Ghostscript wrapper for D:\Digitalizacja\MTS79_t17z1_4_PDF_artyku³y\mts79_t17z3.pdf M E C H AN I K A TEORETYCZNA I  STOSOWANA 3,  17  (1979) METODA  IMERSYJNA  INTERFEROMETRII  HOLOGRAFICZNEJ  DO  BADANIA KSZTAŁTU   I  ODKSZTAŁCEŃ1 M AR E K  L E C H ,  I R EN A  M R U K ,  JACEK  S  T U  P  N  I C K I  (Warszawa) 1.  Wstę p Budowa  precyzyjnych  m aszyn  i  urzą dzeń  wymaga  m etod  bardzo  dokł adnego pomiaru kształ tu  elementów,  oraz  ocen y  zm ian y  tych  kształ tów  wskutek  zuż ycia  lub odkształ ceń. Efektem  koń cowego  procesu  obróbki jest tekstura  powierzchni,,mają ca  zasadnicze znacze- n ie  z  pu n kt u  widzen ia  wlasnos'ci  tribologicznych,  wytrzymał oś ci  zmę czeniowej,  przewod- n ictwa  cieplnego  lub  elektrycznego  powierzchni  ciał   we  wzajemnym  kon takcie. D la  jednoznacznego'  opisu  zł oż onych konfiguracji  powierzchni  najlepsze  wyniki  dają trójwymiarowe  m apy  warstwicowe.  Stosowane  obecnie  metody  tworzenia  takich  m ap n a  podstawie  dwuwym iarowych  profilogram ów  są   bardzo  pracochł onne  i  mogą   mieć ograniczone  zastosowan ie. Konieczne  jest  opracowan ie  szybkich  m etod  sporzą dzan ia  takich  m ap,  mają cych okreś loną   dokł adn oś ć,  m ogą cych  sł uż yć  do  an aliz  liczbowych  lub  do  szybkich  badań porównawczych.  D o  m et od  tych  należy  prezen towan a  m etoda  imersyjna  interferometrii holograficznej  [1]. Z ostał a  on a zastosowan a  przez autorów artykuł u do badan ia  topografii powierzchni  mię dzy  in n ym i  ł opatek  turbin  i  sprę ż arek,  n arzę dzi tną cych  [3],  [4],  [5] oraz d o badan ia ugię ć powierzchn i p o d wpł ywem sił  skupion ych rozł oż onych w sposób  dyskretny [6]. . . . . • . • • • .  •   : ' . ' • ' :  • •   '  .  • 2.  Podstawy  metody M etoda  imersyjna  badan ia  powierzchn i  wykorzystuje  zjawisko  powstawania  warstwie interferencyjnych.  P owstają   one  wskutek  róż nicy  dł ugoś ci dróg  optycznych  przebywanych przez  prom ień  ś wiatła  w  róż n ych  oś rodkach  otaczają cych  przedm iot  przy  stał ej  drodze geometrycznej  [1,  2].  Badan y  przedm iot  umieszcza  się   w  kuwecie  umoż liwiają cej  zmianę cieczy  imersyjnej.  Stosują c  techn ikę   podwójnej  ekspozycji  dokonuje  się   rejestracji  holo- gram ów  przedm iotu  um ieszczonego  w  kuwecie  napeł nionej  kolejno  dwiema  cieczami imersyjnymi  o  róż n ych  współ czyn n ikach  zał am an ia  ś wiatł a.  W  efekcie  obraz  hologra- ficzny  przedm iotu  pokryty  jest  siecią   prą ż ków  interferencyjnych,  bę dą cych  miejscem geometrycznym  pu n kt ó w  powierzch n i  równoodległ ych  od  pł aszczyzny  odniesienia  (x,  y). ł )  Praca stanowi rozszerzenie  referatu  przedstawionego  na VIII Sympozjum  D oś wiadczalnych Badań w  Mechanice  Ciał a  Stał ego Warszawa  4 - 6  wrześ nia  1978 380 M.  