝐸0, 𝜃0) = Λ𝐹𝐷(0, 𝐸0, 𝜃0) (2) المعادلة عنیعبر سطح.ربط ال مثل طاقة بممیزات الھدف، فقط ویرتبط، مادة الھدف ب ھو عامل یرتبط Λان إذ 𝐹𝐷(𝑥, 𝐸0, 𝜃0) 8[ في الحسابات العددیة[: 𝐹𝐷(0, 𝐸0, 𝜃0) = 𝛼𝑁𝑆𝑛(𝐸0) (3) مابین كتلة الھدف المقصوف للنسبة الكتلیة الذي یكون دالة، عامل التصحیح ھي 𝛼للھدف، و ذریةال كثافةال ھي 𝑁ان إذ 𝑀2 الى كتلة الجسیم المقذوف 𝑀1⁄ وان السقوط االولیةزاویة وال ،𝑆𝑛(𝐸0) لذلك . النوويوقف ھي المقطع العرضي للت :]8[ الترذیذ حاصل وصف یمكن 𝑌(𝐸, 𝜂) = Λ𝛼𝑁𝑆𝑛(𝐸0) (4) اذ ، النووي وقف، یمكن استعمال المقطع العرضي للتدقیق لحاصل الترذیذ حساب من أجل ھي معلمة عامة للطاقة. 𝜂ان إذ ]8[ المعادلةب 𝑆𝑛(𝐸 )تعطى 𝑆𝑛(𝐸 ) = 8.462 𝑍1𝑍2 (1+𝑀2 𝑀1⁄ )�𝑍1 0.23+𝑍2 0.23� 𝑆𝑛(𝜀) [10−15 eV ∙ cm2] (5) الطاقة ھي 𝜀ان ھما االعداد الذریة لكل من الجسیم الساقط ومادة الھدف المقصوفة على التوالي، و 𝑍2و 𝑍1ان إذ ]8[ تعطى بالمعادلةالتي ، المختزلة 𝜀 = 32.53𝑀2𝐸 𝑍1𝑍2(1+𝑀2 𝑀1⁄ )�𝑍1 0.23+𝑍2 0.23� (6) لحزمة من االیونات النووي. المقطع العرضي حد االنخفاض في 𝑆𝑛(𝜀)وان ، keVھي 𝐸الساقط لألیون الطاقة ان وحدة 𝜀طاقتھا ≤ ]8[ المعادلةب فانھا توصف 30 𝑆𝑛(𝜀) = 0.5ln(1+1383𝜀) 𝜀+0.0132𝜀0.21226+0.19593𝜀0.5 (7) النتائج والمناقشة اعتماد حاصل الترذیذ على زاویة السقوط )1( لقد ثبتت زوایا ایونات سقوط آثار زیادة طاقة قصف أیونات الزینون على حاصل الترذیذ للنیكل. )1الشكل (یوضح معتمدا في ذلك على 800القریبة من 𝜙𝑚 زوایا سقوط عندأكبر یكونللنیكل الترذیذ حاصل اناالیونات وغیرت طاقاتھا. قمة حاصل الترذیذ الى زوایا اكبر كما یظھر ذلك زاحتمة طاقة ایونات الزینون فكلما زادت قی طاقة االیونات القاصفة، وھذه الصفة التكون حصرا للنیكل المقصوف بایونات الزینون وانما الھداف اخرى مثل الحدید او البریلیوم من الشكل. 159 | Physics ÚÓ‘Ój�n€a@Î@Úœäñ€a@‚Ï‹»‹€@·rÓ:a@Âig@Ú‹©@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@Ü‹1a26@@ÖÜ»€a@I2@‚b«@H2013 Ibn Al-Haitham Jour. for Pure & Appl. Sci. Vol. 26 (2) 2013 ابق نسبیا نواتج حاصل الترذیذ ولجمیع طاقات ایونات تتط . ]9[ المقصوفان باالیونات خفیفة مثل الھلیوم او الھیدروجین . في الشكل ثبتت 600وتبدأ باالفتراق عند زوایا أكبر من والمتوسطة بعض عند الزوایا سقوط الصغیرةعلى بعضھا الحسابات fittingمالئمة ولجمیع الطاقات المستعملة كانت ایون. 1000وتساوي على الھدف اعداد االیونات الساقطة معطاة بالمعادلة: 𝑦 = 𝑝1𝑧6 + 𝑝2𝑧5 + 𝑝3𝑧4 + 𝑝4𝑧3 + 𝑝5𝑧2 + 𝑝6𝑧 + 𝑝7 (8) ,𝑝1ان إذ 𝑝2, … , 𝑝7 ،قیم ھذه الثوابت حسب طاقات ایونات )1یعطي الجدول (و ھي ثوابت تختلف من منحنى الى اخر .زاویا سقوط ایونات الزینونوھي المتغیر المستقل تمثل بیانات 𝑧 وان الزینون الساقطة على ھدف النیكل. حاصل الترذیذ تأثیر طاقة االیونات الساقطة في )2( یالحظ .ط إذ زوایا سقوط فق وفي ثالث أیونات بالزما الزینونللنیكل على طاقة اعتماد حاصل الترذیذ ) 2الشكل (یظھر بع ومن ثم في الزوایا یزداد حاصل الترذیذ بشكل الخطي لیصل الى حد التش إذتأثیر الزیادة لكل زوایا السقوط من الشكل اعداد وفي حسابات ھذا الشكل ثبتت انھ كلما زادت زوایا السقوط كلما كان حاصل الترذیذ اكبر.