LECH ,  I.  M R U K,  J.  STU PN ICKI Rolę  tej  pł aszczyzny  w  kuwecie  speł nia  pł aska  pł yta  szklana,  przez  którą  oglą damy  ba- zowany  na  niej  przedm iot. D la  cieczy  o  współ czynniku  zał am an ia  n x   droga  optyczn a  wią zki  przedmiotowej (rys.  1)  wyraża  się  wzorem : (1)  l x (x,  y)  =   l g (x,  y) •   n t   + l o (x,  y), gdzie:  I g   droga  geometryczna  wią zki"przedmiotowej  w  oś rodku  o  współ czynniku  zał a- m ania  B1# l 0   droga  tej  samej  wią zki  przedm iotowej  w  powietrzu. Rys.  1.  D roga  optyczna  wią zki  przedmiotowe Po  zarejestrowaniu  obrazu  kuweta  zostaje  wypeł niona  cieczą  o  współ czynniku zał am an ia «2  dla  której: (2)  I 2 (x,  y)  =   / , ( *, y) •   n 2 +l 0 (x,  y). Róż nica  dróg  optycznych  h~l 2   dla  obu  ekspozycji  h ologram u  wyn osi: (3)  A l(x,  y)  -   l g (x,  y) •   ( «! -   M a). Rekonstruując  t ak  otrzymany  hologram wią zką  odniesienia, otrzymujemy  ukł ad  ciemnych prą ż ków  interferencyjnych,  dla  których  Al(x,  y)  wyraża  się  nieparzystą  wielokrotnoś cią dł ugoś ci  poł owy  fali  X.  Prą ż ki  te  interpretujemy  ja ko  warstwice,  ponieważ  są  miejscem geometrycznym  pun któw  przedm iotu  równoodległ ych  od  pł aszczyzny  odniesienia  [1, 2]. Warun ek  wygaszania  pun któw  obrazu  m a  p o st ać : (4) Al(x,y)  = (2k+l)~  gdzie =  0 , 1 , 2 , . . . (2k+l)X Biorąc  pod  uwagę  (3) (5) W  przypadku  gdy  prom ień  ś wiatła  laserowego  pada  pod  • £ & n a  pł aszczyznę  odniesienia, róż nica  dróg  optyczn ych: (6)  Al(x,y)  =   z(x,y)(n 1 - n 2   + ]/ n*- sin 2 0  ~)/ nl- s'm 2 &), gdzie  z(x,  y)  jest  odległ oś cią  powierzchni  przedm iotu  od  pł aszczyzny  odniesienia. METOD A  IMERSYJNA  INTERFEROMETRII  HOLOGRAFICZNEJ U wzglę dniając  (3)  m oż na  (6)  przedstawić  n astę pują co; {/ )  ,  z\ x>y)  = 381 - \ / n\ — sin 2©   -   j/ nf. -   sin 2© Z  warun ku  (5)  i  zależ noś ci  (7)  otrzymujemy  ostateczn ie; (8) z(x, y) = Analizują c  zależ ność  (8) stwierdzam y,  że  z(x,  y)  odpowiada  pun ktom powierzchni przed- m iotu  poł oż on ym n a  fc- tej  warstwicy  wzglę dem  pł aszczyzny  odniesienia: a  odległ ość  mię dzy  dwiem a  kolejnymi  warstwicam i: (9) Az  =   zk+1  — zk  = n i ~n 2 +  \ / n\  — sin 2©   - 1 / «|- si n2 ć >  ' Z akł adają c  0  =» con st,  ż ą daną   gę stość  prą ż ków  interferencyjnych,  zależ ną   od  Az  otrzy- mujemy  przez  odpowiedn i  dobór  róż nicy  współ czynników  zał am an ia obu  pł ynów  imer- syjnych. 3.  Opis  stanowiska U kł ad  badawczy  (rys.  2)  skł ada  się   z  elementów  zestawu  holograficznego  produkcji P Z O .  Schemat  u kł ad u  w  skł ad  którego  wchodzą :  laser  o  dział an iu cią gł ym,  kierowacz wią zki  laserowej,  lun eta  rozszerzają ca  t ę   wią zkę   i  zwierciadł a  o  róż nym  stopniu  odbicia ś wiatł a, przedstawion o  n a  rys.  3.  