و أ باالنخفاض.الكبیرة یبد االتیة: وایا المستعملة الى عالقة المالئمةوتخضع كل منحیات الزایون. 1000 الى االیونات الساقطة 𝑦 = 𝑝1𝑧7 + 𝑝2𝑧6 + 𝑝3𝑧5 + 𝑝4𝑧4 + 𝑝5𝑧3 + 𝑝6𝑧2 + 𝑝7𝑧 + 𝑝8 (9) ,𝑝1ان إذ 𝑝2, … , 𝑝8 ھذه القیم حسب زوایا سقوط )2یبین الجدول (و ھي كالسابق ثوابت تختلف من منحنى الى اخر تمثل بیانات المتغیر المستقل وھي طاقات ایونات الزینون الساقطة. 𝑧وان ، ایونات الزینون ھدف النیكل تأثیر تغییر سمك )3( یبین الشكل من طاقات سقوط ایونات الزینون. تأثیر سمك ھدف النیكل في حاصل الترذیذ ولطاقتین) : 3یظھرالشكل ( االقل من ل الترذیذ عند زیادة سمك ھدف النیكل لیصل اخیرا الى حد التشبع. وفي السمك الصغیر الزیادة الالخطیة لحاص . لكن في الزوایا االكبر من keV 50لك للطاقة اكبر من ت keV 25یكون حاصل الترذیذ لطاقة االیونات الساقطة 200 تخضع للعالقة االتیة: وعملیة المالئمة یة تكون اكبر.طفان الزیادة الالخ 200 𝑦 = 𝑝1𝑧5 + 𝑝2𝑧4 + 𝑝3𝑧3 + 𝑝4𝑧2 + 𝑝5𝑧 + 𝑝6 (10) ,𝑝1ان إذ 𝑝2, … , 𝑝6 قیم ھذه الثوابت لطاقتین من )3یبین الجدول (و ھي كالسابق ثوابت تختلف من منحنى الى اخر تمثل بیانات المتغیر المستقل وھي سمك ھدف النیكل. 𝑧وان ، ایونات الزینون الساقطة حاصل الترذیذ عند تثبیت طاقة ایونات الزینون ولزاویا سقوط االیونات ) : تأثیر سمك ھدف النیكل في4ویظھرالشكل ( شكل تأثیر زیادة زاویة السقوط في لحاصل الترذیذ. وواضح من المختلفة. ان زیادة سمك الھدف تؤدي الى زیادة الخطیة تخضع للعالقة االتیة: المالئمةوعملیة یزداد حاصل الترذیذ بزیادة زاویة السقوط لكل سمك مستعمل. إذحاصل الترذیذ ، 𝑦 = 𝑝1𝑧5 + 𝑝2𝑧4 + 𝑝3𝑧3 + 𝑝4𝑧2 + 𝑝5𝑧 + 𝑝6 (11) ,𝑝1ان إذ 𝑝2, … , 𝑝6 قیم ھذه الثوابت لزاویتین من زوایا 4ویبین الجدول ( ھي كالسابق ثوابت تختلف من منحنى الى اخر ( تمثل كالسابق بیانات المتغیر المستقل وھي سمك ھدف النیكل. 𝑧وان ، السقوط تأثیر تغییر طاقة ربط سطح للنیكل )4( تحلیل أثر التغیرات لنا تسمح ھذه الدراسةحاصل الترذیذ. زیادة ونقصان طاقة ربط السطح في تأثیر ) 5یوضح الشكل ( طاقة ربط السطح ةوقیم، عملیة الترذیذقلب منھذه المعلمة ھي ان . ترذیذال على حاصل السطحطاقة ربط فيالصغیرة . )eV 4.46لكل من الرسوم السابقة كانت طاقة ربط السطح المستعملة ھي ( تقدیر.ال ةفي بعض األحیان صعبتكون اعداد ایونات الزینون ونالحظ التناسب العكسي لحاصل الترذیذ مع زیادة طاقة ربط السطح. ویظھر الشكل ایضا تأثیر حاصل الترذیذ. الساقطة على الھدف تؤدي الى نقصانان زیادة اعداد االیونات إذالساقطة اتاالستنتاج ف من مادة النیكل عند قصفھ دھلحاصل الترذیذ لدراسة TRIM المحاكاة ت حسابات ھذا البحث باستعمال برنامجذنف فضال عن الھدف لرؤیة كیفیة تأثیرھا فيوتمت تغییر معلمات الدخل لحزمة االیونات الساقطة یونات بالزما الزینون. أب لقد وجدنا في ھذه الدراسة ان افضل زوایا سقوط لھذه االیونات ھي عندما تكون قریبة من زاویة .نواتج حاصل الترذیذ حاصل الترذیذ ذلك درسنا تأثیر سمك الھدف في. كطاقة االیونات الساقطة كان حاصل الترذیذ اكبروانھ كلما زادت 800 مقارنة مع تلك الصغیرة عند تغییر كل من طاقات االیونات الساقطة یحصل لھ اشباع عند االسماك الكبرىوان االخیر حاصل الترذیذ. وھذه الطاقة حساسة جدا ، فأي خطأ فیھا یؤدي رس كذلك تأثیر طاقة ربط السطح فيوزاویا سقوطھا. ود الى نواتج حاصل الترذیذ تكون خاطئة. 