W  badan iach posł uż ono się   kuwetą   imersyjna  wykonaną Rys.  2.  Widok  ogólny  ukł adu  badawczego 382 M.  LECH , I.  M R U K , J.  STOPN ICKI we  wł asnym zakresie.  D o  mocowania  pł yty  holograficznej  przystosowano  uchwyt  umoż li- wiają cy  wywoł ywanie  i  fotografowanie  obrazu  holograficznego  w  miejscu  rejestracji. Obraz  był   oglą dany  i  fotografowany  za  pom ocą   m ikroskopu  stereoskopowego  M St produkcji  P Z O z  przystawką   do ap arat u  m ał oobrazkowego.  M ikroskop  stereoskopowy m a  moż liwość  powię kszeń  obrazu  od  4 4- 100  razy  przy  odległ oś ci  obiektywu  od obrazu okoł o  100 mm.  Ogranicza  t o  maksymalną   odległ ość  pł yty  holograficznej  od  badan ego przedm iotu. i 9 9 Rys.  3.  Schemat  stanowiska  pomiarowego Ze  wzglę du  n a ograniczoną   drogę   koherencji  ś wiatła  zapewn ion o  równ ość  dróg op- tycznych  wią zki  odniesienia  AD E  i  wią zki  przedm iotowej  ABC E .  P ł ytka  szklana, tzw. zwierciadł o  0%, ustawiona  wzglę dem  wią zki  wychodzą cej  z  lunety  pod ką tem  30- i- 45° odbijał a  okoł o  10% ś wiatła  tworzą c  wią zkę   odniesienia.  Z apewn iał o to wł aś ciwy  stosunek natę ż enia  ś wiatła  wią zki  odniesienia  i  wią zki  przedm iotowej. 4. Przykł ady zastosowania metody imersyjnej do badania kształ tu powierzchni metalowych P rzedstawiona  powyż ej  m etoda  pozwala  n a  otrzym an ie  m a p  warstwicowych  z  dużą dokł adnoś cią   opisują cych  konfigurację   powierzchni [2]. D la  okreś lenia  róż nicy  gł ę bokoś ci  mię dzy  kolejnymi  warstwicam i  m oż na  posł uż yć się   wyraż eniem  (9), jeś li  dan a jest  wartość  współ czynników  zał am an ia n t   i n 2   obu  uż ytych pł ynów  imersyjnych  oraz wartość  ką ta  padan ia prom ien i wią zki  przedm iotowej  0.  M oż na un ikn ą ć  koniecznoś ci pom iarów n y   i n 2 ,  stosują c  odpowiedn i  wzorzec  o zn an ym kształ cie powierzchni. W naszych  badan iach posł uż ono się  bardzo  dokł adn ie wykon an ym  stoż kiem o  wysokoś ci  h =   3 ± 0 - 0 1  m m i  ś rednicy  podstawy  d = 40 m m .  U kł ad  prą ż ków  warstwi- M E T O D A  TMERSYJN A  I N TE R F E R OM E TR I I H O LO G R AH C Z N E J 383 cowych  n a  wycinku  powierzchn i  stoż ka  ukazuje  rys.  4.  Liczba  warstwie  pojawiają cych się   n a  plan ie  powierzchn i  stoż ka,  pozwala  n atych m iast  wyznaczyć  róż nicę   gł ę bokoś ci warstwie  Az.  W  badan iu,  którego  wynik  pokazan o  n a  rys.  4,  Az  s  0,04  m m . Rys.  4.  Stoż ek  wzorcowy  z  ukł adem  prą ż ków  warstwicowych Rys.  5  przedstawia  zdję cie  obrazu  holograficznego  ł opatki  sprę ż arki  silnika  odrzu t o- wego  z  widoczną   n a  ł opatce,  charakterystyczn ą   dla  jej  kształ tu, siecią   warstwie  o gł ę bo- koś ci pom ię dzy warstwicam i  Az  s;  0,1 m m , a  rys.  6 przedstawia  zarys  kształ tu powierzchni w  dwóch  przekrojach .  .  . Rys.  5.  Powierzchnia  ł opatki  turbiny  pokryta  prą ż kami  warstwicowymi. 384 M .  LECH ,  I,  M R U K ,  J.  STU PN IOCI 0  2  4  6  8  10  12  14  16  18  20  22  24  26  28  30  32  34  36  38  [m m l Rys.  6.  Analiza  kształ tu  fragmentu  ł opatki  w  przekrojach  1 i  2 Rys.  7.  Sieć  warstwie  na  powierzchniach  freza Rys.  7  przedstawia  obraz  holograficzny  powierzchni  freza  wraz  z  siecią   warstwie o  gł ę bokoś ci  pomię dzy  warstwicami  Az  s  0,3  m m .  Widoczn a  jest  niewielka  odch ył ka od  pł aszczyzny  powierzchni  czoł owej  freza  oraz niewielkie  róż nice w  ustawieniu  krawę dzi tną cych. M E T O D A  IM ERSYJN A  I N TE R F E R OM E TR I I  H OLOG R AF I C Z N E J  385 „   Rys.  8 przedstawia  obraz holograficzny  powierzchni innego freza  wraz z siecią   warstwie o  gł ę bokoś ci pom ię dzy  warstwicam i  Az  =  0,3  m m . Wyraź ne  róż nice w przebiegu  warstwie n a  powierzchn iach  krawę dzi  tn ą cych  ś wiadczą   o  bł ę dach  wykonania  i  ukazują   ś lady zuż ycia. Jako  jedn ą   z  cieczy  imersyjnych  we  wszystkich  przypadkach  stosowano  wodę   desty- lowaną   o  współ czynniku  zał am an ia  ś wiatła  n y   =   1,3318,  a  druga  ciecz  był a  mieszaniną wody  i alkoh olu  o  współ czyn n iku  zał am an ia  zależ nym  od  stę ż enia  roztworu.  Jakoś ciowe R ys.  8.  Sieć  warst wie  n a  powierzch n i  freza  ukazują ca  ś lady  zuż ycia wnioski  o bł ę dach kształ tu oraz o zuż yciu powierzchni badan ych elementów moż na wysnuć od  razu  poprzez  porówn an ie  sieci  warstwie  n a  poszczególnych  czę ś ciach  elementu,  lub poprzez porówn an ie  z  siecią   warstwie  n a  elemencie  wzorcowym.  Iloś ciowe  wnioski  moż na wysnuć  n a  podstawie  przekrojów  powierzchni  pł aszczyznami  biegną cymi  pod  dowolnym ką tem  lub  przez  obliczen ia  róż n ic  obję toś ci  elementu  w  róż nych  fazach  eksploatacji. 5.  Bad an ia  m ikron ierówn oś ci  dla  powierzchni  metalowych Obiektem  badan ym  był y  powierzchnie  elementów  tł oczonych,  Rys.  9" przedstawia obraz  warstwie  n a  powierzch n i  m on ety. Jako  cieczy  imersyjnych  uż yto  w  tym  przypadku alkoh olu  etylowego  i  wody  destylowanej,  uzyskują c  róż nicę   gł ę bokoś ci  pomię dzy  war- stwicami  Az  =  10  / im.  P rzebieg  warstwie  jest  w  tym  przypadku  wyraź ny  na  obszarach o  m ał ych  gradien tach  powierzchn i.  Jeszcze  bardziej  zwię kszając  róż nicę   współ czynników zał am an ia  n p . stosują c  ja ko  oś rodki  imersyjne  powietrze  i alkohol  m oż na uzyskać  róż nicę gł ę bokoś ci  warstwie  Az  s  1 ^ m .  