160 | Physics ÚÓ‘Ój�n€a@Î@Úœäñ€a@‚Ï‹»‹€@·rÓ:a@Âig@Ú‹©@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@Ü‹1a26@@ÖÜ»€a@I2@‚b«@H2013 Ibn Al-Haitham Jour. for Pure & Appl. Sci. Vol. 26 (2) 2013 المصادر 1. Lucille,A. Giannuzzi and Fred,A. Stevie (2005) Introduction to Focused Ion Beams: Instrumentation, Theory, Techniques, and practice. Springer. 2. Moshfegh,A. Z. (2009) ,Sputtering Deposition: Physics and Technology,3rd international workshop on physics and technology of thin films. 3. Sigmund,P. (1969) Theory of sputtering. I. Sputtering yield of amorphous and polycrystalline target”, physical review, (148), (2), 383 - 416 4. Gillen,D. R.; Graham,W.G. and Goelich,A. (2002),“Sputtering of copper atoms by keV atomic and molecular ions: A comparison of experiment with analytical and computer based models” Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 194 , 409– 416 5. Kirk,A. Zoerb (2007) ,Differential sputtering yields of refractory metals by ion bombardment at normal and oblique incidences, M. Sc Thesis, Colorado State University. 6. Ziegler,J. F.; Biersack J. P. and Ziegler,M. D. (2012) ,SRIM: The Stopping and Range of Ions in Matter, Lulu. Com. 7. Nakles M. R.; (2004), Experimental and Modeling Studies of Low-Energy Ion Sputtering for Ion Thrusters, M. Sc Thesis, Virginia Polytechnic Institute and State University. 8. Guping D.; Tingwen X. and Yun L. (2012) Preferential sputtering of Ar ion processing SiO2 mirror, AOMATT, The 6th SPIE International symposium on advanced optical manufacturing and testing technologies. 9. Ono T.; Ono M.; Shibata K.; Kenmotsu T.; Li Z. and Kawamura T. (2012) ,Calculation of sputtering yield with obliquely incident light-ions (H+, D+, T+, He+) and its representation by an extended semi-empirical formula”, Research report NIFS-DATA series, National Institute for Fusion Science. ) حسب طاقة ایونات الزینون الساقطة على الھدف1) المرسومة في الشكل (8ثوابت معادلة المالئمة (: ) 1جدول ( keV( 𝑝1 𝑝2 𝑝3 𝑝4 𝑝5 𝑝6 𝑝7( الطاقة 40 −1.5513 −3.6373 0.11784 5.9211 11.983 19.37 21.463 50 −2.1514 −4.4549 1.8011 8.6231 12.412 18.979 21.69 60 −1.6975 −4.3018 0.72974 9.8931 14.532 17.805 20.682 ) حسب زوایا سقوط االیونات على الھدف2) المرسومة في الشكل (9ثوابت معادلة المالئمة (: ) 2جدول ( 𝑝1 𝑝2 𝑝3 𝑝4 𝑝5 𝑝6 𝑝7 𝑝8 الزاویة 50 0 0.2847 −0.5461 −0.49291 1.0573 0.95765 −2.4679 0.34427 26.601 600 0.0285 −0.8929 0.79087 1.9002 −0.50398 −4.5252 2.4638 39.353 700 1.1732 −0.3166 −5.0621 −0.71442 8.4413 −3.7096 4.4122 55.994 ) حسب طاقة ایونات الزینون الساقطة على الھدف 3) المرسومة في الشكل (10ثوابت معادلة المالئمة (: ) 3جدول ( ) الطاقة keV) 𝑝1 𝑝2 𝑝3 𝑝4 𝑝5 𝑝6 25 0.2448 −0.97996 1.1118 −0.18605 −0.039043 34.46 50 −0.0497 −0.45418 2.2394 −3.0764 2.1733 40.515 ) حسب زوایا سقوط االیونات على الھدف4) المرسومة في الشكل (11معادلة المالئمة ( ثوابت: ) 4جدول ( 𝑝1 𝑝2 𝑝3 𝑝4 𝑝5 𝑝6 الزاویة 600 −0.0497 −0.45418 2.2394 −3.0764 2.1733 40.515 700 −0.23897 −1.2409 3.4944 −2.5191 3.3244 59.426 161 | Physics http://www.google.iq/search?hl=ar&tbo=p&tbm=bks&q=bibliogroup:%22Research+report+NIFS-DATA+series%22&source=gbs_metadata_r&cad=2 ÚÓ‘Ój�n€a@Î@Úœäñ€a@‚Ï‹»‹€@·rÓ:a@Âig@Ú‹©@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@Ü‹1a26@@ÖÜ»€a@I2@‚b«@H2013 Ibn Al-Haitham Jour. for Pure & Appl. Sci. Vol. 26 (2) 2013 حاصل الترذیذ فيتأثیر زوایا السقوط :)1شكل ( ): اعتماد حاصل الترذیذ على طاقة االیونات الساقطة2شكل ( 162 | Physics ÚÓ‘Ój�n€a@Î@Úœäñ€a@‚Ï‹»‹€@·rÓ:a@Âig@Ú‹©@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@Ü‹1a26@@ÖÜ»€a@I2@‚b«@H2013 Ibn Al-Haitham Jour. for Pure & Appl. Sci. Vol. 26 (2) 2013 حاصل الترذیذ لطاقات مختلفة من حزم ایونات بالزما الزینون تأثیر سمك الھدف في :)3شكل( حاصل الترذیذ لزوایا سقوط مختلفة ) : تأثیر سمك الھدف في4شكل ( 163 | Physics ÚÓ‘Ój�n€a@Î@Úœäñ€a@‚Ï‹»‹€@·rÓ:a@Âig@Ú‹©@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@Ü‹1a26@@ÖÜ»€a@I2@‚b«@H2013 Ibn Al-Haitham Jour. for Pure & Appl. Sci. Vol. 26 (2) 2013 حاصل الترذیذ مادة النیكل في ثیر طاقة ربط سطح) : تأ5شكل ( 164 | Physics ÚÓ‘Ój�n€a@Î@Úœäñ€a@‚Ï‹»‹€@·rÓ:a@Âig@Ú‹©@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@Ü‹1a26@@ÖÜ»€a@I2@‚b«@H2013 Ibn Al-Haitham Jour. for Pure & Appl. Sci. Vol. 26 (2) 2013 Theoretical Calculations For Sputtering Yield of Nickel Surface Hitted By Xenon Plasma Ions Duraid H. Younis Dept. of Physics /College of Education For Pure Sciences (Ibn Al-Haitham)/ University of Baghdad Received in : 18February 1013 , Accepted in : 10June 2013 Abstract Extended calculations for sputtering yield through bombed Nickel – target by Xenon ions plasma are accomplished. The calculations include changing the input parameters: the energy of xenon ions plasma, the hit target angle of nickel target, thickness of the nickel target layer, and the slight change in the surface binding energy of Nickel. The program TRIM is used to accomplish these calculations. The results show that the sputtering yields directly dependent on these parameters. The change in angles of incidence plasma ions and energy leads to a significant change in the sputtering yields. On the other hand, the sputtering yields ore highly affected by changing target width and surface binding energy at fixed ion parameters. Keywords- sputtering process, Trim program, plasma xenon ions, nickel 165 | Physics