P rzykł ad warstwie  o\ takim Az  pokazan o  n a  rysunku  10. 4  M ech an ika  teoretyczn a 386 M.  LECH ,  I.  M R U K,  J.  STU PN ICKI Obraz  przedstawiają cy  fragment  monety,  pomię dzy  literam i  n apisu  P OLSKA,  był   foto- grafowany  przy  pomocy  m ikroskopu  o  powię kszeniu  okoł o  ~  25  razy.  N a  czytelność warstwie wpł ynę ła ziarnistość  obrazu  holograf icznego  i m ał a  gł ę bia  ostros'ci  ukł adu m ikro- skopowego. Rys.  9.  U kł ad  warstwie na  powierzchni  monety Rys.  10. Ukfad  warstwie  na  wycinku  powierzchni  monety  przy  odległ oś ci  warstwie Az  £   1  ,um 6. Badanie ugięć powierzchni modelu  pólprzestrzeni  sprę ż ystej  obcią ż onej  sił ami  skupionymi M etodę  imersyjnego  kon turowan ia  zastosowan o  również  do  badan ia  zm ian  kształ tu [6],  W  pracy  [5]  dowodzono,  ż e. chropowatość  powierzchni  w  sposób  istotn y  zmniejsza sztywność  kon taktu.  Zmniejszenie  sztywnoś ci  kon taktu  w  m ał ym  stopn iu  wynika  z  od- kształ ceń  samych  nierównoś ci  powierzchni,  a jest  efektem  odkształ ceń  silnie  obcią ż onego m ateriał u  leż ą cego  pod  nierównoś cią. M E T O D A  IM ERSYJN A  I N TE R F E R OM E TR I I  H OLOG R AF I C Z N E J 387 D la poparcia tej h ipotezy n a  drodze eksperymentalnej  wykonano  badan ia ugięć pł askiej powierzchni  pół przestrzeni  obcią ż onej  lokalnie  n a  równomiernie  rozstawionych  wystę- pach .  M odel  był   wykon an y  z  gumy  silikonowej  o  powierzchni  pokrytej  warstwą  pył u aluminiowego  dla  zwię kszenia  intensywnoś ci  odbijania  ś wiatła  oraz  zapobiegania  depola- ryzacji  ś wiatła  przy  odbiciu  od  powierzchni  gumy  silikonowej. Rys.  11.  Warstwice na powierzchni  modelu  z gumy  silikonowej  dociskanego  do pł yty  bazowej  mał ą  sił ą Rys.  12.  U kł ad  warstwie  na  powierzchni  tego  samego  modelu,  przy  docisku  wię kszą  sił ą Rys.  11  przedstawia  obraz  warstwie  powierzchni  modelu  dociskanego  niewielką  sił ą do  szklanej  ś ciany kuwety.  Odległ ość warstwie  wynosi  Az  £   40 ^ m . Widać, że powierzchnia m odelu  n ie  był a  gł adka,  m a  liczne  wady,  oraz,  że  jest  nieco  nachylona  do  pł aszczyzny bazy. Rys.  12 i  13 przedstawiają  warstwice  tej  samej  powierzchni  gdy  zwię kszano  sił ę obcią- ż ają cą  m odel.  Liczba  warstwie  wzrasta,  obszary  przyległ e  do  wystę pów,  przez  które prze- 4 * 388 M.  LECH ,  I.  M R U K,  J.  STU PN ICKI noszone  jest  obcią ż enie,  gł ę boko  wciskają   się   w powierzchnię .  P oczą tkowo  prawie  pł aska powierzchnia  modelu pomię dzy  wystę pami  zostaje  lokalnie  wybrzuszona,  co jest  wyraź nie widoczne n a wykresie rys.  14 przedstawiają cym  przekrój  powierzchni  pł aszczyzną   A—A  — przechodzą cą   przez  s'rodki  wystę pów. Rys.  13. U kł ad  warstwie  na  powierzchni  tego  samego  modelu  po  dalszym  wzroś cie  sił y  docisku Rys.  14. Przekrój  powierzchni  modelu  pł aszczyzną   przechodzą cą   przez  ś rodki  wystę pów Wnioski M etoda  imersyjna  badan ia  kształ tu  i  odkształ ceń  m a  wiele  zalet,  które  wyróż niają ją   z  poś ród  innych  m etod  badań .  Jest  to  m etoda  badań  polowych,  o  szerokich  moż li- woś ciach  doboru  dokł adnoś ci  pom iarów.  Jak  wykazano  n a  przykł adach ,  róż n ica  gł ę - bokoś ci  pomię dzy  warstwicami  może  być  zm ieniana  w  zakresie  od  1  / urn do  kilku  mi- METOD A  IMERSYJNA  INTERFEROMETRII  HOLOGRAFICZNEJ  389 limetrów.  M etoda, w  pierwszej  swojej  postaci  dostosowana  do badań  kształ tu, może być z  powodzeniem  stosowan a  do badan ia  odkształ ceń , pł yt,  powł ok,  może  być także  z  po- wodzeniem  zastosowan a  do  badań  odkształ ceń  plastycznych  elementów,  do  wyznacza- n ia  stał ych  m ateriał owych,  n p .  współ czynnika  P oissona,  poprzez  analizę   ugię ć  pł yty zginanej  czystym  m om en tem . M etoda  w opisywanej  postaci  nadaje  się  szczególnie  do badan ia  powierzchni  o  mał ych wyniosł oś ć iach  i  ł agodn ych  zm ian ach  kształ tu, ja k  n p. wizerunki  n a  m on etach, meda- lach  i  innych  precyzyjnych  elem en tach  tł oczonych. W tym przypadku  wystarczają ce  jest powię kszenie,  jakie  daje  uż yty  m ikroskop  stereoskopowy.  N atom iast  trudn oś ci  wynikł y przy  stosowaniu  m etody  bezpoś redn io  do  badan ia  mikronierównoś ci  typu  przeł omów lub  powierzchni  o  gwał townych  zm ianach  kształ tu. N ie  jest  moż liwe  zbyt  duże  powię kszenie  obrazu  holograficznego  pod mikroskopem ze  wzglę du  n a  ziarn istość  rekon struowan ego  obrazu.  Ograniczenia  te  m oż na  ominą ć poprzez  odpowiednią   modyfikację   ukł adu  badawczego. D okł adn ość  pom iaru  zależy  od  gę stoś ci  i  jakoś ci  obrazu  prą ż ków.  Konieczne  jest wyeliminowanie  drgań  ukł adu  optycznego  i  zapewnienie  moż liwie  mał ego  ką ta  padan ia wią zki  odniesienia  n a pł ytę  holograficzną ,  dobran ie  wł aś ciwego  czasu  ekspozycji,  stosunku n atę ż en ia  wią zki  przedm iotowej  do  wią zki  odniesienia  i  zapewnienie  równoś ci  dróg op- tycznych  obydwu  wią zek. M etoda  okazał a  się   przydatn a  do  badań  odkształ ceń  powierzchni.  Stosunkowo nie- regularne  przebiegi  warstwie  i  m ał a  czytelność  warstwie  w  okolicach  obszarów  obcią - ż onych  są   efektem  struktury  powierzchni  m odelu  pokrytej  proszkiem  aluminiowym. Lepsze  przygotowan ie  powierzchn i  n apewn o  umoż liwi  uzyskanie  bardziej  czytelnych obrazów.  N a  uwagę   zasł uguje  ł atwość  zastosowania  metody  imersyjnej  warstwicowania powierzchni  w  laborat oriach  przemysł owych,  n p . do  kon troli  poprawnoś ci  wykonania odpowiedzialnych  elem en tów  m aszyn  produkowan ych  seryjnie  jak  również  do  badania zuż ycia  warstwy  wierzchniej  elem entów.  P roces  wykonywania  hologramów  moż na zauto- m atyzować, a  dokum en t w postaci  hologram u  może  być dowolnie  dł ugo  przechowywany. R ekon strukcja  obrazu  i  an aliza  po wykonaniu  zdję cia  może  być wykonana  n a  osobnym stanowisku  w  dowoln ym  czasie  jeż eli  bę dzie  zachowan a  geometria  ukł adu  sł uż ą cego do rejestracji  h ologram u.  Cechą   m etody  imersyjnej  jest  stał ość  odległ oś ci  Az  dla  cał ego badan ego  obszaru.  Pewne  ogran iczen ia  w stosowaniu  metody  n arzuca  konieczność  uż ycia kuwety  imersyjnej  oraz  zan urzan ia  w  cieczach  elementów  badanych. Przedstawione wyniki  badań pochodzą  z prac  wykonanych  w ramach  problemu  wę zł owego 05.12  „W ytrzymał oś ć  i  optymalizacja  konstrukcji  maszynowych  i  budowlanych"  koordy- nowanego przez  IPPT   PAN . Literatura  cytowana  w tekś cie 1.  T.  TSURUTA et al, Holographic generation of  contour map  of  diffusely reflecting surface  by  using immersion method,  Jap.  Journal  Applied  Physics, 6, 5 (1967). 2.  T.  F EU ER,  M .  KOP I C A,  M . J.  M ATCZAK,  Holograficzną   topografia  obiektów  przy  uż yciu metody  imer- syjnej,  Biul.  Wojsk.  Akad.  Techn.,  Z4M   (165),  1973.  , 3.  M .  LECH , I .  M R U K ,  J.  STU P N ICKI, Metoda  imersyjna  badania  topografii powierzchni  ł opatek  turbin,  I I I . •   Sympozjum  M echaniki  Stosowanej,  Warszawa, 1977. 390  M.  LECH ,  I,  M R U K,  J.  STU PN ICKI 4.  M.  LECH ,  I.  M R U K,  J.  STU PN ICKI,  Badanie  kształ tu  mikronierównoś ci  powierzchni metodą   interfero- metrii holograficznej,  VIII Sympozjum  D oś wiadczalnych  Badań w Mechanice  Ciał a Stał ego,  Warszawa, 1978. 5.  W. M .  MmsKi, Effects of  surface  roughness  on the load distribution  in contact,  Proceedings  of  EU RO- MEG H   Colloquium  N o. 110, 1978, Linkoping,  Sweden. 6.  M. LECH , I,  M R U K,  J.  STU PN ICKI, Holographic contouring of  the surface topography  and study of contact rigidity of rough surfaces, International Conference on Metrology  and Properties of Engineering  Surfaces, Leicester,  England,  18- 20  April  1979. P  e 3  IO  M e  : H M M EP C H OH H Llft  M E TOfl  rOJI OrP Ac&I WE C KOfi  H H TE P c&E P OM E TP H H H CCJIEflOBAH H H   3> 0P M LI  H HMMepcHOHHbrii Merofl  rojiorpacfiiwecKoił   HirrepdpepoMeTpHH  flejiaeT B03Mo>KiibiM 6bicrrpbie  cocraBH eH Ka TonorpacbipiecKH x  KapT  HccjieflOBaiiHbix  noBepxH ocreft  oS'beKioBj  c  onpeAeneH - Hofi  TCWHOCTBIO.  KapTbi  MoryT  6BITB  npHiweHeHM  B  MHCJIEHHOM  aH ajiu3e  H  B 6bicrpM x  cpaBHHTejn>HBix .  IIojryqeH O  paccTOHHue Me>ii